JPS60243395A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS60243395A JPS60243395A JP60094498A JP9449885A JPS60243395A JP S60243395 A JPS60243395 A JP S60243395A JP 60094498 A JP60094498 A JP 60094498A JP 9449885 A JP9449885 A JP 9449885A JP S60243395 A JPS60243395 A JP S60243395A
- Authority
- JP
- Japan
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- rotor
- tapered
- tapered rotor
- exhaust
- exhaust port
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- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 241000219122 Cucurbita Species 0.000 description 1
- 235000009852 Cucurbita pepo Nutrition 0.000 description 1
- 241001442495 Mantophasmatodea Species 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、低真空領域でも優れた排気迷電性能を発揮し
得るターボ分子−ポンプに関するものである。
得るターボ分子−ポンプに関するものである。
［従来の技術］
ターボ分子ポンプは、傾きを有するロータ友（回転翼）
とそれと逆向きの傾きを有するステータ翼（固定翼）と
を交ｒＩ［に配置して構成される翼車群により、気体分
ｔ・を機械的に吹き飛ばして排気するもので、超高真空
を達成できるのが特徴である。
とそれと逆向きの傾きを有するステータ翼（固定翼）と
を交ｒＩ［に配置して構成される翼車群により、気体分
ｔ・を機械的に吹き飛ばして排気するもので、超高真空
を達成できるのが特徴である。
ところが、この種ポンプではその翼車群での圧縮比が低
いことから、動作特性として低真空領域で排気性能が著
しく低ドする不都合がある。この対策として、ロータ翼
とステータ翼の段数を増加して対処することも試みられ
るが、この場合では１ｒ−ＩＪ増から高速回転に支障を
きたしたり、コスト的に不利となる問題がある。このた
め、従来のターボ分子ポンプでは、ｉｏ−’〜ｌ Ｏ”
Ｔｏｒｒ程変の真空度からその排気速度が急激に悪化
し、０．１Ｔｏｒｒ程度ではその抽気速度が殆ど無に等
しくなっているのか実情である。
いことから、動作特性として低真空領域で排気性能が著
しく低ドする不都合がある。この対策として、ロータ翼
とステータ翼の段数を増加して対処することも試みられ
るが、この場合では１ｒ−ＩＪ増から高速回転に支障を
きたしたり、コスト的に不利となる問題がある。このた
め、従来のターボ分子ポンプでは、ｉｏ−’〜ｌ Ｏ”
Ｔｏｒｒ程変の真空度からその排気速度が急激に悪化
し、０．１Ｔｏｒｒ程度ではその抽気速度が殆ど無に等
しくなっているのか実情である。
１発明か解決しようとする問題点］
本発明は、かかる５情にｈｌ」シてなされたもので、そ
の４Ａ気１１側に低ｌ′Ｌ空領域でも有効なる括気速度
をり−える機構を付加することにより、排気速度曲線を
より低真空側にまで延長した、即ち低真空域でも７ｑ４
ｉｎ空域と同等の損気速度を発揮し得るようにしたター
ボ分子ポンプを提供することを目的としている。
の４Ａ気１１側に低ｌ′Ｌ空領域でも有効なる括気速度
をり−える機構を付加することにより、排気速度曲線を
より低真空側にまで延長した、即ち低真空域でも７ｑ４
ｉｎ空域と同等の損気速度を発揮し得るようにしたター
ボ分子ポンプを提供することを目的としている。
［問題、Ｃ，′！を解決するための丁一段］このような
目的を達成するため６本発明は、吸気１−１側にロータ
翼とステータ翼を交ｆｆｌ’に配置してなる契Φ群を具
備し、排気口側に該排気ＩＺＩ （ｌに向けて拡径する
テーパロータを具備してなること（第１のａ ＊１＞と
、これに加えて前記テーパロータ外周もしくは該テーパ
ロータを囲繞する周壁内周の少なくとも一力にテーパロ
ータ稜線方向の溝を設けたこと（第２の発１！ｉｔ）、
または前記テーノくロータ外周もしくは該テーパロータ
を囲繞する周壁内周の少なくとも一力に、その−側の溝
壁がテーパロータに対する稜線方向面をなしこれと対向
する溝壁がテーパロータに対するねじれ面をなす溝を設
けたこと（第３の発明）を特徴としている。
目的を達成するため６本発明は、吸気１−１側にロータ
翼とステータ翼を交ｆｆｌ’に配置してなる契Φ群を具
備し、排気口側に該排気ＩＺＩ （ｌに向けて拡径する
テーパロータを具備してなること（第１のａ ＊１＞と
、これに加えて前記テーパロータ外周もしくは該テーパ
ロータを囲繞する周壁内周の少なくとも一力にテーパロ
ータ稜線方向の溝を設けたこと（第２の発１！ｉｔ）、
または前記テーノくロータ外周もしくは該テーパロータ
を囲繞する周壁内周の少なくとも一力に、その−側の溝
壁がテーパロータに対する稜線方向面をなしこれと対向
する溝壁がテーパロータに対するねじれ面をなす溝を設
けたこと（第３の発明）を特徴としている。
［実施例］
以ｔ、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
まず第１図、第２図は第１の発明（特定発明）に係るタ
ーボ分子ポンプの主要部の構成を示す。
ーボ分子ポンプの主要部の構成を示す。
このポンプは、その吸気口Ａ側にロータ２とステータ３
とを組合せてなる翼車群を具備する一方、その排気口Ｂ
側に別体のテーパロータ（回転子）４を具備してなる。
とを組合せてなる翼車群を具備する一方、その排気口Ｂ
側に別体のテーパロータ（回転子）４を具備してなる。
すなわち、図中４；方に位置する翼車群は、外周から所
定の傾斜角をもって放射状にロータ翼２ａを突設しかつ
その基盤１侶２ｂを中心に位置する駆動軸１に外嵌バー
人してＩ績駆動輛１１−に多段に固着されるロータ２と
、このロータ２のロータχ２ａと逆向きの傾斜イ（１の
ステータ翼３ａをイｉしかつ該ロータ２を四本たする外
ｌ剤からその基端部３ｂを外枠５の内周面に段積みした
スペーサ６．６に挟持させて位置決め（一定されるステ
ータ３とを、両者の翼２ａ、３ａを交１ｉ １，７配置
して構成されている。かかる又車４Ｉｔよ、！ｔ！Ｉ
ｉ尼ロータ翼２ａを駆動軸ｌとともし＝高速ｌ’ｊｉ１
転すると、気体分子−に衿■突してこれに軸方向の運動
１ｍ）をり−え、前記ステータ翼３ａと協楢作１１４の
Ｆにその一端の吸気ｕＡから他端側のＭ気１１Ｂに１句
ζすてｎ＋制的に流れを発生し、損気する作Ｉｎを′ン
碕むことになる。
定の傾斜角をもって放射状にロータ翼２ａを突設しかつ
その基盤１侶２ｂを中心に位置する駆動軸１に外嵌バー
人してＩ績駆動輛１１−に多段に固着されるロータ２と
、このロータ２のロータχ２ａと逆向きの傾斜イ（１の
ステータ翼３ａをイｉしかつ該ロータ２を四本たする外
ｌ剤からその基端部３ｂを外枠５の内周面に段積みした
スペーサ６．６に挟持させて位置決め（一定されるステ
ータ３とを、両者の翼２ａ、３ａを交１ｉ １，７配置
して構成されている。かかる又車４Ｉｔよ、！ｔ！Ｉ
ｉ尼ロータ翼２ａを駆動軸ｌとともし＝高速ｌ’ｊｉ１
転すると、気体分子−に衿■突してこれに軸方向の運動
１ｍ）をり−え、前記ステータ翼３ａと協楢作１１４の
Ｆにその一端の吸気ｕＡから他端側のＭ気１１Ｂに１句
ζすてｎ＋制的に流れを発生し、損気する作Ｉｎを′ン
碕むことになる。
一力、図中ドカに位置するテーノくロータ４ｔ±、排気
ＬＩ Ｂ側に向けて拡径する截頭１」」錐体力１らなり
、その］一端を前記翼車群のド端に隣１妥せしめて駆動
軸ｌにＮｌ！設されている。このテーパロータ４はその
中心部を駆動軸１カ八頁通し、前Ｊ−氾フロータととも
に高速回転されるように該駆動軸１にＩＪ−１’ｉ：さ
れている。−力、このテーノくロータ４の外周は、前記
外枠す内に内嵌状に配設した外ｔｉ’Ｗ ７の内面周壁
に囲繞され、該周壁との間に前記？／＝ Ｉｐｍの空間
と連通ずる間隙通路８を形成して６する。なお、本発明
で用いるテーノくロータ４の稜線カーその軸線となす傾
斜角Ｏは、必要に応し約３〜５０ ＨＨの広範囲にわた
り調整１丁能である。
ＬＩ Ｂ側に向けて拡径する截頭１」」錐体力１らなり
、その］一端を前記翼車群のド端に隣１妥せしめて駆動
軸ｌにＮｌ！設されている。このテーパロータ４はその
中心部を駆動軸１カ八頁通し、前Ｊ−氾フロータととも
に高速回転されるように該駆動軸１にＩＪ−１’ｉ：さ
れている。−力、このテーノくロータ４の外周は、前記
外枠す内に内嵌状に配設した外ｔｉ’Ｗ ７の内面周壁
に囲繞され、該周壁との間に前記？／＝ Ｉｐｍの空間
と連通ずる間隙通路８を形成して６する。なお、本発明
で用いるテーノくロータ４の稜線カーその軸線となす傾
斜角Ｏは、必要に応し約３〜５０ ＨＨの広範囲にわた
り調整１丁能である。
このポンプの作動について説明すると、Ｉｔ！Ｉ ｉ妃
駆動軸ｌを回転駆動して前記ロータ２とテーノくロータ
４とを高速回転すると、前述のように、吸気口Ａからと
り込まれた気体外Ｃが強制的に翼！Ｅ群を通過され、次
いで目り記テーノくロータ４外周の１）１１隙通路８に
誘導される。しかして、ここにおしλて低真空１１￥で
は粘性流が生起されるとともに、 Ａｋ Ｆ、＋性流が
高速回転するテーノくロータ４の表＋（＋ｉに弓Ｉき込
まれて高速回転し、このさい発生する強ツノな遠＋６カ
の作用で軸心方向に大きな排気速１隻力くｌ−えられる
ことになる。したかって、このポンプでｌよｌｊ！Ｉ
ｖＮＮ型車群排気性能が低トする低真空域で作動しても
、このテーパロータ４が１−分大きな排気速度を確保す
るものとなる。
駆動軸ｌを回転駆動して前記ロータ２とテーノくロータ
４とを高速回転すると、前述のように、吸気口Ａからと
り込まれた気体外Ｃが強制的に翼！Ｅ群を通過され、次
いで目り記テーノくロータ４外周の１）１１隙通路８に
誘導される。しかして、ここにおしλて低真空１１￥で
は粘性流が生起されるとともに、 Ａｋ Ｆ、＋性流が
高速回転するテーノくロータ４の表＋（＋ｉに弓Ｉき込
まれて高速回転し、このさい発生する強ツノな遠＋６カ
の作用で軸心方向に大きな排気速１隻力くｌ−えられる
ことになる。したかって、このポンプでｌよｌｊ！Ｉ
ｖＮＮ型車群排気性能が低トする低真空域で作動しても
、このテーパロータ４が１−分大きな排気速度を確保す
るものとなる。
なお、テーパロータ４から粘性流に対しより大きな作用
力を授与せしめる１」的で、テーパロータ４の表面に、
第３図のように小突起ａを多数設けたり、あるいは第４
図のようにローレット面のような粗ｆｆ＋ｉ ｂを形成
することもＥｉｆ能である。
力を授与せしめる１」的で、テーパロータ４の表面に、
第３図のように小突起ａを多数設けたり、あるいは第４
図のようにローレット面のような粗ｆｆ＋ｉ ｂを形成
することもＥｉｆ能である。
次に、上記第１の発明をさらに改良した第２乃至第３の
発明の詳細な説明する。
発明の詳細な説明する。
まず、第５図、第６図は第２の発明に係るターボ分１−
ポンプの主要部の構成を示し、テーパロータ４の外周に
さらにその稜線方向の溝９を適数条設けるようにしたも
のである。しかして、このものでは溝９が免東群から排
気【コＢへの排気通路を形成することになるとともに、
該溝９の回転方向に対向する溝壁９ａか有効に粘性流に
回転力を授す−して、その遠心排気特性を増強するもの
となる。この場合、圧縮比を高める目的で図示例のよう
にその溝深さを排気口Ｂ側に向けて徐々に浅くしてもよ
い。
ポンプの主要部の構成を示し、テーパロータ４の外周に
さらにその稜線方向の溝９を適数条設けるようにしたも
のである。しかして、このものでは溝９が免東群から排
気【コＢへの排気通路を形成することになるとともに、
該溝９の回転方向に対向する溝壁９ａか有効に粘性流に
回転力を授す−して、その遠心排気特性を増強するもの
となる。この場合、圧縮比を高める目的で図示例のよう
にその溝深さを排気口Ｂ側に向けて徐々に浅くしてもよ
い。
なお、この溝９はテーパロータ４の外周に設けても、第
７図のようにこれを囲繞する前記外す１１７の内面に設
けても同効であるから、少なくともその一力に設けるよ
うにすればよい７ また、第８図は前記溝９の変形例をボし、テーパロータ
４のに下端を稜線方向に結ぶ溝９の中途部を屈折させて
外観略くの字形の溝ｉｏを設けるようにしたものである
。
７図のようにこれを囲繞する前記外す１１７の内面に設
けても同効であるから、少なくともその一力に設けるよ
うにすればよい７ また、第８図は前記溝９の変形例をボし、テーパロータ
４のに下端を稜線方向に結ぶ溝９の中途部を屈折させて
外観略くの字形の溝ｉｏを設けるようにしたものである
。
次いで、第９図、第１Ｏ図は第３の発明に係るターボ分
子ポンプの１−？部構成を、Ｉペシている。このｉ３の
発明は、先の稜線方向の溝に片側末ν、がりをもたせた
ような溝１１を適数条前記テーパロータ４に設けてなる
ものである。すなわち、ＩＭｌｌは第１０図のように、
その−側の溝壁１１ａかテーパロータ４に対する稜線方
向面をなし、これと対向する溝壁１１ｂがテーパロータ
４に対するねしれ而をなすものである。そして、この溝
ｌｌは通常ねじれ面をなす溝壁ｌｌｂを回転方向に対向
せしめるとともに、排気ｎ Ｂ側で溝幅が拡大するよう
に設けられ、かつ排気「＋Ｂ側に向けて徐々に溝深さか
浅くなるように成形される。
子ポンプの１−？部構成を、Ｉペシている。このｉ３の
発明は、先の稜線方向の溝に片側末ν、がりをもたせた
ような溝１１を適数条前記テーパロータ４に設けてなる
ものである。すなわち、ＩＭｌｌは第１０図のように、
その−側の溝壁１１ａかテーパロータ４に対する稜線方
向面をなし、これと対向する溝壁１１ｂがテーパロータ
４に対するねしれ而をなすものである。そして、この溝
ｌｌは通常ねじれ面をなす溝壁ｌｌｂを回転方向に対向
せしめるとともに、排気ｎ Ｂ側で溝幅が拡大するよう
に設けられ、かつ排気「＋Ｂ側に向けて徐々に溝深さか
浅くなるように成形される。
なお、この場合でも図ボしていないか、溝１１はテーパ
ロータ４もしくは前記外筒７の少なくとも一方に設けれ
ばよい。
ロータ４もしくは前記外筒７の少なくとも一方に設けれ
ばよい。
以トに述へた、テーパロータ４に特定の溝を設けるよう
にした第２．第３の発明に係るものでは、基本的には、
先の第１の発明について説明したように、テーパロータ
４の遠心力付加作用で軸流方向に大きな朔気速度が発揮
される上に、それらの各溝の存在かこの作用を増強した
りあるいは相乗的排気作用を営むことになって、低真空
域でも良好な排気速度を発揮せしめることかり使となる
。具体的には、これらの構成をＪＬ備せしめたものでは
、Ｉ Ｏ−’〜ｌ Ｏ−’ Ｔｏｒｒ桿度の真空変でも
ｌＯ−’ Ｔｏｒｒ以トの真空庶と同村瓜の排気速度が
確保され、０．Ｉ Ｔｏｒｒ付近でもある程度の排気速
度を持続する。したがって、このポンプを使用する場合
には、従来のように、真空補助のために多段に補助ポン
プを接続する必要はなくなり、それ故排気システムの簡
話什、とコストダウンが図られる。なお、このテーパロ
ータ４を設けることによる重量増やコスト増の不利は括
気速度性壱の向Ｉ−より１−分に袖昨でさる。
にした第２．第３の発明に係るものでは、基本的には、
先の第１の発明について説明したように、テーパロータ
４の遠心力付加作用で軸流方向に大きな朔気速度が発揮
される上に、それらの各溝の存在かこの作用を増強した
りあるいは相乗的排気作用を営むことになって、低真空
域でも良好な排気速度を発揮せしめることかり使となる
。具体的には、これらの構成をＪＬ備せしめたものでは
、Ｉ Ｏ−’〜ｌ Ｏ−’ Ｔｏｒｒ桿度の真空変でも
ｌＯ−’ Ｔｏｒｒ以トの真空庶と同村瓜の排気速度が
確保され、０．Ｉ Ｔｏｒｒ付近でもある程度の排気速
度を持続する。したがって、このポンプを使用する場合
には、従来のように、真空補助のために多段に補助ポン
プを接続する必要はなくなり、それ故排気システムの簡
話什、とコストダウンが図られる。なお、このテーパロ
ータ４を設けることによる重量増やコスト増の不利は括
気速度性壱の向Ｉ−より１−分に袖昨でさる。
なお、 ’ １１ ＞７Ｘ実施例のものでは、各ロータ
２および截頭円錐体からなるテーパロータ４を別体のも
ので形成する場合を小しているが、これらは勿論一体育
として成形してもよいことを旧記する。
２および截頭円錐体からなるテーパロータ４を別体のも
ので形成する場合を小しているが、これらは勿論一体育
として成形してもよいことを旧記する。
［効果］
本発明は、以Ｖ−に述へた構成を具備するものであるか
ら、低真空域でも優れた抽気速度を発揮する所期し１的
のターボ分子−ポンプを提供することができたものであ
る。
ら、低真空域でも優れた抽気速度を発揮する所期し１的
のターボ分子−ポンプを提供することができたものであ
る。
ｆＪＳ１図は第１の発１１に係るターボ分子ポンプの実
施例を示す要部断面図であり、第２図はそのテーパロー
タをボす斜視図である。第３図と第４図はテーパロータ
の変形例をボす各斜視図である。第５図は第２図の発明
に係るターボ分子ポンプの実施例を示す要部断面図であ
り、第６図はそのテーパロータを示す斜視図である。第
７図は第５図のものの変形支流例を余す一部断面図であ
り、第８図はテーバロータ４の変形例を示す斜視図であ
る。第９図は第３の発明に係るターホ分子ポンプの実施
例をポす背部断面図であり、ｉｊｓ ｌ ０図はそのテ
ーバロータをボす斜視図である。 ｌ・・・駆動軸 ２ａ・・・ロータ児 ３ａ−・・ステータ宛 ４・・・テーバロータ ７・・・外筒 ９．１０．１１・・１１溝 Ａ−・争吸気【Ｉ Ｂ−・１１排気１１ 代理人 弁理士 赤澤−博 第１図 第３図 第４図 第７図 第８図 第９図
施例を示す要部断面図であり、第２図はそのテーパロー
タをボす斜視図である。第３図と第４図はテーパロータ
の変形例をボす各斜視図である。第５図は第２図の発明
に係るターボ分子ポンプの実施例を示す要部断面図であ
り、第６図はそのテーパロータを示す斜視図である。第
７図は第５図のものの変形支流例を余す一部断面図であ
り、第８図はテーバロータ４の変形例を示す斜視図であ
る。第９図は第３の発明に係るターホ分子ポンプの実施
例をポす背部断面図であり、ｉｊｓ ｌ ０図はそのテ
ーバロータをボす斜視図である。 ｌ・・・駆動軸 ２ａ・・・ロータ児 ３ａ−・・ステータ宛 ４・・・テーバロータ ７・・・外筒 ９．１０．１１・・１１溝 Ａ−・争吸気【Ｉ Ｂ−・１１排気１１ 代理人 弁理士 赤澤−博 第１図 第３図 第４図 第７図 第８図 第９図
Claims (3)
- （１）吸気「Ｊ側にロータ翼とステータ翼を交カーに配
置してなる翼車群を具備し、排気１１偏に該排気口側に
向けて拡径するテーパロータを具備してなることを特徴
とするターボ分子−ポンプ。 - （２）吸気口側にロータ翼とステータ翼を交互に配置し
てなる翼車群を具備し、排気口側に該排気口側に向けて
拡径するテーパロータを具備してなるとともに、ｒｊｉ
ｊ記テーパロータ外周もしくは該テーパロータを囲繞す
る周壁内周の少なくとも一方にテーバロータ稜線方向の
溝を設けたことを特徴とするターボ分子−ポンプ。 - （３）吸気口側にロータ翼とステータ翼を交互に配置し
てなる翼！１（群を具備し、排気■コ側に該排気口側に
向けて拡径するテーパロータをＸ＠してなるとともに、
前記テーパロータ外周もしくは該テーパロータを囲繞す
る周壁内周の少なくとも一方にその一側の溝壁かテーパ
ロータに対する稜線方向面をなしこれと対向するｔＭ
’ｉｆがテーパロータに対するねしれ面をなす溝を設け
たことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60094498A JPS60243395A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60094498A JPS60243395A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ターボ分子ポンプ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59064692 Division |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60243395A true JPS60243395A (ja) | 1985-12-03 |
Family
ID=14111970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60094498A Pending JPS60243395A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60243395A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124396U (ja) * | 1988-02-17 | 1989-08-24 | ||
| EP4155549A1 (de) * | 2022-11-14 | 2023-03-29 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe mit verbessertem saugvermögen der holweck-pumpstufe |
| EP4118339A4 (en) * | 2020-04-15 | 2023-10-11 | Kin-Chung Ray Chiu | UNSEALED VACUUM PUMP WITH SUPERSONIC ROTARY BLADELESS GAS DEFLECTOR |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP60094498A patent/JPS60243395A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124396U (ja) * | 1988-02-17 | 1989-08-24 | ||
| EP4118339A4 (en) * | 2020-04-15 | 2023-10-11 | Kin-Chung Ray Chiu | UNSEALED VACUUM PUMP WITH SUPERSONIC ROTARY BLADELESS GAS DEFLECTOR |
| EP4155549A1 (de) * | 2022-11-14 | 2023-03-29 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe mit verbessertem saugvermögen der holweck-pumpstufe |
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