JPS60223179A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS60223179A JPS60223179A JP7836784A JP7836784A JPS60223179A JP S60223179 A JPS60223179 A JP S60223179A JP 7836784 A JP7836784 A JP 7836784A JP 7836784 A JP7836784 A JP 7836784A JP S60223179 A JPS60223179 A JP S60223179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- discharge
- cathode
- switching device
- cathode pins
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
Landscapes
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は例えばレーザ加工用のレーザを出力するレー
ザ発振器に関するものである。
ザ発振器に関するものである。
第６図は従来のレーザ発振器を′示す概略構成図であシ
、図において（１）は陽ｆｆｉ′Ｍｉ２）はバラスト抵
抗（３）を各々接続した複数の陰極ピン、（４）は無声
放電管、（５）はレーザ光（６）を出力する部分透過鏡
、（７）は全反射鏡である。（８）はスイッチング装置
でスイッチ（９）と制限抵抗ＱＱから構成している。α
すは直流電源、（２）は陽極板（１）と陰極ピン（２）
間を流れる放電電流を検出する電流検出器、α→は不図
示の電流設定器から出力された設定電流信号、α→は比
較器、ａυは無声放電管の交流電源であ゛る。
、図において（１）は陽ｆｆｉ′Ｍｉ２）はバラスト抵
抗（３）を各々接続した複数の陰極ピン、（４）は無声
放電管、（５）はレーザ光（６）を出力する部分透過鏡
、（７）は全反射鏡である。（８）はスイッチング装置
でスイッチ（９）と制限抵抗ＱＱから構成している。α
すは直流電源、（２）は陽極板（１）と陰極ピン（２）
間を流れる放電電流を検出する電流検出器、α→は不図
示の電流設定器から出力された設定電流信号、α→は比
較器、ａυは無声放電管の交流電源であ゛る。
従来のレーザ発振器は上記のように構成され、スイッチ
ング装置（８）のスイッチ（９）の動作によシ陽極板（
１）と複数の陰極ピン（２）との間に無声放電管（４）
を介して均質なパルス状のグロー放電を生成して ゛レ
ーザ媒質ガスを励起する。この励起したレーザ媒質ガス
から発するレーザ光を対向して設置した部分透過鏡（５
）と全反射鏡（７）でレーザ発振させて、部分透過鏡（
５）よシレーザ光（６）を出力する。
ング装置（８）のスイッチ（９）の動作によシ陽極板（
１）と複数の陰極ピン（２）との間に無声放電管（４）
を介して均質なパルス状のグロー放電を生成して ゛レ
ーザ媒質ガスを励起する。この励起したレーザ媒質ガス
から発するレーザ光を対向して設置した部分透過鏡（５
）と全反射鏡（７）でレーザ発振させて、部分透過鏡（
５）よシレーザ光（６）を出力する。
レーザ光（６）の強度はレーザ媒質ガスの励起強度によ
シ定まるため、直流電源ａ）の出力電流を制御すること
によυレーザ光（６）の強度をほぼ一定に保持するよう
にしている。すなわち直流電源ａカの出力電流を電流検
出器（ロ）で検出し、電流検出器（至）から出力する検
出電流信号と、あらかじめ所定の値に設定した設定電流
信号に）とを比較器ａ４で比較し、その偏差信号によシ
直流電源αηの出力電流を制御している。
シ定まるため、直流電源ａ）の出力電流を制御すること
によυレーザ光（６）の強度をほぼ一定に保持するよう
にしている。すなわち直流電源ａカの出力電流を電流検
出器（ロ）で検出し、電流検出器（至）から出力する検
出電流信号と、あらかじめ所定の値に設定した設定電流
信号に）とを比較器ａ４で比較し、その偏差信号によシ
直流電源αηの出力電流を制御している。
しかしながら従来のレーザ発振器においては電流検出器
（２）で検出する出力電流値は第４図に示すように、ス
イッチング装置（８）のスイッチ（９）が人になシ放電
電流がピークとなった電流値■１と、スイッチ（９）が
切になシ、制限抵抗αＱにより定められる放電が生じな
い電流値１２間とをパリス状に繰返す電流の平均値■。
（２）で検出する出力電流値は第４図に示すように、ス
イッチング装置（８）のスイッチ（９）が人になシ放電
電流がピークとなった電流値■１と、スイッチ（９）が
切になシ、制限抵抗αＱにより定められる放電が生じな
い電流値１２間とをパリス状に繰返す電流の平均値■。
である。この平均値工。と設定電流信号（６）と比較し
ているため、電流検出器（６）で検出する電流の平均値
！。が一定であってもチューティ比が変わると放電電流
のピーク値が変わシ例えば第４図のピーク値Ｉ３のよう
に放電電流のピーク値が高くなる場合も生じる。この場
合放電電流のピーク値がグロー放電の安定動作域を超え
ると放電がアーク放電となり、安定なレーザ出力を得ら
れないという問題点が生じた。
ているため、電流検出器（６）で検出する電流の平均値
！。が一定であってもチューティ比が変わると放電電流
のピーク値が変わシ例えば第４図のピーク値Ｉ３のよう
に放電電流のピーク値が高くなる場合も生じる。この場
合放電電流のピーク値がグロー放電の安定動作域を超え
ると放電がアーク放電となり、安定なレーザ出力を得ら
れないという問題点が生じた。
この発明はかかる問題点を改善する目的でなされたもの
であシ、パラスト抵抗を接続した複数の陰極ビンと陽極
板間のグロー放電電流をパルス状に制御するスイッチン
グ装置を有する炭酸カスレーザ発振器において、スイッ
チング装置を介した陰極ピンと並列に設けた電流モニタ
ー用陰極ビンに連続して流れる電流を検出してグロー放
電電流を制御し、レーザ媒質ガ・スの励起強度を制御す
るレーザ発振器を提案するものである。
であシ、パラスト抵抗を接続した複数の陰極ビンと陽極
板間のグロー放電電流をパルス状に制御するスイッチン
グ装置を有する炭酸カスレーザ発振器において、スイッ
チング装置を介した陰極ピンと並列に設けた電流モニタ
ー用陰極ビンに連続して流れる電流を検出してグロー放
電電流を制御し、レーザ媒質ガ・スの励起強度を制御す
るレーザ発振器を提案するものである。
第１図はこの発明の一実施例を示した概略構成図であり
、図において（１）〜θりは上記従来のレーザ発振器と
同一のものである。◇０は陰極ビン（２）と並列に陽極
板（１）に対抗するように設けられた電流モニター用陰
極ピンである。電流モニター陰極ビ／αＱは各々バラス
ト抵抗（３）を接続している。この電流モニター陰極ピ
ンαＱはスイッチング装ｆｉｔ （８） 全直列に接続
した陰極ビン（２）の回路と並列に設けた回路によシミ
源ｏ１に接続している。また電流検出器（６）はスイッ
チング装置（８）を介さない電流モニター陰極ピア０Ｑ
の回路に設けである。
、図において（１）〜θりは上記従来のレーザ発振器と
同一のものである。◇０は陰極ビン（２）と並列に陽極
板（１）に対抗するように設けられた電流モニター用陰
極ピンである。電流モニター陰極ビ／αＱは各々バラス
ト抵抗（３）を接続している。この電流モニター陰極ピ
ンαＱはスイッチング装ｆｉｔ （８） 全直列に接続
した陰極ビン（２）の回路と並列に設けた回路によシミ
源ｏ１に接続している。また電流検出器（６）はスイッ
チング装置（８）を介さない電流モニター陰極ピア０Ｑ
の回路に設けである。
上記のように構成したレーザ発振器において、電流モニ
ター陰極ピン（ト）はスイッチング装置（８）を介さな
いで電源ａρに接続されているため、スイッチング装置
（８）が動作しても常に一定の電流が連続して流れるう
この電流モニター用陰極ビンａＱに流れる電流値を電流
検出器（６）で検出して、あらかじめ、所定の値に設定
した設定電流信号αＪと比較器Ｑ４で比較し、その偏差
信号を直流電源Ｑυにフィードバックし、直流電源０υ
の出力を制御する、この場合設定電流信号（６）の設定
値はグロー放電の安定動作域内に設定し、電流モニター
用陰極ビン（ｌの本数は設定電流信号（２）で設定した
電流値により発振しない程度の適当な本数とすることに
よυ％流モニター用陰極ビンαＱに通電することによる
放電を防止する。
ター陰極ピン（ト）はスイッチング装置（８）を介さな
いで電源ａρに接続されているため、スイッチング装置
（８）が動作しても常に一定の電流が連続して流れるう
この電流モニター用陰極ビンａＱに流れる電流値を電流
検出器（６）で検出して、あらかじめ、所定の値に設定
した設定電流信号αＪと比較器Ｑ４で比較し、その偏差
信号を直流電源Ｑυにフィードバックし、直流電源０υ
の出力を制御する、この場合設定電流信号（６）の設定
値はグロー放電の安定動作域内に設定し、電流モニター
用陰極ビン（ｌの本数は設定電流信号（２）で設定した
電流値により発振しない程度の適当な本数とすることに
よυ％流モニター用陰極ビンαＱに通電することによる
放電を防止する。
一方、スイッチング装置（８）が作動して、スイッチ（
９）が入になると、複数の陰極ビン（２）にはピーク電
流■、が流れてグミ−放電を行なうが、スイッチ（９）
が切シになると陰極ビン（２）に祉制限抵抗（ト）にょ
シ制限されたアイドル電流■２が流れて放電を停止する
。従ってこれを繰返すことによシパルス状の出力が得ら
れる。
９）が入になると、複数の陰極ビン（２）にはピーク電
流■、が流れてグミ−放電を行なうが、スイッチ（９）
が切シになると陰極ビン（２）に祉制限抵抗（ト）にょ
シ制限されたアイドル電流■２が流れて放電を停止する
。従ってこれを繰返すことによシパルス状の出力が得ら
れる。
この場合陰極ピン（２）に流れるピーク電流値１１は第
２図に示すように、設定値で規正された電流モニター用
陰極ビンａＱに流れる電流値！にょシ規定された一定値
となシ、デユーティ比が変化しても陰極ビン（２）に流
れるピーク電流■１は常にグロー放電の安定動作域内に
維持することができる。
２図に示すように、設定値で規正された電流モニター用
陰極ビンａＱに流れる電流値！にょシ規定された一定値
となシ、デユーティ比が変化しても陰極ビン（２）に流
れるピーク電流■１は常にグロー放電の安定動作域内に
維持することができる。
この発明は以上説明したように、電流モニター用陰極ビ
ンに流れる連続した電流を検出することによシ陰極ピン
に流れるグロー放電の放電電流を制御して、放電電流を
常に一定に設定できるためアーク放電等を生じることが
なく、従来装置と同一価格のままでレーザ媒質ガスの励
起強度を一定にして、レーザ光の出力を乱れのないもの
にすることができる効果を有する、
ンに流れる連続した電流を検出することによシ陰極ピン
に流れるグロー放電の放電電流を制御して、放電電流を
常に一定に設定できるためアーク放電等を生じることが
なく、従来装置と同一価格のままでレーザ媒質ガスの励
起強度を一定にして、レーザ光の出力を乱れのないもの
にすることができる効果を有する、
第１図はこの発明の実施例を示した概略構成図、第２図
は第１図に示した実施例の電流モニター用陰極ピンと陰
極ピンの電流波形図、第６図は従来のレーザ発振器を示
した概略構成図、第４図は第６図に示した従来のレーザ
発振器の陰極ビンの電流波形図である。 （１）・・・陽極板、（２）・・・陰極ビン、（３）・
・・バラスト抵抗、（８）・・・スイッチング装置、（
９）・・・スイッチ、ＯＱ・・・制限抵抗、αＦ・・直
流電源、（２）・・・電流検出器、Ｑｌ・・・設定電流
信号、ｏ４・・・比較器、ＯＱ・・・電流モニター用陰
極ピン。 なお各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人弁理士 木 村 三 朗 第１図 第３図
は第１図に示した実施例の電流モニター用陰極ピンと陰
極ピンの電流波形図、第６図は従来のレーザ発振器を示
した概略構成図、第４図は第６図に示した従来のレーザ
発振器の陰極ビンの電流波形図である。 （１）・・・陽極板、（２）・・・陰極ビン、（３）・
・・バラスト抵抗、（８）・・・スイッチング装置、（
９）・・・スイッチ、ＯＱ・・・制限抵抗、αＦ・・直
流電源、（２）・・・電流検出器、Ｑｌ・・・設定電流
信号、ｏ４・・・比較器、ＯＱ・・・電流モニター用陰
極ピン。 なお各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人弁理士 木 村 三 朗 第１図 第３図
Claims (1)
- バラスト抵抗を接続した複数の陰極ビンと陽極板間のグ
ロー放電電流をパルス状に制御するスイッチング装置を
有する炭酸ガスレーザ発振器において、電流モニター用
陰極ビンをスイッチング装置を介した陰極ピンと並列に
設け、上記電流モニター用陰極ピ／に連続して流れる電
流を検出して、スイッチング装置を介した陰極ピンに流
れるグロー放電電流を制御することを特徴としたレーザ
発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7836784A JPS60223179A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7836784A JPS60223179A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60223179A true JPS60223179A (ja) | 1985-11-07 |
Family
ID=13660034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7836784A Pending JPS60223179A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60223179A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4745614A (en) * | 1986-08-20 | 1988-05-17 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Silent discharge type laser device |
| WO1988007274A1 (en) * | 1987-03-20 | 1988-09-22 | Fanuc Ltd | Laser oscillator control circuit |
| US4856010A (en) * | 1988-07-18 | 1989-08-08 | Hughes Aircraft Company | Laser frequency control |
| US5946332A (en) * | 1996-09-27 | 1999-08-31 | Nec Corporation | Laser having a connection detector for monitoring a connection between separated oscillator and power units |
-
1984
- 1984-04-20 JP JP7836784A patent/JPS60223179A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4745614A (en) * | 1986-08-20 | 1988-05-17 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Silent discharge type laser device |
| WO1988007274A1 (en) * | 1987-03-20 | 1988-09-22 | Fanuc Ltd | Laser oscillator control circuit |
| US4856010A (en) * | 1988-07-18 | 1989-08-08 | Hughes Aircraft Company | Laser frequency control |
| US5946332A (en) * | 1996-09-27 | 1999-08-31 | Nec Corporation | Laser having a connection detector for monitoring a connection between separated oscillator and power units |
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