JPS6021430A - 微差圧伝送器 - Google Patents
微差圧伝送器Info
- Publication number
- JPS6021430A JPS6021430A JP12937183A JP12937183A JPS6021430A JP S6021430 A JPS6021430 A JP S6021430A JP 12937183 A JP12937183 A JP 12937183A JP 12937183 A JP12937183 A JP 12937183A JP S6021430 A JPS6021430 A JP S6021430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive element
- casing
- diaphragm
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体感圧素子を具えだ微差圧伝送器の構造
に関する。
に関する。
従来の微差圧伝送器の構造例を第１図に示す。
第１図において、（１） 、 （１’）はケーシング、
（３） 、 ’（３’）は受圧ダイアフラム、（２）は
受圧ダイアフラム（３）。
（３） 、 ’（３’）は受圧ダイアフラム、（２）は
受圧ダイアフラム（３）。
（３′）により閉塞されたケーシング（１） 、（１’
） 内空ｆ’ｉｔＪを第１圧力室（力および第２圧力室
（７′）に隔離するようにケーシング内に配置されたセ
ンタダイアフラム、（５） 、 （５’）は両圧力室内
に封入された圧力伝達媒体、（４） 、 （４’）は受
圧ダイアフラム（３） 、 （３’）が着座する受圧ダ
イアプラム座、（８）は第１圧力室（７）および第２圧
力室（７′）に連通孔（６）で連通され側圧力室（７）
、 （７’）の差圧を検出し電気信号に変換して出力
する半導体感圧素子、（９）は感圧素子（８）の出方信
号を取り出すリード、αυ、 （１１’）は被測定流体
を導入するための接液フランジ、ａ＠は溶接部である。
） 内空ｆ’ｉｔＪを第１圧力室（力および第２圧力室
（７′）に隔離するようにケーシング内に配置されたセ
ンタダイアフラム、（５） 、 （５’）は両圧力室内
に封入された圧力伝達媒体、（４） 、 （４’）は受
圧ダイアフラム（３） 、 （３’）が着座する受圧ダ
イアプラム座、（８）は第１圧力室（７）および第２圧
力室（７′）に連通孔（６）で連通され側圧力室（７）
、 （７’）の差圧を検出し電気信号に変換して出力
する半導体感圧素子、（９）は感圧素子（８）の出方信
号を取り出すリード、αυ、 （１１’）は被測定流体
を導入するための接液フランジ、ａ＠は溶接部である。
ｂま、この微差圧伝送器に接液フラン：）（ＩＩ） 、
（１１’）を介して圧力ＰＨＰＬ（Ｐｌ、〉ＰＬ）が
加わると、圧力伝達媒体（５） 、 （５’）を介して
感圧素子（８）には差圧ＰＩＩ ”−ＰＬ に比例した
差圧ＰＩ４’ −”Ｌ’が加わシ、リード（９）を辿し
て出力信号が外部へ送られる。同時にセンタダイアフラ
ム（２）は差圧ＰＨ′−ＰＬ′に応じて低圧側へと撓み
、受圧ダイアフラム（３） 、 （３’）も低圧側へと
撓まされる。
（１１’）を介して圧力ＰＨＰＬ（Ｐｌ、〉ＰＬ）が
加わると、圧力伝達媒体（５） 、 （５’）を介して
感圧素子（８）には差圧ＰＩＩ ”−ＰＬ に比例した
差圧ＰＩ４’ −”Ｌ’が加わシ、リード（９）を辿し
て出力信号が外部へ送られる。同時にセンタダイアフラ
ム（２）は差圧ＰＨ′−ＰＬ′に応じて低圧側へと撓み
、受圧ダイアフラム（３） 、 （３’）も低圧側へと
撓まされる。
さらに差圧が大きくなると、測定範囲以上の或差圧ΔＦ
、で受圧ダイアフラム（３）が受圧ダイアフラム座（４
）に着座し、それ以上の受圧ダイアフラム（３）の体積
変位は拘束されるので、感圧素子（８）はΔＰＢ以上の
過大差圧から保欣される。ＰＬ＞ＰＨの場合も全く同様
である。
、で受圧ダイアフラム（３）が受圧ダイアフラム座（４
）に着座し、それ以上の受圧ダイアフラム（３）の体積
変位は拘束されるので、感圧素子（８）はΔＰＢ以上の
過大差圧から保欣される。ＰＬ＞ＰＨの場合も全く同様
である。
ところが、このような構造では、感圧素子（８）が接液
部すなわち受圧ダイアフラム（３） 、 （３’）よシ
離れだ所に位置しているため、感圧素子（８）に内蔵さ
れている温度センサは実際の接液温度よシ低い（または
高い）温度を検知していることに々シ、正確な温度補正
ができない。
部すなわち受圧ダイアフラム（３） 、 （３’）よシ
離れだ所に位置しているため、感圧素子（８）に内蔵さ
れている温度センサは実際の接液温度よシ低い（または
高い）温度を検知していることに々シ、正確な温度補正
ができない。
この問題を改良した例が第２図に示したもので、基本的
な構成は第１図のものと同様であるが、感圧素子（１’
Ｊがセンタダイアフラム０３と直列（ケーシングαυの
受圧方向）に配置されたものである。この場合は、感圧
素子（ｌＩは接液部に近い所に配置されているだめ、感
圧素子内の温度センサは正確な接液温度を検知すること
ができる。しかしながら、３００ ｍｍＨ２Ｏ以下の微
差圧を測定する微差圧伝送器では、受圧ダイアフラム（
１４）、 （１４’）は、温度変化に伴う圧力伝達媒体
の膨張、収縮による誤差（温度誤差）を小さくするため
に有効径を太きくとる必要があり、第２図の構造では伝
送器がかなり大きくなってしまう。まだ、微差圧の測定
では、傾斜誤差および振動、衝撃による出力変動がケー
シング（１１）の受圧方向の長さに影響されるため、受
圧方向の長さはなるべく小さい方が良いが、この構造で
はケーシングの受圧方向の長さを小さくすることは剣り
しい。
な構成は第１図のものと同様であるが、感圧素子（１’
Ｊがセンタダイアフラム０３と直列（ケーシングαυの
受圧方向）に配置されたものである。この場合は、感圧
素子（ｌＩは接液部に近い所に配置されているだめ、感
圧素子内の温度センサは正確な接液温度を検知すること
ができる。しかしながら、３００ ｍｍＨ２Ｏ以下の微
差圧を測定する微差圧伝送器では、受圧ダイアフラム（
１４）、 （１４’）は、温度変化に伴う圧力伝達媒体
の膨張、収縮による誤差（温度誤差）を小さくするため
に有効径を太きくとる必要があり、第２図の構造では伝
送器がかなり大きくなってしまう。まだ、微差圧の測定
では、傾斜誤差および振動、衝撃による出力変動がケー
シング（１１）の受圧方向の長さに影響されるため、受
圧方向の長さはなるべく小さい方が良いが、この構造で
はケーシングの受圧方向の長さを小さくすることは剣り
しい。
本発明は、感圧素子を接液部の近くに配置して正確な接
液温度を検知するとともに、ケーシングの受圧方向の長
さもできるだけ小さくすることにＪ：つて卸１゛［およ
び振動＋ ＠ｔｒ撃による誤差を小さくすることができ
る微差圧伝送器を提供することを［］的と−する。
液温度を検知するとともに、ケーシングの受圧方向の長
さもできるだけ小さくすることにＪ：つて卸１゛［およ
び振動＋ ＠ｔｒ撃による誤差を小さくすることができ
る微差圧伝送器を提供することを［］的と−する。
本発明は、ケーシングの両端にそれぞれ気密に取＞ｉ″
Ｉされた受圧ダイアフラムで閉塞されてケーシング内に
形成された第１および第２の圧力室と、前記ケーシング
内に設けられこれら両圧力室を隅肉（１するセンタダイ
アフラムと、前記ケーシング内に設けられ前記第１およ
び第２の圧力室の差圧を検出する感圧素子と、前記第１
および第２の圧力室に封入された圧力伝達媒体とを具備
してなる微差圧伝送器において、前記センタダイアフラ
ムと感圧素子とが前記ケーシングの半径方向に並べて配
置されたことを特徴とする微差圧伝送器を実現して所期
の目的を達成した。
Ｉされた受圧ダイアフラムで閉塞されてケーシング内に
形成された第１および第２の圧力室と、前記ケーシング
内に設けられこれら両圧力室を隅肉（１するセンタダイ
アフラムと、前記ケーシング内に設けられ前記第１およ
び第２の圧力室の差圧を検出する感圧素子と、前記第１
および第２の圧力室に封入された圧力伝達媒体とを具備
してなる微差圧伝送器において、前記センタダイアフラ
ムと感圧素子とが前記ケーシングの半径方向に並べて配
置されたことを特徴とする微差圧伝送器を実現して所期
の目的を達成した。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第３図および第４図に本発明一実施例の微差圧伝送器を
示す。第３図および第４図に示すように、ケーシング（
３１’）には、センタダイアフラム０乃がケーシングの
中心から偏心してその周辺部を溶接によって気密に固定
されている。さらに、ケーシング（３１’）には、感圧
素子（３ｇ）がケーシングの半径方向に並べて配置され
、その周辺部を溶接によって気密に固定されている。
示す。第３図および第４図に示すように、ケーシング（
３１’）には、センタダイアフラム０乃がケーシングの
中心から偏心してその周辺部を溶接によって気密に固定
されている。さらに、ケーシング（３１’）には、感圧
素子（３ｇ）がケーシングの半径方向に並べて配置され
、その周辺部を溶接によって気密に固定されている。
まだ、第４図に示すように、感圧素子（（８）のリード
取出口（４０および圧力伝達媒体封入口（４渇は、セン
タダイアフラム０４の中心と感圧素子（２）の中心を通
るケーシング（３１’）の中心ａ（Ａ）と４５°の角度
をなすケーシング（３１’）の中心線（Ｂ）土建位置し
て配置されている。（４１）はリード（３１をリード取
出口（４ｏ）から気密に取り出すだめのシールプラグ、
（４３）は圧力伝達媒体封入口（４渇の封入プラグであ
る。
取出口（４０および圧力伝達媒体封入口（４渇は、セン
タダイアフラム０４の中心と感圧素子（２）の中心を通
るケーシング（３１’）の中心ａ（Ａ）と４５°の角度
をなすケーシング（３１’）の中心線（Ｂ）土建位置し
て配置されている。（４１）はリード（３１をリード取
出口（４ｏ）から気密に取り出すだめのシールプラグ、
（４３）は圧力伝達媒体封入口（４渇の封入プラグであ
る。
第３図に示すように、ケーシング（３１′）には、ケー
シング（３１）がその周辺を溶接によって気密に接合さ
れて第１の圧力室（３つを形成１７ておシ、センタダイ
アフラム０２とケーシングＣ３＋） ｅ−二の間にはデ
ィスり（伯が充１５．ｊされており、第１の圧力室の内
容積を小さくしている。また、感圧素子（至）とケーシ
ング（（１）との間にはディスク（４５）が充填されて
おり、同じく第１の圧力室の内容積を小さくしている。
シング（３１）がその周辺を溶接によって気密に接合さ
れて第１の圧力室（３つを形成１７ておシ、センタダイ
アフラム０２とケーシングＣ３＋） ｅ−二の間にはデ
ィスり（伯が充１５．ｊされており、第１の圧力室の内
容積を小さくしている。また、感圧素子（至）とケーシ
ング（（１）との間にはディスク（４５）が充填されて
おり、同じく第１の圧力室の内容積を小さくしている。
ケーシングＣＨＩ）の外端面ば受圧ダイアフラムｍ （
３＋）となっており、これに対向して受圧ダイアフラム
４３３）が気密に取り伺けられている。捷だケーシング
（３１’）の夕１イ’？ｆＡ ｉｌｌ ｊｌ−、、ｉ、
受圧ダイアフラム座（３４’）となつ−０才２シ、これ
に対向して受圧ダイアフラム（３３’） が気密に取り
イＸ１けられ、センタダイアフラム０功とで第２の圧力
室（３５’） を形成している。第１および第２の圧力
室には圧力伝達媒体（３６） 、 （３６’）がそれぞ
れ封入されている。第１の圧力室（３ツおよび第２の圧
力室（？１５’） Ｈ：連通孔い道、 （３７’）によ
り感圧素子（３８）の両受圧面に連通されている。さら
に、ケーシング（３１）には接べにフランジ（４０が、
ケーシング（３１’）には接液フランジ（４６’）が、
それぞれオーリングを介して気密に取〃ｆされている。
３＋）となっており、これに対向して受圧ダイアフラム
４３３）が気密に取り伺けられている。捷だケーシング
（３１’）の夕１イ’？ｆＡ ｉｌｌ ｊｌ−、、ｉ、
受圧ダイアフラム座（３４’）となつ−０才２シ、これ
に対向して受圧ダイアフラム（３３’） が気密に取り
イＸ１けられ、センタダイアフラム０功とで第２の圧力
室（３５’） を形成している。第１および第２の圧力
室には圧力伝達媒体（３６） 、 （３６’）がそれぞ
れ封入されている。第１の圧力室（３ツおよび第２の圧
力室（？１５’） Ｈ：連通孔い道、 （３７’）によ
り感圧素子（３８）の両受圧面に連通されている。さら
に、ケーシング（３１）には接べにフランジ（４０が、
ケーシング（３１’）には接液フランジ（４６’）が、
それぞれオーリングを介して気密に取〃ｆされている。
上記のように講成された本発明一実施例の微差圧伝送器
においては、第３図に示すように、高圧側にＰＨ１低圧
側にＰＬなる圧力が印加され、且つＰｌ（〉ＰＬである
とすれば、受圧ダイアンラムＣ３：） 。
においては、第３図に示すように、高圧側にＰＨ１低圧
側にＰＬなる圧力が印加され、且つＰｌ（〉ＰＬである
とすれば、受圧ダイアンラムＣ３：） 。
（３３’） 、圧力伝達媒体（３ｊｉｌ 、 （３６′
）を介してセンタダイアフラム０４および感圧素子（至
）に差圧”Ｈ−” ＰＬが伝達され、センタダイアフラ
ム（３２１は低圧側へ撓み、感圧素子（至）は差圧”Ｈ
”−ＰＬに応じた出力信ぢを発生ずる。さらに、検出範
囲を超える差圧が加わると、センタダイアフラムＯ乃は
さらに低圧側へ撓与、その時移動した容積分たけ受圧ダ
イアフラム（ハ）も低圧側に佐むことになｐ１受圧グイ
アフラムＣ３３）と受圧ダイアフラム座Ｃ３４）の間の
空隙の容積と、センタダイアフラム（３２１の移動容積
とがほぼ等しくなったときの差圧値で受圧ダイアフラム
１３３）は受圧ダイアフラム座頭）に密接してＭｗし、
それ以上の過大な差圧が加わったとしても受圧ダイアフ
ラムＣ３（ト）の移動は阻止されるので、圧力伝達媒体
４３Ｇ） 、 （３６’）にはそれ以上の差圧は伝達さ
れず、その結果、感圧素子（ハ）は過大差圧から保護さ
れる。過大な差圧が除去されたときには受圧ダイアフラ
ムｅ：ｉおよびセンタダイアフラム０りは元の位置へ戻
る。低圧側に過大な圧力が加わった場合も同様である。
）を介してセンタダイアフラム０４および感圧素子（至
）に差圧”Ｈ−” ＰＬが伝達され、センタダイアフラ
ム（３２１は低圧側へ撓み、感圧素子（至）は差圧”Ｈ
”−ＰＬに応じた出力信ぢを発生ずる。さらに、検出範
囲を超える差圧が加わると、センタダイアフラムＯ乃は
さらに低圧側へ撓与、その時移動した容積分たけ受圧ダ
イアフラム（ハ）も低圧側に佐むことになｐ１受圧グイ
アフラムＣ３３）と受圧ダイアフラム座Ｃ３４）の間の
空隙の容積と、センタダイアフラム（３２１の移動容積
とがほぼ等しくなったときの差圧値で受圧ダイアフラム
１３３）は受圧ダイアフラム座頭）に密接してＭｗし、
それ以上の過大な差圧が加わったとしても受圧ダイアフ
ラムＣ３（ト）の移動は阻止されるので、圧力伝達媒体
４３Ｇ） 、 （３６’）にはそれ以上の差圧は伝達さ
れず、その結果、感圧素子（ハ）は過大差圧から保護さ
れる。過大な差圧が除去されたときには受圧ダイアフラ
ムｅ：ｉおよびセンタダイアフラム０りは元の位置へ戻
る。低圧側に過大な圧力が加わった場合も同様である。
感圧才子Ｃ■はセンタダイアフラム０２と並んで配置さ
れているため、接液部の近くにあシ、感圧素子（財）に
内蔵されている温度センサが正確な接液温度を検知でき
、正確な温肛補正が行なわれる。まノこ、感圧才子（３
８）とセンタダイアフラム０功の並列配置７／、ｌによ
り、ケーシング（３１） 、、 （３１’）の受圧方向
の長さを小さくすることができたので、微差圧測定の場
合に影２ｊジの大きい傾余１誤差を小さくすることがで
きる。さらに、ｕＳ４図に示すように、リード取出１、
ｕ ｊ４１）および圧力伝達媒体側入口（４力を、セン
タダイアフラム（３７）と感圧素子（３Ｑとの各中心を
通るケーシング（１１、（３１’）の中心線と４５°
の角度をなす位置に配Ｗｊしたことによシ、ケーシング
０υ、 （３１’） の外径を小さくできる上、リード
取出口（ｉｏおよび圧力伝達媒体封入口（４渇のための
突起部を設ける必要がなく外シ、それたけ微差圧伝送器
を小形にすることかできる。
れているため、接液部の近くにあシ、感圧素子（財）に
内蔵されている温度センサが正確な接液温度を検知でき
、正確な温肛補正が行なわれる。まノこ、感圧才子（３
８）とセンタダイアフラム０功の並列配置７／、ｌによ
り、ケーシング（３１） 、、 （３１’）の受圧方向
の長さを小さくすることができたので、微差圧測定の場
合に影２ｊジの大きい傾余１誤差を小さくすることがで
きる。さらに、ｕＳ４図に示すように、リード取出１、
ｕ ｊ４１）および圧力伝達媒体側入口（４力を、セン
タダイアフラム（３７）と感圧素子（３Ｑとの各中心を
通るケーシング（１１、（３１’）の中心線と４５°
の角度をなす位置に配Ｗｊしたことによシ、ケーシング
０υ、 （３１’） の外径を小さくできる上、リード
取出口（ｉｏおよび圧力伝達媒体封入口（４渇のための
突起部を設ける必要がなく外シ、それたけ微差圧伝送器
を小形にすることかできる。
２ｃ卦、上述した実施例では、リード取出口（４（Ｉｔ
および圧力伝達媒体：１２１人口（４ａの位置を、セン
タダイアフラム０２と感圧素子（ハ）との各中心を通る
ケーシング（３１）、（３１つの中心線と４５°だけ離
れた個所にしだが、この角度は４５°に限らず、ケーシ
ングの外径を小さくできる目的を達成し得る適宜の角度
でよい。また、リード取出口（４０）と圧力伝達媒体封
入口Ｇ１２との相対位置関係も、第４図のように一直線
にある場合に限らない。
および圧力伝達媒体：１２１人口（４ａの位置を、セン
タダイアフラム０２と感圧素子（ハ）との各中心を通る
ケーシング（３１）、（３１つの中心線と４５°だけ離
れた個所にしだが、この角度は４５°に限らず、ケーシ
ングの外径を小さくできる目的を達成し得る適宜の角度
でよい。また、リード取出口（４０）と圧力伝達媒体封
入口Ｇ１２との相対位置関係も、第４図のように一直線
にある場合に限らない。
以上詳述したように本発明によれば、微差圧伝送器にお
いて、ケーシング内の第１および第２の圧力室を隔離す
るセンタダイアフラムと感圧１子とを前記ケーシングの
半径方向に並べて配置したことによシ、感圧素子と接液
部とが接近し、感圧素子に内蔵されている温度センサが
接液温度を正確に検知できるだめ、正確な温度補正を行
なうことができる。また、センタダイアフラムと感圧素
子の並列配置により、ケーシングの受圧方向の長さを小
さくすることができるので、ケーシング内部に封入され
ている圧力伝達媒体のヘッド圧による傾斜誤差および振
動、衝撃による誤差を小さくすることができ、これらの
誤差の影響を大きく受ける微差圧測定の精度を上げるこ
とができる。また、ケーシングの受圧方向の長さが小さ
くなったことにより、材料の削減からコストが低減され
る。
いて、ケーシング内の第１および第２の圧力室を隔離す
るセンタダイアフラムと感圧１子とを前記ケーシングの
半径方向に並べて配置したことによシ、感圧素子と接液
部とが接近し、感圧素子に内蔵されている温度センサが
接液温度を正確に検知できるだめ、正確な温度補正を行
なうことができる。また、センタダイアフラムと感圧素
子の並列配置により、ケーシングの受圧方向の長さを小
さくすることができるので、ケーシング内部に封入され
ている圧力伝達媒体のヘッド圧による傾斜誤差および振
動、衝撃による誤差を小さくすることができ、これらの
誤差の影響を大きく受ける微差圧測定の精度を上げるこ
とができる。また、ケーシングの受圧方向の長さが小さ
くなったことにより、材料の削減からコストが低減され
る。
さらに、リード取出口および圧力伝達媒体封入口を七ン
タタ゛イアフラムの中心と感圧素子の中心を通るケーシ
ングの中心線から外れた位置に配置したことによシ、リ
ード取出口および圧力伝達媒体封入口のための突起を設
ける必要がなくなシ、ケーシングは九棒利から削、り出
すことができ、加工が容易になる。
タタ゛イアフラムの中心と感圧素子の中心を通るケーシ
ングの中心線から外れた位置に配置したことによシ、リ
ード取出口および圧力伝達媒体封入口のための突起を設
ける必要がなくなシ、ケーシングは九棒利から削、り出
すことができ、加工が容易になる。
第１図は従来の微差圧伝送器の構造の一例を示す断面１
シ１、第２図は従来の微差圧伝送器の構造の他のＩｌｌ
を示す断面図、第３図および第４図は本発明一実施例の
微差圧伝送器を示し、第３図は断面図、第４図は第３図
のＸＸ′矢視図である。 ３１．３１’・・・ケーシング ３２・・・センタダイ
アフラム３３．３３’・・受圧グイアフラム３４，３４
’・・・受圧ダイアフラム座 ３５・・第１の圧力室３５′・・・第２の圧力室３６．
３６’・・・圧力伝達媒体 ３７．３７’・・・連通孔
３８・・・感圧素子 ３９・・・リード４０・−リード
取出口 ４１ ・・シールゾラグ４２・・・圧力伝達媒
体封入口 ４３・・・封入プラグ４４．４５・・・ディ
スク ４６．４６’・・・接液クランジ代理人 弁理士
井 上 −男 ！１図 ４０ ２ジ 第 ２ 図 ３ 第３図 第 ４ 図
シ１、第２図は従来の微差圧伝送器の構造の他のＩｌｌ
を示す断面図、第３図および第４図は本発明一実施例の
微差圧伝送器を示し、第３図は断面図、第４図は第３図
のＸＸ′矢視図である。 ３１．３１’・・・ケーシング ３２・・・センタダイ
アフラム３３．３３’・・受圧グイアフラム３４，３４
’・・・受圧ダイアフラム座 ３５・・第１の圧力室３５′・・・第２の圧力室３６．
３６’・・・圧力伝達媒体 ３７．３７’・・・連通孔
３８・・・感圧素子 ３９・・・リード４０・−リード
取出口 ４１ ・・シールゾラグ４２・・・圧力伝達媒
体封入口 ４３・・・封入プラグ４４．４５・・・ディ
スク ４６．４６’・・・接液クランジ代理人 弁理士
井 上 −男 ！１図 ４０ ２ジ 第 ２ 図 ３ 第３図 第 ４ 図
Claims (2)
- （１） ケーシングの両端にそれぞれ気密に取着された
受圧ダイアフラムで閉塞されてケーシング内に形成され
た第１および第２の圧力室と、前記ケーシング内に設け
られこれら側圧力室を隔離するセンタダイアフラムと、
前記ケーシング内に設けられ前記第１および第２の側圧
力室の差圧を検出する感圧素子と、前記第１および第２
の圧力室に封入された圧力伝達媒体とを具備してなる微
差圧伝送器において、前記センタダイアフラムと感圧素
子とが前記ケーシングの半径方向に並べて配置されたこ
とを特徴とする微差圧伝送器。 - （２） 感圧素子からのリード取出口および圧力伝達媒
体封入口がセンタダイアプラムの中心と感圧素子の中心
とを通るケーシングの中心線から外れた位置に配信され
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の微差圧
伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12937183A JPS6021430A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 微差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12937183A JPS6021430A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 微差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021430A true JPS6021430A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=15007923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12937183A Pending JPS6021430A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 微差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021430A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322483A (en) * | 1976-03-24 | 1978-03-01 | Ict Instruments | Transducer assembly for differential pressure measurement |
| JPS5697199A (en) * | 1980-01-07 | 1981-08-05 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
-
1983
- 1983-07-18 JP JP12937183A patent/JPS6021430A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322483A (en) * | 1976-03-24 | 1978-03-01 | Ict Instruments | Transducer assembly for differential pressure measurement |
| JPS5697199A (en) * | 1980-01-07 | 1981-08-05 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
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