RU1598697C

RU1598697C - Корректирующий фильтр

Info

Publication number: RU1598697C
Authority: RU
Inventors: Ю.М. Грязнов; А.Ф. Хохлов; И.Б. Яшанин; Н.М. Сонин; З.В. Халманова
Original assignee: Нижегородский научно-исследовательский приборостроительный институт "Кварц"
Priority date: 1988-09-16
Filing date: 1988-09-16
Publication date: 1995-11-20

Abstract

Изобретение относится к интерференционным фильтрам для коррекции спектральной чувствительности приемников излучения. Цель изобретения повысить степень коррекции спектральной чувствительности кремниевого фотодиода в диапазоне спектра 0,75 0,95 мкм. Корректирующий фильтр состоит из подложки и интерференционного покрытия. Подложка выполнена из материала, прозрачного в рабочем диапазоне спектра с показателем преломления n 1,50 ± 0,05. Интерференционное покрытие выполнено из пяти чередующихся слоев с показателями преломления n_в= 2,03± 0,03 и n_н= 1,45± 0,03. К подложке прилегает слой с высоким показателем преломления, а оптические толщины слоев, считая от подложки, 3d, d, 2d, 4d, 2d, где d 135 ± 10 нм. 3 ил.

Description

Изобретение относится к интерференционным фильтрам, применяемым для коррекции спектральной чувствительности приемников излучения.

Цель изобретения повышение степени коррекции спектральной чувствительности кремниевого фотодиода в диапазоне спектра 0,75-0,95 мкм.

На фиг.1 изображена конструкция фильтра; на фиг.2 спектральная характеристика фильтра; на фиг.3 изображены характеристики спектральной чувствительности фотодиода (кривая 2) и расчетной спектральной чувствительности системы корректирующий фильтр фотодиод.

Устройство практически реализовали путем напыления на подложку из стекла К8 с N_n 1,52 системы из пяти слоев ZrO₂/SiO₂ с d135 нм. Слои ZrO₂ и SiO₂ наносили на установке вакуумного напыления ВУ-1А методом электронно-лучевого испарения при температуре подложки 150^оС и имели показатели преломления 2,02 и 1,46 соответственно. Искажения спектральной чувствительности скорректированного фотодиода не превышают 5% При изготовлении фильтров необходимо учитывать, что характеристики конкретных фотодиодов могут отличаться друг от друга значением длины волны максимальной чувствительности, величина которой колеблется от 0,75 до 0,85 мкм. Поэтому для изготовления корректирующего фильтра для конкретного фотодиода надо измерить длину волны, соответствующую максимальной чувствительности, и в зависимости от нее выбрать исходную оптическую толщину напыляемых пленок из интервала 125-145 нм путем расчета или экспериментально.

Claims

КОРРЕКТИРУЮЩИЙ ФИЛЬТР, состоящий из подложки, прозрачной в рабочем диапазоне спектра, с нанесенным на ее поверхность многослойным покрытием, отличающийся тем, что, с целью повышения степени коррекции спектральной чувствительности кремниевого фотодиода в диапазоне спектра 0,75 0,95 мкм, подложка выполнена из материала с показателем преломления n 1,50 ± 0,05, а покрытие выполнено из пяти чередующихся слоев с показателями преломления n_в 2,03 ± 0,03 и n_н 1,45 ± 0,03, причем к подложке прилегает слой с высоким показателем преломления, а оптические толщины слоев, считая от подложки соответственно 3d, d, 2d, 4d, 2d, где d 135 ± 10 нм.