JPS60198875A - 圧電磁器の製造方法 - Google Patents
圧電磁器の製造方法Info
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- JPS60198875A JPS60198875A JP59056613A JP5661384A JPS60198875A JP S60198875 A JPS60198875 A JP S60198875A JP 59056613 A JP59056613 A JP 59056613A JP 5661384 A JP5661384 A JP 5661384A JP S60198875 A JPS60198875 A JP S60198875A
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- Japan
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- piezoelectric ceramic
- green sheet
- piezoelectric
- substrate
- sheet
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/093—Forming inorganic materials
- H10N30/097—Forming inorganic materials by sintering
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Inorganic Chemistry (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、スピーカやブザーの振動板などに使用されて
いる圧電磁器向板の製造方法に関するものである。
いる圧電磁器向板の製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
圧電磁器薄板の製造方法としては、チタン酸ジルコン酸
鉛［Ｐｂ（Ｔｉ、Ｚｒ）０５：］系あるいはチタン酸バ
リウム（ＢａＴｉＯ３）系などの圧電性粒子に有機性結
合剤、可塑剤２分散剤などを加え、さらに溶剤を加えて
スラリーを作製し、これをドクターブレード法、押し出
し成形法、ロール成形法などの成形法により、シート状
に成形したものを所定の形状に打抜き、これを高温で焼
成する方法が一般的である。しかし、これらの方法にお
いては■ シートを乾燥する際、溶剤の飛散に伴なって
シートにクラックが発生しやすく、 ■ 溶剤が飛散し、成形時にスラリーの粘度が変化し、 ■ 連続でシート状に成形するため、特に円形に打抜い
て使用する場合はシートの無駄が多くなり、 ■ 飛散した溶剤を排気するための装置や温度。
鉛［Ｐｂ（Ｔｉ、Ｚｒ）０５：］系あるいはチタン酸バ
リウム（ＢａＴｉＯ３）系などの圧電性粒子に有機性結
合剤、可塑剤２分散剤などを加え、さらに溶剤を加えて
スラリーを作製し、これをドクターブレード法、押し出
し成形法、ロール成形法などの成形法により、シート状
に成形したものを所定の形状に打抜き、これを高温で焼
成する方法が一般的である。しかし、これらの方法にお
いては■ シートを乾燥する際、溶剤の飛散に伴なって
シートにクラックが発生しやすく、 ■ 溶剤が飛散し、成形時にスラリーの粘度が変化し、 ■ 連続でシート状に成形するため、特に円形に打抜い
て使用する場合はシートの無駄が多くなり、 ■ 飛散した溶剤を排気するための装置や温度。
湿度の制御が必要である、
々どの欠点がある。
また、スピーカの再生周波数帯域拡大の要望に応じるた
めには、焼結体の厚みを５０μｍあるいはそれ以下に、
極めて薄くする必要があるが、このような薄いシートを
現行の成形方法で成形することは容易ではなく、また成
形できたとしても、有機成分が多いために焼成時にこれ
らが飛散、燃焼するのに伴ないクラックやそりが発生し
、実用に供し得る圧電磁器薄板を得ることは極めて困難
であるというのが実情である。
めには、焼結体の厚みを５０μｍあるいはそれ以下に、
極めて薄くする必要があるが、このような薄いシートを
現行の成形方法で成形することは容易ではなく、また成
形できたとしても、有機成分が多いために焼成時にこれ
らが飛散、燃焼するのに伴ないクラックやそりが発生し
、実用に供し得る圧電磁器薄板を得ることは極めて困難
であるというのが実情である。
発明の目的
本発明は、圧電磁器薄板作製のための上記製造法におけ
る種々の問題点を解決するために、複雑な工程管理を必
要とすることなく任意の形状に圧電性粒子を成形し、こ
れを焼結することにより、スピーカやブザーなどの種々
の用途に応じた圧電磁器薄板を容易に製造するための方
法を提供するものである。
る種々の問題点を解決するために、複雑な工程管理を必
要とすることなく任意の形状に圧電性粒子を成形し、こ
れを焼結することにより、スピーカやブザーなどの種々
の用途に応じた圧電磁器薄板を容易に製造するための方
法を提供するものである。
発明の構成
即ち、本発明は、圧電性無機材料を含む荷電粒子を現像
剤とし、これを静電写真プロセスを用いて任意の形状に
印刷したものを高温で焼成することにより、任意形状の
圧電磁器薄板を得るものである。
剤とし、これを静電写真プロセスを用いて任意の形状に
印刷したものを高温で焼成することにより、任意形状の
圧電磁器薄板を得るものである。
静電写真プロセスを用いた、いわゆる電子写真法には、
カールソン法、光電導性トナー法、光起電力法、ＴＸＳ
Ｉ法（静電転写法）、永久内部光分極法（ＰＩＰ法）、
キャノンＮＰ法などがあり、その中でもカールソン法が
最も代表的な方法である。本発明は、上記のような電子
写真技術を利用して、これに用いる静電潜像を顕像化す
るための現像剤に圧電性無機材料を含有せしめることに
より、圧電性粒子と樹脂成分とからなるシートを印刷成
形し、これを高温で焼成することにより、樹脂成分を飛
散せしめ、圧電磁器薄板を作製するものであシ、特に、
厚みの薄い任意形状の圧電性基板作製上、極めて有効な
製造方法となり得るものである。
カールソン法、光電導性トナー法、光起電力法、ＴＸＳ
Ｉ法（静電転写法）、永久内部光分極法（ＰＩＰ法）、
キャノンＮＰ法などがあり、その中でもカールソン法が
最も代表的な方法である。本発明は、上記のような電子
写真技術を利用して、これに用いる静電潜像を顕像化す
るための現像剤に圧電性無機材料を含有せしめることに
より、圧電性粒子と樹脂成分とからなるシートを印刷成
形し、これを高温で焼成することにより、樹脂成分を飛
散せしめ、圧電磁器薄板を作製するものであシ、特に、
厚みの薄い任意形状の圧電性基板作製上、極めて有効な
製造方法となり得るものである。
実施例の説明
以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
まず結着剤としての熱可塑性樹脂としてスチレンアクリ
ル重合体を２０重量部、電荷制御剤として塩素化ポリエ
ステルを５重量部、これにチタン酸ジルコン酸鉛［Ｐｂ
（Ｔｉｇ、４６ ｚｒｏ、５４ ）０３：］ （平均粒
径約１μｍ）を７５重量部加え、これらを溶融混練した
後、微粉砕し、１５０″Ｃの気流中で球状化し、粒径が
１０〜２０ ｌｔ ｍの荷電粒子（トナー）を得た。こ
のトナーを、四三酸化鉄（Ｆｅ３０４）の安定な酸化鉄
被膜を表面に形成した平均粒径７゜μｍの鉄粉をキャリ
ヤとして、第１図から第３図に示すプロセスによシ、マ
イラフィルム８上に印刷成形した。即ち、感光基体１上
に、コロナ帯電器３を走査することによシ、感光基体１
を一様に帯電させる。２は帯電器用電源である。帯電し
た感光基体に直径１０Ｂの円形パターンを露光し、静電
潜像を形成した。そして現像器４によＶ、トナーで現像
した５゜ここで６は現像バイアス用電源である。次に、
マイラフィルム８土にコロナ放電を利用して転写し、熱
ローシフによってトナーを定着した。
ル重合体を２０重量部、電荷制御剤として塩素化ポリエ
ステルを５重量部、これにチタン酸ジルコン酸鉛［Ｐｂ
（Ｔｉｇ、４６ ｚｒｏ、５４ ）０３：］ （平均粒
径約１μｍ）を７５重量部加え、これらを溶融混練した
後、微粉砕し、１５０″Ｃの気流中で球状化し、粒径が
１０〜２０ ｌｔ ｍの荷電粒子（トナー）を得た。こ
のトナーを、四三酸化鉄（Ｆｅ３０４）の安定な酸化鉄
被膜を表面に形成した平均粒径７゜μｍの鉄粉をキャリ
ヤとして、第１図から第３図に示すプロセスによシ、マ
イラフィルム８上に印刷成形した。即ち、感光基体１上
に、コロナ帯電器３を走査することによシ、感光基体１
を一様に帯電させる。２は帯電器用電源である。帯電し
た感光基体に直径１０Ｂの円形パターンを露光し、静電
潜像を形成した。そして現像器４によＶ、トナーで現像
した５゜ここで６は現像バイアス用電源である。次に、
マイラフィルム８土にコロナ放電を利用して転写し、熱
ローシフによってトナーを定着した。
上記工程を３回くり返すことによって、直径１０ｍｆＬ
、厚み５０７１ｍの生シートを得た。従来のシート成形
法では、例えばドクターブレード法を用いて同一組成の
圧電粒子から成る生シートを作製した場合には、生シー
トの密度は３．９〜４．０程度であるが、本実施例の場
合は圧電粒子を熱ローラで凱圧着＋Ａｆｒめに４２〜４
３と高い密度の牢シートが得られた。この生シート１１
を第４図に示すように、マグネシア（ＭｑＯ）を主成分
とするサヤ１２に入れ、上ぶた１３をかぶせた後、電気
炉内に投入し、４００″Ｃで３時間予備焼成して有機成
分を除去した後、１０００°Ｃで２時間焼成した。この
結果、厚さ約４３μｍの焼結体シートが得られた。その
密度は約７８ノ／ばであり、従来のドクターブレード法
などによる生シートを用いて得られる焼結体密度が乙６
〜７．７であるのに比べて緻密な焼結体が得られた。こ
れは、生シートの密度の差によるものと思われる。
、厚み５０７１ｍの生シートを得た。従来のシート成形
法では、例えばドクターブレード法を用いて同一組成の
圧電粒子から成る生シートを作製した場合には、生シー
トの密度は３．９〜４．０程度であるが、本実施例の場
合は圧電粒子を熱ローラで凱圧着＋Ａｆｒめに４２〜４
３と高い密度の牢シートが得られた。この生シート１１
を第４図に示すように、マグネシア（ＭｑＯ）を主成分
とするサヤ１２に入れ、上ぶた１３をかぶせた後、電気
炉内に投入し、４００″Ｃで３時間予備焼成して有機成
分を除去した後、１０００°Ｃで２時間焼成した。この
結果、厚さ約４３μｍの焼結体シートが得られた。その
密度は約７８ノ／ばであり、従来のドクターブレード法
などによる生シートを用いて得られる焼結体密度が乙６
〜７．７であるのに比べて緻密な焼結体が得られた。こ
れは、生シートの密度の差によるものと思われる。
得られた焼結体は、Ｘ線解析の結果、ペロブスカイト型
構造を有するＰｂ（Ｔｉ、Ｚｒ）０３系の磁器であるこ
とが確認された。また、その電気特性は、ε３Ｔ３／ε
Ｇ ＝５４０ 、Ｋｐ＝０．５０ と従来法によって得
られた焼結体シートの電気特性に比べて、同等以上の特
性が得られた。
構造を有するＰｂ（Ｔｉ、Ｚｒ）０３系の磁器であるこ
とが確認された。また、その電気特性は、ε３Ｔ３／ε
Ｇ ＝５４０ 、Ｋｐ＝０．５０ と従来法によって得
られた焼結体シートの電気特性に比べて、同等以上の特
性が得られた。
次に、前記実施例で示されたと同じ方法で、Ｐ ｂＴｘ
０３ ：Ｐ ｂＺｒ Ｏｓ ：Ｐ ｂ （ＭｑＶ３Ｎｂ
Ｈ） ０３ ＝３７．５： ２５，０ ： ３７．５の
組成比をもつ、 平均粒径約１μｍの圧電粒子を含むト
ナーを作製し、セレンの感光ドラムを用いたカールソン
法に基ずく、一般に市販されている乾式複写機を用いて
、上記トナーを印刷した。印刷パターンは直径１０執の
円板として、位置合わせを行ないながら、印刷をくり返
すごとにより、種々の厚みの生シートを作製した。これ
を前記実施例と同様にして焼成した。その結果、厚みが
それぞれ３３ 、５７ 。
０３ ：Ｐ ｂＺｒ Ｏｓ ：Ｐ ｂ （ＭｑＶ３Ｎｂ
Ｈ） ０３ ＝３７．５： ２５，０ ： ３７．５の
組成比をもつ、 平均粒径約１μｍの圧電粒子を含むト
ナーを作製し、セレンの感光ドラムを用いたカールソン
法に基ずく、一般に市販されている乾式複写機を用いて
、上記トナーを印刷した。印刷パターンは直径１０執の
円板として、位置合わせを行ないながら、印刷をくり返
すごとにより、種々の厚みの生シートを作製した。これ
を前記実施例と同様にして焼成した。その結果、厚みが
それぞれ３３ 、５７ 。
９５．１５０μｍの焼結体シートが得られたが、いずれ
も密度は約乙８ｆ？／Ｃｌｌ１！であり、電気特性もε
３ｒ３／εｏ＝１５８０ 、Ｋｐ＝０．５０と、従来ノ
トクターブレード法などによって得られた焼結体シート
のそれと比べて同等以上の値が得られた。
も密度は約乙８ｆ？／Ｃｌｌ１！であり、電気特性もε
３ｒ３／εｏ＝１５８０ 、Ｋｐ＝０．５０と、従来ノ
トクターブレード法などによって得られた焼結体シート
のそれと比べて同等以上の値が得られた。
以上の実施例では、圧電粒子として、Ｐｂ（Ｔｉ。
Ｚｒ）０３系、 Ｐｂ（Ｍｇ、Ｎｂ）（Ｔｉ、Ｚｒ）Ｏ
ｓ系の粒子を用いたが、圧電粒子であれば、これ以外の
粒子でも全く同様にトナーを作製し、生シートおよび焼
結体シートを作製できることは言うまでもない。
ｓ系の粒子を用いたが、圧電粒子であれば、これ以外の
粒子でも全く同様にトナーを作製し、生シートおよび焼
結体シートを作製できることは言うまでもない。
また、生シート作製法についても、実施例以外に、静電
潜像を荷電粒子により顕像化する原理に基ずくプロセス
を含むものであれば、特に限定される必要のないことは
明らかである。
潜像を荷電粒子により顕像化する原理に基ずくプロセス
を含むものであれば、特に限定される必要のないことは
明らかである。
発明の効果
以上のように、本発明による圧電磁器の製造方法を用い
ることにより、種々の形状および厚みを有する圧電磁器
薄板が容易に得られ、原料無駄の軽減や、製造プロセス
の合理化による大幅なコストダウンを図ることができる
。また、５０μｍ以下の圧電磁器薄板の作製も可能とな
り、スピーカの周波数特性の向上が図れるなど、実用上
の価値は非常に高いものである。
ることにより、種々の形状および厚みを有する圧電磁器
薄板が容易に得られ、原料無駄の軽減や、製造プロセス
の合理化による大幅なコストダウンを図ることができる
。また、５０μｍ以下の圧電磁器薄板の作製も可能とな
り、スピーカの周波数特性の向上が図れるなど、実用上
の価値は非常に高いものである。
第１図、第２図、第３図は、本発明の圧電粒子を含む荷
電粒子を用いた生シート作製プロセスを説明するための
工程図、第４図は生シートを焼成′する際のサヤ詰めの
状態を説明するための断面図である。 １・・・・・・感光基体、２・・・・・・コロナ帯電器
用電源、３・・・・・・コロナ帯電器、４・・・・・・
現像器、５・・・・・・現像剤、６・・・・・・現像バ
イアス用電源、７・・・・・・定着用ローラ、８・・・
・・・マイラフィルム、１１・・・・・・生シート、１
２パ・°・°サヤ、１３゛°°・・・上ぶた。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
電粒子を用いた生シート作製プロセスを説明するための
工程図、第４図は生シートを焼成′する際のサヤ詰めの
状態を説明するための断面図である。 １・・・・・・感光基体、２・・・・・・コロナ帯電器
用電源、３・・・・・・コロナ帯電器、４・・・・・・
現像器、５・・・・・・現像剤、６・・・・・・現像バ
イアス用電源、７・・・・・・定着用ローラ、８・・・
・・・マイラフィルム、１１・・・・・・生シート、１
２パ・°・°サヤ、１３゛°°・・・上ぶた。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
Claims (1)
- 圧電性無機材料を含む荷電粒子を用いて静電潜像を顕像
化せしめる印刷方法により、圧電性無機粒子を含む薄板
を作製し、これを焼成することによシ、圧電磁器薄板を
得ることを特徴とする圧電磁器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59056613A JPS60198875A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 圧電磁器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59056613A JPS60198875A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 圧電磁器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60198875A true JPS60198875A (ja) | 1985-10-08 |
| JPH0564474B2 JPH0564474B2 (ja) | 1993-09-14 |
Family
ID=13032101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59056613A Granted JPS60198875A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 圧電磁器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60198875A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0699137A1 (en) * | 1994-03-21 | 1996-03-06 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
| US6450627B1 (en) * | 1994-03-21 | 2002-09-17 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5940597A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | 松下電器産業株式会社 | 印刷配線回路基板の製造方法 |
-
1984
- 1984-03-23 JP JP59056613A patent/JPS60198875A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5940597A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | 松下電器産業株式会社 | 印刷配線回路基板の製造方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0699137A1 (en) * | 1994-03-21 | 1996-03-06 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
| EP0699137A4 (en) * | 1994-03-21 | 1996-12-27 | Spectra Inc | SIMPLIFIED INK JET PRINT HEAD |
| US5659346A (en) * | 1994-03-21 | 1997-08-19 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
| US5701148A (en) * | 1994-03-21 | 1997-12-23 | Spectra, Inc. | Deaerator for simplified ink jet head |
| US6450627B1 (en) * | 1994-03-21 | 2002-09-17 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
| US6682181B1 (en) | 1994-03-21 | 2004-01-27 | Spectra, Inc. | Ink jet head containing a carbon member |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0564474B2 (ja) | 1993-09-14 |
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