JPS60212077A - 固体撮像素子の試験装置 - Google Patents
固体撮像素子の試験装置Info
- Publication number
- JPS60212077A JPS60212077A JP59069410A JP6941084A JPS60212077A JP S60212077 A JPS60212077 A JP S60212077A JP 59069410 A JP59069410 A JP 59069410A JP 6941084 A JP6941084 A JP 6941084A JP S60212077 A JPS60212077 A JP S60212077A
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- JP
- Japan
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- solid
- state image
- output
- amplifier
- image sensor
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- Pending
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- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は固体撮像素子の試験装置１に被試験装置と試
験装置本体との間に位置する前処理回路の改良に関する
ものでるる。
験装置本体との間に位置する前処理回路の改良に関する
ものでるる。
従来のこの種装置における前処理回路の基本構成を第１
図に示す。
図に示す。
この図において（１）は被試験装置である固体撮像素子
、（２）は固体撮像素子の画像出力端子で図には１個の
み示しているが、複数個ある場合もある。
、（２）は固体撮像素子の画像出力端子で図には１個の
み示しているが、複数個ある場合もある。
（３）は上記画像出力端子に接続された切替えスイッチ
で、可動接点（３Ａ）、！：固定接点（３Ｂ） （３０
）とを有する機械的リレーが使用さ市、る。（４）は固
定接点（６Ｂ）に接続された増巾器で２図には１段のみ
示しているが複数段設けられる場合もあシ、低域通過形
フィルタが挿入される場合もめる。（５）は上記増巾器
（４）の出力をデジタル信号に変換するアナログ−デジ
タル変換器、（６）は試験装置本体で、上記のデジタル
信号化された画像信号を受けて画像欠陥のチェックを行
なう。又、（７）は固定接点（３Ｃ）に接続された＠成
骨性測定器である。
で、可動接点（３Ａ）、！：固定接点（３Ｂ） （３０
）とを有する機械的リレーが使用さ市、る。（４）は固
定接点（６Ｂ）に接続された増巾器で２図には１段のみ
示しているが複数段設けられる場合もあシ、低域通過形
フィルタが挿入される場合もめる。（５）は上記増巾器
（４）の出力をデジタル信号に変換するアナログ−デジ
タル変換器、（６）は試験装置本体で、上記のデジタル
信号化された画像信号を受けて画像欠陥のチェックを行
なう。又、（７）は固定接点（３Ｃ）に接続された＠成
骨性測定器である。
固体撮像素子の試験には１画像欠陥試験及び直流特性試
験がある。画像欠陥試験においては切替えスイッチ（３
）の５工動接点（３Ａ）を固定接点（３Ｂ）に接続し、
固体撮像素子（１）の画像出力端子（２）からの出力信
号を増巾器（４）によって増巾すると共にアナログ−デ
ジタル変換器（５）によってデジタル信号に変換し、こ
れを試験装置本体（６）に入力する。試験装置本体（６
）はデジタル信号化された画饋出力データを処理するこ
とによって画像欠陥の検出を行なうものである。又、直
流特性試験においては切替えスイッチ（３）の可動接点
（６Ａ）を固定接点（６Ｃ）に接続し固体撮像素子（１
）の画像出力端子（２）からの出力信号を直流特性測定
器（７）に供給して出力レベルや出力洩れ電流を測定す
る。
験がある。画像欠陥試験においては切替えスイッチ（３
）の５工動接点（３Ａ）を固定接点（３Ｂ）に接続し、
固体撮像素子（１）の画像出力端子（２）からの出力信
号を増巾器（４）によって増巾すると共にアナログ−デ
ジタル変換器（５）によってデジタル信号に変換し、こ
れを試験装置本体（６）に入力する。試験装置本体（６
）はデジタル信号化された画饋出力データを処理するこ
とによって画像欠陥の検出を行なうものである。又、直
流特性試験においては切替えスイッチ（３）の可動接点
（６Ａ）を固定接点（６Ｃ）に接続し固体撮像素子（１
）の画像出力端子（２）からの出力信号を直流特性測定
器（７）に供給して出力レベルや出力洩れ電流を測定す
る。
固体撮像素子の画像出力信号は、１Ｍ、圧出力の場合１
０−３ボルト程度、！流出力の場合は１０ アンペア程
度の極めて做小信号であるため増巾器及び固体撮像素子
から増巾器までの信号経路における雑音は、信号の１／
１０以下に低減しなければならない。
０−３ボルト程度、！流出力の場合は１０ アンペア程
度の極めて做小信号であるため増巾器及び固体撮像素子
から増巾器までの信号経路における雑音は、信号の１／
１０以下に低減しなければならない。
しかるに上述した従来の前処理回路においては。
切替えスイッチ（３）として機械的リレーが使用されて
いるため、リレーによって発生する雑音が画像出力信号
に混入して画像欠陥試験の８度を低下させるという欠点
がｂつ几。
いるため、リレーによって発生する雑音が画像出力信号
に混入して画像欠陥試験の８度を低下させるという欠点
がｂつ几。
この発明はこのような欠点を除去するためになされたも
ので、直流特性測定器を増巾器の出力側１１で接続し得
るようにしたものである。
ので、直流特性測定器を増巾器の出力側１１で接続し得
るようにしたものである。
以下、第２図に示すこの発明の一実施例について説明す
る＠ この図において（８）は＠成骨性測定器（７）を接続す
るための機械的スイッチで、増巾器（４）の出力側に接
続されている。
る＠ この図において（８）は＠成骨性測定器（７）を接続す
るための機械的スイッチで、増巾器（４）の出力側に接
続されている。
その他の構成は上述した従来装置と同様であるため説明
を省略する。
を省略する。
この発明の特徴は雑音源であるスイッチ（８）を増１］
器（４）の出力側に接続した点にあ夕、これによって画
像出力信号に与える雑音の影響度、即ち８／Ｎ比を改善
することが出来るものである。
器（４）の出力側に接続した点にあ夕、これによって画
像出力信号に与える雑音の影響度、即ち８／Ｎ比を改善
することが出来るものである。
増１ｊ器（４）が複数段設けられる場合には、増巾器の
間にスイッチ（８）を接続するようにしても同様な効果
が期待出来る。
間にスイッチ（８）を接続するようにしても同様な効果
が期待出来る。
この発明は以上のように構成されているため。
画像欠陥検出精度を低下させることなく直流特性試験を
行なうことが出来るものである。
行なうことが出来るものである。
第１図は従来装置の構成を示す概略臼、第２図はこの発
明の一実施例を示す概略図である。 図中、（１）は被試験装置、（３）は切替えスイッチ。 （４）は増巾器、（５）はアナログ−デジタル変換器、
（６）は試験装置本体、（７）は直流特性６１１ｊ定器
、（８）はスイッチである。 なお同一符号は夫々相当部分を示す。 第１図 第２図
明の一実施例を示す概略図である。 図中、（１）は被試験装置、（３）は切替えスイッチ。 （４）は増巾器、（５）はアナログ−デジタル変換器、
（６）は試験装置本体、（７）は直流特性６１１ｊ定器
、（８）はスイッチである。 なお同一符号は夫々相当部分を示す。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１固体撮像素子からの画像出力信号を増巾器を介し
てデジタル変換し、試験装置本体に供給するようにした
ものにおいて、上記増巾器と試験装置本体との間で画像
出力信号供給経路に＠流物性測定器を接続し得るように
したことを特徴とする固体撮像素子の試験装置。 （２） 直流特性測定器は、スイッチを介して増ｒｌＪ
器の出力側に接続し得るようにされたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の固体撮像素子の試験装置。 ＋３１ 増巾器は複数段設けられることを特徴とする特
許請求の範囲第１項又は第２項記載の固体撮像素子の試
験装置。 （４） 増ｒｌｊ器の間に直流特性測定器を接続し得る
ようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
の固体撮像素子の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59069410A JPS60212077A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 固体撮像素子の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59069410A JPS60212077A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 固体撮像素子の試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60212077A true JPS60212077A (ja) | 1985-10-24 |
Family
ID=13401806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59069410A Pending JPS60212077A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 固体撮像素子の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60212077A (ja) |
-
1984
- 1984-04-05 JP JP59069410A patent/JPS60212077A/ja active Pending
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