JPS60221240A - 送り装置 - Google Patents
送り装置Info
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- JPS60221240A JPS60221240A JP7727984A JP7727984A JPS60221240A JP S60221240 A JPS60221240 A JP S60221240A JP 7727984 A JP7727984 A JP 7727984A JP 7727984 A JP7727984 A JP 7727984A JP S60221240 A JPS60221240 A JP S60221240A
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- JP
- Japan
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- nut
- lead screw
- fed
- main body
- precision
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/36—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission in which a servomotor forms an essential element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は工作機械における移動テーブル等を送り対象部
材として該テーブルを高精度に所叩送り世直線移動させ
る送り送置に関する。
材として該テーブルを高精度に所叩送り世直線移動させ
る送り送置に関する。
近年、精密機械加工の分野においては、例えば０．１ミ
クロン、単位という高精度な製品加工の要請が強くそれ
に応じ得る送り装置ひいては超精密工作機械の開発が望
まれている。
クロン、単位という高精度な製品加工の要請が強くそれ
に応じ得る送り装置ひいては超精密工作機械の開発が望
まれている。
従来の送り装置は、一般に、ベッドに軸受を介して回転
自在に支承された親ねじに、移動テーブルに固着された
ナツト体を螺合して、該親ねじを回動駆動させることに
よりナツト体と伴に移動テーブルを直線移動させる構成
であった。
自在に支承された親ねじに、移動テーブルに固着された
ナツト体を螺合して、該親ねじを回動駆動させることに
よりナツト体と伴に移動テーブルを直線移動させる構成
であった。
しかしながら、かかる構成の送り装置では親ねじとナン
ド体との間に生ずるバックラッシュ、あるいは親ねじの
回転を移動テーブルの直線移動に変換する機構に対して
の正確な送り量制御の困難性等から、高精度な送りを期
待することはできなかった。
ド体との間に生ずるバックラッシュ、あるいは親ねじの
回転を移動テーブルの直線移動に変換する機構に対して
の正確な送り量制御の困難性等から、高精度な送りを期
待することはできなかった。
本発明は上述した如き事情に基づいてなされたものであ
り、その目的は高精度に送り対象部材を所要送り険移動
させることができる送り装置を提供することである。
り、その目的は高精度に送り対象部材を所要送り険移動
させることができる送り装置を提供することである。
〔発明の構成〕
本発明は」二記］」的を達成するために次の如く構成１
〜たことを特徴とする。
〜たことを特徴とする。
すなわち、本体と、この本体に＋ｌｌｔ受を介Ｉ〜で回
転自在に支承された親ねじと、この親ねじな回転駆動す
る駆動源と、上記載ねじに螺合されたナンド体と、この
ナツト体の移動に伴い上質１２本体上を移動する送り対
象部Ａ′Ａと、この送り対象部月を上記ナツト体に対ｌ
〜て相え１変位さぜることにより−１−記本体」二で移
動させろ精密送り手１ダとを具備１〜、前記精密送り手
段は前記送り対象部制及び前記ナツト体に対し互いに１
１１１１１方向逆向きの流体圧を作用させてなる構成で
ある。
転自在に支承された親ねじと、この親ねじな回転駆動す
る駆動源と、上記載ねじに螺合されたナンド体と、この
ナツト体の移動に伴い上質１２本体上を移動する送り対
象部Ａ′Ａと、この送り対象部月を上記ナツト体に対ｌ
〜て相え１変位さぜることにより−１−記本体」二で移
動させろ精密送り手１ダとを具備１〜、前記精密送り手
段は前記送り対象部制及び前記ナツト体に対し互いに１
１１１１１方向逆向きの流体圧を作用させてなる構成で
ある。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本実施例の送り装置の全体構成を示す図、第２
図は第１図にオｄけるＡ−Ａ線断面図、第３図は送り装
置の要部を拡大Ｉ〜で示す図である。
図は第１図にオｄけるＡ−Ａ線断面図、第３図は送り装
置の要部を拡大Ｉ〜で示す図である。
図中３は工作機械における本体（ベッド）であり、図中
１は親ねじである。−に記載ねじ１は静圧軸受２を介し
て本体乙に回転自在に支承されていると共に、駆動源と
してのモータ４に減速機構５を介して連結されている。
１は親ねじである。−に記載ねじ１は静圧軸受２を介し
て本体乙に回転自在に支承されていると共に、駆動源と
してのモータ４に減速機構５を介して連結されている。
また、本体乙には送り対象部材としてのテーブル６が摺
動自在に配設されており、一方、親ねじ１にはナノ）体
７が螺合されている。
動自在に配設されており、一方、親ねじ１にはナノ）体
７が螺合されている。
」−記テーブル６とナツト体７とは、テーブル乙に形成
された孔にナツト体７が挿入された状態にて係合してい
る。
された孔にナツト体７が挿入された状態にて係合してい
る。
前記ナンド体７は第１のナツト８の軸心部に所定深さに
わたって形成した溝に第２のナツト９が嵌入されたいわ
ゆるダブルナツトに形成されている。ここで、−に龍笛
２０ナツト９は第２図に示す如く角形状に形成されてお
り、従って、各ナツト８．９は相対変位が禁止されてい
る。また、第１のナツト８及び第２のナツト９の軸方向
境界面にはさまれた空間１０には配管１１を通して作動
油が供給可能となっており、これにより各ナツト８．９
は軸方向の油圧を受けて親ねじ１に圧接固定され得る構
成となっている。
わたって形成した溝に第２のナツト９が嵌入されたいわ
ゆるダブルナツトに形成されている。ここで、−に龍笛
２０ナツト９は第２図に示す如く角形状に形成されてお
り、従って、各ナツト８．９は相対変位が禁止されてい
る。また、第１のナツト８及び第２のナツト９の軸方向
境界面にはさまれた空間１０には配管１１を通して作動
油が供給可能となっており、これにより各ナツト８．９
は軸方向の油圧を受けて親ねじ１に圧接固定され得る構
成となっている。
前記テーブル６とナンド体７との間には、該テーブル６
を高精度にて移動させる精密送り手段が構成されている
。すなわち、精密送り手段は、ナツト体７の一部外周に
つば部１２を形成してこれをプランジャとすると共にテ
ーブル６をシリンダチ、−ブとして油圧シリンダ１６を
形成し、該油圧シリンダ１６ヘザーボ弁１４かも配管１
５．１６を通して作動油を（Ｊｌｌ給することによりナ
ツト体７に対してテーブル６を相対変位させて、テーブ
ル６を本体６−にで摺動させる構成である。
を高精度にて移動させる精密送り手段が構成されている
。すなわち、精密送り手段は、ナツト体７の一部外周に
つば部１２を形成してこれをプランジャとすると共にテ
ーブル６をシリンダチ、−ブとして油圧シリンダ１６を
形成し、該油圧シリンダ１６ヘザーボ弁１４かも配管１
５．１６を通して作動油を（Ｊｌｌ給することによりナ
ツト体７に対してテーブル６を相対変位させて、テーブ
ル６を本体６−にで摺動させる構成である。
」ニ述した精密送り手段は次の制御系により送り量を制
御される。すなわち、差動増ｌ］器１７はコントローラ
１８からの送り叶指令信月及びデープル６に設けられた
変位計１９からのテーブル６とナツト体７との相対変位
信号を入力し、これらの減算値信号をサーボ増［１］器
２０を介１〜でサーボ弁１４へと出力する。サーボ弁１
４は信月を入力する間油圧シリンダ１６の所定の室内に
作動油を供給する。変位計１９からの相対変位信号がコ
ントローラ１８からの指令信号と同値になったとき差動
増巾器１７は出力零となり、その結果、サーボ弁１４か
ら供給される作動油出力ボート１５、１６の圧力はバラ
ンスし、所望の位置に保持されろ。
御される。すなわち、差動増ｌ］器１７はコントローラ
１８からの送り叶指令信月及びデープル６に設けられた
変位計１９からのテーブル６とナツト体７との相対変位
信号を入力し、これらの減算値信号をサーボ増［１］器
２０を介１〜でサーボ弁１４へと出力する。サーボ弁１
４は信月を入力する間油圧シリンダ１６の所定の室内に
作動油を供給する。変位計１９からの相対変位信号がコ
ントローラ１８からの指令信号と同値になったとき差動
増巾器１７は出力零となり、その結果、サーボ弁１４か
ら供給される作動油出力ボート１５、１６の圧力はバラ
ンスし、所望の位置に保持されろ。
次に、本送り装置の動作を説明する。
テーブル６の粗送りはモータ４により親ねじ１を回転駆
動して、ナンド体７を直線移動させることにより行なう
。このとき、油圧シリンダ１６の各室内には作動油が充
填されており、従って、テーブル６はナツト体７と一体
となって直線移動する。次に、テーブル６の精密送りを
前記油圧シリンダ７に作動油を供給することにより該油
圧シリンダ７０行程範囲内で行なう。すなわち、前述し
た制御系からの信号に基づいてサーボ弁１４が油圧シリ
ンダ１６の所定の室内に作動油を供給すると、テーブル
６及びナンド体７のつば部１２は互いに軸方向逆向きの
油圧を受け、その結果、ナツト体７の位置を基準として
テーブル６は本体３上で直線移動して送りがなされる。
動して、ナンド体７を直線移動させることにより行なう
。このとき、油圧シリンダ１６の各室内には作動油が充
填されており、従って、テーブル６はナツト体７と一体
となって直線移動する。次に、テーブル６の精密送りを
前記油圧シリンダ７に作動油を供給することにより該油
圧シリンダ７０行程範囲内で行なう。すなわち、前述し
た制御系からの信号に基づいてサーボ弁１４が油圧シリ
ンダ１６の所定の室内に作動油を供給すると、テーブル
６及びナンド体７のつば部１２は互いに軸方向逆向きの
油圧を受け、その結果、ナツト体７の位置を基準として
テーブル６は本体３上で直線移動して送りがなされる。
このとき、第１のナツト８及び第２のナツト９の間の空
間１０には作動油が供給され、ナツト体７は親ねじ１に
圧接固定されている。従って、ナツト体７は親ねじ１を
介して本体乙に確実に固定された状態を維持でき、その
結果、精密送りの基準となるナンド体７の位置はずれを
生ずるおそれがない。このように、精密送りは油圧シリ
ンダ１６の直線運動によりテーブル６を同方向に直線移
動させる機構であるため、高精度／Ｌ送り制御が可能で
、かつバンクラッシュがないため高い信頼性が確保でき
ろ３、尚、本発明は上述した一実施例に限定されるもの
ではない。例えば、精密送り手段としては油圧シリンダ
１６に代えてつば部１２０両イｒｉｉ＋方に各々静圧ポ
ケットを形成１〜、空気、油等の作動流体を圧力を異に
して上記静圧ポケット内に供給してナツト体７とテーブ
ル６とをナンド体７を基準として相対変位させる構成で
あってもよい。
間１０には作動油が供給され、ナツト体７は親ねじ１に
圧接固定されている。従って、ナツト体７は親ねじ１を
介して本体乙に確実に固定された状態を維持でき、その
結果、精密送りの基準となるナンド体７の位置はずれを
生ずるおそれがない。このように、精密送りは油圧シリ
ンダ１６の直線運動によりテーブル６を同方向に直線移
動させる機構であるため、高精度／Ｌ送り制御が可能で
、かつバンクラッシュがないため高い信頼性が確保でき
ろ３、尚、本発明は上述した一実施例に限定されるもの
ではない。例えば、精密送り手段としては油圧シリンダ
１６に代えてつば部１２０両イｒｉｉ＋方に各々静圧ポ
ケットを形成１〜、空気、油等の作動流体を圧力を異に
して上記静圧ポケット内に供給してナツト体７とテーブ
ル６とをナンド体７を基準として相対変位させる構成で
あってもよい。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、送り対
象部材及びナツト体に対ｌ〜互いに軸方向逆向きの流体
圧を作用させてなる精密送り手段を有するので、終局的
にバンクラッシュがなくかつ高精度の送り制御を行なう
ことができ、その結果、高精度に送り対象部材を所要送
り量移動させることができるという効果を奏することが
できる。
象部材及びナツト体に対ｌ〜互いに軸方向逆向きの流体
圧を作用させてなる精密送り手段を有するので、終局的
にバンクラッシュがなくかつ高精度の送り制御を行なう
ことができ、その結果、高精度に送り対象部材を所要送
り量移動させることができるという効果を奏することが
できる。
図面は本発明の一実施例を示すものであり、第１図は送
り装置の全体構成を示す断面図、第２図１・・・・・・
親ねじ、２・・・・・・静圧軸受、６・・・・・・本体
、４・・・・・モータ、６・・・・・テーブル、７・・
・・・・ナツト体、８・・・・・・第１のナツト、９・
・・・・・第２のナツト、１２・・・・・つば部、１６
・・・・・・油圧シリンダ、１４・・・・・・サーボ弁
、１７・・・・・・差動増巾器、１８・・・・・・コン
トローラ、１９・・・・・・変位計、２０・・・・・・
サーボ増巾器。
り装置の全体構成を示す断面図、第２図１・・・・・・
親ねじ、２・・・・・・静圧軸受、６・・・・・・本体
、４・・・・・モータ、６・・・・・テーブル、７・・
・・・・ナツト体、８・・・・・・第１のナツト、９・
・・・・・第２のナツト、１２・・・・・つば部、１６
・・・・・・油圧シリンダ、１４・・・・・・サーボ弁
、１７・・・・・・差動増巾器、１８・・・・・・コン
トローラ、１９・・・・・・変位計、２０・・・・・・
サーボ増巾器。
Claims (3)
- （１）本体と、この本体に軸受を介して回転自在に支承
された親ねじと、この親ねじな回転駆動する駆動源と、
上記親ねじに螺合されたナツト体と、このナツト体の移
動に伴い上記本体上を移動する送り対象部材と、この送
り対象部材を上記ナツト体に対して相対変位させること
により上記本体上で移動させる精密送り手段とを具備し
、前記精密送り手段は前記送り対象部材及び前記ナツト
体に対し互いに軸方向逆向きの流体圧を作用させてなる
ものであることを特徴とする送り装置。 - （２）前記ナツト体は、第１のナツトと、この第１のナ
ツトの軸心部に所定深さにわたって形成した溝に相対的
な回転を禁止した状態で嵌入された第２のナンドとから
形成されたダブルナンドであり、上記第１のナツト及び
第２のナンドの軸方向境界面に流体圧を受けて前記親ね
じに圧接固定可能であることを特徴とする特許請求の範
囲第（１）項記載の送り装置。 - （３）前記精密送り手段は、前記ナンド体の一部外周に
形成されたつば部をプランジャとすると共に前記送り対
象部月をシリンダチ・、−ブどｌ−で形成された油圧シ
リンダに、流体を供給１−で」二記プランジャに対して
上記シリンダチューブを扉流体圧により相対変位させる
構成であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項
または第（２）項記載の送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077279A JPH0673792B2 (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077279A JPH0673792B2 (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 送り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60221240A true JPS60221240A (ja) | 1985-11-05 |
| JPH0673792B2 JPH0673792B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=13629421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59077279A Expired - Lifetime JPH0673792B2 (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673792B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63120050A (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-24 | Canon Inc | 駆動機構 |
| JPH05138484A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-01 | Yotaro Hatamura | 精密位置決め微動送り装置およびシステム |
| DE19503145A1 (de) * | 1994-02-03 | 1995-08-10 | Smc Corp | Lastpositioniervorrichtung |
| KR100945034B1 (ko) | 2009-07-27 | 2010-03-05 | 주식회사 태성테크 | 스크류를 이용한 선형이송구의 제동장치 |
| CN105834815A (zh) * | 2015-02-03 | 2016-08-10 | 株式会社捷太格特 | 进给装置以及机床 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120444A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置 |
| JPS58155142A (ja) * | 1982-03-04 | 1983-09-14 | Nachi Fujikoshi Corp | ハイブリツド精密位置決め送り機構 |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP59077279A patent/JPH0673792B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120444A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置 |
| JPS58155142A (ja) * | 1982-03-04 | 1983-09-14 | Nachi Fujikoshi Corp | ハイブリツド精密位置決め送り機構 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63120050A (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-24 | Canon Inc | 駆動機構 |
| JPH05138484A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-01 | Yotaro Hatamura | 精密位置決め微動送り装置およびシステム |
| DE19503145A1 (de) * | 1994-02-03 | 1995-08-10 | Smc Corp | Lastpositioniervorrichtung |
| DE19503145C2 (de) * | 1994-02-03 | 2001-10-11 | Smc Corp | Lastpositioniervorrichtung |
| KR100945034B1 (ko) | 2009-07-27 | 2010-03-05 | 주식회사 태성테크 | 스크류를 이용한 선형이송구의 제동장치 |
| CN105834815A (zh) * | 2015-02-03 | 2016-08-10 | 株式会社捷太格特 | 进给装置以及机床 |
| CN105834815B (zh) * | 2015-02-03 | 2019-09-03 | 株式会社捷太格特 | 进给装置以及机床 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0673792B2 (ja) | 1994-09-21 |
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