JPS60249551A - Wafer replacing zig - Google Patents
Wafer replacing zigInfo
- Publication number
- JPS60249551A JPS60249551A JP10686284A JP10686284A JPS60249551A JP S60249551 A JPS60249551 A JP S60249551A JP 10686284 A JP10686284 A JP 10686284A JP 10686284 A JP10686284 A JP 10686284A JP S60249551 A JPS60249551 A JP S60249551A
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- JP
- Japan
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- slit
- hanger
- cassette
- wafer
- casset
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- Pending
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、半導体素子の製造時に使用するシリコンウ
ェハの搬送治具である第1図に示す如きカセット(1)
と、第2図に示す如き石英ハンガーン)゛とを各々同時
に支持して、石英ハンガー(21に入っているウェハ(
3)をカセット(1)に、又はカセット(1)に入って
いるウェハ(3)を石英ハンガー(2)に移すウェハ入
替治具に関する。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to a cassette (1) as shown in FIG.
and a quartz hanger (21) as shown in FIG.
3) to a cassette (1) or a wafer (3) contained in a cassette (1) to a quartz hanger (2).
シリコン製のウェハ(2)を酸沼浄(特に高温での)を
行なう場合、第2図のような石英ハンガー(3)にウェ
ハ2)を入れて処理し、最終洗浄及び乾燥を第1図のよ
うなカセット(1)に入れかえて行なう。When performing acid swamp cleaning (especially at high temperatures) on silicon wafers (2), the wafers (2) are placed in a quartz hanger (3) as shown in Figure 2, and the final cleaning and drying is performed as shown in Figure 1. Replace it with a cassette (1) like this.
カセット(1)及び石英ハンガー(2)はともに対向す
る桟に並設した縦スリット(4)にウェハ(2+を嵌挿
支持して保持するものであるが、取扱いの便宜よりカセ
ット(1)はプラスチックスや木等から形成され、一方
石英ハンガー(3)はウェハ121の酸洗や酸化炉に8
ける加熱等に耐えるように石英ガラスより形成されてい
る。Both the cassette (1) and the quartz hanger (2) hold the wafer (2+) by inserting it into the vertical slits (4) arranged in parallel on the opposing crosspieces, but for convenience of handling, the cassette (1) is The quartz hanger (3) is made of plastic, wood, etc., while the quartz hanger (3)
It is made of quartz glass to withstand heating, etc.
而して酸洗等にカセット(1)をそのまま伝えないので
、ウェハ(2)の入替えが必要である。この相互間のウ
ェハC)の入れ換えをビンセットで行なうが、その作業
性か悪く、ウェハをピンセットで把むと、その部分の結
晶性が悪化し良品としての歩留まりを下げる。Since the cassette (1) cannot be directly transferred to pickling or the like, it is necessary to replace the wafer (2). This mutual exchange of wafers C) is carried out using a bin set, but the workability is poor, and if the wafer is grasped with tweezers, the crystallinity of that portion deteriorates, reducing the yield of good products.
C発明のH的」
この発明は石英ハンガーに入ったウェハをカセットに、
カセットに入ったウェハを石英バンカーに、ピンセット
を使わずに作業性よく移すことができるウェハ入替治具
を提供せんとする。"H aspect of C invention" This invention converts wafers in quartz hangers into cassettes.
To provide a wafer exchange jig capable of transferring wafers in a cassette to a quartz bunker with good workability without using tweezers.
この発明の要旨とするところは一方の側面及び下向に開
口するスリットを並設せる移流部のいずれか一方のスリ
ットの開口部に開口部が対応するようカセットを配置す
るカセットの配置部を形成すると共にいずれか他方のス
リットの開口部に開口部が対応するよう石英ハンガーを
配置する石英ハンガーの配置部を形成して成ることを特
徴とするウェハ入替治具である。The gist of this invention is to form a cassette arrangement section in which the cassette is arranged so that the opening corresponds to the opening of one of the slits in the advection section in which slits opening downward and on one side are arranged side by side. This wafer exchange jig is characterized in that a quartz hanger arrangement part is formed in which the quartz hanger is arranged so that the opening corresponds to the opening of either of the other slits.
以下この発明によるウェハ入替治具を提供せんとする。Hereinafter, a wafer exchange jig according to the present invention will be provided.
ウェハ入替治具は吊下げ把手(8)を上部に設けた箱型
をなす。The wafer exchange jig has a box shape with a hanging handle (8) provided at the top.
(5)は平板を並設してスリット(6)を形成せる移流
部である。(5) is an advection section in which flat plates are arranged side by side to form a slit (6).
移流部(5)のスリット(6)の−側面に対向するよう
連接してカセット(υを挿入する溝型の配置部(7)が
設けられている。A groove-shaped arrangement part (7) into which the cassette (υ) is inserted is provided in a connected manner so as to face the negative side of the slit (6) of the advection part (5).
移流部(5)のスリット(6jのド面に対向して石英バ
ンカー2)の配置m(9)が設けられている。Arrangement m (9) of the slit (quartz bunker 2 facing the do surface of 6j) of the advection section (5) is provided.
配置部(9)の上端1こ石英ハンガー(3)の把手01
)を枢支する切欠部q■が設けられている。Handle 01 of the quartz hanger (3) at the upper end of the placement part (9)
) is provided with a notch q■ that pivots.
而して石英ハンガー(3)は把手(li)を切欠部QO
)に遊嵌して吊下げられて配置部(9)に支持される。Therefore, the quartz hanger (3) has the handle (li) at the notch QO.
) and is supported by the arrangement part (9).
このとき石英ハンガー(3)の上方開口部は移流部(5
)のス′リット(61”F面に対向する。At this time, the upper opening of the quartz hanger (3) is the advection part (5).
) of the slit (61") facing the F side.
カセット山は横向きにして開口部を移流部(5)のスリ
ット(6)の−側面に対向して挿入配置される。The cassette stack is inserted sideways with the opening facing the -side of the slit (6) of the advection section (5).
、 而してカセット(1)及び石英ハンガー(3)を上
述の如くセットしたのちにウェハ入替治具を略90度回
転するとカセット(11又は石英ハンガー(3)のスリ
ット(4)に入っていたウェハ(2)は対向している移
流部(5)のスリット(6)を通ってそのまま対向して
石英ハンガー(3)又はカセット(1)のスリット(4
)に移入されるのである。Then, after setting the cassette (1) and quartz hanger (3) as described above, when the wafer exchange jig was rotated approximately 90 degrees, the wafer that was in the slit (4) of the cassette (11 or quartz hanger (3)) was rotated approximately 90 degrees. The wafer (2) passes through the slit (6) of the opposing advection section (5) and then passes through the slit (4) of the quartz hanger (3) or the cassette (1).
).
〔発明の効果」
以上の如くこの発明によるウェハ入替治具を使用すると
これにカセット(1)又は石英ハンガー(3)をセット
した状態で略90度かたむけるといずれか一方のスリッ
ト4)に保持されたウェハ(2)が移流部(5)のスリ
ット(6)にガイドされてすみやかに入れ替わるのであ
る。[Effects of the Invention] As described above, when the wafer exchange jig according to the present invention is used, when the cassette (1) or quartz hanger (3) is set thereon and turned approximately 90 degrees, the wafer exchange jig will be held in either one of the slits 4). The wafer (2) is guided by the slit (6) of the advection section (5) and is quickly replaced.
第1図乃至第5図に示すのはこの発明の=実施例を示す
図で、第1図乃至第3図は斜視図、第4図乃至1#36
図は側面図である。
(1)・・・カセット、(2j・・・ウェハ、(3;・
・・石英ハンガー、(4ン・・・スリット、(5)・・
・移流部、(6)・・・スリット、(7)・・・配置部
、(8)・・・把手、(9し・配@都、GO)・・・切
欠部、0】)・・・把手。
特許出願人
松下電工株式会社
代理人弁理士 竹 元 敏 丸
(ばか2名)
第1図
第2図Figures 1 to 5 are views showing embodiments of the present invention, Figures 1 to 3 are perspective views, and Figures 4 to 1#36.
The figure is a side view. (1)...Cassette, (2j...Wafer, (3;
...Quartz hanger, (4-inch...slit, (5)...
・Advection part, (6)...Slit, (7)...Arrangement part, (8)...Handle, (9shi・Arrangement@To,GO)...Notch part, 0])... ·handle. Patent applicant Matsushita Electric Works Co., Ltd. Patent attorney Toshimaru Takemoto (two idiots) Figure 1 Figure 2
Claims (1)
せる移流部のいずれか一方のスリットの開口部に開口部
が対応するようカセットを配置するカセットの配置部を
形成すると共にいずれか他方のスリットの開口部に開口
部が対応するよう石英ハンガーを配置する石英ハンガー
の配置部を形成して成ることを特徴とするウェハ入替治
具。(1) A cassette arrangement section is formed in which the cassette is arranged so that the opening corresponds to the opening of one of the slits of the advection section in which the slits extending downward are arranged side by side on one side, and the cassette is arranged so that the opening corresponds to the opening of one of the slits. A wafer exchange jig comprising a quartz hanger arrangement part for arranging the quartz hanger so that the opening corresponds to the opening of the slit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10686284A JPS60249551A (en) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | Wafer replacing zig |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10686284A JPS60249551A (en) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | Wafer replacing zig |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60249551A true JPS60249551A (en) | 1985-12-10 |
Family
ID=14444373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10686284A Pending JPS60249551A (en) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | Wafer replacing zig |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60249551A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6333630U (en) * | 1986-08-20 | 1988-03-04 |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP10686284A patent/JPS60249551A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6333630U (en) * | 1986-08-20 | 1988-03-04 |
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