JP3508230B2

JP3508230B2 - 工作機械

Info

Publication number: JP3508230B2
Application number: JP21177794A
Authority: JP
Inventors: 忠一佐藤; 守田中; 茂美塚本; 安弘山下
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1994-08-12
Filing date: 1994-08-12
Publication date: 2004-03-22
Anticipated expiration: 2019-03-22
Also published as: JPH0852631A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は被加工物の表面を加工す
る工作機械に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の工作機械の一例とし
て円筒研削盤が知られている。図１２は一般的な円筒研
削盤の外観を示す斜視図である。円筒研削盤には大別し
てＡ、Ｂ２種類のタイプがあり、同図（Ａ）は被加工物
が回転可能に支持される主軸台１ｂおよび心押し台１ｃ
を搭載するスイベルプレート１ｄがＺ軸方向に往復動可
能なトラバーステーブル１ｅの上に固定され、砥石台１
ｆが直接ベッド１ｇの上に固定された案内面上をＺ軸に
直角に駆動可能なフィードプレートに搭載された構造を
有する円筒研削盤（Ａタイプ）を示し、同図（Ｂ）は主
軸台１５ｂおよび心押し台１５ｃが固定されるスイベル
プレート１５ｄはベッド１５ｇの上に直接固定され、砥
石台１５ｆを載せたＸ軸テーブルをＺ軸テーブル１５ｅ
がＺ軸方向に往復動可能な構造を有する円筒研削盤（Ｂ
タイプ）を示す。

【０００３】Ａタイプの円筒研削盤は色々な形状や多品
種小ロットの生産に対応するために加工効率の面で多少
犠牲になっている点がある。例えば、Ｚ軸テーブル１ｅ
の巾が狭いので、そのローリング剛性が弱くなってい
る。また、スイベルプレート１ｄも薄いので、動的変形
に弱いなどである。

【０００４】一方、Ｂタイプの円筒研削盤はかかる弱点
を補うものである。図１３はＢタイプの円筒研削盤のＸ
軸、Ｚ軸の案内部の一例の構造を示す一部破断正面図で
ある。図１４はその平面図、図１５はその側面図であ
る。この例の円筒研削盤のＸ軸、Ｚ軸の案内部では、静
圧案内が用いられており、ベッド１５ｇの上にＺ軸ガイ
ドウェイ１３ａを固定し、該Ｚ軸ガイドウェイ１３ａに
対しＸ軸方向、Ｙ軸方向をダブルフィルム型の静圧軸受
で拘束したＺ軸テーブル１５ａを配置し、Ｚ軸テーブル
１５ａの上にＸ軸ガイドウェイ１６ａを固定し、該Ｘ軸
ガイドウェイ１６ａに対しＹ軸方向、Ｚ軸方向を同様に
ダブルフィルム型の静圧軸受で拘束したＸ軸テーブル１
７ａを配置し、Ｘ軸テーブル１７ａ上に加工用の工具で
ある砥石車１８ａを配置する。

【０００５】ここで、シングルフィルム型静圧軸受とダ
ブルフィルム型静圧軸受について簡単に説明を加える。
図１６はシングルフィルム型静圧軸受とダブルフィルム
型静圧軸受を模式的に示す説明図である。同図（Ａ）の
シングルフィルム型静圧軸受とは、負荷物ｂが案内され
るランドａの面にポケットｃを設け、その内側から絞り
ｄを通じて油（又はエア）供給パイプｅから油圧（また
は空気圧）を導き、静圧で負荷物ｂを浮かせて案内する
静圧軸受である。一方、同図（Ｂ）のダブルフィルム型
静圧軸受とは、負荷物ｂが案内される両側のランドａの
面にポケットｃが設けられており、その内側から絞りｄ
を通じて油（又はエア）供給パイプｅから油圧（または
空気圧）を導き、静圧で負荷物ｂを押圧して案内する静
圧軸受である。

【０００６】従来のＢタイプの円筒研削盤ではＺ軸テー
ブルを砥石台（Ｘ軸テーブル）の下に配置し、巾広く頑
丈にすると同時にスイベルプレートも厚くし、剛性が大
きくなるように設計されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｂタイプの円筒研削盤には以下に掲げる問題があり、尚
一層の改善が要望されている。すなわち、図１３におい
て、矢印Ａで示す法線方向の研削力は砥石車１８ａを介
してＸ軸テーブル１７ａにピッチングを生ぜしめるモー
メント力とＸ軸方向の力とをなしている。前者のピッチ
ングを生ぜしめるモーメント力はＸ軸ガイドウェイ１６
ａを介して、また後者のＸ軸方向の力はナット２１ａ、
雄ねじ２３ａ、ねじ支持板２５ａを介してＺ軸テーブル
１５ａにローリング（矢印Ｂ）を生ぜしめるモーメント
力を与える。これらの力を伝達するＸ軸、Ｚ軸案内部の
機械要素はそれぞれ剛性を有し、力の程度により変形す
る。特に、Ｘ軸用のねじ支持板２５ａはカンチレバーに
なって変形し易く、かつＺ軸テーブル１５ａを構成する
静圧軸受の形状にも影響を与え易い。以上のような研削
力の法線方向成分に起因する各部の変形やモーメントに
よる姿勢変化が累積され、結果として加工点の位置が変
位する。

【０００８】通常の精度の研削加工においては比較的問
題とならないかかる変位でも、精密研削、超精密研削な
どサブミクロン、ナノメータのレベルでの寸法、形状の
精度を加工により達成しようとするときは大きな障害と
なる。

【０００９】そこで、本発明は加工のときの法線方向の
力によるＸ軸テーブルのピッチング、Ｚ軸テーブルのロ
ーリングや各部が変形するのを防止し、高精度に加工で
きる工作機械を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に係る工作機械は、被加工物の表
面を加工する工具と、該工具を支持し、前記被加工物の
加工部位に対する前記工具の進退方向に案内支持される
加工テーブルと、該加工テーブルを前記進退方向に駆動
する駆動手段と、前記加工テーブルを載置し、前記進退
方向と直角なＺ軸方向に案内支持されるＺ軸テーブルと
を備え、前記被加工物の表面を前記工具を用いて加工す
る工作機械において、前記駆動手段が壁面に固定され、
該壁面における前記駆動手段の固定位置が前記工具によ
って加工される前記被加工物の加工部位における法線方
向に位置し、前記法線方向の加工力が伝達される加工力
支持部材と、前記Ｚ軸テーブルを前記Ｚ軸方向に案内支
持するＺ軸ガイド部材が設けられたベッドに設けられ、
前記壁面を介して前記駆動手段の反対側に位置し、前記
加工力支持部材を前記Ｚ軸方向に案内支持するととも
に、該加工力支持部材に伝達される前記加工力を側面で
受ける加工力支持ガイドとを備える。請求項２に係る工
作機械は、請求項１に係る工作機械において、前記駆動
手段は、ロータと一体に回転するナットと、該ナットに
螺合され、一端部が前記加工力支持部材の壁面に固定さ
れたボールねじとを有し、前記法線方向の加工力が前記
ボールねじを通って直線的に前記加工力支持ガイドの側
面に達するように、前記加工テーブルに設けられたこと
を特徴とする。請求項３に係る工作機械は、請求項１ま
たは２に係る工作機械において、前記加工力支持部材
は、前記Ｚ軸テーブルと一体に成形されたことを特徴と
する。

【００１１】

【作用】本発明の請求項１に係る工作機械は、被加工物
の表面を加工する工具を支持し、前記被加工物の加工部
位に対する前記工具の進退方向に案内支持される加工テ
ーブルを、駆動手段により前記進退方向に駆動し、前記
加工テーブルが載置されるＺ軸テーブルを前記進退方向
と直角なＺ軸方向に案内支持し、前記被加工物の表面を
前記工具を用いて加工する際、前記工具によって加工さ
れる前記被加工物の加工部位における法線方向の加工力
を、前記駆動手段が壁面に固定された前記加工力支持部
材に伝達し、さらに前記加工力支持部材をＺ軸方向に案
内支持する加工力支持ガイドの側面で前記加工力支持部
材に伝達された加工力を受ける。

【００１２】

【実施例】つぎに、本発明の工作機械の実施例について
説明する。

【００１３】［第１実施例］図１は円筒研削盤のＸ軸、
Ｚ軸案内部の構造を示す一部破断正面図である。図２は
その平面図、図３はその側面図である。円筒研削盤１０
はベッド１５の上にＺ軸テーブル１８を載置し、Ｚ軸テ
ーブル１８の背面に設けられたシングルフィルム型の静
圧軸受１６によりＺ軸テーブル１８をベッド１５の上に
案内支持する。Ｚ軸テーブル１８の雄ねじ支持板１９に
は雄ねじ駆動モータ２０が取り付けられており、Ｚ軸テ
ーブル１８をＺ軸送りねじ２５（ボールねじ）によりＺ
軸方向に駆動する。

【００１４】また、Ｚ軸テーブル１８にはＸ軸ガイドウ
ェイ２３、２４が設けられており、これらの間にＸ軸テ
ーブル（加工テーブル）２７が設けられている。Ｘ軸テ
ーブル２７のＹ軸方向（上下方向）の案内面にシングル
フィルム型の静圧軸受２８を備え、Ｚ軸方向の案内面に
ダブルフィルム型の静圧軸受１２９を備えることにより
Ｘ軸テーブル２７はＺ軸テーブル１８に対してＸ軸方向
にのみ進退自在に案内支持され、Ｘ軸送りねじ３１（ボ
ールねじ）により進退される。

【００１５】Ｘ軸テーブル２７にはビルトイン型Ｘ軸駆
動モータ２９が内蔵されており、前記Ｘ軸送りねじ３１
を構成するナット３１ａがロータ３０と一体にして取り
付けられている。ナット３１ａと多数のボールを介し螺
合するボールねじ３１のねじ軸３１ｂの一端は研削力支
持部材２１の壁面に固定されている。ナット３１ａはＸ
テーブル２７に対し、スラスト方向ではダブルフィルム
型の静圧軸受２８ａにより、ラジアル方向ではダブルフ
ィルム型の静圧軸受２８ｂによりそれぞれ拘束されると
ともに回転自在に支持されている。したがって、ビルト
イン型Ｘ軸駆動モータ２９を回転させると、ロータ３０
とともにナット３１ａが回転し、Ｘ軸ガイドウェイ２
３、２４、２６に沿ってＺ軸テーブル１８上をＸ軸テー
ブル２７がＸ軸方向に摺動する。

【００１６】ねじ軸３１ｂの一端が固定された研削力支
持部材２１はベッド１５と一体に成形された研削力支持
ガイド１５ｂによってＺ軸方向に案内支持されている。
研削力支持部材２１と研削力支持ガイド１５ｂとの間に
はダブルフィルム型静圧軸受２２が設けられている。ま
た、Ｚ軸テーブル１８を案内支持するＺ軸ガイドウェイ
１５ｃ、１５ｄも研削力支持ガイド１５ｂと同様にベッ
ド１５と一体に成形されている。なお、本実施例では、
Ｚ軸テーブル１８と研削力支持部材２１とが一体に成形
されており、研削力支持ガイド１５ｂはＺ軸ガイドウェ
イ１５ｃ，１５ｄとともにＺ軸テーブル１８をＺ軸方向
に案内支持する役割を兼ねている。

【００１７】一方、Ｘ軸テーブル２７の前方にはビルト
イン型砥石車駆動モータ３５が設けられており、そのス
ピンドル３５ｂに取り付けられた砥石車３２を静圧軸受
３６により回転自在に支持する。

【００１８】上記構造を有する円筒研削盤１０のＸ軸、
Ｚ軸案内部の動作について説明する。砥石車３２が被加
工物（図示せず）を研削し始めると、法線方向の研削力
（矢印Ｃ）は、砥石車３２、スピンドル３５ｂ、スピン
ドルハウジング３５ｃ、Ｘ軸テーブルハウジング２７
ｂ、ボールねじ３１、研削力支持部材２１の壁面を通じ
て一直線にベッド１５の研削力支持ガイド１５ｂに達す
る。したがって、Ｘ軸テーブル２７に生じるピッチング
を図１３の従来例に比べ格段に小さくできるとともに、
Ｘ軸方向の研削力は研削力支持ガイド１５ｂの側面で受
けるため、Ｚ軸テーブル１８にローリングが発生するの
を阻止できる。また、研削力支持ガイド１５ｂを幅広に
し、高剛性とすることにより、Ｘ軸送りねじの支持部の
変形も従来より抑えることができる。したがって、高剛
性で精度が高い研削加工を行なうことができる。

【００１９】尚、本実施例では、砥石車３２は両持型で
その剛性を高めているが、片持ち型であっても構わな
い。また、研削力支持ガイド１５ｂ、１５ｃ、１５ｄは
ベッド１５から分離自在な構造であっても構わない。

【００２０】［第２実施例］つぎに、第２実施例の円筒
研削盤について説明する。図４は第２実施例の円筒研削
盤の構造を示す一部破断正面図である。図５はその平面
図である。本実施例の円筒研削盤６０は前記第１実施例
と同様にＺ軸テーブル６８の上にＸ軸テーブル９７を案
内支持している。また、Ｘ軸テーブル９７には前記第１
実施例と同様にビルトイン型Ｘ軸駆動モータが組み込ま
れており、ボールねじ（ナット回転状）によりＸ軸テー
ブル９７がＸ軸方向に進退駆動される。

【００２１】図６はＺ軸テーブル６８およびＺ軸ガイド
ウェイ７１の他の実施例の構造を示す断面図である。Ｚ
軸テーブル６８およびＺ軸ガイドウェイ７１のＸ軸方向
およびＹ軸方向の案内面には、それぞれダブルフィルム
型の静圧軸受７４、７２が設けられている。同図（Ｂ）
は静圧軸受７２を拡大して示す。Ｚ軸テーブル６８の案
内面７２ｄにはポケット７２ｂが形成されており、その
底部に流体圧が供給される絞り７２ｃが設けられてい
る。

【００２２】一方、図４におけるＺ軸ガイドウェイ７１
が固定されたベッド９２には、Ｚ軸ガイドウェイ７１と
並行に研削力支持ガイド７３が設けられている。研削力
支持ガイド７３はベッド９２にボルト７６で固定され、
テーパピン７９で位置決めされている。

【００２３】そして、研削力支持部材７５が研削力支持
ガイド７３と静圧軸受を介して係合されており、Ｚ軸方
向に案内支持されている。研削力支持ガイド７５の側面
にはＸ軸送りねじのねじ軸の一端部が固定されている。

【００２４】また、駆動テーブル７５をＺ軸テーブル６
８とＺ軸方向に同量動かす必要があることから、Ｘ軸ガ
イドウェイ８２から延設されたアーム８２ａ、８２ｂで
研削力支持部材７５を挟み、その研削力支持部材７５の
向かい合う面にはダブルフィルム型の静圧軸受８３が設
けられている（図５参照）。

【００２５】また、Ｘ軸ガイドウェイ８２の側面にはＸ
軸テーブル９７との相対距離を計る高精度のリニアエン
コーダ８７が取り付けられている。

【００２６】上記構造を有する第２実施例の円筒研削盤
では、Ｘ軸テーブル９７をフルクローズループ制御でＸ
軸方向に往復運動させて円筒研削を行なうとき、法線方
向の研削力は前記第１実施例と同様の経路で一直線に駆
動テーブル７５の壁面で受けることになる。すなわち、
Ｘ軸テーブル９７のピッチングやその他の変形を抑える
効果については第１実施例と同等であるのに加え、さら
に、研削力支持部材７５と、Ｚ軸テーブル６８とは完全
に分離されているため、この法線方向の研削力のＺ軸テ
ーブル６８のローリングへの影響が完全に除去される。
したがって、Ｚ軸方向の形状精度はＺ軸テーブル６８お
よびＺ軸ガイドウェイ７１で保証される。

【００２７】また、研削力の変動によるＸ軸方向の乱れ
はＸ軸テーブル９７を基準面とするリニアエンコーダ８
７により測定され、研削力の影響で所定の位置に対し実
際の位置（測定値）がずれると、その差分がコントロー
ラ（図示せず）にフィードバックされ、位置の補正が行
われる。前述のＸ軸テーブルのピッチング、Ｚ軸テーブ
ルのローリングやＸ軸送りねじ支持部の変形等の防止に
加え、このような制御を併用することにより、さらに、
被加工物の加工精度を向上できる。さらに、Ｚ軸テーブ
ル６８とＺ軸ガイドウェイ７１によって生じるＺ軸方向
の各位置におけるＸ軸方向の位置誤差を、円筒研削盤の
製造時に予め正確に測定しておき、誤差分の補正を行う
ようにしておけば加工時にはこの誤差分も補償できるこ
とになる。なお、本第２実施例におけるリニアスケール
を用いたクローズドループ制御を、他の実施例（第１実
施例および後述の各変形例）の構成と組合せてもよいこ
とは言うまでもない。

【００２８】［変形例］前記第２実施例の変形例の円筒
研削盤について説明する。図７は変形例の円筒研削盤の
構造を示す断面図である。前記第２実施例ではＸ軸テー
ブル９７にビルトイン型Ｘ軸駆動モータが組み込まれて
いたが、変形例の円筒研削盤ではＸ軸駆動モータ１０１
をねじ軸を回転支持するボールねじ支持ブロック１２７
を介して研削力支持部材１０４の上に取り付けられてい
る。また、砥石車１０７および砥石車駆動モータ１１２
はＸ軸テーブル１１８の上に取り付けられている。砥石
車１０７からのモーメント力がＸ軸テーブル１１８に与
えるピッチングなどの影響、研削力支持部材１０４およ
び研削力支持ガイド１２４もボールねじ支持ブロック１
２７を介して与えるローリングの影響が僅かに残るもの
の、研削力支持ガイド１２４により法線方向研削力を受
けるという前記実施例と同様の効果があるため、図１３
の従来例に比べると全体としての剛性は向上する。

【００２９】図８は他の変形例の円筒研削盤の構造を示
す断面図である。この円筒研削盤では、砥石車２０７お
よび砥石車駆動モータ２１２をＸ軸テーブル２２８の上
に取り付けている点は前記変形例と同じであるが、その
他の構成はＸ軸テーブルにリニアスケールを用いていな
い点を除き、第２実施例と同様である。すなわち、Ｘ軸
テーブル２２８の内側に固定のボールねじのねじ軸２３
１と螺合するナットを回転駆動するナット回転機構（ビ
ルトイン型Ｘ軸駆動モータ）を設けてＸ軸テーブル２２
８をＸ軸方向に往復運動する構造になっている。そし
て、ねじ軸２３１の一端部は研削力支持部材に固定さ
れ、該研削力支持部材は静圧軸受を介し、研削力支持ガ
イドによりＺ方向往復可能に案内支持されている。研削
力支持部材は、Ｘ軸ガイドウェイから延設されたアーム
によりＺ方向両側から挾まれ、向い合う面にはダブルフ
ィルム型静圧軸受が設けられている。Ｘ軸テーブルのピ
ッチングの影響の残ること、およびリニアスケールを用
いた補正を用いていない点を除き、第２実施例と同等の
効果が得られる。

【００３０】図９はナット回転機構を示す断面図であ
る。ナット回転機構２４１では、ボールねじのねじ軸２
３１と螺合するナット２３５がハウジング本体２４２に
組み込まれている。ナット回転機構２４１のハウジング
本体２４２にはナット２３５の端部に一体的に設けられ
たロータとステータ２４５とからモータを構築する。固
定されたボールねじ２３１に対してナット２３５はその
周囲から半径方向および軸方向に静圧支持された状態で
回転駆動される。図１０および図１１はそれぞれロータ
とステータの組み合わせ位置を変えた場合のナット回転
機構を示す断面図である。

【００３１】尚、本実施例のナット回転機構２４１には
回転制御用のロータリエンコーダを設けていないが、設
けてＸ軸テーブルの位置決め制御に用いてもよいこと、
ナット回転式のすべての実施例に適用可能なことは勿論
である。さらに、本実施例では円筒研削盤に適用する場
合を示したが、旋盤など他の工作機械に適用してもよい
ことは勿論である。

【００３２】なお、上記各実施例では、Ｘ軸、Ｚ軸の送
りねじとしてボールねじを用いていたが、すべりねじや
静圧ねじに代えてもよい。また、テーブルや研削力支持
部材の案内やナット回転支持用の軸受として静圧軸受を
用いていたが、すべり軸受や転動体を介した転がり案内
や転がり軸受に適宜代えてもよい。前記各実施例で用い
ていた静圧軸受はオリフィス型のものであるが、多孔質
型のものも使用できることは勿論である。また、静圧軸
受の場合の作動流体はエアまたは油を適宜選択できる。

【００３３】

【発明の効果】以上示したように、本発明の請求項１に
係る工作機械によれば、被加工物の表面を加工する工具
を支持し、前記被加工物の加工部位に対する前記工具の
進退方向に案内支持される加工テーブルを、駆動手段に
より前記進退方向に駆動し、前記加工テーブルが載置さ
れるＺ軸テーブルを前記進退方向と直角なＺ軸方向に案
内支持し、前記被加工物の表面を前記工具を用いて加工
する際、前記工具によって加工される前記被加工物の加
工部位における法線方向の加工力を、前記駆動手段が壁
面に固定された前記加工力支持部材に伝達し、さらに前
記加工力支持部材をＺ軸方向に案内支持する加工力支持
ガイドの側面で前記加工力支持部材に伝達された加工力
を受けるので、法線方向の力に対する進退（Ｘ軸）方向
の切込剛性値を高く設計できる。

【００３４】また、法線方向の力をモーメント剛性を介
することなく、直線的に受けることになり設計値が正確
になる。したがって、Ｚ軸方向の被加工物の加工精度
（円筒度、円錐度）を向上できる。さらに、被加工物か
ら法線方向の力を受けるＺ軸方向の案内軌道とＺ軸方向
のテーブルの精度を保証するＺ軸方向の案内軌道とを別
々に設計可能となり、上記精度がより向上する。また、
Ｘ軸、Ｚ軸テーブルを低く設計でき、力のループも安定
したものとなり、上記精度の向上、加工能率の向上が期
待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】円筒研削盤のＸ軸、Ｚ軸案内部の構造を示す一
部破断正面図である。

【図２】図１に示す円筒研削盤のＸ軸、Ｚ軸案内部の平
面図である。

【図３】図１に示す円筒研削盤のＸ軸、Ｚ軸案内部の側
面図である。

【図４】第２実施例の円筒研削盤の構造を示す一部破断
正面図である。

【図５】図４に示す円筒研削盤の平面図である。

【図６】Ｚ軸テーブル６８およびＺ軸ガイドウェイ７１
の構造を示す断面図である。

【図７】変形例の円筒研削盤の構造を示す断面図であ
る。

【図８】他の変形例の円筒研削盤の構造を示す断面図で
ある。

【図９】ナット回転機構を示す断面図である。

【図１０】ロータとステータの組み合わせ位置を変えた
場合のナット回転機構を示す断面図である。

【図１１】ロータとステータの組み合わせ位置を変えた
場合のナット回転機構を示す断面図である。

【図１２】円筒研削盤の外観を示す斜視図である。

【図１３】Ｂタイプの円筒研削盤のＸ軸、Ｚ軸の案内部
の構造を示す一部破断正面図である。

【図１４】図１３に示す円筒研削盤のＸ軸、Ｚ軸の案内
部の平面図である。

【図１５】図１３に示す円筒研削盤のＸ軸、Ｚ軸の案内
部の側面図である。

【図１６】シングルフィルム型静圧軸受とダブルフィル
ム型静圧軸受を模式的に示す説明図である。

【符号の説明】

１０ … 円筒研削盤１５ … ベッド１８ … Ｚ軸テーブル２７ … Ｘ軸テーブル３０ … ナット３１ … ボールねじ３２ … 砥石車

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山下安弘神奈川県藤沢市鵠沼神明一丁目５番50号日本精工株式会社内 (56)参考文献実開平２−110443（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23Q 1/01 B24B 41/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物の表面を加工する工具と、該工具を支持し、前記被加工物の加工部位に対する前記
工具の進退方向に案内支持される加工テーブルと、該加工テーブルを前記進退方向に駆動する駆動手段と、前記加工テーブルを載置し、前記進退方向と直角なＺ軸
方向に案内支持されるＺ軸テーブルとを備え、前記被加工物の表面を前記工具を用いて加工する工作機
械において、前記駆動手段が壁面に固定され、該壁面における前記駆
動手段の固定位置が前記工具によって加工される前記被
加工物の加工部位における法線方向に位置し、前記法線
方向の加工力が伝達される加工力支持部材と、前記Ｚ軸テーブルを前記Ｚ軸方向に案内支持するＺ軸ガ
イド部材が設けられたベッドに設けられ、前記壁面を介
して前記駆動手段の反対側に位置し、前記加工力支持部
材を前記Ｚ軸方向に案内支持するとともに、該加工力支
持部材に伝達される前記加工力を側面で受ける加工力支
持ガイドとを備えたことを特徴とする工作機械。
【請求項２】前記駆動手段は、ロータと一体に回転す
るナットと、該ナットに螺合され、一端部が前記加工力
支持部材の壁面に固定されたボールねじとを有し、前記法線方向の加工力が前記ボールねじを通って直線的
に前記加工力支持ガイドの側面に達するように、前記加
工テーブルに設けられたことを特徴とする請求項１記載
の工作機械。
【請求項３】前記加工力支持部材は、前記Ｚ軸テーブ
ルと一体に成形されたことを特徴とする請求項１または
２記載の工作機械。