JPS60257309A - 非接触距離測定装置 - Google Patents
非接触距離測定装置Info
- Publication number
- JPS60257309A JPS60257309A JP60111278A JP11127885A JPS60257309A JP S60257309 A JPS60257309 A JP S60257309A JP 60111278 A JP60111278 A JP 60111278A JP 11127885 A JP11127885 A JP 11127885A JP S60257309 A JPS60257309 A JP S60257309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- detector
- measuring device
- distance measuring
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
- G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明′は物体表面上の点と基準レベル（基準高さ）
との間の距離を三角法の原理を利用して非接触で測定す
るための装置に関する。
との間の距離を三角法の原理を利用して非接触で測定す
るための装置に関する。
「従来の技術」
従来のこの種の装置は測定すべき物体表面へ測定輻射、
即ち測定光（以下において輻射の例として光をあげ説明
する）を投射するための光源を有する投射部と、少くと
も一つの結像レンズを通して受けた反射光に応答してそ
れを別の形の対応する信号に変換する検出器を有する受
光部とを含んでいる。この検出器の光検知領域はほぼ直
線状であり、従っである限定された観１ｆｔｌＪ 領域
内の光照射−されたいくつかの物体表面エレメント（単
位領域）だけが検出器の直線状光検知領域」二にそれぞ
れ焦点が合された点（スポット）として結像されるよう
に受光路中におかれた結１象レンズやその池の手段を構
成している。
即ち測定光（以下において輻射の例として光をあげ説明
する）を投射するための光源を有する投射部と、少くと
も一つの結像レンズを通して受けた反射光に応答してそ
れを別の形の対応する信号に変換する検出器を有する受
光部とを含んでいる。この検出器の光検知領域はほぼ直
線状であり、従っである限定された観１ｆｔｌＪ 領域
内の光照射−されたいくつかの物体表面エレメント（単
位領域）だけが検出器の直線状光検知領域」二にそれぞ
れ焦点が合された点（スポット）として結像されるよう
に受光路中におかれた結１象レンズやその池の手段を構
成している。
この種の測定装置はオランダ国特許出願第８３０２２２
８号に述べられている。この従来技術の測定装置は検出
器として光検知セルの直線配列（リニヤアレイ）をｆ吏
っている。このセルのアレイは物体空間における直線状
検出器の像によって定められる限定された観、副領域か
らの光を主に受光する。その結果、測定に対する外来光
の悪影響を著しく減少できそれだけ検出器出力の信号対
雑音比を高めることができる。
８号に述べられている。この従来技術の測定装置は検出
器として光検知セルの直線配列（リニヤアレイ）をｆ吏
っている。このセルのアレイは物体空間における直線状
検出器の像によって定められる限定された観、副領域か
らの光を主に受光する。その結果、測定に対する外来光
の悪影響を著しく減少できそれだけ検出器出力の信号対
雑音比を高めることができる。
結像レンズはもちろんその池の受光路中に置かれた手段
は指定された観測領域からの光のみが検出器に到達する
ように企図に構成されているが、それによってすべての
存在し得る妨害信号（即ちノイズ）が除去されるわけで
はない。指定観測領域の外の物体表面エレメントによっ
て生じた反射は検出器に到達できず、従って測定信号を
妨害することばないが、観測領域内に妨害信号が生じる
可能性はある。この妨害信号は観測直線領域内で反射す
る外来光によって生じるであろうし、また 。
は指定された観測領域からの光のみが検出器に到達する
ように企図に構成されているが、それによってすべての
存在し得る妨害信号（即ちノイズ）が除去されるわけで
はない。指定観測領域の外の物体表面エレメントによっ
て生じた反射は検出器に到達できず、従って測定信号を
妨害することばないが、観測領域内に妨害信号が生じる
可能性はある。この妨害信号は観測直線領域内で反射す
る外来光によって生じるであろうし、また 。
二重反射によっても生じ得る。後者の場合、光源から投
射された光ビームの一部は物体表面の実際の測定点で反
射後ふたたび物体表面の池の点で反射する。前記能の点
が検出器の観測領域内に位置すればこの第２の反射は妨
害信号の発生原因となる。
射された光ビームの一部は物体表面の実際の測定点で反
射後ふたたび物体表面の池の点で反射する。前記能の点
が検出器の観測領域内に位置すればこの第２の反射は妨
害信号の発生原因となる。
この発明の目的は前述のような妨害信号を除去するか少
くともその影響を著しく小さくすることである。
くともその影響を著しく小さくすることである。
「問題点を解決するための手段」
この発明の測定装置において、前記目的を達成するため
光源は互に小さい間隔をおいた多数の平行な又はほぼ平
行な光ビームを出射し、検出器は信号処理手段に接続さ
れ、その信号処理手段は検出信号がそれぞれ前記光ビー
ム間の一つ又は複数の距離と対応した所定の一つ又は複
数の間隔を持っているか否かを識別するようにされてい
る。各光ビームの物体表面での反射は投射光ビームの光
と対応する数の反射光ビームが検出器の受光部に到達す
るようにされている。ビーム間に所定の距離を定めであ
るので、検出器の直線状検知領域に集光されたそれぞれ
の点も所定の一つ又は複数の距離を有する。この所定の
距離は信号処理手段において検出基準として使われる。
光源は互に小さい間隔をおいた多数の平行な又はほぼ平
行な光ビームを出射し、検出器は信号処理手段に接続さ
れ、その信号処理手段は検出信号がそれぞれ前記光ビー
ム間の一つ又は複数の距離と対応した所定の一つ又は複
数の間隔を持っているか否かを識別するようにされてい
る。各光ビームの物体表面での反射は投射光ビームの光
と対応する数の反射光ビームが検出器の受光部に到達す
るようにされている。ビーム間に所定の距離を定めであ
るので、検出器の直線状検知領域に集光されたそれぞれ
の点も所定の一つ又は複数の距離を有する。この所定の
距離は信号処理手段において検出基準として使われる。
直接入射する又は反射による外来、光によって生じ、あ
るいは二重反射によって生じ、直線状光検知検出器に達
する妨害光は前述の距離関係を持っていないので所望の
信号と妨害信号との識別が可能である。
るいは二重反射によって生じ、直線状光検知検出器に達
する妨害光は前述の距離関係を持っていないので所望の
信号と妨害信号との識別が可能である。
直線状検出器を使用しているので反射ビームが検出器に
よって確実に検出できるように各光ビームを共通面内（
二゛配置する必要がある。
よって確実に検出できるように各光ビームを共通面内（
二゛配置する必要がある。
二つ以上の互に平行なあるいはほぼ平行な光ビームを光
源によって出射でき、その場合ある条件のもとで妨害光
に対し非常に正確な識別が可能となるが、光源による複
数の光ビームの発生は非常に面倒であり、かつビームの
数が増すにつれ測定信号の処理が難しくなる。従って光
ビームの数は二つであることが好ましい。
源によって出射でき、その場合ある条件のもとで妨害光
に対し非常に正確な識別が可能となるが、光源による複
数の光ビームの発生は非常に面倒であり、かつビームの
数が増すにつれ測定信号の処理が難しくなる。従って光
ビームの数は二つであることが好ましい。
理論的にはそれぞれが１本の光ビームを出射する複数の
分離した光源を使用してもよいが、ビーム間の距離を非
常に小さくしなければならないので実際には不可能であ
る。従って現実には単一の光源（例えばンーザ光源２を
使用し、それによって発生された光ビームを光学系で二
つ（又はそれ以上）の分離した平行光ビームに分ける。
分離した光源を使用してもよいが、ビーム間の距離を非
常に小さくしなければならないので実際には不可能であ
る。従って現実には単一の光源（例えばンーザ光源２を
使用し、それによって発生された光ビームを光学系で二
つ（又はそれ以上）の分離した平行光ビームに分ける。
更にこの発明の別の実施例ではそれら光ビームを時間的
に交互に出射し、信号処理手段は一連の検出器出力信号
を単一の信号に合成する手段を含み、その合成により処
理手段内のそれぞれの回路によって識別処理が受けられ
、かつ識別され得るようにしている。出射光ビームの前
−記時間的交番の池に偏光を変化させて検出信号の強度
を増し、それによって妨害信号に対する識別を一層正し
く行うことが可能である。従って実施例において両光ビ
ームは異なる偏光とされ、受光路中に交互に所定の１面
光のみを通す手段が設けられている。
に交互に出射し、信号処理手段は一連の検出器出力信号
を単一の信号に合成する手段を含み、その合成により処
理手段内のそれぞれの回路によって識別処理が受けられ
、かつ識別され得るようにしている。出射光ビームの前
−記時間的交番の池に偏光を変化させて検出信号の強度
を増し、それによって妨害信号に対する識別を一層正し
く行うことが可能である。従って実施例において両光ビ
ームは異なる偏光とされ、受光路中に交互に所定の１面
光のみを通す手段が設けられている。
オランダ国出願第８３０２２２８号に記載された測定装
置において、検出器の直線状光検知領域は結像レンズの
土表面に対しある角度をなす。七の結１ 果、物体表面
と反射面とのあいだの距離とは独立１′Ｌ□ｔ！Ｂ ’
ｎ ＯＤ ｍ ’ｒａ。エエヮ−１，４、。□え７ポツ
トが焦点を結ばれる。これはしかしながら原理的に光源
からのただ一つの光ビームについてあてはまる。この発
明に従って二つ又はそれ以上の光ビームが投射され観測
領域内で互に接近して物体表面に到達すると、反射光ビ
ームのうちのただ一つのみが最適焦点を結ぶことになる
。光ビーム間の距離は非常に小さく選足されているので
他方のビームが完全に正しく焦点を結ばないことの影響
はそれ程重要でない。検出器上の１象は被写界深度内に
作たれる。しかしながら検出器信号間の距離を測定領域
内の物体表面の高さの関数として変化させることができ
る。完全な構成の最適寸法は光ビームが互に微小角だけ
重なり合う場合に得られ、その角度は測定領域内の物体
表面の高さと無関係に検出信号ピーク間の間隔が一定又
はほぼ一定となるよう装置全体の幾何学的形状に依存し
て選定される。
置において、検出器の直線状光検知領域は結像レンズの
土表面に対しある角度をなす。七の結１ 果、物体表面
と反射面とのあいだの距離とは独立１′Ｌ□ｔ！Ｂ ’
ｎ ＯＤ ｍ ’ｒａ。エエヮ−１，４、。□え７ポツ
トが焦点を結ばれる。これはしかしながら原理的に光源
からのただ一つの光ビームについてあてはまる。この発
明に従って二つ又はそれ以上の光ビームが投射され観測
領域内で互に接近して物体表面に到達すると、反射光ビ
ームのうちのただ一つのみが最適焦点を結ぶことになる
。光ビーム間の距離は非常に小さく選足されているので
他方のビームが完全に正しく焦点を結ばないことの影響
はそれ程重要でない。検出器上の１象は被写界深度内に
作たれる。しかしながら検出器信号間の距離を測定領域
内の物体表面の高さの関数として変化させることができ
る。完全な構成の最適寸法は光ビームが互に微小角だけ
重なり合う場合に得られ、その角度は測定領域内の物体
表面の高さと無関係に検出信号ピーク間の間隔が一定又
はほぼ一定となるよう装置全体の幾何学的形状に依存し
て選定される。
「実施例」
第１図において光源１は二つの光ビーム２，３を走査さ
れるべき表面４の方向に出射する。両光ビーム２，３は
反射されて反射光ビーム２’ 、 ３’となり、これら
は結１象レンズ（フォーカスレンズ）７及び図示してな
い池の手段を経て検出器アレイ５に到達する。このアレ
イ５は例えばそのいくつかが５ａｒ ５ｂｒ ５６で示
される直線状に配列された光検知セルから成る。図にお
いて光ビーム２＋はセル５ｂに入射し、光ビーム３１は
セル５ａに入射している。
れるべき表面４の方向に出射する。両光ビーム２，３は
反射されて反射光ビーム２’ 、 ３’となり、これら
は結１象レンズ（フォーカスレンズ）７及び図示してな
い池の手段を経て検出器アレイ５に到達する。このアレ
イ５は例えばそのいくつかが５ａｒ ５ｂｒ ５６で示
される直線状に配列された光検知セルから成る。図にお
いて光ビーム２＋はセル５ｂに入射し、光ビーム３１は
セル５ａに入射している。
光ビーム２と３の成す角は非常に小さく選定されており
、従って水平線（レベル）ＨｌとＨ２のあいだの測定領
域全域にわたって見た場合、光悄号２と３の間の距離ｄ
はほとんど変化せづ２実質的に一定とみなすことができ
る。物体表面４の実際の高さとは無関係に光ビーム２と
３は常に検出器５七に二つの反射点数を形成し７、それ
ら間の距離ｐは常にほとんど変化せず、どんな場合でも
その１直を決めることができる。第１図において二つの
反射光ビーム２°と３“は隣り合うセルによって受光さ
れるが、検出器アレイの分解能に従一つて前述の距離ｐ
は大きくすることができることは明らかである。
、従って水平線（レベル）ＨｌとＨ２のあいだの測定領
域全域にわたって見た場合、光悄号２と３の間の距離ｄ
はほとんど変化せづ２実質的に一定とみなすことができ
る。物体表面４の実際の高さとは無関係に光ビーム２と
３は常に検出器５七に二つの反射点数を形成し７、それ
ら間の距離ｐは常にほとんど変化せず、どんな場合でも
その１直を決めることができる。第１図において二つの
反射光ビーム２°と３“は隣り合うセルによって受光さ
れるが、検出器アレイの分解能に従一つて前述の距離ｐ
は大きくすることができることは明らかである。
前述のように光ビーム２と３の成す角は検出器アレイ５
上の結（象スポット間の距離ｐがほぼ一定となるよう装
置全体の形状を考慮；７て選定される。
上の結（象スポット間の距離ｐがほぼ一定となるよう装
置全体の形状を考慮；７て選定される。
検出器アレイ５はイ包号処理手段６によって順次走査さ
れ、一連のポ査信号を出方し、その信号中のセル５ａ＋
５ｂから得られた信号トマ比較的に高いピークを示す
。これらのピークは互に固定した又は少くとも予測でき
る間隔を有し、一般に周知の自己相関の手法を使って池
のセルからの妨害信号から分離することができる。
れ、一連のポ査信号を出方し、その信号中のセル５ａ＋
５ｂから得られた信号トマ比較的に高いピークを示す
。これらのピークは互に固定した又は少くとも予測でき
る間隔を有し、一般に周知の自己相関の手法を使って池
のセルからの妨害信号から分離することができる。
この装置の持ち得る問題点は”多重反射に起因するか又
はあらゆる対策にもかかわらず検出器に到達してしまう
外来光の反射に起因する。図を参照してその例を以下に
説明する。
はあらゆる対策にもかかわらず検出器に到達してしまう
外来光の反射に起因する。図を参照してその例を以下に
説明する。
光ビーム２は物体表面４で反射され必要とする反射光ビ
ーム２“とそうでない光ビーム２“となり、後者は実際
の測定スポットの左（Ｉ！！＋で更に表面４により反射
され光ビーム２″′となってレンズ７を通り、検出器ア
にイ５の特にセル５゜に入射する。検出器アレイ５を走
査することによって第２ａ図に示すれぞれ検出器アレイ
５のセル５２ ｒ ５ｂ＋ ５（からの出力信号に起因
している。池のセルも妨害反射光を受光し、ピークＡ、
Ｂ、Ｃ間の検出信号レベルを与えこれらは通常零でない
。出力信号中のあらかじめ決められた間隔を有する二つ
のピークが得られることが予測できるので、第２ａ図（
−示す信号な間知の自己相関手法を使って信号処理手段
６する時間△ｔだけ遅延される。第２ｂ図のこの遅号に
おけるピークＢと同じ位置に鋭いピークを有する信号Ｖ
（ｔ）を作る。自己相関処理されることによって妨害
ピークＣが除去される。これによって光ビーム２，３の
両方によって投射された物体表面４上の点の高さの検出
が完了する。
ーム２“とそうでない光ビーム２“となり、後者は実際
の測定スポットの左（Ｉ！！＋で更に表面４により反射
され光ビーム２″′となってレンズ７を通り、検出器ア
にイ５の特にセル５゜に入射する。検出器アレイ５を走
査することによって第２ａ図に示すれぞれ検出器アレイ
５のセル５２ ｒ ５ｂ＋ ５（からの出力信号に起因
している。池のセルも妨害反射光を受光し、ピークＡ、
Ｂ、Ｃ間の検出信号レベルを与えこれらは通常零でない
。出力信号中のあらかじめ決められた間隔を有する二つ
のピークが得られることが予測できるので、第２ａ図（
−示す信号な間知の自己相関手法を使って信号処理手段
６する時間△ｔだけ遅延される。第２ｂ図のこの遅号に
おけるピークＢと同じ位置に鋭いピークを有する信号Ｖ
（ｔ）を作る。自己相関処理されることによって妨害
ピークＣが除去される。これによって光ビーム２，３の
両方によって投射された物体表面４上の点の高さの検出
が完了する。
第１図に示すように反射は周囲からの光９によ、つても
生じ、これらの反射光も検出器５の観測領域内にある。
生じ、これらの反射光も検出器５の観測領域内にある。
しかしながらこれらの反射光も所定の間隔を有する予測
された信号ピークに対し識別することができる。
された信号ピークに対し識別することができる。
第３図は二つの信号光ビームが検出器アレイ５に同時に
入射せず、例えば時間変調又は異なる偏光の使用により
光ビームが交互（：受光される場合のいくつかの信号波
形を示す。これら光ビームの次に第３ｂ図に示すような
信号Ｕ （ｔ’＋ ｔｏ）を出力する。これら二つの信
号はピークＡ又はＢを含むだけでなく妨害ピークＣも含
む。
入射せず、例えば時間変調又は異なる偏光の使用により
光ビームが交互（：受光される場合のいくつかの信号波
形を示す。これら光ビームの次に第３ｂ図に示すような
信号Ｕ （ｔ’＋ ｔｏ）を出力する。これら二つの信
号はピークＡ又はＢを含むだけでなく妨害ピークＣも含
む。
線を通過し、信号処理手段６内の引算回路で信号Ｕ（ｔ
＋ｔｏ）との差がとられると、その出力信号Ｖ （ｔ）
は第３０図に示すようにピークＣが除去されたものとな
り、またピークＡ１とＢ’Ｔ二よって物体表面４の高さ
がまる。
＋ｔｏ）との差がとられると、その出力信号Ｖ （ｔ）
は第３０図に示すようにピークＣが除去されたものとな
り、またピークＡ１とＢ’Ｔ二よって物体表面４の高さ
がまる。
上述の信号処理の例は検出器信号を処理するいろいろな
可能性を説明するものであり、これらにこの発明を限定
するものでない。
可能性を説明するものであり、これらにこの発明を限定
するものでない。
自己相関法の実際の応用又は七の池の適当な信号処理方
法と適当な信号処理手段の実施例は当業者にとって実行
及び構成できる範囲のものであると考えられる。同様に
分離された光ビームを発生するのに必要な光学的手段、
光ビームの時間的及び／又は偏光の変調（例えば液晶素
子による制御）等は当業者にとって構成できる範囲のも
のである。
法と適当な信号処理手段の実施例は当業者にとって実行
及び構成できる範囲のものであると考えられる。同様に
分離された光ビームを発生するのに必要な光学的手段、
光ビームの時間的及び／又は偏光の変調（例えば液晶素
子による制御）等は当業者にとって構成できる範囲のも
のである。
第１図はこの発明の非接触距離測定装置を示す図、第２
図は光源から二つの光ビームが同時に出射された場合の
第１図における検出器と信号処理手段の出力信号を示す
図、第３図は光源から二つの光・ビームが交互に出射さ
れた場合の第１図における検出器と信号処理手段の出力
信号を示す図である。 ｌ二元帥、２．３：光ビーム、２’ 、 ３１：反射光
ビーム、４：物体表面、５：検出器、６：信号処理手段
、７：結１象レンズ、。 特許出願人 エヌ、ヴエー、オプテイシェインダストリ
ー １ドク アウエ ｆルク、ト「１ 代 理 人 草 野 卓
図は光源から二つの光ビームが同時に出射された場合の
第１図における検出器と信号処理手段の出力信号を示す
図、第３図は光源から二つの光・ビームが交互に出射さ
れた場合の第１図における検出器と信号処理手段の出力
信号を示す図である。 ｌ二元帥、２．３：光ビーム、２’ 、 ３１：反射光
ビーム、４：物体表面、５：検出器、６：信号処理手段
、７：結１象レンズ、。 特許出願人 エヌ、ヴエー、オプテイシェインダストリ
ー １ドク アウエ ｆルク、ト「１ 代 理 人 草 野 卓
Claims (5)
- （１） 測定すべき物体表面に対し測定光を出射するた
めの光源を有する出射部と、反射光に応答し少くとも結
像レンズを通して受光したその反射光を池の形の対応す
る信号に変換するための検出器を有する受光部とを含み
、前記検出器の光検知領域はほぼ直線状領域とされ、物
体表面の指定された観測領域内で照射された部分のみが
焦点合せされたスポットとして前記検出器の前記直線状
光検知領域上に結像されるように受光路中に設けられた
前記結像レンズとその池の手段が構成され、三角法の原
理を使って前記物体衣面上の与えられた点と基準高さと
、の間の距離を測定するための非接触距離測定装置にお
いて、前記光源は互に小さい距離を隔てほぼ平゛行な複
数の光ビームを出射するようにされ、前記検出器は信号
処理手段に接続され、その信号処理手段は検出器出力信
号が前記光ビーム間の距離と ・対応する所定の間隔を
有しているか否かを識別する−ようにされた非接触距離
測定装置。 - （２）前記光ビームの数は２である特許請求の範囲第１
項記載の非接触距離測定装置。 - （３）前記光ビームは時間とともに交互に出射され、前
記信号処理手段は前記検出器出力４１号を順次結合する
手段を含むようにされた特許請求の範囲第２項記載の非
接触距離測定装置。 - （４）前記二つの光ビームは異なった偏光とされ。 前記受光路中に所定の偏光を有する光のみを交互に通過
させるための手段が設けられている特許請求の範囲第２
項又は第３項記載の非接触距離測定装置。 - （５）＠配光ビームは互に微小角型なり合い、その角は
前記測定領域内の物体表面の高さとは無関係に前記検出
器出力信号のピーク間隔がほぼ一定となるように装置全
体の寸法に依存して選定され′ている特許請求の範囲第
１項乃至第４項のいずれか（二記載の非接触距離測定装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8401649A NL8401649A (nl) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | Meetstelsel voor het, onder gebruikmaking van een op driehoeksmeting berustend principe, contactloos meten van de afstand tussen een bepaald punt van een objectvlak en een referentieniveau. |
| NL8401649 | 1984-05-23 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60257309A true JPS60257309A (ja) | 1985-12-19 |
| JPH0575049B2 JPH0575049B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=19843992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60111278A Granted JPS60257309A (ja) | 1984-05-23 | 1985-05-22 | 非接触距離測定装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4673817A (ja) |
| EP (1) | EP0163347B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60257309A (ja) |
| DE (1) | DE3569153D1 (ja) |
| IL (1) | IL75269A (ja) |
| NL (1) | NL8401649A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633212A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-08 | N T T Gijutsu Iten Kk | 計測装置 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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