JPS60244086A - 同軸型レ−ザ発振器 - Google Patents
同軸型レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS60244086A JPS60244086A JP9997484A JP9997484A JPS60244086A JP S60244086 A JPS60244086 A JP S60244086A JP 9997484 A JP9997484 A JP 9997484A JP 9997484 A JP9997484 A JP 9997484A JP S60244086 A JPS60244086 A JP S60244086A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- glow
- currents
- glow discharge
- silent
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、同軸型レーザ発振器の放電管内における放
電特性の改良に関するものである。
電特性の改良に関するものである。
従来この種の同軸型レーザ発振器としては、第１図に示
すものがあった。第１図は従来の同ｒＦ、１１型シーザ
発振器の構成を示す断面図である。菌に示す様に、ガラ
ス管等の誘電体で構成される放電管（１）内にレーザ媒
質ガス（２）を流し、放電、管（１）内に設けた１対の
電極（８Ａ）（８Ｂ）間には交流高定、圧電源（４）を
接続してグロー放電（５）を生成し、このグロー放電（
５）によりレーザ媒質ガス（２）を嘲起する。また、グ
ロー放電（５）の中心軸上に全反射炉（６）と部分透過
鏡（７）を対向して配設することによりレーザ発振を発
生し、このレーザ発振を部分透過管（７） ＩＩＩより
レーザ光（８）として外部に出力する。
すものがあった。第１図は従来の同ｒＦ、１１型シーザ
発振器の構成を示す断面図である。菌に示す様に、ガラ
ス管等の誘電体で構成される放電管（１）内にレーザ媒
質ガス（２）を流し、放電、管（１）内に設けた１対の
電極（８Ａ）（８Ｂ）間には交流高定、圧電源（４）を
接続してグロー放電（５）を生成し、このグロー放電（
５）によりレーザ媒質ガス（２）を嘲起する。また、グ
ロー放電（５）の中心軸上に全反射炉（６）と部分透過
鏡（７）を対向して配設することによりレーザ発振を発
生し、このレーザ発振を部分透過管（７） ＩＩＩより
レーザ光（８）として外部に出力する。
従来の同軸型レーザ発振器はｐ）上の様に構成されてお
り、１対の電１１（３Ａ３ （３Ｂ）間の間隔が比較的
に離れているため、上記したグロー放電（５）を初期に
発生することは非常に困難である。そして。
り、１対の電１１（３Ａ３ （３Ｂ）間の間隔が比較的
に離れているため、上記したグロー放電（５）を初期に
発生することは非常に困難である。そして。
グロー放電（５）による放電電流が少なり時にはグロー
放電（５）が不安定とカリ、時には消失してしまうこと
があり、このため、放電電流の可変範囲が狭い等の欠点
があった。また、交流高電圧電源（４）は約２０〜８５
ＫＶという非常に高い電圧であるだめ、グロー放電（５
）の放電市：流全亮速度で制御することは極めて困備で
あるなどの欠点があった。
放電（５）が不安定とカリ、時には消失してしまうこと
があり、このため、放電電流の可変範囲が狭い等の欠点
があった。また、交流高電圧電源（４）は約２０〜８５
ＫＶという非常に高い電圧であるだめ、グロー放電（５
）の放電市：流全亮速度で制御することは極めて困備で
あるなどの欠点があった。
この発明は、上記の様々従来のものの欠点を改善する目
的でなさねたもので、ガラス管等の誘電体で構成される
放電管内に、レーザ媒質ガスを流し、前記放電管内に設
けた１対の電極間に交流高電圧を印加し、グロー放電を
生成することにより前記シー４媒質ガスを励起し、レー
ザ発振を行う同軸型レーザ発振器において、前記放電管
の外側に１対の補助１ｊＡ’樺を設け、この補助品１樺
と前記電極との間に交流電圧を印加し、無声放電、を生
Ｗする様にして成る構成を有し、グロー放電の初期の発
生を容易となし、安定な放電をするだめの放電電流の可
変範囲が広いグロー放電を生成することができる同軸型
レーザ発振器を提供するものである。
的でなさねたもので、ガラス管等の誘電体で構成される
放電管内に、レーザ媒質ガスを流し、前記放電管内に設
けた１対の電極間に交流高電圧を印加し、グロー放電を
生成することにより前記シー４媒質ガスを励起し、レー
ザ発振を行う同軸型レーザ発振器において、前記放電管
の外側に１対の補助１ｊＡ’樺を設け、この補助品１樺
と前記電極との間に交流電圧を印加し、無声放電、を生
Ｗする様にして成る構成を有し、グロー放電の初期の発
生を容易となし、安定な放電をするだめの放電電流の可
変範囲が広いグロー放電を生成することができる同軸型
レーザ発振器を提供するものである。
ｗ下、この発明の実施例を図につｂて説明する。
第２図はこの発明の一実施例である同軸型レーザ発振器
の構成を示す断面図で、第１ｍと同一部分は同一符号を
用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する。図に
示す様に、（９Ａ） （９Ｂ）は補助Ｖ酒であり、この
補助品％（９Ａ） （９Ｂ）は、放電管（］）の外側に
密着（，２て設けられる。補助電極（９Ａ） （９Ｂ）
との間に、交流電源０１より交流高電圧を印加すること
により斬声％（電Ｑ１）を生能、−する。
の構成を示す断面図で、第１ｍと同一部分は同一符号を
用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する。図に
示す様に、（９Ａ） （９Ｂ）は補助Ｖ酒であり、この
補助品％（９Ａ） （９Ｂ）は、放電管（］）の外側に
密着（，２て設けられる。補助電極（９Ａ） （９Ｂ）
との間に、交流電源０１より交流高電圧を印加すること
により斬声％（電Ｑ１）を生能、−する。
この無声放電Ｏｐは、レーザ媒質ガス（２）を予備励起
する作用がある。グロー放電（５）は、予備励起された
レーザ媒質ガス（２）内では放電電圧が下り、グロ＝ｔ
ｉ４ｆ！（５）の初期の発生も容易であり、これにより
。
する作用がある。グロー放電（５）は、予備励起された
レーザ媒質ガス（２）内では放電電圧が下り、グロ＝ｔ
ｉ４ｆ！（５）の初期の発生も容易であり、これにより
。
安定し７たグロー放電（５）が得らねる。才だ、グロー
放ｗ（５）の放電電流を少々くしても、不安定になる電
流はこの種の従来側のものに比べると約１／〜１、／８
似下であり、広範Ｉ用にわたりグロー放電（５）の放電
電流をｙ化させることができる。
放ｗ（５）の放電電流を少々くしても、不安定になる電
流はこの種の従来側のものに比べると約１／〜１、／８
似下であり、広範Ｉ用にわたりグロー放電（５）の放電
電流をｙ化させることができる。
一方、交流電源顛が出力する無声）ｊＩｙ電０】）の電
流を、第８図（へ）に示す様に変調することにより、第
８図（ハ）に示す様に、グロー放電（５）の放電電流を
高速室で制御することができ、捷た。第３図ｒｅ）に示
す様に、レーザ光（８）の出力は、グロー ｊ＃ ｍＵ
（！ｉ）の強度に応シたパルヌｌ／−→ド出力とする
ことができる。
流を、第８図（へ）に示す様に変調することにより、第
８図（ハ）に示す様に、グロー放電（５）の放電電流を
高速室で制御することができ、捷た。第３図ｒｅ）に示
す様に、レーザ光（８）の出力は、グロー ｊ＃ ｍＵ
（！ｉ）の強度に応シたパルヌｌ／−→ド出力とする
ことができる。
また、第４簡及び第５図に示すように交流高石°、圧電
源（４）を電１１ｒＢＡ）（３Ｂ） と、補助［極（９
Ａ）（９Ｂ）に共通に印加１−７でもよい。
源（４）を電１１ｒＢＡ）（３Ｂ） と、補助［極（９
Ａ）（９Ｂ）に共通に印加１−７でもよい。
寸た。上記実７Ａ例において、無声放電（３＋）によっ
て予備励起することに、］： ｊｌ、ソー−＋１″ガス
ガヌ（２）の圧力を高めても安定なグローｌｒ電（５）
を維持することかでｔ！ｒ乙。このため、同一の管長を
有する放′置管（１）において、との発明の上記秩（旅
回ｅこよｈば。
て予備励起することに、］： ｊｌ、ソー−＋１″ガス
ガヌ（２）の圧力を高めても安定なグローｌｒ電（５）
を維持することかでｔ！ｒ乙。このため、同一の管長を
有する放′置管（１）において、との発明の上記秩（旅
回ｅこよｈば。
大きな於胃電力を投入することが１き、小型で大出力の
同軸型レーザ発振器を構成することが可能となる。
同軸型レーザ発振器を構成することが可能となる。
また文論放電は直流放電のように高圧整流１ｍ路平滑回
路が不要でちり′モ、源が安ｆｉＩｉにできる特徴があ
る。
路が不要でちり′モ、源が安ｆｉＩｉにできる特徴があ
る。
この発明は以上説明した様に、同軸型レーザ発振器にお
いて、放電管の外側に１対の補助電極を設け、この補助
電型の間に生成する無声放電によジ、１／−ザ媒質ガス
を予備励起する様に構成したので、グロー放電の初期の
発生を容ｙ、となし、安定性をもって広範囲にグロー放
電の放電電流を変化することができ、また、無声放電の
強度を変調することにより、レーザ光出力の高速度の応
答ができる様にした同軸型１ノ−ザ発撮器が得られると
いう優れた効果を奏−４−るものである。
いて、放電管の外側に１対の補助電極を設け、この補助
電型の間に生成する無声放電によジ、１／−ザ媒質ガス
を予備励起する様に構成したので、グロー放電の初期の
発生を容ｙ、となし、安定性をもって広範囲にグロー放
電の放電電流を変化することができ、また、無声放電の
強度を変調することにより、レーザ光出力の高速度の応
答ができる様にした同軸型１ノ−ザ発撮器が得られると
いう優れた効果を奏−４−るものである。
第１し１は従来の同軸型】／−ザ奈捗器の構成を示す断
面図、第２酊はこの発明の一実施例である同軸型レーザ
発振器の構ｈｘを示す断面図、第８図（ａ）ないしく０
）は、との発明の実施例である同軸型１ノーザ卑俵器の
ｑｉ／１作＃酵様を説明するだめの各部の波形を示すタ
イムチャー）１：！Ｉ、第４図はこの発明の他の実施例
を示す図、第５図は第４図のＶ−Ｖ断面いである。 図中、（１）は放電管、（２）はレーザ媒質ガス、（３
Ａ）（８Ｂ）は１対の電極、（４）は交流高電圧電源、
（５）はグロー放電、（６）は全反射鏡、（７）は部分
透過鏡、（８）はレーザ光、 （９Ａ） （９Ｂ）は補
助型棒、００は交流電源、（１１）は無声放電である なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 維 （７） 第３図
面図、第２酊はこの発明の一実施例である同軸型レーザ
発振器の構ｈｘを示す断面図、第８図（ａ）ないしく０
）は、との発明の実施例である同軸型１ノーザ卑俵器の
ｑｉ／１作＃酵様を説明するだめの各部の波形を示すタ
イムチャー）１：！Ｉ、第４図はこの発明の他の実施例
を示す図、第５図は第４図のＶ−Ｖ断面いである。 図中、（１）は放電管、（２）はレーザ媒質ガス、（３
Ａ）（８Ｂ）は１対の電極、（４）は交流高電圧電源、
（５）はグロー放電、（６）は全反射鏡、（７）は部分
透過鏡、（８）はレーザ光、 （９Ａ） （９Ｂ）は補
助型棒、００は交流電源、（１１）は無声放電である なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 維 （７） 第３図
Claims (2)
- （１） ガラス管等の誘電８体で構成される放電１管内
にレーザ媒質ガスを流すと共に、前記放電管内に設けた
１対の″通ｔ＠間（（変流高電圧を印加し、グロー放電
を生成することにより前記レーザ媒質ガスをｌａ句して
レーザ発振を行う同軸型レーザ発振器において、ｔａｉ
ｌ記放電管の外側に１対の補助電極を設け、この補助電
極と前記電極との間に交流電圧を印加し１．無声放電を
生成することを特徴とする同軸型レーザ発振器。 - （２）無声放電は、その強度を変調することによりグロ
ー放電の強度を制御することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の同軸型レーザ介振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9997484A JPS60244086A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 同軸型レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9997484A JPS60244086A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 同軸型レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60244086A true JPS60244086A (ja) | 1985-12-03 |
| JPH0239871B2 JPH0239871B2 (ja) | 1990-09-07 |
Family
ID=14261634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9997484A Granted JPS60244086A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 同軸型レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60244086A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0294492A1 (en) * | 1986-12-23 | 1988-12-14 | Fanuc Ltd. | High-frequency discharge-excited laser unit |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3777279A (en) * | 1972-03-30 | 1973-12-04 | United Aircraft Corp | Deposition of power in a moving gas stream by electric discharge means |
| JPS56131985A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Amplifying device for laser beam |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP9997484A patent/JPS60244086A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3777279A (en) * | 1972-03-30 | 1973-12-04 | United Aircraft Corp | Deposition of power in a moving gas stream by electric discharge means |
| JPS56131985A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Amplifying device for laser beam |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0294492A1 (en) * | 1986-12-23 | 1988-12-14 | Fanuc Ltd. | High-frequency discharge-excited laser unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0239871B2 (ja) | 1990-09-07 |
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