RU1598697C - Корректирующий фильтр - Google Patents
Корректирующий фильтр Download PDFInfo
- Publication number
- RU1598697C RU1598697C SU4483870A RU1598697C RU 1598697 C RU1598697 C RU 1598697C SU 4483870 A SU4483870 A SU 4483870A RU 1598697 C RU1598697 C RU 1598697C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- spectral sensitivity
- correction
- spectrum
- interference
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
Изобретение относится к интерференционным фильтрам для коррекции спектральной чувствительности приемников излучения. Цель изобретения повысить степень коррекции спектральной чувствительности кремниевого фотодиода в диапазоне спектра 0,75 0,95 мкм. Корректирующий фильтр состоит из подложки и интерференционного покрытия. Подложка выполнена из материала, прозрачного в рабочем диапазоне спектра с показателем преломления n 1,50 ± 0,05. Интерференционное покрытие выполнено из пяти чередующихся слоев с показателями преломления nв= 2,03± 0,03 и nн= 1,45± 0,03. К подложке прилегает слой с высоким показателем преломления, а оптические толщины слоев, считая от подложки, 3d, d, 2d, 4d, 2d, где d 135 ± 10 нм. 3 ил.
Description
Изобретение относится к интерференционным фильтрам, применяемым для коррекции спектральной чувствительности приемников излучения.
Цель изобретения повышение степени коррекции спектральной чувствительности кремниевого фотодиода в диапазоне спектра 0,75-0,95 мкм.
На фиг.1 изображена конструкция фильтра; на фиг.2 спектральная характеристика фильтра; на фиг.3 изображены характеристики спектральной чувствительности фотодиода (кривая 2) и расчетной спектральной чувствительности системы корректирующий фильтр фотодиод.
Устройство практически реализовали путем напыления на подложку из стекла К8 с Nn 1,52 системы из пяти слоев ZrO2/SiO2 с d135 нм. Слои ZrO2 и SiO2 наносили на установке вакуумного напыления ВУ-1А методом электронно-лучевого испарения при температуре подложки 150оС и имели показатели преломления 2,02 и 1,46 соответственно. Искажения спектральной чувствительности скорректированного фотодиода не превышают 5% При изготовлении фильтров необходимо учитывать, что характеристики конкретных фотодиодов могут отличаться друг от друга значением длины волны максимальной чувствительности, величина которой колеблется от 0,75 до 0,85 мкм. Поэтому для изготовления корректирующего фильтра для конкретного фотодиода надо измерить длину волны, соответствующую максимальной чувствительности, и в зависимости от нее выбрать исходную оптическую толщину напыляемых пленок из интервала 125-145 нм путем расчета или экспериментально.
Claims (1)
- КОРРЕКТИРУЮЩИЙ ФИЛЬТР, состоящий из подложки, прозрачной в рабочем диапазоне спектра, с нанесенным на ее поверхность многослойным покрытием, отличающийся тем, что, с целью повышения степени коррекции спектральной чувствительности кремниевого фотодиода в диапазоне спектра 0,75 0,95 мкм, подложка выполнена из материала с показателем преломления n 1,50 ± 0,05, а покрытие выполнено из пяти чередующихся слоев с показателями преломления nв 2,03 ± 0,03 и nн 1,45 ± 0,03, причем к подложке прилегает слой с высоким показателем преломления, а оптические толщины слоев, считая от подложки соответственно 3d, d, 2d, 4d, 2d, где d 135 ± 10 нм.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4483870 RU1598697C (ru) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | Корректирующий фильтр |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4483870 RU1598697C (ru) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | Корректирующий фильтр |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1598697C true RU1598697C (ru) | 1995-11-20 |
Family
ID=30441106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU4483870 RU1598697C (ru) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | Корректирующий фильтр |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1598697C (ru) |
-
1988
- 1988-09-16 RU SU4483870 patent/RU1598697C/ru active
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР N 1205093, кл. G 02B 5/28, 1984. * |
| Патент США N 4542959, кл. G 02B 5/22, 1985. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4783373A (en) | Article with thin film coating having an enhanced emissivity and reduced absorption of radiant energy | |
| US4158133A (en) | Filters for photo-detectors | |
| KR102569093B1 (ko) | 광 필터 | |
| CN108627889B (zh) | 一种锗基底宽光谱红外增透光学窗口 | |
| US4581280A (en) | Heat-blocking glass | |
| US3697153A (en) | Multilayer optical interference filter with wideband spectral transmission region and reduced ripple | |
| CN110146948A (zh) | 一种硅基底长波通红外滤光片及其制备方法 | |
| KR20220002321A (ko) | 광필터 | |
| US5554845A (en) | Method and apparatus to effectively eliminate optical interference structure in detector response | |
| JPS5860701A (ja) | 反射防止膜 | |
| EP1628146B1 (en) | Optical low pass filter | |
| US3936579A (en) | Absorbent film produced by vacuum evaporation | |
| RU1598697C (ru) | Корректирующий фильтр | |
| US8445299B2 (en) | Performance optically coated semiconductor devices and related methods of manufacture | |
| US8928102B2 (en) | Performance optically coated semiconductor devices and related methods of manufacture | |
| WO2022124030A1 (ja) | 光学フィルタ | |
| JP2566634B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| RU2778680C1 (ru) | Оптическое зеркало | |
| RU209445U1 (ru) | Оптическое зеркало | |
| US20230039431A1 (en) | Optical filter | |
| US4838628A (en) | Process and apparatus for production of an optical element | |
| JPS62237401A (ja) | 反射防止膜 | |
| JPH06138317A (ja) | 干渉フィルター及び干渉フィルター付受光素子 | |
| JPS5942283B2 (ja) | 色分解ストライプフイルタ | |
| JPH0720301A (ja) | 反射防止膜 |