JPS60214114A - 音叉型圧電振動子の音響漏洩除去方法 - Google Patents
音叉型圧電振動子の音響漏洩除去方法Info
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- JPS60214114A JPS60214114A JP7057984A JP7057984A JPS60214114A JP S60214114 A JPS60214114 A JP S60214114A JP 7057984 A JP7057984 A JP 7057984A JP 7057984 A JP7057984 A JP 7057984A JP S60214114 A JPS60214114 A JP S60214114A
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- JP
- Japan
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- arm
- tuning fork
- fork type
- type piezoelectric
- piezoelectric vibrator
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は音叉型圧電振動子、殊に幅広音叉型圧電振動子
のアーム形状のアンバランスに起因する音響漏洩を除去
する方法に関する。
のアーム形状のアンバランスに起因する音響漏洩を除去
する方法に関する。
従来２時計の周波数基準用音叉型水晶振動子等は第１図
に示す如く辺比ｒ（ｒ＝ｗ／ｇ；ｗは振動子１の幅２ｇ
は音叉アーム２．２幅）がｌ前厄の極めて薄いものであ
った為左右アーム２，２のバランスは専らその幅ｇにつ
いてのみ考慮すればよいからバランス調整は該振動子１
の音響の漏洩の程度を観察しながら第２図に示す如く前
記アーム２，２の先端鉤外側のエツジ３，３を研摩する
ことによって行うのが一般的であった。
に示す如く辺比ｒ（ｒ＝ｗ／ｇ；ｗは振動子１の幅２ｇ
は音叉アーム２．２幅）がｌ前厄の極めて薄いものであ
った為左右アーム２，２のバランスは専らその幅ｇにつ
いてのみ考慮すればよいからバランス調整は該振動子１
の音響の漏洩の程度を観察しながら第２図に示す如く前
記アーム２，２の先端鉤外側のエツジ３，３を研摩する
ことによって行うのが一般的であった。
しかしながら斯る調整法によっては振動子の音響漏洩を
完全に除去することは不可能であり、殊に辺比ｒが大な
る幅広音叉型振動子の場合これが顕著になるこ表が判明
している。
完全に除去することは不可能であり、殊に辺比ｒが大な
る幅広音叉型振動子の場合これが顕著になるこ表が判明
している。
本発明は上述した如き音叉型圧電振動子の音響の漏洩を
充分に除去して高いＱｋ有する振動子を実現すべくなさ
れたものであって、前記アームの長手方向外側凹稜の−
或は二以上を所要量削り取ることによって左右両アーム
のバランスをとるようにした音叉型圧電振動子の音響漏
洩除去方法を提供することを目的とする。
充分に除去して高いＱｋ有する振動子を実現すべくなさ
れたものであって、前記アームの長手方向外側凹稜の−
或は二以上を所要量削り取ることによって左右両アーム
のバランスをとるようにした音叉型圧電振動子の音響漏
洩除去方法を提供することを目的とする。
以下２本発明をその理論に基づいて詳細に説明する。
第３図は音叉型圧電振動子１のアーム２，２成形時に発
生する形状のアンバランスの種類を示す断面図である。
生する形状のアンバランスの種類を示す断面図である。
即ち、同図（ａ）は単にアーム２の幅ｇが左右均等でな
い場合であって、この場合にはアーム先端外側部３を削
ることによってバランスを回復しうろこと前述のとうり
である。
い場合であって、この場合にはアーム先端外側部３を削
ることによってバランスを回復しうろこと前述のとうり
である。
一方、四図（ｂｌ 、 （ｃｌは前記アーム２，２の間
隙或は両アームの外側に傾斜が付与された場合であって
、この場合には振動子のアームにねじれ撮動が発生する
。
隙或は両アームの外側に傾斜が付与された場合であって
、この場合には振動子のアームにねじれ撮動が発生する
。
更に同図（ｄ） 、 （ｅｌは前記アーム２，２の間隙
或は両アームの外側が台形状となった場合で、この場合
には振動子の幅Ｗ方向に屈曲振動の発生することが理解
されよう。
或は両アームの外側が台形状となった場合で、この場合
には振動子の幅Ｗ方向に屈曲振動の発生することが理解
されよう。
而して現実の量産工程に於いて成形した音叉型圧電振動
子には上述の５種類のアンバランスが混在するものと考
えられ、斯るアンバランスが存在すれば変位もストレス
も発生してはならない振動子基部にこれを固定すれば複
雑なスト・レスが発生し核部から音響、即ち振動エネル
ギが漏洩するから振動子のＱは低下する。
子には上述の５種類のアンバランスが混在するものと考
えられ、斯るアンバランスが存在すれば変位もストレス
も発生してはならない振動子基部にこれを固定すれば複
雑なスト・レスが発生し核部から音響、即ち振動エネル
ギが漏洩するから振動子のＱは低下する。
この問題を解決する為本発明に於いては以下の如き方法
をとる。
をとる。
第４図は本発明に係る音叉型圧電振動子の音響漏洩防止
方法を説明する図である。
方法を説明する図である。
即ち、単に音叉のアーム２，２０幅ｇが異なる場合には
前述の通り第２図に示す如くアーム先端外側３を削り取
ってバランスをとればよいがその外前記第３図（ｂ）乃
至（ｅｌに示す如きアンバランスがある場合には夫々本
図（ｂ）乃至（ｅｌの）・ツチング部、即ちアーム２の
長手方向に沿った外側四種４，４．・・・・・・の−又
は二以上を所要量削り取ればよい。
前述の通り第２図に示す如くアーム先端外側３を削り取
ってバランスをとればよいがその外前記第３図（ｂ）乃
至（ｅｌに示す如きアンバランスがある場合には夫々本
図（ｂ）乃至（ｅｌの）・ツチング部、即ちアーム２の
長手方向に沿った外側四種４，４．・・・・・・の−又
は二以上を所要量削り取ればよい。
上述の稜部４の削り量は例えば音叉型圧電振動子１の基
部をクランプした状態及び実質的に非クランプ状態の二
つの状態に於ける共振周波数夫々ｆｃ及びｆｆを測定し
、（ｆｃ−ｆｇ）／ｆｃ（ｐｐｍ） を音響の漏洩量と
みなしてこれが最小、望ましくは零となるよう、且つｆ
ｃが所望の共振周波数となるようコントロールする。
部をクランプした状態及び実質的に非クランプ状態の二
つの状態に於ける共振周波数夫々ｆｃ及びｆｆを測定し
、（ｆｃ−ｆｇ）／ｆｃ（ｐｐｍ） を音響の漏洩量と
みなしてこれが最小、望ましくは零となるよう、且つｆ
ｃが所望の共振周波数となるようコントロールする。
上述の調整過程は例えば第５図に示す如くなる。即ち、
振動子の外側稜部を削って行くと共振周波数は上昇する
と共に前記第３図に示した如きアンバランスの削減と共
振周波数の所望値への到達とは必ずしも一致しない。
振動子の外側稜部を削って行くと共振周波数は上昇する
と共に前記第３図に示した如きアンバランスの削減と共
振周波数の所望値への到達とは必ずしも一致しない。
従って振動子の共振周波数を所望の値よりや＼低目に設
計し本発明に係る調整を経て目標値に合致せしめると同
時に音響の漏洩が最小となるようにすべきである。
計し本発明に係る調整を経て目標値に合致せしめると同
時に音響の漏洩が最小となるようにすべきである。
本発明は以上説明した如き方法によって音叉型圧電振動
子の加工々程に於いて生ずるアーム形状のアンバランス
を補正し音響の漏洩を除去するものであるから比較的単
純な手順にて振動子のＱｋ内向上る効果がある。
子の加工々程に於いて生ずるアーム形状のアンバランス
を補正し音響の漏洩を除去するものであるから比較的単
純な手順にて振動子のＱｋ内向上る効果がある。
更に上述の効果は前記辺ｒｆ大きく設定しこれｔとりま
く外気の圧力変化を振動子の等価直列抵抗の変化によっ
て検出する為の幅広音叉型センサ等に適用する場合殊に
有効であり、センサ感度のダイナミック・レンジを広げ
ることができる。
く外気の圧力変化を振動子の等価直列抵抗の変化によっ
て検出する為の幅広音叉型センサ等に適用する場合殊に
有効であり、センサ感度のダイナミック・レンジを広げ
ることができる。
第１図は本発明に係る方法を適用すべき音叉型圧電振動
子の外観斜視図、第２図は従来の音響漏洩除去方法を適
用した音叉型圧電振動子の外観斜視図、第３図（ａ）乃
至（ｅ）は夫々製造工程で発生する音叉アームのアンバ
ランスの形態を説明する音叉アーム部の断面図、第４図
（ａｌ乃至（ｅ）は夫々本発明に係る音響漏洩除去方法
の実施例を示す音叉アーム部の断面図、第５図は本発明
に係る方法を実施する場合撮動子の特性の一般的変遷を
示す図である。 １・・・−・・・・・音叉型圧電振動子。 ２・・・・−・・・・アーム。 ４・・・・・・・・・音叉アーム外側綾部特許出願人
東洋通信機株式会社 ｆ−ル ４ 夕 ｌ
子の外観斜視図、第２図は従来の音響漏洩除去方法を適
用した音叉型圧電振動子の外観斜視図、第３図（ａ）乃
至（ｅ）は夫々製造工程で発生する音叉アームのアンバ
ランスの形態を説明する音叉アーム部の断面図、第４図
（ａｌ乃至（ｅ）は夫々本発明に係る音響漏洩除去方法
の実施例を示す音叉アーム部の断面図、第５図は本発明
に係る方法を実施する場合撮動子の特性の一般的変遷を
示す図である。 １・・・−・・・・・音叉型圧電振動子。 ２・・・・−・・・・アーム。 ４・・・・・・・・・音叉アーム外側綾部特許出願人
東洋通信機株式会社 ｆ−ル ４ 夕 ｌ
Claims (1)
- 音叉型圧電振動子の少なくともアーム長手方向に沿った
外側凹稜の−或は二以上を音響の漏洩量を代表する値を
監視しつつ読値が最小、望ましくは零となるよう所要量
削り取ることによって該振動子加工誤差に起因する前記
アームのねじれ振動或はその幅方向への屈曲振動を除去
するようにしたことを特徴とする音叉型圧電振動子の音
響漏洩除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7057984A JPS60214114A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 音叉型圧電振動子の音響漏洩除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7057984A JPS60214114A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 音叉型圧電振動子の音響漏洩除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60214114A true JPS60214114A (ja) | 1985-10-26 |
| JPH0582086B2 JPH0582086B2 (ja) | 1993-11-17 |
Family
ID=13435600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7057984A Granted JPS60214114A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 音叉型圧電振動子の音響漏洩除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60214114A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009035155A1 (ja) * | 2007-09-13 | 2009-03-19 | Citizen Holdings Co., Ltd. | 水晶振動子片およびその製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51147295A (en) * | 1975-06-13 | 1976-12-17 | Citizen Watch Co Ltd | Balance processing method for tuning fork type oscillator |
| JPS544093A (en) * | 1977-06-10 | 1979-01-12 | Sharp Corp | Manufacture for crystal oscillator |
| JPS57170614A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Citizen Watch Co Ltd | Tuning fork type quartz oscillator |
| JPS57173217A (en) * | 1981-04-17 | 1982-10-25 | Kinseki Kk | Tuning fork type piezoelectric oscillator and its manufacture |
-
1984
- 1984-04-09 JP JP7057984A patent/JPS60214114A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51147295A (en) * | 1975-06-13 | 1976-12-17 | Citizen Watch Co Ltd | Balance processing method for tuning fork type oscillator |
| JPS544093A (en) * | 1977-06-10 | 1979-01-12 | Sharp Corp | Manufacture for crystal oscillator |
| JPS57170614A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Citizen Watch Co Ltd | Tuning fork type quartz oscillator |
| JPS57173217A (en) * | 1981-04-17 | 1982-10-25 | Kinseki Kk | Tuning fork type piezoelectric oscillator and its manufacture |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009035155A1 (ja) * | 2007-09-13 | 2009-03-19 | Citizen Holdings Co., Ltd. | 水晶振動子片およびその製造方法 |
| JP5100753B2 (ja) * | 2007-09-13 | 2012-12-19 | シチズンホールディングス株式会社 | 水晶振動子片およびその製造方法 |
| US8460561B2 (en) | 2007-09-13 | 2013-06-11 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Crystal oscillator piece and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0582086B2 (ja) | 1993-11-17 |
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