JPS60252304A - 可変波長フイルタ - Google Patents
可変波長フイルタInfo
- Publication number
- JPS60252304A JPS60252304A JP10828384A JP10828384A JPS60252304A JP S60252304 A JPS60252304 A JP S60252304A JP 10828384 A JP10828384 A JP 10828384A JP 10828384 A JP10828384 A JP 10828384A JP S60252304 A JPS60252304 A JP S60252304A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- filter
- film
- variable wavelength
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、透過光波長が照射位置に応じ連続的に変化す
る可変波長フィルタに係り、特に波長可変として一定強
度の光が得られるようにした可変波長フィルタに関する
ものである。
る可変波長フィルタに係り、特に波長可変として一定強
度の光が得られるようにした可変波長フィルタに関する
ものである。
第１図（ａ） ｌ （ｂ）はこれまでの可変波長フィル
タの正面、平面をそれぞれ示すが、このようにしてなる
可変波長フィルタによる場合透過光波長を連続節ｆ亦ｌ
ｋシ訃偶１Ｌ 姑１ｒ佐方ナス？ル杏ｌ一定強度の光を
得ることは困難となっている。
タの正面、平面をそれぞれ示すが、このようにしてなる
可変波長フィルタによる場合透過光波長を連続節ｆ亦ｌ
ｋシ訃偶１Ｌ 姑１ｒ佐方ナス？ル杏ｌ一定強度の光を
得ることは困難となっている。
ｆｆｌ］ち、第１図（ａ） 、 （ｂ）に示す如くこれ
までの可変波長フィルタは平面が平行とされたガラス基
板１上に干渉膜２がスパッタ等によって付着された構成
とされ、誘電体よシなる干渉膜２はその厚さが連続的に
異ならしめられたものとなっている。このように構成す
る場合は、その波長の整数倍が干渉膜２の厚さに一致す
る光のみが選択的に透過し得、しかして、光の照射位置
を連続的に変化させれば、透過光波長もまた連続的に変
化され得るものである。
までの可変波長フィルタは平面が平行とされたガラス基
板１上に干渉膜２がスパッタ等によって付着された構成
とされ、誘電体よシなる干渉膜２はその厚さが連続的に
異ならしめられたものとなっている。このように構成す
る場合は、その波長の整数倍が干渉膜２の厚さに一致す
る光のみが選択的に透過し得、しかして、光の照射位置
を連続的に変化させれば、透過光波長もまた連続的に変
化され得るものである。
ところで、以上のようにしてなる可変波長フィルタを用
い波長に依存しない一定強度の光を得ようとする場合、
第３図に示す如くの複雑な光学システムが必要となって
いる。これは、第２図に示すように一般に光源の発光強
度には波長依存性があるからである。因みに第３図に示
す光学システムについて説明すれば、光源３からの光は
レンズ４によって集光されたうえ可変波長フィルタ５、
減光量連続可変とされた減光フィルタ６、ノ・−フミラ
ー７を順次弁されることによって一定波長の光のみが得
られるものとなっている。したがって、ハーフミラ−７
で一部反射分岐せしめられた光の光量を光量検出器８で
検出したうえその光量が一定となるべくフィードバック
制御機器９を介し減光フィルタ６を回転制御する場合は
、可変波長フィルタ５の位置如何に拘わらすノ・−７ミ
ラー７を透過する光の強度は波長に無関係に一定とし得
るものである。
い波長に依存しない一定強度の光を得ようとする場合、
第３図に示す如くの複雑な光学システムが必要となって
いる。これは、第２図に示すように一般に光源の発光強
度には波長依存性があるからである。因みに第３図に示
す光学システムについて説明すれば、光源３からの光は
レンズ４によって集光されたうえ可変波長フィルタ５、
減光量連続可変とされた減光フィルタ６、ノ・−フミラ
ー７を順次弁されることによって一定波長の光のみが得
られるものとなっている。したがって、ハーフミラ−７
で一部反射分岐せしめられた光の光量を光量検出器８で
検出したうえその光量が一定となるべくフィードバック
制御機器９を介し減光フィルタ６を回転制御する場合は
、可変波長フィルタ５の位置如何に拘わらすノ・−７ミ
ラー７を透過する光の強度は波長に無関係に一定とし得
るものである。
このようにこれまでの可変波長フィルタによって強度一
定の光を得ようとする場合は、複雑な光学システムを必
要とし、経済的にして強度一定の光が得られないという
不具合がある。
定の光を得ようとする場合は、複雑な光学システムを必
要とし、経済的にして強度一定の光が得られないという
不具合がある。
よって本発明の目的は、構成簡単にして、しかも波長可
変として一定強度の光が得られる可変波長フィルタを供
するにある。
変として一定強度の光が得られる可変波長フィルタを供
するにある。
この目的のため本発明紘、光源の発光スペクトル強度を
相殺すべく減光フィルタを可変波長フィルタに設けるよ
うになしたものである。
相殺すべく減光フィルタを可変波長フィルタに設けるよ
うになしたものである。
以下、本発明を第４図、第５図により説明する。
先ず本発明による可変波長フィルタについて説明すれば
、第４図はその一例での断面を示したものである。図示
の如く第１図（ａ） ｌ （ｂ）に示すものに異なる点
は、新たに干渉膜２上にアルミニウムなどよシなる金属
薄膜としての減光膜１０が光源の発光強度を相殺するよ
うな膜厚状態で蒸着されていることである。本例では減
光膜１０は干渉膜２上に形成されているが、これに限定
されずガラス基板１裏面側に直接形成させることも可能
となっている。
、第４図はその一例での断面を示したものである。図示
の如く第１図（ａ） ｌ （ｂ）に示すものに異なる点
は、新たに干渉膜２上にアルミニウムなどよシなる金属
薄膜としての減光膜１０が光源の発光強度を相殺するよ
うな膜厚状態で蒸着されていることである。本例では減
光膜１０は干渉膜２上に形成されているが、これに限定
されずガラス基板１裏面側に直接形成させることも可能
となっている。
減光膜１０の蒸着方法としては、例えば蒸着装置のペル
ジャー中に設置されたフィルタと蒸着源との途中にフィ
ルタと平行してスリット板を配置し、この状態でアルミ
ニウム等の減光物質をフィルタに蒸着することが考えら
れる。この蒸着に並行しては光源からの光をスリット板
を介してフィルタ面上に照射せしめてその透過光量をモ
ニタするようにし、所定の透過光量が得られた時点でス
リット板を移動させるようにすれば、フィルタ面上には
減光膜がその光源からの光の発光強度を相殺すべく蒸着
されるわけである。
ジャー中に設置されたフィルタと蒸着源との途中にフィ
ルタと平行してスリット板を配置し、この状態でアルミ
ニウム等の減光物質をフィルタに蒸着することが考えら
れる。この蒸着に並行しては光源からの光をスリット板
を介してフィルタ面上に照射せしめてその透過光量をモ
ニタするようにし、所定の透過光量が得られた時点でス
リット板を移動させるようにすれば、フィルタ面上には
減光膜がその光源からの光の発光強度を相殺すべく蒸着
されるわけである。
第５図は本発明による可変波長フィルタを用い波長連続
可変として一定強度の光を得るための光源システムを示
したものである。図示の如く光源３と本発明による可変
波長フィルタ１１は別として、光源３からの光を集光す
るためのレンズ４だけが必要とされ、これまでに必要と
されていた減光フィルタやハーフミラ−、フィードバッ
ク制御を何等要することなくシステム構成簡単にして強
度一定の光が得られることが判る。
可変として一定強度の光を得るための光源システムを示
したものである。図示の如く光源３と本発明による可変
波長フィルタ１１は別として、光源３からの光を集光す
るためのレンズ４だけが必要とされ、これまでに必要と
されていた減光フィルタやハーフミラ−、フィードバッ
ク制御を何等要することなくシステム構成簡単にして強
度一定の光が得られることが判る。
以上説明したように本発明は、光源の発光スペクトル強
度を相殺するための減光フィルタを可変波長フィルタに
設けたものである。したがって、本発明による場合は、
構成簡単にして、しかも波長可変として一定強度の光が
得られるという効果がある。
度を相殺するための減光フィルタを可変波長フィルタに
設けたものである。したがって、本発明による場合は、
構成簡単にして、しかも波長可変として一定強度の光が
得られるという効果がある。
第１図（ａ） ｌ （ｂ）は、これまでの可変波長フィ
ルタの正面、平面をそれぞれ示す図、第２図は、光源の
発光スペクトル強度の一例を示す図、第３図は、・これ
までの可変波長フィルタを用い強度一定の光を得るため
の光学システムのシステム構成を示す図、第４図は、本
発明による可変波長フィルタの一例での断面を示す図、
第５図は、その可変波長フィルタを用い波長連続可変と
して一定強度の光を得るだめの光源システムのシステム
構成を示す図である。 ｌ・・・ガラス基板、２・・・干渉膜、１０・・・減光
膜。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 ２ 第３０ 第４０ １゜ 第５図
ルタの正面、平面をそれぞれ示す図、第２図は、光源の
発光スペクトル強度の一例を示す図、第３図は、・これ
までの可変波長フィルタを用い強度一定の光を得るため
の光学システムのシステム構成を示す図、第４図は、本
発明による可変波長フィルタの一例での断面を示す図、
第５図は、その可変波長フィルタを用い波長連続可変と
して一定強度の光を得るだめの光源システムのシステム
構成を示す図である。 ｌ・・・ガラス基板、２・・・干渉膜、１０・・・減光
膜。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 ２ 第３０ 第４０ １゜ 第５図
Claims (1)
- 平行な平面をもつ光学的に透明な基板上に、厚さが連続
的に変化する干渉膜が形成されてなる可変波長フィルタ
において、干渉膜上あるいは基板上に光源の発光スペク
トル強度分布を相殺する膜厚分布をもった減光膜が形成
されてなる構成を特徴とする可変波長フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10828384A JPS60252304A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 可変波長フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10828384A JPS60252304A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 可変波長フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60252304A true JPS60252304A (ja) | 1985-12-13 |
Family
ID=14480724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10828384A Pending JPS60252304A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 可変波長フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60252304A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4957371A (en) * | 1987-12-11 | 1990-09-18 | Santa Barbara Research Center | Wedge-filter spectrometer |
-
1984
- 1984-05-30 JP JP10828384A patent/JPS60252304A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4957371A (en) * | 1987-12-11 | 1990-09-18 | Santa Barbara Research Center | Wedge-filter spectrometer |
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