JPS60208472A - イオンプレ−テイング被膜の製法 - Google Patents
イオンプレ−テイング被膜の製法Info
- Publication number
- JPS60208472A JPS60208472A JP6551884A JP6551884A JPS60208472A JP S60208472 A JPS60208472 A JP S60208472A JP 6551884 A JP6551884 A JP 6551884A JP 6551884 A JP6551884 A JP 6551884A JP S60208472 A JPS60208472 A JP S60208472A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- ion
- source
- anode
- titanium
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Adornments (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はイオンブレーティング被膜の製法に係り、特に
は腕時計１時計バンド、指環等の外装部品の基体材料に
イオンブレーティング被膜を施す方法に関するものであ
る。
は腕時計１時計バンド、指環等の外装部品の基体材料に
イオンブレーティング被膜を施す方法に関するものであ
る。
従来の技術
近年、腕時計には高級感のある独特の色彩と色調をめる
傾向が強く、それに応じて基体材料に対する着色メッキ
、染色、塗装などの各抽加工方法が実施されてきたが、
これらの方法ではイ）高級感が得られない、口）耐食性
に乏しく、変色。
傾向が強く、それに応じて基体材料に対する着色メッキ
、染色、塗装などの各抽加工方法が実施されてきたが、
これらの方法ではイ）高級感が得られない、口）耐食性
に乏しく、変色。
剥離、傷つきやすい、ハ）加工が面倒で、公害上の問題
がある、などの不利欠点を伴なうものがあり、いずれも
満足できるものではなかった。
がある、などの不利欠点を伴なうものがあり、いずれも
満足できるものではなかった。
本発明はかかる不利欠点をもたない方法とじてイオンブ
レーティングによる新規な被膜の製法を提案するもので
ある。
レーティングによる新規な被膜の製法を提案するもので
ある。
すなわち、本発明）ｆ、アルゴン、窒素および少４
なくとも１種の鎖式炭化水素からなる、８Ｘ１０〜ｌＸ
ｌ０ Ｔｏｒｒの混合ガス雰囲気中でチタンを蒸発させ
、チタン蒸発源とカソード側になる基体表面間に２０〜
２００ｖの直流電圧を印加し、イオンブレーティングに
より、該表面に超硬質被膜を形成させることを特徴とす
る被膜の製法である。
ｌ０ Ｔｏｒｒの混合ガス雰囲気中でチタンを蒸発させ
、チタン蒸発源とカソード側になる基体表面間に２０〜
２００ｖの直流電圧を印加し、イオンブレーティングに
より、該表面に超硬質被膜を形成させることを特徴とす
る被膜の製法である。
以下本発明の詳細な説明すると、本発明におけるイオン
ブレーティング法は、チタンを蒸発源とし、反応ガスに
は少なくとも１種の鎖式炭化水素と窒素、あるいはこれ
らと酸素を使用し、アルゴンとの混合ガス雰囲気中で行
うのである。反応ガスが窒素のみの場合、得られる被膜
の色調は黄色の濃淡が変化するだけであるが、鎖式炭化
水素を混合することによって、光沢のある黒色基調が得
られる。艙式炭化水素としては入手が容易で経済的なメ
タン、アセチレン、エチレン、プロパンなどが適当であ
る。これらは基体に要求される被膜の色調によって任意
選択し、混合割合を調整すればよい。例えば濃い深黒色
が必要である場合は、エチレンを１０〜１５％とする。
ブレーティング法は、チタンを蒸発源とし、反応ガスに
は少なくとも１種の鎖式炭化水素と窒素、あるいはこれ
らと酸素を使用し、アルゴンとの混合ガス雰囲気中で行
うのである。反応ガスが窒素のみの場合、得られる被膜
の色調は黄色の濃淡が変化するだけであるが、鎖式炭化
水素を混合することによって、光沢のある黒色基調が得
られる。艙式炭化水素としては入手が容易で経済的なメ
タン、アセチレン、エチレン、プロパンなどが適当であ
る。これらは基体に要求される被膜の色調によって任意
選択し、混合割合を調整すればよい。例えば濃い深黒色
が必要である場合は、エチレンを１０〜１５％とする。
つぎに、添付図面により本発明をさらに具体的に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の実施に用いる、イオンブレーティン
グ装置の１例である。
グ装置の１例である。
真空室１内に基体ホルダー２および下方にチタン蒸発源
３を配置し、これにカソード電源４を接続し正極側を接
地する。
３を配置し、これにカソード電源４を接続し正極側を接
地する。
基体ホルダー２によく洗浄した基体６を取り付け、排気
系７から排気して真空室ｌ内を２ＸＩＵ””Ｔｏｒｒ以
下の真空度とする。ついでガス導入口８からアルゴンを
導入し、３ Ｘ ］ ＯＴｏｒｒになったとき２０〜２
００ｖの電圧のアノード電源９を接゛続しボンバードを
行った後、窒素、エチレン等の混合ガスを導入［７て８
×１０〜１×１０Ｔｃｒｒになったと赤、蒸発駆動Ｉｌ
源１１をはたらかせてチタン蒸発源３からチタンを蒸発
させる。
系７から排気して真空室ｌ内を２ＸＩＵ””Ｔｏｒｒ以
下の真空度とする。ついでガス導入口８からアルゴンを
導入し、３ Ｘ ］ ＯＴｏｒｒになったとき２０〜２
００ｖの電圧のアノード電源９を接゛続しボンバードを
行った後、窒素、エチレン等の混合ガスを導入［７て８
×１０〜１×１０Ｔｃｒｒになったと赤、蒸発駆動Ｉｌ
源１１をはたらかせてチタン蒸発源３からチタンを蒸発
させる。
蒸発したチタンは、正電位のアノード電極ｌＯによりイ
オン化され、スイッチ５を接とするとカソード電源４の
電圧により基体ホルダー、基体が負電位となり、チタン
イオンは基体に衝突し、被膜を形成する。
オン化され、スイッチ５を接とするとカソード電源４の
電圧により基体ホルダー、基体が負電位となり、チタン
イオンは基体に衝突し、被膜を形成する。
このと歳、接地された熱電子フィラメント１２゜１３を
フィラメント加熱源１４．１５により加熱して熱電子を
放出させることによりイオン化が促進される。この場合
の被膜はチタンと混合ガスの反応によって生成された窒
化チタンと炭化チタンの混合からなる超硬質の光沢ある
黒色基調である。
フィラメント加熱源１４．１５により加熱して熱電子を
放出させることによりイオン化が促進される。この場合
の被膜はチタンと混合ガスの反応によって生成された窒
化チタンと炭化チタンの混合からなる超硬質の光沢ある
黒色基調である。
したがって優れた装飾性と高級感のある外装部品が得ら
れる。
れる。
つぎに本発明の実施例について説明するが、本発明はこ
れに限定されず広く他の部品にも応用されることはもち
ろんである。
れに限定されず広く他の部品にも応用されることはもち
ろんである。
実施例ｌ
５ＵＢ ３１６製の腕時計ケースを試料とし、第１図の
装置の基体ホルダー２に取り付け、真空室内を：（Ｘ
１０ Ｔｏｒｒに排気後アルゴンを導入し、ガス圧を３
Ｘ１０ Ｔｏｒｒとしてアノード電源９から８０Ｖの電
圧な印加、１００℃、１０分間ボンバードにより表面を
清浄化した。
装置の基体ホルダー２に取り付け、真空室内を：（Ｘ
１０ Ｔｏｒｒに排気後アルゴンを導入し、ガス圧を３
Ｘ１０ Ｔｏｒｒとしてアノード電源９から８０Ｖの電
圧な印加、１００℃、１０分間ボンバードにより表面を
清浄化した。
つぎに、窒素、エチレンをアルゴンＣ二加えて、ガス圧
をＢ ｘ Ｉ Ｑ Ｔｏｒｒに維持しながら、チタンを
蒸発駆動電源１１により蒸発させ、基体ホルダー２と蒸
発源３との間に５０Ｖの直流電圧を印加して１００℃、
２５分間イオンプレーティソゲを行ったところ、試料の
表面に光沢のある美しい色調の黒色被膜のケースが得ら
れた。
をＢ ｘ Ｉ Ｑ Ｔｏｒｒに維持しながら、チタンを
蒸発駆動電源１１により蒸発させ、基体ホルダー２と蒸
発源３との間に５０Ｖの直流電圧を印加して１００℃、
２５分間イオンプレーティソゲを行ったところ、試料の
表面に光沢のある美しい色調の黒色被膜のケースが得ら
れた。
このようにして得られた腕時計ケースは、人工汗４８時
間の浸漬試験後も腐食が認められず、２５０℃加熱、急
冷後も異常がなく、耐摩性試験も良好な結果であった。
間の浸漬試験後も腐食が認められず、２５０℃加熱、急
冷後も異常がなく、耐摩性試験も良好な結果であった。
実施例２
ＢＳ材にニッケルメッキした腕時計ケースを試料とし、
実施例１と同じ真空室内で同じようにボンバードした。
実施例１と同じ真空室内で同じようにボンバードした。
つぎにアルゴンに窒素、メタンを加えて、ガス圧を５
Ｘ １０ Ｔｏｒｒに維持し、チタンを蒸発駆動電源１
１により蒸発させ、基体ホルダー２と蒸発源との間にＩ
ＵＯＶの直流電圧を印加し、１００℃、２０分間イオン
ブレーティングを行ったとこ黒 ろ、紫色の美しい色調の被膜のケースが得られた。
Ｘ １０ Ｔｏｒｒに維持し、チタンを蒸発駆動電源１
１により蒸発させ、基体ホルダー２と蒸発源との間にＩ
ＵＯＶの直流電圧を印加し、１００℃、２０分間イオン
ブレーティングを行ったとこ黒 ろ、紫色の美しい色調の被膜のケースが得られた。
△
このようにして得られたケースを実施例１と同様に試験
したところ良好な結果であった。
したところ良好な結果であった。
発明の効果
以上の実施例から明らかなように、本発明の方法によれ
ば従来得られなかった黒色基調の超硬性被膜が得られ、
装飾性に優れた高級感のある外装部品が提供できる。
ば従来得られなかった黒色基調の超硬性被膜が得られ、
装飾性に優れた高級感のある外装部品が提供できる。
第１図は本発明の実施に用いるイオンブレーティング装
置の概略説明図である。 １・・・真空室、２・・・基体ホルダー。 ３・・・チタン蒸発源、４・・・カソード電源。 ５・・・スイッチ、６・・・基体、７・・・排気系。 ８・・・ガス導入口、９・・・アノード電源。 １０・・・アノード電極、 Ｉ＋・・・蒸発駆動電源。 １２．１３・・・Ｍｌｌフィラメント。 １４．１５・・・フィラメント加熱電源特許出願人 シ
チズン時計株式会社 第１図 手続補正書（自発］ 昭ＦｌｌｆｉＱイ１２月 ２１１） １ 事イ４１の表小 昭和５９年特許願第６５５１８号 ２、発明の名称 イオンブレーティング被膜の製法 ３、補正をする者 事イ′１との関係 特許出願人 名称 ｔ１９ｔｉＪ シチズン時計株式会社４代理人 ５、補止の月象 明細書 １）明細書の特許請求の範囲の欄における記載を、別紙
のようｆ二補止する。 ２）第３＠々３５行の［１ＸＩＱ−”Ｊを１５×１０１
と補正する。 刀 第４頁第１８行の「アノード電源９」を［カソード
ｔ！＃ｔ４Ｊと補正する。 ４）第５頁第２？１の［ＩＸＩＱ’Ｊをｒ５Ｘ１０−”
Ｊと補正する。 ５）第５百も１１行の「加熱源１４」を「加熱電源１４
、Ｊと補正する。。 ６）第６頁ｆ＠７行の「アノード電源９」を「カソード
電源４」と補正する、。 以上 （別紙］ 特許請求の範囲 １、 アルゴン、窒素および少なくとも１種の鎖式Ｔｏ
ｒｒの混合ガス雰囲気中でチタンを蒸発させ、チタン蒸
発源とカソードの基体表面間に２０〜２００ｖの直流電
圧を印加し、イオンブレーティングにより該表面に超硬
質被膜を形成させることを特徴とするイオンブレーティ
ング被膜の製法。 ２、鎖式炭化水素としてメタン、アセチレン、エチレン
、プロパンの少なくとも１神が用いられることを特徴と
する特許請求の範囲＠１項記載のイオンブレーティング
被膜の製法、。 ３ 超硬雀被膜が窒化チタンと炭化チタンの混合からな
ることを特徴とする特許請求の範囲４１項記載のイオン
ブレーティング被膜の製法。
置の概略説明図である。 １・・・真空室、２・・・基体ホルダー。 ３・・・チタン蒸発源、４・・・カソード電源。 ５・・・スイッチ、６・・・基体、７・・・排気系。 ８・・・ガス導入口、９・・・アノード電源。 １０・・・アノード電極、 Ｉ＋・・・蒸発駆動電源。 １２．１３・・・Ｍｌｌフィラメント。 １４．１５・・・フィラメント加熱電源特許出願人 シ
チズン時計株式会社 第１図 手続補正書（自発］ 昭ＦｌｌｆｉＱイ１２月 ２１１） １ 事イ４１の表小 昭和５９年特許願第６５５１８号 ２、発明の名称 イオンブレーティング被膜の製法 ３、補正をする者 事イ′１との関係 特許出願人 名称 ｔ１９ｔｉＪ シチズン時計株式会社４代理人 ５、補止の月象 明細書 １）明細書の特許請求の範囲の欄における記載を、別紙
のようｆ二補止する。 ２）第３＠々３５行の［１ＸＩＱ−”Ｊを１５×１０１
と補正する。 刀 第４頁第１８行の「アノード電源９」を［カソード
ｔ！＃ｔ４Ｊと補正する。 ４）第５頁第２？１の［ＩＸＩＱ’Ｊをｒ５Ｘ１０−”
Ｊと補正する。 ５）第５百も１１行の「加熱源１４」を「加熱電源１４
、Ｊと補正する。。 ６）第６頁ｆ＠７行の「アノード電源９」を「カソード
電源４」と補正する、。 以上 （別紙］ 特許請求の範囲 １、 アルゴン、窒素および少なくとも１種の鎖式Ｔｏ
ｒｒの混合ガス雰囲気中でチタンを蒸発させ、チタン蒸
発源とカソードの基体表面間に２０〜２００ｖの直流電
圧を印加し、イオンブレーティングにより該表面に超硬
質被膜を形成させることを特徴とするイオンブレーティ
ング被膜の製法。 ２、鎖式炭化水素としてメタン、アセチレン、エチレン
、プロパンの少なくとも１神が用いられることを特徴と
する特許請求の範囲＠１項記載のイオンブレーティング
被膜の製法、。 ３ 超硬雀被膜が窒化チタンと炭化チタンの混合からな
ることを特徴とする特許請求の範囲４１項記載のイオン
ブレーティング被膜の製法。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 アルゴン、窒素および少なくとも１種の鎖式炭化
水素からなる、８×１０〜１×１０’ｒｏｒｒの混合ガ
ス雰囲気中でチタンを蒸発させ、チタン蒸発源とカソー
ドの基体表面間に２０〜２００Ｖの曲流電圧を印加し、
イオンブレーティングにより該表面に超硬質被膜を形成
させることを特徴とするイオンブレーティング被膜の製
法。 ２ 鎖式炭化水素としてメタン、アセチレン、エチレン
、プロパンの少なくとも１種が用いられることを特徴と
する特許請求の範囲第】項記載のイオンブレーティング
被膜の製法。 ３ 超硬質被膜が窒化チタンと炭化チタンの混合からな
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のイオン
ブレーティング？／Ｉ！腰の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6551884A JPS60208472A (ja) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | イオンプレ−テイング被膜の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6551884A JPS60208472A (ja) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | イオンプレ−テイング被膜の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60208472A true JPS60208472A (ja) | 1985-10-21 |
| JPH0559193B2 JPH0559193B2 (ja) | 1993-08-30 |
Family
ID=13289328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6551884A Granted JPS60208472A (ja) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | イオンプレ−テイング被膜の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60208472A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63310957A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-19 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 外装部品 |
| WO1992000032A1 (fr) * | 1990-06-29 | 1992-01-09 | Niigata Engineering Co., Ltd. | Procede pour former un revetement de nitrure de titane et poele fabriquee par ce procede |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51128562A (en) * | 1975-05-01 | 1976-11-09 | Orient Watch Co Ltd | Forming method of carbonic metal coating for surface of watch |
| JPS5485214A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-06 | Suwa Seikosha Kk | Armor for personal watch |
-
1984
- 1984-04-02 JP JP6551884A patent/JPS60208472A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51128562A (en) * | 1975-05-01 | 1976-11-09 | Orient Watch Co Ltd | Forming method of carbonic metal coating for surface of watch |
| JPS5485214A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-06 | Suwa Seikosha Kk | Armor for personal watch |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63310957A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-19 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 外装部品 |
| WO1992000032A1 (fr) * | 1990-06-29 | 1992-01-09 | Niigata Engineering Co., Ltd. | Procede pour former un revetement de nitrure de titane et poele fabriquee par ce procede |
| US5447803A (en) * | 1990-06-29 | 1995-09-05 | Niigata Engineering Co., Ltd. | Method for forming titanium nitride film and vessel coated by same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559193B2 (ja) | 1993-08-30 |
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