SU1315837A1 - Преобразователь давлени - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и позвол ет повысить точность преобразовател  путем устранени  термоупругих напр жений в области соединени  кремниевой пластины с корпусом. На поверхности кремниевой крышки выполнены кольцевые канавки 4. Воздействие потока среды на пластину I приводит к деформации мембраны 7. В измерительной диагонали тензорезисторного моста по вл етс  сигнал, характеризующий давление в среде. 3 ил. СО х-З lAd сд 00 00 t IP фиг. 1

Description

113

Изобретение относитс  к контраль- но-измерительной технике и предназначено дл  измерени  давлени  в гид- ро-и газодинамических системах.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  преобразовател  давлени  путем устранени  термоупругих напр жений, возникающих в области соединени  кремниевой пластины с корпусом.

На фиг.1 изображен предлагаемьш преобразователь, разрез; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - мембрана .

Полупроводникова  пластина с полу- проводниковой крышкой 2, котора  в периферийной области соединена по окружности с металлическим корпусом 3. В области соединени  с корпусом 3 в крышке 2 выполнен р д кольцевых каналов 4, а в местах расположени  выводов 5 резисторов R1 R4 (фиг.З) имеютс  сквозные отверсти  6. На поверхности мембраны 7 диффузионные резисторы R1 - R4 образуют замкнутый тензорезисторный мост 8. В крышке 2 над мембраной 7 выполнена лунка 9 с радиусом, большим, чем мембрана 7.. Глубина лунки равна высоте прогиба мембраны при номинальном давлении преобразовател . Это позвол ет повысить перегрузочную способность преобразовател , поскольку наличие упора снижает веро тность разрушени  мембраны при превышении номинального давлени . .,

Преобразователь давлени  работает следзпощим образом J/

5837 . 2 I

Дл  измерени  давлений потока газа или жидкости преобразбватель устанавливаетс  при помощи I корпуса 3 в систему подлежащую иссг едованию.

5 При воздействии потока жидкости или гаьа (Р) на пластину 1 происходит деформаци  мембраны 7, котора  в результате тензоэффекта вызывает по вление сигнала в измерительной диагоfO нали тензорезисторного моста 8. По значению этого сигнала мЬжно судить о давлении в системе.

Деформаци  мембраны быть вызвана, помимо измер емого давлени 

5 напр жени ми в спае корпус 3 - кремниева  пластина 1. При этом в измерительной диагонали моста 8 возникает сигнал ошибки, вызванный термоупругими напр жени ми. СлЬдователь20 но, уменьшение этих нaпp kepий приведет к уменьшению сигнала ошибки, что повысит точность.измерени  преобразовател .

I .

Claims (1)

1. Формула изобрёт-ёни 

   ,

   Преобразователь давлени , содержащий корпус, кремниевую пластинку с мембраной, тензорезисторн | 1й мост,

   30 расположенный на мембранеL и крьшку, размещенную между пластинфй и корпусом , отличающийс  тем, что, с целью повьшени  то ности путем устранени  термоупруп х напр же35 НИИ, в нем на поверхностиiкрышки, обращенной к корпусу, выпс|)лнены кольцевые канавки, а крьшхка выполнена

   л из кремни .i

   Фи2.2

   Редактор О.Юрковецка 

   Составитель А.Сверчков Техред А.Кравчук

   Заказ 2352/4АТираж 776Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4

   Фиг,3

   Корректор С.Шекмар