JPS60220874A - Detecting device for vector magnetic field - Google Patents

Detecting device for vector magnetic field

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JPS60220874A
JPS60220874A JP7577084A JP7577084A JPS60220874A JP S60220874 A JPS60220874 A JP S60220874A JP 7577084 A JP7577084 A JP 7577084A JP 7577084 A JP7577084 A JP 7577084A JP S60220874 A JPS60220874 A JP S60220874A
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JP
Japan
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current
magnetic field
output
voltage
converters
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Application number
JP7577084A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Ishida
誠 石田
Hisashi Fujiwara
藤原 久
Tetsuo Nakamura
哲郎 中村
Takeo Yamada
健夫 山田
Hiroyuki Hojo
北條 博行
Seigo Ando
安藤 静吾
Yoshihiro Kawase
川瀬 芳広
Yasuaki Sakina
先名 康明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Engineering Corp
Original Assignee
NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the small-sized, high-resolution device which has high-speed responsibility and low-speed safety by converting the output current of a magnetic sensor into a voltage and feeding it back to the sensor. CONSTITUTION:The two-dimensional magnetic sensor 1 composed of transistors (TR) with plural collector pairs c1-c4 detects the magnetic field of a body to be detected in two dimensions, and differences between output currents of the respective pairs are detected by current mirror circuits 2A and 2B and supplied to inverted input terminals of current/voltage converters 3A and 3B. Then, a specific DC voltage is applied to uninverted input terminals of the converters 3A and 3B. Consequently, the input voltages are converted into DC voltages, which are applied to collectors of the sensor 1 through the circuits 2A and 2B. Outputs of the converters 3A and 3B are inputted to an arithmetic device 5 through A/D converters 4A and 4B to calculate and supply the azimuth angle of the vector magnetic field of the objective body to a display device 6.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、エンコーダ等に用いられるベクトル磁界の検
知装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a vector magnetic field detection device used in an encoder or the like.

〔従来技術〕[Prior art]

近年、NCIC機作、産業ロボット等の発展に伴なって
、その精度を決める上で重要な要素となるエンコーダの
開発が再び注目されている。例えば、ロータリーエンコ
ーダーに要求される条件には、高速応答性、近速域安定
性、小型化・特に薄型化、高分解能、低唾格等があげら
れるが、これらを満足するものは未だ開発されていない
状況にある。特に、磁気方式のエンコーダは分解能が悪
く、その改善がまたれていた。
In recent years, with the development of NCIC machines, industrial robots, etc., the development of encoders, which are important elements in determining their accuracy, has been attracting attention again. For example, the conditions required for a rotary encoder include high-speed response, short-range stability, compactness and especially thinness, high resolution, and low salivary properties, but nothing that satisfies these requirements has yet been developed. I am in a situation where I am not. In particular, magnetic encoders have poor resolution, and improvement has been slow.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、このような状況に鑑みて発明されたものであ
り、エンコーダーとして利用できることは勿論、磁気探
傷その他に利用することができ、しかも、少な(とも上
述のロータリーエンコーダ、−に要求される条件を満た
したベクトル磁界の検知装置を提供するものである。
The present invention was invented in view of the above situation, and can be used not only as an encoder but also for magnetic flaw detection and other purposes, and moreover, it has less The object of the present invention is to provide a vector magnetic field detection device that satisfies the conditions.

\〔発明の概要〕 本発明に係るベクトル磁界の検知装置は、上述の目的全
達成するために、トランジスタ2次元磁気センサ、カレ
ントミラー回路、電流/電圧変換器、A/D変換器及び
演算装#全備えている。
\ [Summary of the Invention] In order to achieve all of the above objects, the vector magnetic field detection device according to the present invention includes a transistor two-dimensional magnetic sensor, a current mirror circuit, a current/voltage converter, an A/D converter, and an arithmetic unit. # Fully equipped.

トランジスタ2次元磁気センサは、複数個のコレクタベ
アを有し、被検知物の磁界ケ2次元にわたって検知する
。詳細は後述する。カレントミラー回路は、磁気センサ
の各ベア出力電流の差音それぞれめる。電流/電圧変換
器は、カレントミラー回路の出力が反転入力端子に供給
され、所定の直流電圧が非反転入力端子にそれぞれ供給
される。このようKして、入力電流1r亀圧に変換する
と共に、前記の直流電圧をカレントミラー回路を介して
磁気センサのコレクタに供給する。A/D変換器は、電
流/電圧変換器の出カケそれぞれディジタル値に変換す
る。演算装置は1.前記A/D変換器の出力に基づいて
、被検知物のベクトル磁界の方位角又は大きさを演4γ
する。
A transistor two-dimensional magnetic sensor has a plurality of collector bears and detects the magnetic field of an object in two dimensions. Details will be described later. The current mirror circuit detects the difference tone of each bare output current of the magnetic sensor. In the current/voltage converter, the output of the current mirror circuit is supplied to an inverting input terminal, and a predetermined DC voltage is supplied to a non-inverting input terminal. In this way, the input current 1r is converted into a voltage, and the DC voltage is supplied to the collector of the magnetic sensor via the current mirror circuit. The A/D converter converts each output of the current/voltage converter into a digital value. The computing device is 1. Based on the output of the A/D converter, calculate the azimuth or magnitude of the vector magnetic field of the object to be detected.
do.

〔発明の実施例〕 次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図は本発明の一実施例に係る装置のブロック図、第2図
はトランジスタ2次元磁気センサの平面説明図、そして
、第3図はその基本動作を示す断面説明図である。
[Embodiments of the Invention] Next, embodiments of the present invention will be described based on the drawings. 1st
FIG. 2 is a block diagram of a device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a transistor two-dimensional magnetic sensor, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing its basic operation.

まず磁気センサの概要を第2図及び第3図に基づいて説
明する。同図におい゛(、(E)はエミッタ、03)は
ベース、(C+)〜(C4)はコレクタである。このセ
ンサ(1)は、4つのコレクタ(C1)〜(C4)をも
つプレーナタイプのNPNトランジスタである。エミッ
タ(E)から注入された電子(e−)は、ベース(B)
領域全拡散していく。このとき、コレクタ(2)、rC
z)がエミッタ[有])に対して対称に配置されている
と、ベース(B)中の′1子(e−)は第6図の実線の
示すように[flし、コレクタ(C1)と(C2)に等
しく配分され、両コレクタ(−)、(C2)に電流差は
ない。このことは、コレクタ(Cs) 、 (C4)の
場合も同様である。
First, an overview of the magnetic sensor will be explained based on FIGS. 2 and 3. In the figure, (, (E) is an emitter, 03) is a base, and (C+) to (C4) are collectors. This sensor (1) is a planar type NPN transistor having four collectors (C1) to (C4). Electrons (e-) injected from the emitter (E) are transferred to the base (B)
It will spread throughout the area. At this time, collector (2), rC
z) is arranged symmetrically with respect to the emitter [with]), the '1 child (e-) in the base (B) becomes [fl] as shown by the solid line in Fig. 6, and the collector (C1) and (C2), and there is no difference in current between both collectors (-) and (C2). This also applies to the collectors (Cs) and (C4).

ところが、磁界Hがy方向に存在すると、電子(e−)
はローレンツ力によってX方向に力を受け、破線に示す
ように移動し、コレクタCC2)の方により多(到達す
る。この結果、両コレクタ(CI)、(C2)間に電流
差が生じる。この電流差は、磁界Hに比例するので、こ
の電流差全検出すれば磁界Hの値紮知ることができる。
However, when the magnetic field H exists in the y direction, electrons (e-)
receives a force in the X direction due to the Lorentz force, moves as shown by the broken line, and reaches the collector CC2). As a result, a current difference occurs between both collectors (CI) and (C2). Since the current difference is proportional to the magnetic field H, the value of the magnetic field H can be determined by detecting the entire current difference.

次に1ベクトル磁界の検出方法について説明する。磁気
センサの感じる磁界Hvr2方向の成分に分解して、H
xとHyに分離して考える。すると、コレクタペア(C
s) 、rC4)がHxに比例した出力を出し、コレク
タペア(Cs) 、 (C)がHyK比例した出力ヲ出
ス。コレクタペアrc3) 、(C4”)の出力kcx
h コレクタペア(2)、(C2)の出力Cyとすると
、磁場の方位θは、 θ= Arc tan (Cy/Cx ) ・・・・・
・・・・・・・・旧・・(1)となり、磁界Hの大きさ
は、 H=にπTC2y ・・ ・・・ (2)でめられる。
Next, a method for detecting a one-vector magnetic field will be explained. The magnetic field Hvr felt by the magnetic sensor is decomposed into components in two directions, and H
Consider x and Hy separately. Then, the collector pair (C
s) and rC4) output an output proportional to Hx, and the collector pair (Cs) and (C) output an output proportional to HyK. Output kcx of collector pair rc3), (C4”)
h Assuming the output Cy of the collector pair (2) and (C2), the direction θ of the magnetic field is θ=Arc tan (Cy/Cx)...
... Old... (1), and the magnitude of the magnetic field H is determined by H = πTC2y... (2).

次に、このような磁気センサを利用した本実施例の検知
装置を第1図に基づいて説明する。
Next, a detection device of this embodiment using such a magnetic sensor will be explained based on FIG. 1.

同図において、(りは上述の磁気センサであり、エミッ
タ(E)、ベース(B)及びコレクタ(2)〜(C4)
から構成されている。エミッタ(E)には直流電流源(
Ve)が印加され、ベース(B)は接地されている。(
2A)。
In the same figure, (ri) is the above-mentioned magnetic sensor, and includes an emitter (E), a base (B), and collectors (2) to (C4).
It consists of The emitter (E) has a direct current source (
Ve) is applied, and the base (B) is grounded. (
2A).

(2B)はそれぞれカレントミラー回路であり、一方の
回路(2A)は、抵抗(R1) 、 (R2)及び差動
増幅器(At)からm成され、コレクタペア(Cs) 
、(C<>の出力電流(I x+) 、 (Iyg)が
供給される。fIIlI方の回路 (2B)は、同様に
抵抗(Ra) 、 (Ra)及び差動増幅器(A2)か
う構成され、コレクタペア(2) 、 (CS>の出力
電流(I)Fl) 、 (Iy*)が供給される。 (
3A) 、 (IB)はそれぞれ電流/電圧変換器であ
り、一方の変換器(3A)は、抵抗(R6)、直流電源
(Eca)及び差動増幅器(A3)から構成され、カレ
ントミラー回路 (2A)の出力′1流(Ix)が供給
される。その出力(VX)はX方向の磁界の大きさに相
当する。他方の変換器(3B)は、同様に抵抗(R6)
、直流電源(”cb )から構成され、カレントミラー
回路(2B)の出力電流(Iy)が供給される。その出
力(vy)はy方向の磁界の大きさに相当する。(4A
)、(dB)はそれぞれA/D変換器であり、電流/電
圧変換器 (3A)、(3B)のアナログ出力をディジ
タル値に変換する。(5)は演算装置であり、マイクロ
コンピュータから構成すれ、A/D変換器(4A)、(
4B)の出力に基づいて被検知物の磁界の方位又は大き
さを演算する。(6)は出力表示部であり、演算装置t
 (5)の演算結果を表示する。
(2B) are current mirror circuits, and one circuit (2A) is composed of resistors (R1), (R2) and a differential amplifier (At), and has a collector pair (Cs).
, (C<>) are supplied with output currents (I x+) and (Iyg). , collector pair (2), (CS> output current (I)Fl), (Iy*) are supplied. (
3A) and (IB) are current/voltage converters, and one converter (3A) is composed of a resistor (R6), a DC power supply (Eca), and a differential amplifier (A3), and is a current mirror circuit ( An output '1 current (Ix) of 2A) is supplied. Its output (VX) corresponds to the magnitude of the magnetic field in the X direction. The other converter (3B) similarly has a resistor (R6)
, a DC power supply ("cb"), which supplies the output current (Iy) of the current mirror circuit (2B). Its output (vy) corresponds to the magnitude of the magnetic field in the y direction (4A
) and (dB) are A/D converters, respectively, which convert the analog outputs of the current/voltage converters (3A) and (3B) into digital values. (5) is an arithmetic unit, consisting of a microcomputer, an A/D converter (4A), (
The direction or magnitude of the magnetic field of the object to be detected is calculated based on the output of step 4B). (6) is the output display section, and the arithmetic unit t
Display the calculation result of (5).

このような検知装置をエンコーダとして使用する場合は
、被検知物に永久磁石を取付ければよい。
When using such a detection device as an encoder, a permanent magnet may be attached to the object to be detected.

今、例えば磁気センサ(1)が磁界を受け、コレクタペ
ア(Ca) 、 (C4)の出力電流t−(Ixs) 
、 (IX2) とし、カレントミラー回路(2A)の
抵抗(R1) 、(R2)に流れる電光管(If) 、
 (I2) とし、この回路(2A)の出力電流を(Δ
Ic)とすれば、差動増幅器(p、x)の入力端子に流
れ込む電流は無視できるので、Ixl ”= 11 ・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(3)Ix
l = I2+ΔIc ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・(4)となる。また、差動増幅器(Al
)の非反転入力端子の電位を(V+)とし、反転入力端
子の電位を(V−)とし、そして出力端子の電位を(v
out)とすれば、V+ == Vout R4争11
 ・・・・・・・・・・・・(5)■−:vout R
z”h =・旧・−(6)となる。ここで、■+=v−
であるから、R1・ I、=R,・ I2 *”a I ! == uLll ・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・(7)R之 となる。(7)弐t(41式に代入すると、R1=R,
とすると、 ΔIc = IXII −Ixl ・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・(9)となる。このようKし
て、コレクタペア(Cs) 、(C4)の差電流(ΔI
C)、すなわち (IX)が得られる。この(■x)は
、電流/電圧変換器(6A)で電圧(Vx)に変換され
、磁界のX方向成分に相当する電圧値(VX)が得られ
る。コレクタペア(−) 、 (C2)の出力電流(I
yl) 、(Iy2) も同様にカレントミラー回路(
2B)及び電流/電圧変換器(6B)により、磁界のy
方向成分に相当する電圧値(Vy)K変換される。ここ
で、電流/1圧変換器(3A)、(3B)の直流電源(
Ecl) +(Ecl))は同一電位(Ee)となって
おり、差動増幅器の非反転入力端子の電位と反転入力端
子の電位は等電位であるから、各コレクタ(CI)、 
(C2)、 (C3)。
Now, for example, when the magnetic sensor (1) receives a magnetic field, the output current t-(Ixs) of the collector pair (Ca), (C4)
, (IX2), the resistance (R1) of the current mirror circuit (2A), the electron tube (If) flowing through (R2),
(I2), and the output current of this circuit (2A) is (Δ
Ic), the current flowing into the input terminals of the differential amplifier (p, x) can be ignored, so Ixl ''= 11 ・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(3) Ix
l=I2+ΔIc・・・・・・・・・・・・・・・
......(4). In addition, a differential amplifier (Al
), the potential of the non-inverting input terminal is (V+), the potential of the inverting input terminal is (V-), and the potential of the output terminal is (v
out), then V+ == Vout R4 conflict 11
・・・・・・・・・・・・(5) ■-: vout R
z”h =・old・−(6).Here, ■+=v−
Therefore, R1・I,=R,・I2 *”a I! == uLll ・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・(7) It becomes R. (7) 2t (Substituting into formula 41, R1=R,
Then, ΔIc = IXII - Ixl ・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・(9) In this way, the difference current (ΔI) between the collector pair (Cs) and (C4) is
C), i.e. (IX) is obtained. This (■x) is converted into a voltage (Vx) by a current/voltage converter (6A), and a voltage value (VX) corresponding to the X-direction component of the magnetic field is obtained. Output current (I) of collector pair (-), (C2)
yl) and (Iy2) are also current mirror circuits (
2B) and the current/voltage converter (6B), the magnetic field y
The voltage value (Vy) corresponding to the directional component is converted into K. Here, the DC power supply (
Ecl) + (Ecl)) are at the same potential (Ee), and the potential of the non-inverting input terminal and the potential of the inverting input terminal of the differential amplifier are equal, so each collector (CI),
(C2), (C3).

(C4)には四−′電圧(Ec)が印加され、安定した
動作がo7能になっている。
A 4-' voltage (Ec) is applied to (C4) to enable stable operation.

A/D変換器(jiA)、(4n)でディジタル値に変
換された出力は、演算装置(5)で次式の演算が行なわ
れる。
The outputs converted into digital values by the A/D converters (jiA) and (4n) are subjected to the following calculation in the calculation device (5).

θ= Arc tan (My/Vx ) −・” ”
 ”・”・(10このようにして、磁界の方位θ、すな
わち角度がめられ、出力表示部(6)に表示される。θ
の大きさが小さくなると、上記演算の誤差が大きくなる
ので、このような場合には θ=Arccot(vy/■大)……………aυでめる
θ=Arc tan (My/Vx) −・” ”
``・''・(10 In this way, the direction θ of the magnetic field, that is, the angle, is determined and displayed on the output display section (6). θ
As the magnitude of is smaller, the error in the above calculation becomes larger, so in such a case, θ=Arcot(vy/■large)......aυ.

この実施例でtま、本装置をエンコーダとしテ利用する
場合に°シいて説明したが、磁気探傷に利用する場合に
は、 H=K 仏−i7・・・・・・・・・・・・・・・CI
陣により、磁界の大きさ請求めればよい。出し、Kは比
例定数である。
In this example, we have explained the case where this device is used as an encoder, but when it is used for magnetic flaw detection, H=K = i7... ...CI
You can request the size of the magnetic field depending on the position. and K is the proportionality constant.

また、磁気センサは、NPNタイプのもので説明したが
、PNPタイプのものであってもよいことはいうまでも
ない。
Furthermore, although the magnetic sensor has been described as being of the NPN type, it goes without saying that it may be of the PNP type.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、本発明によれば、磁気センサとしてトラ
ンジスタ形のものを用い、さらに電流/安定した動作が
得られており、高速応答性、低速域安定性、小型化、高
分解能、低価格等の諸条件を満足した検知装置の実現が
可能となっている。
As described above, according to the present invention, a transistor-type magnetic sensor is used, and further current/stable operation is obtained, high-speed response, low-speed stability, miniaturization, high resolution, and low cost. It has become possible to realize a detection device that satisfies the following conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例に係る磁気ベクトル検知装置
のブロック図、第2図は2次元磁気センサの平面説明図
、第3図は2次元磁気センサの基本動作を示す断面説明
図である。 (1)・・・2次元磁気センサ、(2A)、(2B)・
・・カレントミラー回路、(3A)、(3B)・・・1
流/亀圧変換器、(4A)、(4B)・・・ /D変換
器、(5)・・・演算装置、(6)・・・出力表示部。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第2図 第3図
FIG. 1 is a block diagram of a magnetic vector detection device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a two-dimensional magnetic sensor, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing the basic operation of the two-dimensional magnetic sensor. be. (1)...Two-dimensional magnetic sensor, (2A), (2B)
...Current mirror circuit, (3A), (3B)...1
Current/tortoise pressure converter, (4A), (4B)... /D converter, (5)... Arithmetic device, (6)... Output display section. Agent: Patent Attorney Sanro KimuraFigure 2Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 複数のコレクタベアを有し、被検知物の磁界を2次元に
わたって検知するトランジスタ2次元磁気センサ;磁気
センサの各コレクタベアの出力電流の差をそれぞれめる
カレントミラー回路:カレントミラー回路の出力が反転
入力端子に供給され、所定の直流電圧が非反転入力端子
に供給され、カレントミラー回路の出力電流t−を圧に
それぞれ変換す、る電流/電圧変換器;亀流/電圧変換
器の出力をそれぞれディジタル値に変換するA/D変換
器;及びA/D変換器の出力に基づいて被検知物のベク
トル磁界の方位角又は大きさを演算する演算装置;を備
えたことを特徴とする磁気ベクトル検知装置。
A transistor two-dimensional magnetic sensor that has multiple collector bears and detects the magnetic field of the object to be detected over two dimensions; A current mirror circuit that calculates the difference in the output current of each collector bear of the magnetic sensor: The output of the current mirror circuit is A current/voltage converter that is supplied to an inverting input terminal, a predetermined DC voltage is supplied to a non-inverting input terminal, and converts the output current t- of the current mirror circuit into pressure; the output of the current/voltage converter and an arithmetic device that calculates the azimuth or magnitude of the vector magnetic field of the object to be detected based on the output of the A/D converter. Magnetic vector detection device.
JP7577084A 1984-04-17 1984-04-17 Detecting device for vector magnetic field Pending JPS60220874A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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