JPS6025471A - 光学的変位測定方法 - Google Patents
光学的変位測定方法Info
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- JPS6025471A JPS6025471A JP58132824A JP13282483A JPS6025471A JP S6025471 A JPS6025471 A JP S6025471A JP 58132824 A JP58132824 A JP 58132824A JP 13282483 A JP13282483 A JP 13282483A JP S6025471 A JPS6025471 A JP S6025471A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- frequency
- signal
- measurement
- light
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
- G01S17/32—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
- G01S17/36—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated with phase comparison between the received signal and the contemporaneously transmitted signal
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザー光を変調して測定対象物に１１ｎｊ
３、ｔｉ、反射光の位相変化から測定対象物の変位を測
定する光学的変位測定方法に関する。
３、ｔｉ、反射光の位相変化から測定対象物の変位を測
定する光学的変位測定方法に関する。
近年、レーザーとエレクトロニクスの発展によってレー
ザー光波変調式測距方法が広く普及し、特に測量の分野
では欠く事の出来ない確立した技術となっておシ、被測
定物までの距離が数りに対して数期の誤差で測定可能の
レベルに達している。
ザー光波変調式測距方法が広く普及し、特に測量の分野
では欠く事の出来ない確立した技術となっておシ、被測
定物までの距離が数りに対して数期の誤差で測定可能の
レベルに達している。
しかしながら、この様な技術を一般工業分野に応用しよ
うとした場合には次の様な問題があった。
うとした場合には次の様な問題があった。
（１）測定対象物にコーナーキューブミラー等の反射物
体を取付ける必要がある。
体を取付ける必要がある。
（２）測定時間が長くかかるため、移動中の物体の測定
が困難である。
が困難である。
（３）工業的要求に応える精度の確保が困難である。
本発明はこのような問題点を解決し、測定対象物に伺ら
の反射物体も取付けず、高精度、高速に対象物の変位を
測定することを可能としたものであル、測定距離数α〜
数１０ｍを±１簡の精度で、しかも旬ＯＨｚ以上の応答
速度が得られ、工業分野に於て極めて有効な変位測定手
段を提供するもの１１匁７、 次に本発明の詳細について、一実施例をもって説明する
。
の反射物体も取付けず、高精度、高速に対象物の変位を
測定することを可能としたものであル、測定距離数α〜
数１０ｍを±１簡の精度で、しかも旬ＯＨｚ以上の応答
速度が得られ、工業分野に於て極めて有効な変位測定手
段を提供するもの１１匁７、 次に本発明の詳細について、一実施例をもって説明する
。
第１図は本発明の光学的変位測定方法に用いる装置の全
体構成図である。 １は発振器で測定用変調周波数ｆｓ
と僅かに異なる一ＦＬ＝９ｇ±・ｆの周波数の信号を発
生する。 ｆぼは高周波変調レーザードライバー２に供
給され、半導体レーザー等の変調可能なレーザー３から
高周波変調されたレーザー光を発生させる。 なお、レ
ーザー・３０代シに発光ダイオード（ＬＦ！Ｄ）等も使
用出来る場合のあることは言うまでもない。 変調レー
ザー光はレンズ４で平行ビームに３リメートされた後、
測定対象物５０表面に照射され、乱反射した光の一部は
反射鏡６、干渉フィルタ７、受光レンズ８で集光された
後アパーチャー９を通って光電変換素子１０に入射する
。 従来の光波変調式距離計の場合は、測定対象物にコ
ーナーキー−ブミラー等の反射体を取イ］けるため、反
射光は高い効率で受光可能であるが、本発明のように測
定対象物に何らの反射体も設置せずに乱反射光のみを受
光する場合は、受光エネルギーが極めて小さく、従って
光電変換素子の出力信号も微弱であシ、信号の充分な麹
化が取れないために、測定精度や応答速度を犠牲にせざ
るを得なかったのである。
体構成図である。 １は発振器で測定用変調周波数ｆｓ
と僅かに異なる一ＦＬ＝９ｇ±・ｆの周波数の信号を発
生する。 ｆぼは高周波変調レーザードライバー２に供
給され、半導体レーザー等の変調可能なレーザー３から
高周波変調されたレーザー光を発生させる。 なお、レ
ーザー・３０代シに発光ダイオード（ＬＦ！Ｄ）等も使
用出来る場合のあることは言うまでもない。 変調レー
ザー光はレンズ４で平行ビームに３リメートされた後、
測定対象物５０表面に照射され、乱反射した光の一部は
反射鏡６、干渉フィルタ７、受光レンズ８で集光された
後アパーチャー９を通って光電変換素子１０に入射する
。 従来の光波変調式距離計の場合は、測定対象物にコ
ーナーキー−ブミラー等の反射体を取イ］けるため、反
射光は高い効率で受光可能であるが、本発明のように測
定対象物に何らの反射体も設置せずに乱反射光のみを受
光する場合は、受光エネルギーが極めて小さく、従って
光電変換素子の出力信号も微弱であシ、信号の充分な麹
化が取れないために、測定精度や応答速度を犠牲にせざ
るを得なかったのである。
そこで本発明に於ては、光電変換素子の出力信号を高め
麹化を向上させるために、まず光電変換素子１０の後に
位相可変の共振回路１１を設ける。
麹化を向上させるために、まず光電変換素子１０の後に
位相可変の共振回路１１を設ける。
この光電変換素子１０と共振回路■１のよシ具体的な構
成例を第２図に示し、作動を説明する。 光電変換素子
Ｅに入射光Ｓが入射すると電流ｉが流れる。 高周波変
調光の場合は、周波数特性確保のため光電変換素子に小
さな抵抗Ｒｏ（例えば関Ω）を接続するのが常識であっ
たが、本発明に於ては、コイルＬ、コンデンサｃ３、可
変容量ダイオードＤ１で構成される並列共振回路を接続
し、共振回路の電圧を高入力インピーダンスの電界効果
（ｍＴ）、１−ランジスタ等で入力する。 共振回路の
周波数を入射変調光の周波数に一致させた時の共振回路
のインピーダンス２は、特性インピーダンスｚＯと共振
回路のＱ値を使ってＺ ＝ 叩ｏとなるが、ｚｏ＝２０
００、Ｑ＝、１００程度は簡単に得られるため、Ｚ ＝
２ Ｘ １（１″＝４００ Ｒｏの高いインピーダン
スが得られる。 光電流１による信号電圧は純抵抗負荷
の場合ｉＲｏ、共振回路負荷の場合１ｚ ＝ ４ＱＱ
ｉＲ。
成例を第２図に示し、作動を説明する。 光電変換素子
Ｅに入射光Ｓが入射すると電流ｉが流れる。 高周波変
調光の場合は、周波数特性確保のため光電変換素子に小
さな抵抗Ｒｏ（例えば関Ω）を接続するのが常識であっ
たが、本発明に於ては、コイルＬ、コンデンサｃ３、可
変容量ダイオードＤ１で構成される並列共振回路を接続
し、共振回路の電圧を高入力インピーダンスの電界効果
（ｍＴ）、１−ランジスタ等で入力する。 共振回路の
周波数を入射変調光の周波数に一致させた時の共振回路
のインピーダンス２は、特性インピーダンスｚＯと共振
回路のＱ値を使ってＺ ＝ 叩ｏとなるが、ｚｏ＝２０
００、Ｑ＝、１００程度は簡単に得られるため、Ｚ ＝
２ Ｘ １（１″＝４００ Ｒｏの高いインピーダン
スが得られる。 光電流１による信号電圧は純抵抗負荷
の場合ｉＲｏ、共振回路負荷の場合１ｚ ＝ ４ＱＱ
ｉＲ。
となり、４００倍もの信号電圧が得られることになる。
また、抵抗の熱雑音は抵抗値の平方根に比例するため
、信号の８Ａ比は結局″″−２０倍改善されることにな
る。
、信号の８Ａ比は結局″″−２０倍改善されることにな
る。
とのように光電変換素子の後に共振回路を挿入すること
によって、入射光の検出感度及びＳ、４比を著しく改善
可能であるが、特性の良い共振回路はど共振周波数と信
号周波数の僅かな相異によって回路の位相が大きく変化
し、入射変調光と検出信号の間に位相誤差が発生してし
まう。 これは、共振回路をいかに安定に作ったとして
も、光電変換素子やＦｍ ）ランジスタの静電容量の変
化によって大きな誤差を生じてしまう。 このような問
題のために従来は共振回路の使用例は無く、また使用不
能でもあった。
によって、入射光の検出感度及びＳ、４比を著しく改善
可能であるが、特性の良い共振回路はど共振周波数と信
号周波数の僅かな相異によって回路の位相が大きく変化
し、入射変調光と検出信号の間に位相誤差が発生してし
まう。 これは、共振回路をいかに安定に作ったとして
も、光電変換素子やＦｍ ）ランジスタの静電容量の変
化によって大きな誤差を生じてしまう。 このような問
題のために従来は共振回路の使用例は無く、また使用不
能でもあった。
本発明では、このような問題を解決するため、共振回路
を可変容量ダイオードＤ１等によって位相可変とし、第
１図の共振回路１１の出力信号を増幅器１２で増幅した
後、位相検出部１３に入力する。
を可変容量ダイオードＤ１等によって位相可変とし、第
１図の共振回路１１の出力信号を増幅器１２で増幅した
後、位相検出部１３に入力する。
一方、発振器１で発生した周波教程の高周波信号を可変
減衰器１７を経た後光電変換素子に印加する。 この場
合、ｆＬの信号をレーザーダイオードや５口等で一度変
調光に変換して光電変換素子に入力してもよいし、直接
電気信号のまま入力してもよい。 よシ具体的な例とし
ては、第２図の端子Ａに（Ｌの信号を印加し発光素チェ
で変調光に変換してフオトタ゛イオードＪに入力しても
よく、また端子にに＋Ｌの電気信号を入力する方法を用
いてもよい。 位相検出部１３に、例えばダブルバラン
スミキサーを使った場合は、信号の位相差と出力電圧の
関係は第４図のように９ｉ所で０となるため、例えば可
変減衰器１７等によってモＬの信号を９０’シフトさせ
ておけば光電変換素子１０、共振回路１１、増幅器１２
における全体の位相シフトが丁度０°の時に位相検出部
１３の出力電圧がＯになシ都合がよい。
減衰器１７を経た後光電変換素子に印加する。 この場
合、ｆＬの信号をレーザーダイオードや５口等で一度変
調光に変換して光電変換素子に入力してもよいし、直接
電気信号のまま入力してもよい。 よシ具体的な例とし
ては、第２図の端子Ａに（Ｌの信号を印加し発光素チェ
で変調光に変換してフオトタ゛イオードＪに入力しても
よく、また端子にに＋Ｌの電気信号を入力する方法を用
いてもよい。 位相検出部１３に、例えばダブルバラン
スミキサーを使った場合は、信号の位相差と出力電圧の
関係は第４図のように９ｉ所で０となるため、例えば可
変減衰器１７等によってモＬの信号を９０’シフトさせ
ておけば光電変換素子１０、共振回路１１、増幅器１２
における全体の位相シフトが丁度０°の時に位相検出部
１３の出力電圧がＯになシ都合がよい。
このような状態で、今例らかの原因で共振回路１１の周
波数が僅かに変化したとすると、第３図のように位相は
大きく変化する。 位相検出部１３の出力がこれに対応
して変化するので、ローパスフィルター■５を経た後、
位相制御回路１６で位相制御信号を演算し、共振回路１
１の位相特性を変化させ、常に位相差が０になるように
制御する。 よシ具体的な例として、第２図の端子Ｂの
電圧を変えれば可変容量ダイオードの容量が変化し、共
振周波数及び位相を制御することができる。 孔及びｆ
ｒの周波数を近接させておけば、変位測定用周波数Ｊｉ
ｇに対しても安定した位相特性を確保したことになる。
波数が僅かに変化したとすると、第３図のように位相は
大きく変化する。 位相検出部１３の出力がこれに対応
して変化するので、ローパスフィルター■５を経た後、
位相制御回路１６で位相制御信号を演算し、共振回路１
１の位相特性を変化させ、常に位相差が０になるように
制御する。 よシ具体的な例として、第２図の端子Ｂの
電圧を変えれば可変容量ダイオードの容量が変化し、共
振周波数及び位相を制御することができる。 孔及びｆ
ｒの周波数を近接させておけば、変位測定用周波数Ｊｉ
ｇに対しても安定した位相特性を確保したことになる。
位相検出部１３の入力にはｆ、及び＋ｇの双方の信号
が同時に入って来る訳であるが、十ｇに対しては位相検
出部１３の出力はΔｆ＝ｆ５ｆＬの周波数の正弦波信号
となるため、ローパスフィルター１５によって６丁の成
分をカットすることができる。 このようにして、測定
対象物からの微弱な反射光を高感度でしかも高い位相精
度で検出できることになる。 あとは、基準信号ｆｇと
増幅器１２の出力信号のうち、ｆｇＩの成分との間の位
相差を正確に測定ことになる。 増幅器１２の出力は、
ダブルバランスミキサー等の位相検出部１３及びノくン
ドノくスフイルグー１４によって−ｆ−＋’ｒ−４．の
周波数に変換される。 ｆ≦と干りを近接した周波数に
しておけば６＋は＋′Ｓに較べて非常に低い周波数とな
シ、位相差測定が容易となる。 基準信号ｆｇは発振器
１０モｄ信号を直接使ってもよく、また、レーザー３の
出力変調光の一部を取り出し、光電検出素子で電気信号
に変換してもよいが、ダブルバランスミキサー等の位相
検出部１８及びバンドパスフィルター１９によって６＋
の基準信号に変換される。 周波数−ｆに変換された基
準信号及び反射光検出信号は、それぞれレベルコンパレ
ーター２３ 、２２によｌ値信号に変換された後、時間
差測定回路２４で２値信号の立上がシの時間差が測定さ
れる。 この時間差は測定対象物の基準点からの変位に
比例するため、適当な変換係数を掛けることにより変化
量が測定できることになる。 時間差は更に平均化回路
２５によって複数回の時間差測定イ直を平均化すること
で測定精度を高めることも可能である。 また、ノζン
ドパスフィルター１４の出力信号の大きさをレベル検出
回路２（）によって検出し、これが一定になるように自
動ゲイン制御回路（ＡＧＯ） ２１の出力信号で、高周
波変調レーザードライバー２、光電変換きでも安定した
測定が可能となる。 また、この自動ゲイン制御を実施
した場合、位相制御用の光電変換素子に対する周波数ｆ
Ｌの注入信号に対する増幅率も変化するが、自動ゲイン
制御回路２１の出力信号で可変減衰器１７の減衰率を制
御して位相検出部１３の入力に於ける信号ｆ、の大きさ
をは・ぼ一定に保つことも可能である。
が同時に入って来る訳であるが、十ｇに対しては位相検
出部１３の出力はΔｆ＝ｆ５ｆＬの周波数の正弦波信号
となるため、ローパスフィルター１５によって６丁の成
分をカットすることができる。 このようにして、測定
対象物からの微弱な反射光を高感度でしかも高い位相精
度で検出できることになる。 あとは、基準信号ｆｇと
増幅器１２の出力信号のうち、ｆｇＩの成分との間の位
相差を正確に測定ことになる。 増幅器１２の出力は、
ダブルバランスミキサー等の位相検出部１３及びノくン
ドノくスフイルグー１４によって−ｆ−＋’ｒ−４．の
周波数に変換される。 ｆ≦と干りを近接した周波数に
しておけば６＋は＋′Ｓに較べて非常に低い周波数とな
シ、位相差測定が容易となる。 基準信号ｆｇは発振器
１０モｄ信号を直接使ってもよく、また、レーザー３の
出力変調光の一部を取り出し、光電検出素子で電気信号
に変換してもよいが、ダブルバランスミキサー等の位相
検出部１８及びバンドパスフィルター１９によって６＋
の基準信号に変換される。 周波数−ｆに変換された基
準信号及び反射光検出信号は、それぞれレベルコンパレ
ーター２３ 、２２によｌ値信号に変換された後、時間
差測定回路２４で２値信号の立上がシの時間差が測定さ
れる。 この時間差は測定対象物の基準点からの変位に
比例するため、適当な変換係数を掛けることにより変化
量が測定できることになる。 時間差は更に平均化回路
２５によって複数回の時間差測定イ直を平均化すること
で測定精度を高めることも可能である。 また、ノζン
ドパスフィルター１４の出力信号の大きさをレベル検出
回路２（）によって検出し、これが一定になるように自
動ゲイン制御回路（ＡＧＯ） ２１の出力信号で、高周
波変調レーザードライバー２、光電変換きでも安定した
測定が可能となる。 また、この自動ゲイン制御を実施
した場合、位相制御用の光電変換素子に対する周波数ｆ
Ｌの注入信号に対する増幅率も変化するが、自動ゲイン
制御回路２１の出力信号で可変減衰器１７の減衰率を制
御して位相検出部１３の入力に於ける信号ｆ、の大きさ
をは・ぼ一定に保つことも可能である。
このように本発明によれば、測定対象物に何らの反射体
を取付ける必要も無く、測定対象物からの反射光を高感
度かつ高い位相精度で検出できるため、任意物体の変位
を高精度、高速に測定することが可能となる。 即ち、
本発明の光学的変位測定方法によれば、ガスタンクや高
熱炉などの内面処理状態、腐食の発生、あるいは構築物
の壁面やベルトコンベヤ上を移動してくる製品の表面変
位（凹凸）の状態を測定検知できる等、工業分野におい
て極めて応用範囲の広い変位測定技術となるものである
。
を取付ける必要も無く、測定対象物からの反射光を高感
度かつ高い位相精度で検出できるため、任意物体の変位
を高精度、高速に測定することが可能となる。 即ち、
本発明の光学的変位測定方法によれば、ガスタンクや高
熱炉などの内面処理状態、腐食の発生、あるいは構築物
の壁面やベルトコンベヤ上を移動してくる製品の表面変
位（凹凸）の状態を測定検知できる等、工業分野におい
て極めて応用範囲の広い変位測定技術となるものである
。
以上説明した本発明の光学的変位測定方法では、測定用
高周波信号が＋′ｇ一つだけの周波数のものであるが、
異なる複数の周波数でレーザー光を多重変調すると共に
、各々の周波数に対応する位相制御部、周波数変換部、
位相差測定部を設けて測定可能な変位の範囲を増大させ
ることも可能である。
高周波信号が＋′ｇ一つだけの周波数のものであるが、
異なる複数の周波数でレーザー光を多重変調すると共に
、各々の周波数に対応する位相制御部、周波数変換部、
位相差測定部を設けて測定可能な変位の範囲を増大させ
ることも可能である。
また、測定対象物が比較的近距離において大きく変位す
る場合は、受光レンズの焦点位置が変り、アパーチャー
の位置における反射光の像の大きさが大きくなシ、光電
変換素子への入射エネルギーが減少する場合があるが、
このような場合には、第１図に示したアパーチャー９及
び光電変換素子１０を駆動装置によって移動させ、変位
測定値に基づいて、常にアパーチャー位置を焦点位置に
保持させることができるように実施すればよく、まだ、
アパーチャー及び光電変換素子の代わシに受光レンズを
移動させても同等の効果が得られることは勿論である。
る場合は、受光レンズの焦点位置が変り、アパーチャー
の位置における反射光の像の大きさが大きくなシ、光電
変換素子への入射エネルギーが減少する場合があるが、
このような場合には、第１図に示したアパーチャー９及
び光電変換素子１０を駆動装置によって移動させ、変位
測定値に基づいて、常にアパーチャー位置を焦点位置に
保持させることができるように実施すればよく、まだ、
アパーチャー及び光電変換素子の代わシに受光レンズを
移動させても同等の効果が得られることは勿論である。
第１図は本発明方法を実施するための装置の一例を示す
構成図、第２図は光電変換素子と位相可変共振回路との
組み合わせの具体例を示す部分構成図、第３図は位相可
変共振回路に高周波電流を流した時の電圧振幅値及び位
相の特性図、第４図は位相検出６にダブルバランスミキ
サーを使用した時の位相差に対する出力電圧の特性図で
ある。 図中、３はレーザー、５は測定対象物、１０は受光部（
光電変換素子）、■１は共振回路、１３ 、１８は位相
検出部、１６は位相制御回路、１４，１５．１９は周波
数変換部の構成部材であって、１４ 、１９はバンドパ
スフィルター、１５ハローパスフイルター、２２゜２３
、２４は位相差測定部の構成部材であって、２２゜２
３はレベルコンパレーター、２４は時間差測定回路であ
る。 第２図 Ｂｉａｓ 第３図 第４図
構成図、第２図は光電変換素子と位相可変共振回路との
組み合わせの具体例を示す部分構成図、第３図は位相可
変共振回路に高周波電流を流した時の電圧振幅値及び位
相の特性図、第４図は位相検出６にダブルバランスミキ
サーを使用した時の位相差に対する出力電圧の特性図で
ある。 図中、３はレーザー、５は測定対象物、１０は受光部（
光電変換素子）、■１は共振回路、１３ 、１８は位相
検出部、１６は位相制御回路、１４，１５．１９は周波
数変換部の構成部材であって、１４ 、１９はバンドパ
スフィルター、１５ハローパスフイルター、２２゜２３
、２４は位相差測定部の構成部材であって、２２゜２
３はレベルコンパレーター、２４は時間差測定回路であ
る。 第２図 Ｂｉａｓ 第３図 第４図
Claims (1)
- 高周波変調された測定用レーザー光を測定対象物に照射
し、測定対象物の乱反射光を受光部で電気信号に変換す
ると共に、該受光部に位相可変の共振回路を設け、前記
測定用変調レーザー光と周波数の異なる別の高周波変調
光或いは高周波電気信号を受光部に入力し、この入力信
号に対する受光部の出力信号の位相差を位相検出部で検
出すると共に、この位相差が一定になるように共振回路
の位相を位相制御回路で制御し、測定用変調レーザー光
信号及び対応する受光部出力信号を周波数変換部によっ
て低い周波数に変換した後、位相差測定部で位相差を測
定し、測定対象物の変位を測定することを特徴とする光
学的変位測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58132824A JPS6025471A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 光学的変位測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58132824A JPS6025471A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 光学的変位測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025471A true JPS6025471A (ja) | 1985-02-08 |
| JPH0115832B2 JPH0115832B2 (ja) | 1989-03-20 |
Family
ID=15090406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58132824A Granted JPS6025471A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 光学的変位測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025471A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01134285A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Nec Corp | 測距装置 |
| JPH01253604A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Tomioka Kogaku Kk | 光学的測定装置 |
| JPH02102412A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-16 | Nec Corp | レーザ測遠機 |
| JPH06289137A (ja) * | 1993-04-05 | 1994-10-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 光学式距離計 |
| JP2004016324A (ja) * | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線ｃｔ装置 |
| GB2470262A (en) * | 2009-05-07 | 2010-11-17 | Chervon Ltd | High frequency optoelectronic distance measurement using phase difference |
| JP2018054536A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 測距装置 |
| CN110233780A (zh) * | 2019-07-30 | 2019-09-13 | 漯河医学高等专科学校 | 一种计算机网络信号检测装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1983
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Also Published As
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