JPS60240965A - 冷凍機付クライオスタツトの熱侵入防止方法及び装置 - Google Patents
冷凍機付クライオスタツトの熱侵入防止方法及び装置Info
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- JPS60240965A JPS60240965A JP9640184A JP9640184A JPS60240965A JP S60240965 A JPS60240965 A JP S60240965A JP 9640184 A JP9640184 A JP 9640184A JP 9640184 A JP9640184 A JP 9640184A JP S60240965 A JPS60240965 A JP S60240965A
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- intermediate shield
- heat exchanger
- gas
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、冷凍機付クライオスタットの熱侵入防止方法
および装置に関するものである。
および装置に関するものである。
真空槽に内設された容器に冷媒である極低温液化ガス、
例えば、液化ヘリウムを貯蔵するクライオスタットでは
、容器への液化ヘリウム封入後に真空槽内を真空にして
大気より隔離、密閉し、クライオスタットの常温部より
液化ヘリウムへ侵入してくる熱によって蒸発した液化ヘ
リウムの蒸発ガスをクライオスタットに一体に設けられ
た冷凍機であるヘリウム冷凍機の発生する寒冷によって
再凝縮することで、容器内の液化ヘリウムの飽和蒸気圧
は一定圧に保持される。
例えば、液化ヘリウムを貯蔵するクライオスタットでは
、容器への液化ヘリウム封入後に真空槽内を真空にして
大気より隔離、密閉し、クライオスタットの常温部より
液化ヘリウムへ侵入してくる熱によって蒸発した液化ヘ
リウムの蒸発ガスをクライオスタットに一体に設けられ
た冷凍機であるヘリウム冷凍機の発生する寒冷によって
再凝縮することで、容器内の液化ヘリウムの飽和蒸気圧
は一定圧に保持される。
このようなりライオスタットの常温部より液化ヘリウム
へ侵入して鳴る熱の量(以下、侵入熱量と略)を小さく
抑制するために、中間シールド板が容器の外側に配設さ
れる。この中間シールド板の冷却は、従来、例えば、住
人重機機械技術、Vof、25.473、(1977−
3)の第61頁の超高速磁気浮上列車用クライオスタッ
トの開発1′(その2)およびJRBA(昭和52年3
月)の浮上式鉄道の車両用超電導磁石の研究(超電導磁
石の冷却システムの研究)報告書にて論じられているよ
うに、飽和温度4.5にの液化ヘリウムの蒸発ガスを再
凝縮するためのガスで、ヘリウム冷凍機で温度約77K
に冷却されたプロセスガスであるヘリウムガスで、まず
、より温度レベルの高い中間シールド板を冷却し、その
後、該中間シールド板を冷却したヘリウムガスをヘリウ
ム冷凍機で温度約20Kに冷却し該ヘリウムガスで、よ
り温度レベルの低い中間シールド板を冷却することでな
されている。なお、より温度レベルの低い中間シールド
板を冷却した後のヘリウムガスは、ヘリウム冷凍機の該
中間シールド板の温度よりも温度が低いプロセスライン
に戻される。
へ侵入して鳴る熱の量(以下、侵入熱量と略)を小さく
抑制するために、中間シールド板が容器の外側に配設さ
れる。この中間シールド板の冷却は、従来、例えば、住
人重機機械技術、Vof、25.473、(1977−
3)の第61頁の超高速磁気浮上列車用クライオスタッ
トの開発1′(その2)およびJRBA(昭和52年3
月)の浮上式鉄道の車両用超電導磁石の研究(超電導磁
石の冷却システムの研究)報告書にて論じられているよ
うに、飽和温度4.5にの液化ヘリウムの蒸発ガスを再
凝縮するためのガスで、ヘリウム冷凍機で温度約77K
に冷却されたプロセスガスであるヘリウムガスで、まず
、より温度レベルの高い中間シールド板を冷却し、その
後、該中間シールド板を冷却したヘリウムガスをヘリウ
ム冷凍機で温度約20Kに冷却し該ヘリウムガスで、よ
り温度レベルの低い中間シールド板を冷却することでな
されている。なお、より温度レベルの低い中間シールド
板を冷却した後のヘリウムガスは、ヘリウム冷凍機の該
中間シールド板の温度よりも温度が低いプロセスライン
に戻される。
このような、冷凍機付クライオスタットの熱侵入防止技
術では次のような問題がある。
術では次のような問題がある。
(1) 中間シールド板を冷却した後のガスを、冷凍機
の該中間シールド板の温度よりも温度が低いプロセスラ
インに戻すため、容器に貯蔵されている冷媒より蒸発し
たガスを再凝縮するためのプロセス主流のガス温度が上
昇し冷凍機の再凝縮能力が低下する。
の該中間シールド板の温度よりも温度が低いプロセスラ
インに戻すため、容器に貯蔵されている冷媒より蒸発し
たガスを再凝縮するためのプロセス主流のガス温度が上
昇し冷凍機の再凝縮能力が低下する。
(2)冷凍機の再凝縮能力の低下分をカバーするには、
冷凍機の再凝縮能力をその分だけ余分に大きくする必要
があるため、冷凍機が大型化する。
冷凍機の再凝縮能力をその分だけ余分に大きくする必要
があるため、冷凍機が大型化する。
(3)冷凍機の大型化により、プロセスガス量が増加し
、これにより冷凍機の圧縮機ユニットの能力を太き(す
る必要があるため、装置コストおよび運転コストが増大
する。
、これにより冷凍機の圧縮機ユニットの能力を太き(す
る必要があるため、装置コストおよび運転コストが増大
する。
(4)容器に貯蔵される冷媒が液化ヘリウムの場合、該
液化ヘリウムへの侵入熱量をより小さくするためには、
温度4.5Kを超え常温未満の間に最低5段階の温度レ
ベルの中間シールド板を配設する必要があるが、温度約
77にと約20にの2段階の温度レベルの中間シールド
板しか配設できないため、液化ヘリウムへの侵入熱量を
良好に小さく抑制することができない。
液化ヘリウムへの侵入熱量をより小さくするためには、
温度4.5Kを超え常温未満の間に最低5段階の温度レ
ベルの中間シールド板を配設する必要があるが、温度約
77にと約20にの2段階の温度レベルの中間シールド
板しか配設できないため、液化ヘリウムへの侵入熱量を
良好に小さく抑制することができない。
本発明の目的は、容器に貯蔵されている冷媒より蒸発し
たガスを再凝縮するためのプロセス主流のガス温度の上
昇を抑制することで、冷凍機の再凝縮能力の低下を防止
できる冷凍機付クライオスタットの熱侵入防止方法およ
び装置を提供することにある。
たガスを再凝縮するためのプロセス主流のガス温度の上
昇を抑制することで、冷凍機の再凝縮能力の低下を防止
できる冷凍機付クライオスタットの熱侵入防止方法およ
び装置を提供することにある。
本発明は、クライオスタットの真空槽に内設された冷媒
貯蔵用の容器の外側に複数段配設された中間シールド板
を、クライオスタットに一体で設けられた冷凍機で冷却
されたガスで温度レベルの低い中間シールド板から温度
レベルの高い中間シールド板へと順次冷却し、該冷却に
より温度上昇したガスを中間シールド板の内で温度レベ
ルが最も高い中間シールド板よりも温度が高い冷凍機の
低圧プロセスラインに戻すようにしたもので、容器に貯
蔵されている冷媒より蒸発したガスを再凝縮するための
プロセス主流のガス温度上昇を抑制しようとするもので
ある。
貯蔵用の容器の外側に複数段配設された中間シールド板
を、クライオスタットに一体で設けられた冷凍機で冷却
されたガスで温度レベルの低い中間シールド板から温度
レベルの高い中間シールド板へと順次冷却し、該冷却に
より温度上昇したガスを中間シールド板の内で温度レベ
ルが最も高い中間シールド板よりも温度が高い冷凍機の
低圧プロセスラインに戻すようにしたもので、容器に貯
蔵されている冷媒より蒸発したガスを再凝縮するための
プロセス主流のガス温度上昇を抑制しようとするもので
ある。
本発明の一実施例を第1図により説明する。
第1図で、クライオスタット10の真空槽11には、容
器12が内設されている。容器12には、一端部、この
場合は上端部が真空槽11外に突出した液化冷媒注入管
13の他端、この場合は、下端が連通して連結されてい
る。液化冷媒注入管13ylは、封じ切り可能な構造と
なっている。
器12が内設されている。容器12には、一端部、この
場合は上端部が真空槽11外に突出した液化冷媒注入管
13の他端、この場合は、下端が連通して連結されてい
る。液化冷媒注入管13ylは、封じ切り可能な構造と
なっている。
第1図で、クライオスタット1oに一体で設けられる冷
凍機加は、この場合、圧縮機ユニット21と、2段のコ
ールドステーシロンZ!a、22bを有する往復動型の
蓄冷器式膨張機(以下、膨張機と略)Zと、間接熱交換
器、例えば、向流式の積層熱交換器冴〜加と、ジュール
・トムソン効果を有する膨張弁であるジュール・トムソ
ン弁(以下、JT弁と略)27とで主に構成されている
。圧縮機ユニシト21は、真空槽11外に設置されてい
る。膨張機るは、そのディスプレーサ(図示省略)の往
復駆動部器を真空槽11外に残し、コールドステーシロ
ン22b側から真空槽11内に、この場合、その頂壁側
から挿設される。積層熱交換器スル加は、この場合、真
空槽11内に、膨張機おの右横で高さ方向にそれぞれ配
設されている。圧縮機ユニット21の吐出端と往復駆動
部あのプロセスガス入口とは、高圧ガス配管囚で連結さ
れ、往復駆動部部のプロセスガス出口と圧縮機ユニット
21の吸入端とは、中圧ガス配管間で連結されている。
凍機加は、この場合、圧縮機ユニット21と、2段のコ
ールドステーシロンZ!a、22bを有する往復動型の
蓄冷器式膨張機(以下、膨張機と略)Zと、間接熱交換
器、例えば、向流式の積層熱交換器冴〜加と、ジュール
・トムソン効果を有する膨張弁であるジュール・トムソ
ン弁(以下、JT弁と略)27とで主に構成されている
。圧縮機ユニシト21は、真空槽11外に設置されてい
る。膨張機るは、そのディスプレーサ(図示省略)の往
復駆動部器を真空槽11外に残し、コールドステーシロ
ン22b側から真空槽11内に、この場合、その頂壁側
から挿設される。積層熱交換器スル加は、この場合、真
空槽11内に、膨張機おの右横で高さ方向にそれぞれ配
設されている。圧縮機ユニット21の吐出端と往復駆動
部あのプロセスガス入口とは、高圧ガス配管囚で連結さ
れ、往復駆動部部のプロセスガス出口と圧縮機ユニット
21の吸入端とは、中圧ガス配管間で連結されている。
高圧ガス配管四の途中から高圧ガス配管31 aが分岐
して積層熱交換器部の高圧流路32 aの入口に連結さ
れている。
して積層熱交換器部の高圧流路32 aの入口に連結さ
れている。
コールドステーシロン22aには熱交換器、例えば、コ
イル管式の熱交換器間が取伺けられ、熱交換器33の入
口は、積層熱交換器部の高圧流路32aの出口に高圧ガ
ス配管31 bで連結され、熱交換器おの出口は、積層
熱交換器5の高圧流路32bの入口に高圧力ス配管31
cで連結されている。コールドステーション22bに
は、熱交換器、例えば、熱交換器おと同タイプの熱交換
器あか取り付けられ、熱交換器あの入口は、積層熱交換
器5の高圧流路32bの出口に高圧ガス配管31 dで
連結され、熱交換器調の出口は、積層熱交換器がの高圧
流路32 cの入口に高圧ガス配管31 eで連結され
ている。積層熱交換器かの高圧流路32 cの出口とJ
T弁nの入口とは高圧ガス配管31 fで連結されてい
る。容器12には、その上方位置で再凝縮器、例えば、
コイル管式の熱交換器あが内設され、JT弁nの出口と
再凝縮器あの入口とは、低圧配管あで連結されている、
1再凝縮器あの出口と積層熱交換器がの低圧流路37
aの入口と、積層熱交換器部の低圧流路37 aの出口
と積層熱交換器5の低圧流路37bの入口と、積層熱交
換器5の低圧流路37 bの出口と積層熱交換器部の低
圧流路37 cの入口と、積層熱交換器部の低圧流路3
7 cの出口と圧縮機ユニット4の他の吸入端とは、そ
れぞれ低圧ガス配管38a〜38dで連結されている。
イル管式の熱交換器間が取伺けられ、熱交換器33の入
口は、積層熱交換器部の高圧流路32aの出口に高圧ガ
ス配管31 bで連結され、熱交換器おの出口は、積層
熱交換器5の高圧流路32bの入口に高圧力ス配管31
cで連結されている。コールドステーション22bに
は、熱交換器、例えば、熱交換器おと同タイプの熱交換
器あか取り付けられ、熱交換器あの入口は、積層熱交換
器5の高圧流路32bの出口に高圧ガス配管31 dで
連結され、熱交換器調の出口は、積層熱交換器がの高圧
流路32 cの入口に高圧ガス配管31 eで連結され
ている。積層熱交換器かの高圧流路32 cの出口とJ
T弁nの入口とは高圧ガス配管31 fで連結されてい
る。容器12には、その上方位置で再凝縮器、例えば、
コイル管式の熱交換器あが内設され、JT弁nの出口と
再凝縮器あの入口とは、低圧配管あで連結されている、
1再凝縮器あの出口と積層熱交換器がの低圧流路37
aの入口と、積層熱交換器部の低圧流路37 aの出口
と積層熱交換器5の低圧流路37bの入口と、積層熱交
換器5の低圧流路37 bの出口と積層熱交換器部の低
圧流路37 cの入口と、積層熱交換器部の低圧流路3
7 cの出口と圧縮機ユニット4の他の吸入端とは、そ
れぞれ低圧ガス配管38a〜38dで連結されている。
なお、高圧ガス配管囚。
31 a〜31 fで冷凍機加の高圧プロセスラインを
、低圧ガス配管38 a −38dで低圧プロセスライ
ンを構成している。
、低圧ガス配管38 a −38dで低圧プロセスライ
ンを構成している。
第1図で、容器12の外側で真空槽11内には、この場
合、第1中間シールド板14 a−第5中間シールド板
14 eまで所定の空間をそれぞれ有し5段配設されて
いる。それぞれの空間は、使用時、勿論真空排気される
。第1中間シールド板144〜第5中間シールド板14
eには、熱交換器、例えば、コイル管式の熱交換器4
0 a −40eがそれぞれ取り付けられている。熱交
換器40aの入口には、高圧ガス配管31 eより分岐
したガス配管41 aが連結されている。熱交換器40
aの出口と熱交換器40 bの入口と、熱交換器40
bの出口と熱交換器40 cの入口と、熱交換器40c
の出口と熱交換器40 dの入口と、熱交換器40 d
の出口と熱交換器40 eの入口とは、ガス配管41
b〜41 eでそれぞれ連結されている。
合、第1中間シールド板14 a−第5中間シールド板
14 eまで所定の空間をそれぞれ有し5段配設されて
いる。それぞれの空間は、使用時、勿論真空排気される
。第1中間シールド板144〜第5中間シールド板14
eには、熱交換器、例えば、コイル管式の熱交換器4
0 a −40eがそれぞれ取り付けられている。熱交
換器40aの入口には、高圧ガス配管31 eより分岐
したガス配管41 aが連結されている。熱交換器40
aの出口と熱交換器40 bの入口と、熱交換器40
bの出口と熱交換器40 cの入口と、熱交換器40c
の出口と熱交換器40 dの入口と、熱交換器40 d
の出口と熱交換器40 eの入口とは、ガス配管41
b〜41 eでそれぞれ連結されている。
熱交換器40 eの出口には、ガス配管4] fの一端
が連結され、ガス配管41 fの他端は、真空槽11の
外側で低圧ガス配管38dに合流連結されている。ガス
配管41 fには、この場合、真空槽11の外側でガス
流量調整手段として流量調整弁50が設けられている。
が連結され、ガス配管41 fの他端は、真空槽11の
外側で低圧ガス配管38dに合流連結されている。ガス
配管41 fには、この場合、真空槽11の外側でガス
流量調整手段として流量調整弁50が設けられている。
第1図で、容器12には、被冷却体6oが内蔵され、使
用時には、容器12内に液化冷媒注入管13より冷媒で
ある液化ヘリウムが注入され、これにより被圧縮機ユニ
ブト21でプロセスガスは、約16atm△ の圧力に昇圧され、この高圧のヘリウムガスは、高圧ガ
ス配管囚、往復駆動部列を介して膨張機器内に供給され
、ここで圧力約16 atnlから約4atmに膨張さ
せられて寒冷を発生し、その後、この中圧のヘリウムガ
スは膨張a23で常温まで温度回復し、膨張機田から往
復駆動部列、中圧ガス配管(9)を介して圧縮機ユニッ
ト21に戻される。このような寒冷発生によりコールド
ステージ官ン22aは、温度約77Kに冷却され、コー
ルドステーション22bは、温度約15Kに冷却される
3、一方、高圧ガス配管31 aに分流され、その後、
積層熱交換器列の高圧流路32a、高圧ガス配管31b
、熱交換器お、高圧ガス配管31c、積層熱交換器5の
高圧流路32b、高圧ガス配管31d、熱交換器あ、高
圧ガス配管31e、積層熱交換器5の高圧流路32c、
高圧ガス配管31f、JT弁nの順に流通する高圧のヘ
リウムガスは、その途中で、熱交換器オ、34を介して
コールドステーション22a、22bの寒冷と積層熱交
換器冴〜浸の低圧流路373〜37 cを流通する低温
のヘリウムガスが有する寒冷とで順次冷): 却さ1・
JT弁″T16“”から1゛2°゛″ま1膨張し出口で
温度約4.5Kまで冷却される。この温度約4.5にの
液化ヘリウムとヘリウムガスとの気液混相流は、低圧配
管あを介して再凝縮器あに供給される。これにより、容
器12内に注入された液化ヘリウムが蒸発したヘリウム
ガスは再凝縮器あで凝縮、液化され、容器12内の液化
ヘリウムの飽和蒸気圧は一定圧に保持される。その後、
再凝縮器あを出た温度約4.5にの低温で圧力約1.2
aimの低圧のヘリウムガスは、低圧ガス配管38a
、積層熱交換器加の低圧流路37a、低圧ガス配管38
b。
用時には、容器12内に液化冷媒注入管13より冷媒で
ある液化ヘリウムが注入され、これにより被圧縮機ユニ
ブト21でプロセスガスは、約16atm△ の圧力に昇圧され、この高圧のヘリウムガスは、高圧ガ
ス配管囚、往復駆動部列を介して膨張機器内に供給され
、ここで圧力約16 atnlから約4atmに膨張さ
せられて寒冷を発生し、その後、この中圧のヘリウムガ
スは膨張a23で常温まで温度回復し、膨張機田から往
復駆動部列、中圧ガス配管(9)を介して圧縮機ユニッ
ト21に戻される。このような寒冷発生によりコールド
ステージ官ン22aは、温度約77Kに冷却され、コー
ルドステーション22bは、温度約15Kに冷却される
3、一方、高圧ガス配管31 aに分流され、その後、
積層熱交換器列の高圧流路32a、高圧ガス配管31b
、熱交換器お、高圧ガス配管31c、積層熱交換器5の
高圧流路32b、高圧ガス配管31d、熱交換器あ、高
圧ガス配管31e、積層熱交換器5の高圧流路32c、
高圧ガス配管31f、JT弁nの順に流通する高圧のヘ
リウムガスは、その途中で、熱交換器オ、34を介して
コールドステーション22a、22bの寒冷と積層熱交
換器冴〜浸の低圧流路373〜37 cを流通する低温
のヘリウムガスが有する寒冷とで順次冷): 却さ1・
JT弁″T16“”から1゛2°゛″ま1膨張し出口で
温度約4.5Kまで冷却される。この温度約4.5にの
液化ヘリウムとヘリウムガスとの気液混相流は、低圧配
管あを介して再凝縮器あに供給される。これにより、容
器12内に注入された液化ヘリウムが蒸発したヘリウム
ガスは再凝縮器あで凝縮、液化され、容器12内の液化
ヘリウムの飽和蒸気圧は一定圧に保持される。その後、
再凝縮器あを出た温度約4.5にの低温で圧力約1.2
aimの低圧のヘリウムガスは、低圧ガス配管38a
、積層熱交換器加の低圧流路37a、低圧ガス配管38
b。
積層熱交換器5の低圧流路37b、低圧ガス配管羽C1
積層熱交換器冴の低圧流路37C2低圧ガス配管38d
を順次流通し、温度常温となって圧縮機ユニット21に
戻される。この間、積層熱交換器列〜がの高圧流路32
a = 32 cをJT弁n方向に流通する高圧のヘ
リウムガスを順次冷却し、これにより積層熱交換器列の
低圧流路37 cを出た低圧のヘリウムガスの温度は、
常温となる。
積層熱交換器冴の低圧流路37C2低圧ガス配管38d
を順次流通し、温度常温となって圧縮機ユニット21に
戻される。この間、積層熱交換器列〜がの高圧流路32
a = 32 cをJT弁n方向に流通する高圧のヘ
リウムガスを順次冷却し、これにより積層熱交換器列の
低圧流路37 cを出た低圧のヘリウムガスの温度は、
常温となる。
一方、第1図で、高圧ガス配管31 eよりガス配管4
1 aに分流された温度約15にのヘリウムガスは、熱
交換器40 a 、ガス配管41b、熱交換器4ob。
1 aに分流された温度約15にのヘリウムガスは、熱
交換器40 a 、ガス配管41b、熱交換器4ob。
ガス配管41C1熱交換器40c、ガス配管41d、熱
交換器40d、ガス配管41e、熱交換器40e、開弁
している流量調整弁閉を介してガス配管41 fを順次
流通した後に、低圧ガス配管38dを流通している常温
で低圧のヘリウムガスと合流して圧縮機ユニット21に
戻される。この際、第1中間シールド板14 a−第5
中間シールド板14 eは、熱交換器伯a −40eを
昇温しながら流通する低温のヘリウムガスが有する寒冷
により、クライオスタット10の常温部から容器12内
の液化ヘリウムへの侵入熱量を極力小さく抑制するのに
必要な温度レベルにそれぞれ冷却される。即ち、第1中
間シールド板14aは、温度約16Kに、第2中間シー
ルド板14 bは、温度96Kに、第3中間シールド板
14 cは、温度163Kに、第4中間シールド板14
dは、温度212Kに、第5中間シールド板14 eは
、温度250Kにそれぞれ冷却される。この場合、第1
中間シールド板14 a−第5中間シールド板14 e
の温度レベルを上記した温度レベルに制御するには、熱
交換器40az40eをそれぞれ順次流通するヘリウム
ガスの温度と流量、即ち、高圧ガス配管31 eからガ
ス配管41 aに分流されたヘリウムガスの温度と流量
とを調整する必要がある。具体的には、高圧ガス配管3
1 eからガス配管41 aに分流されたヘリウムガス
の温度は、約15にと一定であるため、流量調整弁間の
弁開度調節により、このヘリウムガスの流量を調整して
いる。例えば、直径16m長さ2.4mのクライオスタ
ットであれば、流量約50 m978のヘリウムガスを
分流させることにより、各中間シールド板を上記温度に
保つことができる。
交換器40d、ガス配管41e、熱交換器40e、開弁
している流量調整弁閉を介してガス配管41 fを順次
流通した後に、低圧ガス配管38dを流通している常温
で低圧のヘリウムガスと合流して圧縮機ユニット21に
戻される。この際、第1中間シールド板14 a−第5
中間シールド板14 eは、熱交換器伯a −40eを
昇温しながら流通する低温のヘリウムガスが有する寒冷
により、クライオスタット10の常温部から容器12内
の液化ヘリウムへの侵入熱量を極力小さく抑制するのに
必要な温度レベルにそれぞれ冷却される。即ち、第1中
間シールド板14aは、温度約16Kに、第2中間シー
ルド板14 bは、温度96Kに、第3中間シールド板
14 cは、温度163Kに、第4中間シールド板14
dは、温度212Kに、第5中間シールド板14 eは
、温度250Kにそれぞれ冷却される。この場合、第1
中間シールド板14 a−第5中間シールド板14 e
の温度レベルを上記した温度レベルに制御するには、熱
交換器40az40eをそれぞれ順次流通するヘリウム
ガスの温度と流量、即ち、高圧ガス配管31 eからガ
ス配管41 aに分流されたヘリウムガスの温度と流量
とを調整する必要がある。具体的には、高圧ガス配管3
1 eからガス配管41 aに分流されたヘリウムガス
の温度は、約15にと一定であるため、流量調整弁間の
弁開度調節により、このヘリウムガスの流量を調整して
いる。例えば、直径16m長さ2.4mのクライオスタ
ットであれば、流量約50 m978のヘリウムガスを
分流させることにより、各中間シールド板を上記温度に
保つことができる。
なお、液化冷媒注入管13からの容器12内の液化ヘリ
ウムの熱侵入は、第1中間シールド板14 a〜第5中
間シールド板14 eと液化冷媒注入管13とが、液化
冷媒注入管13の軸方向の温度分布に沿って同−m度レ
ベルの箇所で熱的に導通しているため、十分に防止され
ている。
ウムの熱侵入は、第1中間シールド板14 a〜第5中
間シールド板14 eと液化冷媒注入管13とが、液化
冷媒注入管13の軸方向の温度分布に沿って同−m度レ
ベルの箇所で熱的に導通しているため、十分に防止され
ている。
本実施例のような冷凍機付クライオスタットでは、次の
ような効果を得ることができる。
ような効果を得ることができる。
(1)冷凍機で温度約15Kに冷却されて分流されたヘ
リウムガスで、より温度レベルの低い第1中間シールド
板からより温度レベルの高い第2〜′!J4中間シール
ド板、更に温度レベルが最も高い第5中間シールド板へ
と順次冷却し、該冷却により温度上昇したヘリウムガス
を冷凍機の常温、低圧のヘリウムガスが流通する低圧ガ
ス配管に戻すようにしているため、容器に貯蔵されてい
る液化ヘリウムより蒸発したヘリウムガスを再凝縮する
ためのプロセス主流のヘリウムガス温度の上昇を抑制で
き、冷凍機の再凝縮能力の低下を防止できる。
リウムガスで、より温度レベルの低い第1中間シールド
板からより温度レベルの高い第2〜′!J4中間シール
ド板、更に温度レベルが最も高い第5中間シールド板へ
と順次冷却し、該冷却により温度上昇したヘリウムガス
を冷凍機の常温、低圧のヘリウムガスが流通する低圧ガ
ス配管に戻すようにしているため、容器に貯蔵されてい
る液化ヘリウムより蒸発したヘリウムガスを再凝縮する
ためのプロセス主流のヘリウムガス温度の上昇を抑制で
き、冷凍機の再凝縮能力の低下を防止できる。
(2)冷凍機の再凝縮能力の低下を防止できるので、冷
凍機の大型化を防止できる。
凍機の大型化を防止できる。
(3)冷凍機の大型化を防止できるので、ヘリウムガス
量が増加せず、したがって、冷凍機の圧縮機ユニットの
能力を大きくする必要がな(なり、装置コストおよび運
転コストの増大を抑制できる。
量が増加せず、したがって、冷凍機の圧縮機ユニットの
能力を大きくする必要がな(なり、装置コストおよび運
転コストの増大を抑制できる。
(4)温度4.5Kを趙え常温未満の間に5段階の温度
レベルの第1中間シールド板〜第5中間シールド板を配
設できるため、液化ヘリウムへの侵入熱量を良好に小さ
く抑制できる。
レベルの第1中間シールド板〜第5中間シールド板を配
設できるため、液化ヘリウムへの侵入熱量を良好に小さ
く抑制できる。
第2図は、本発明の第2の実施例を示すもので、第1図
と異なる点は、最高の温度レベルにある第5中間シール
ド板14 eに、更に別の熱交換器、例えば、コイル管
式の熱交換器4Ofを取り付け、熱交換器40 fの入
口に高圧ガス配管31 cより分岐したガス配管41
gを連結し、熱交換器40 fの出口とガス配管41
fとをガス配管41 hで連結した点である。なお、第
2図で、その他第1図と同−装置等は同一符号で示し説
明を省略する。
と異なる点は、最高の温度レベルにある第5中間シール
ド板14 eに、更に別の熱交換器、例えば、コイル管
式の熱交換器4Ofを取り付け、熱交換器40 fの入
口に高圧ガス配管31 cより分岐したガス配管41
gを連結し、熱交換器40 fの出口とガス配管41
fとをガス配管41 hで連結した点である。なお、第
2図で、その他第1図と同−装置等は同一符号で示し説
明を省略する。
本実施例のような冷凍機付クライオスタットでは、膨張
機の温度約77にのコールドステーションで冷却された
後に分岐されたヘリウムガスを第5中間シールド板に更
に別に設けた熱交換器に供給できるので、本発明の一実
施例に比較し各中間シールド板の熱負荷能力を更に高め
ることができ、更に大型のクライオスタットの適用が可
能となる効果がある。
機の温度約77にのコールドステーションで冷却された
後に分岐されたヘリウムガスを第5中間シールド板に更
に別に設けた熱交換器に供給できるので、本発明の一実
施例に比較し各中間シールド板の熱負荷能力を更に高め
ることができ、更に大型のクライオスタットの適用が可
能となる効果がある。
第3図は、本発明の第3の実施例を示すもので、第1図
と異なる点は、最低の温度レベルにある第1中間シール
ド板14 aに取り付けられた熱交換器40aの入口に
連結されるガス配管41 aを高圧ガス配管31 fよ
り分岐させた点である。なお、第3図で、その他第1図
と同−装置等は同一符号で示し説明を省略する。
と異なる点は、最低の温度レベルにある第1中間シール
ド板14 aに取り付けられた熱交換器40aの入口に
連結されるガス配管41 aを高圧ガス配管31 fよ
り分岐させた点である。なお、第3図で、その他第1図
と同−装置等は同一符号で示し説明を省略する。
本実施例のような冷凍機付クライオスタットは、温度約
6にのヘリウムガスで、第1中間シールド板〜IJ5シ
ールド板を順次冷却できるので、上記した本発明の一実
施例に比較して第1中間シールド板の温度レベルを更に
低くでき、容器内の液化ヘリウムへの侵入熱量を更に小
さく抑制できる。
6にのヘリウムガスで、第1中間シールド板〜IJ5シ
ールド板を順次冷却できるので、上記した本発明の一実
施例に比較して第1中間シールド板の温度レベルを更に
低くでき、容器内の液化ヘリウムへの侵入熱量を更に小
さく抑制できる。
本発明は、以上説明したように、クライオスタットの真
空槽に内股された冷媒貯蔵用の容器の外側に複数段配設
された中間シールド板を、クライオスタットに一体で設
けられた冷凍機で冷却されたガスで温度レベルの低い中
間シールド板から温度レベルの高い中間シールド板へと
順次冷却し、該冷却により順次温度上昇したガスを中間
シールド板の内で温度レベルが最も高い中間シールド板
よりも温度が高い冷凍機の低圧プロセスラインに戻すこ
とで、容器に貯蔵されている冷媒より蒸発したガスを再
凝縮するためのプロセス主流のガス温度上昇を抑制でき
るので、冷凍機の再凝縮能力の低下を防止できるという
効果がある。
空槽に内股された冷媒貯蔵用の容器の外側に複数段配設
された中間シールド板を、クライオスタットに一体で設
けられた冷凍機で冷却されたガスで温度レベルの低い中
間シールド板から温度レベルの高い中間シールド板へと
順次冷却し、該冷却により順次温度上昇したガスを中間
シールド板の内で温度レベルが最も高い中間シールド板
よりも温度が高い冷凍機の低圧プロセスラインに戻すこ
とで、容器に貯蔵されている冷媒より蒸発したガスを再
凝縮するためのプロセス主流のガス温度上昇を抑制でき
るので、冷凍機の再凝縮能力の低下を防止できるという
効果がある。
第1図は、本発明を実施した冷凍機付クライオスタット
の一例を示す系統図、第2図は、同じ(第2の例を示す
系統図、第3図は、同じく第3の例を示す系統図である
。
の一例を示す系統図、第2図は、同じ(第2の例を示す
系統図、第3図は、同じく第3の例を示す系統図である
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 16 クライオスタットの容器に貯蔵された冷媒へ侵入
する熱を吸収する複数段の中間シールド板を、前記クラ
イオスタットに一体で設けられた奮 冷凍機で冷却されたガスで温度レベルの迂い前記中間シ
ールド板から温度レベルの高い前記中間シールド板へと
順次冷却し、該冷却により温度上昇した前記ガスを前記
中間シールド板の内で温度レベルが最も高い中間シール
ド板よりも温度が高い前記冷凍機の低圧プロセスライン
に戻すことを特徴とする冷凍機付クライオスタットの熱
侵入防止方法。 2、クライオスタットの真空槽に内設された冷媒貯蔵用
の容器の外側に複数段配設された中間シールド板にそれ
ぞれ熱交換器を取り付け、前記クライオスタットに一体
で設けられた冷凍機の高圧プロセスラインから分岐した
ガス配管を温度レベルが最も低い前記中間シールド板に
取り付けられた前記熱交換器の入口に連結し、より温度
レベルの低い前記中間シールド板に取り付けられた前記
熱交換の出口とより温度レベルの高い前記中間シールド
板に取り付けられた前記熱交換器の入口とをガス配管で
順次連結し、温度レベルが最も高い前記中間シールド板
に取り付けられた前記熱交換器の出口に連結したガス配
管を前記冷凍機の低圧プロセスラインで温度レベルが最
も高い前記中間シールド板よりも温度が高い低圧プロセ
スラインに合流連結し、該低圧プロセスラインに合流連
結された前記ガス配管にガス流量調整手段を設けたこと
を特徴とする冷凍機付クライオスタットの熱侵入防止装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9640184A JPS60240965A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 冷凍機付クライオスタツトの熱侵入防止方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9640184A JPS60240965A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 冷凍機付クライオスタツトの熱侵入防止方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60240965A true JPS60240965A (ja) | 1985-11-29 |
Family
ID=14163937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9640184A Pending JPS60240965A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 冷凍機付クライオスタツトの熱侵入防止方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60240965A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5237821A (en) * | 1987-08-20 | 1993-08-24 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Multistep electronic cooler |
-
1984
- 1984-05-16 JP JP9640184A patent/JPS60240965A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5237821A (en) * | 1987-08-20 | 1993-08-24 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Multistep electronic cooler |
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