JPS59189617A - 積層コンデンサの製造方法 - Google Patents
積層コンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPS59189617A JPS59189617A JP6484183A JP6484183A JPS59189617A JP S59189617 A JPS59189617 A JP S59189617A JP 6484183 A JP6484183 A JP 6484183A JP 6484183 A JP6484183 A JP 6484183A JP S59189617 A JPS59189617 A JP S59189617A
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- Japan
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- dielectric
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- powder
- paste
- layer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は積層コンデンサの製造方法に関するものであシ
、誘電体グリーンシート上に電極を形成するにあたって
導体粉末を荷電粒子となるよう形成し、これを静電潜像
を利用した電子写真技術によシミ極層を誘電体シート上
に印刷し・更にこの印刷物を複数枚積層し焼結して積層
コンデンサとするものであシ、積層コンデンサの電極形
成を乾式で行うことを可能にしたものである。
、誘電体グリーンシート上に電極を形成するにあたって
導体粉末を荷電粒子となるよう形成し、これを静電潜像
を利用した電子写真技術によシミ極層を誘電体シート上
に印刷し・更にこの印刷物を複数枚積層し焼結して積層
コンデンサとするものであシ、積層コンデンサの電極形
成を乾式で行うことを可能にしたものである。
従来例の構成とその問題点
従来、セラミックの積層コンデンサの内部電極の形成に
は、誘電体セラミック粉末と有機性結合剤からなる薄い
シート上に例えばパラジウムＰｄペーストをスクリーン
印刷をしている。このうちこれらの印刷体を積層し、焼
結して積層コンデンサとする。これによれば、印刷にｍ
−る４体ペーストは例えばテレピン油のような溶剤にエ
チルセルロースのような有機結合剤をとかし、これと導
体粉末を混練したものをペーストとし、このペーストラ
誘電体シート上にスクリーン印刷する工程がとられる。
は、誘電体セラミック粉末と有機性結合剤からなる薄い
シート上に例えばパラジウムＰｄペーストをスクリーン
印刷をしている。このうちこれらの印刷体を積層し、焼
結して積層コンデンサとする。これによれば、印刷にｍ
−る４体ペーストは例えばテレピン油のような溶剤にエ
チルセルロースのような有機結合剤をとかし、これと導
体粉末を混練したものをペーストとし、このペーストラ
誘電体シート上にスクリーン印刷する工程がとられる。
このとき、印刷されたペーストの膜厚はペーストの粘度
と密接に関係し均一な膜厚を得るためにはペースト粘度
の調整が重要であるか粘度は周辺温度により敏感に変化
したり、捷た時間の経過とともにペーストの中の溶剤が
揮発し粘度が刻々変化したシするためスクリーン印刷法
による印刷では均一な膜厚を安定に得ることがむずかし
いという欠点がある。
と密接に関係し均一な膜厚を得るためにはペースト粘度
の調整が重要であるか粘度は周辺温度により敏感に変化
したり、捷た時間の経過とともにペーストの中の溶剤が
揮発し粘度が刻々変化したシするためスクリーン印刷法
による印刷では均一な膜厚を安定に得ることがむずかし
いという欠点がある。
才だ、装置δ、治具の面でスクリーン印刷法ではメツシ
ュ状の網から構成されるスクリーンを用いるが、使用と
ともにスクリーンにだれが生じ印刷精変が低下するとｂ
う欠点がある。
ュ状の網から構成されるスクリーンを用いるが、使用と
ともにスクリーンにだれが生じ印刷精変が低下するとｂ
う欠点がある。
１プ辷・スクリーン印刷法はスキージでスクリーンメツ
シュからペーストラ押しだすことが原理となって層るが
、スクリーンメツシュにペーストが付着するなど材料の
ロスが生じる。特に積層コンデンサの場合内部電極にパ
ラジウムなど貴金属電極を使用するため材料のロスは経
済的に無視できない。
シュからペーストラ押しだすことが原理となって層るが
、スクリーンメツシュにペーストが付着するなど材料の
ロスが生じる。特に積層コンデンサの場合内部電極にパ
ラジウムなど貴金属電極を使用するため材料のロスは経
済的に無視できない。
発明の目的
本発明は上記の従来の欠点を解消するもので、ペースト
不要で・かつスクリーンのように交換を必要とするもの
を使用せず、また材料ロスもほとんど無く、荷電導体粉
末を乾式で簡単に誘電体グリーンシートに転写印刷がで
きるようにすることを目的とする。
不要で・かつスクリーンのように交換を必要とするもの
を使用せず、また材料ロスもほとんど無く、荷電導体粉
末を乾式で簡単に誘電体グリーンシートに転写印刷がで
きるようにすることを目的とする。
発明の構成
上記目的を達成するため、本発明は誘電体粉末と有機結
合剤とからなる薄いシート上に、導体粉末を荷電粒子と
なるよう形成せしめた導体粒子電極層を電子写真技術で
形成せしめ、これらのシートを複数枚積層し、焼結する
ものである。
合剤とからなる薄いシート上に、導体粉末を荷電粒子と
なるよう形成せしめた導体粒子電極層を電子写真技術で
形成せしめ、これらのシートを複数枚積層し、焼結する
ものである。
実施例の説明
一般に、電子写真技術には、カールンン法、光電導性ト
ナ法、光起電力法、ＴＥＳＩ法（静電転写法）、永久内
部光分極法（ＰＩＰ法）、キャノンＮＰ法などがあり、
そのなかでもカールソン法が代表的な方法であり普通紙
へのコピーが可能であることから大込に発展した。本発
明は上記のような電子写真技術を利用して内部電極印刷
を行い積層、焼結して積層コンデンサを作Ｍ′ｆる製造
方法に関するものである。以下、本発明の実施例を図に
もとづいて説明する。
ナ法、光起電力法、ＴＥＳＩ法（静電転写法）、永久内
部光分極法（ＰＩＰ法）、キャノンＮＰ法などがあり、
そのなかでもカールソン法が代表的な方法であり普通紙
へのコピーが可能であることから大込に発展した。本発
明は上記のような電子写真技術を利用して内部電極印刷
を行い積層、焼結して積層コンデンサを作Ｍ′ｆる製造
方法に関するものである。以下、本発明の実施例を図に
もとづいて説明する。
先ず、約３０７７ｍの厚みを有する誘電体膜（グリーン
シート〕ヲマイラーフィルムに形成したものを電子写真
印刷器に連続的に通過させ、導体電極層の印刷を行なう
。電子写真印刷機の構成は次のようになって因る。先ず
感光基体１（第１図）全帯電器３で一様に帯電したのち
所定のパターンに感光する。（第２図） 感光基体の感光した部分は光伝導にょ−て帯電が除去さ
れ、光のあたって−ない部分のみが静電潜像として記録
される。静電潜像の形成された部分は導体粉末と樹脂か
らなるトナーが沈積され感光層に現像される。（第３図
）第３図の８は現象されたトナ一層であシ、６カニ現像
器である。この現像された感光基体に上記の誘電体シー
トを裏面からコロナ放電させながら通すことによりパタ
ーン化されたトナーが誘電体シートに転写印刷される。
シート〕ヲマイラーフィルムに形成したものを電子写真
印刷器に連続的に通過させ、導体電極層の印刷を行なう
。電子写真印刷機の構成は次のようになって因る。先ず
感光基体１（第１図）全帯電器３で一様に帯電したのち
所定のパターンに感光する。（第２図） 感光基体の感光した部分は光伝導にょ−て帯電が除去さ
れ、光のあたって−ない部分のみが静電潜像として記録
される。静電潜像の形成された部分は導体粉末と樹脂か
らなるトナーが沈積され感光層に現像される。（第３図
）第３図の８は現象されたトナ一層であシ、６カニ現像
器である。この現像された感光基体に上記の誘電体シー
トを裏面からコロナ放電させながら通すことによりパタ
ーン化されたトナーが誘電体シートに転写印刷される。
（第４図〕
このように・導電粉末が転写印刷された誘電体シートを
マイラフィルから剥すし、所定の寸法に切断したのち上
下の電極の位置関係を合わして複数枚のシートを上下か
ら加熱しながら圧力を加え積層一体化する。そののち・
積層コンデンサを固片に切断し連続炉で焼結する。なお
、上記の感光転写印刷プロセスは電子写真印刷機内で連
続的に行われる。
マイラフィルから剥すし、所定の寸法に切断したのち上
下の電極の位置関係を合わして複数枚のシートを上下か
ら加熱しながら圧力を加え積層一体化する。そののち・
積層コンデンサを固片に切断し連続炉で焼結する。なお
、上記の感光転写印刷プロセスは電子写真印刷機内で連
続的に行われる。
以下にさらに具体的な実施例を示す。
先ず感光体としては、暗抵抗が１♂〜１４１４Ω・ｍ光
照射時の抵抗が１０〜１０Ω・確の無定形セレンを用い
た。次に現像剤であるが、現像剤としては導体層を構成
する微細な荷電粒子とこの粒子に対し適当な摩擦帯電を
与え且つ潜像部分１で搬送する役割をするキャリアとに
分けることができる。導体層を構成する荷電粒子として
は、主成分として平均粒径２μｍのパラジウムＰｄ粉末
を６５重量部と、結合剤としての熱可塑性樹脂（ポリス
チレン）を３０重量部、更に電荷制御剤として塩化ポリ
エステル４重量部とからなる原料を溶融混練し、これを
微粉砕した後、１５０℃の気流中で球状化し粒径を１０
〜２０μｍ８度としたものに流動化剤として平均粒径１
μｍ程度の疎水性シリカを１重量部加えたものを用いた
。
照射時の抵抗が１０〜１０Ω・確の無定形セレンを用い
た。次に現像剤であるが、現像剤としては導体層を構成
する微細な荷電粒子とこの粒子に対し適当な摩擦帯電を
与え且つ潜像部分１で搬送する役割をするキャリアとに
分けることができる。導体層を構成する荷電粒子として
は、主成分として平均粒径２μｍのパラジウムＰｄ粉末
を６５重量部と、結合剤としての熱可塑性樹脂（ポリス
チレン）を３０重量部、更に電荷制御剤として塩化ポリ
エステル４重量部とからなる原料を溶融混練し、これを
微粉砕した後、１５０℃の気流中で球状化し粒径を１０
〜２０μｍ８度としたものに流動化剤として平均粒径１
μｍ程度の疎水性シリカを１重量部加えたものを用いた
。
一方・キャリアとしては、鉄粉を用いその表面を酸化し
四三酸化鉄Ｆ６３０４の安定な酸化膜を形成した平均粒
径７０μｍのもの使用いた。現像方式は磁気ブラシ現像
法で行なった。被印刷物とじてはマイラーフィルム士に
ドクターブレード法で造膜したチタン酸バリウム（Ｂａ
Ｔｉ０３）粉末とポリビニルブラチル系からなるグリー
ンシートを使用した。
四三酸化鉄Ｆ６３０４の安定な酸化膜を形成した平均粒
径７０μｍのもの使用いた。現像方式は磁気ブラシ現像
法で行なった。被印刷物とじてはマイラーフィルム士に
ドクターブレード法で造膜したチタン酸バリウム（Ｂａ
Ｔｉ０３）粉末とポリビニルブラチル系からなるグリー
ンシートを使用した。
上記δパラジウムを主成分とする荷電粉末を電子写真印
刷機で誘電体（ＢａＴｉＯ３グリーンシート）上に印刷
した。この印刷物をマイラフィルムから切りはなし３０
ｃｍ Ｘ ３ｃｍ程度の寸法に切断した。
刷機で誘電体（ＢａＴｉＯ３グリーンシート）上に印刷
した。この印刷物をマイラフィルムから切りはなし３０
ｃｍ Ｘ ３ｃｍ程度の寸法に切断した。
切断されたシートを上下の電極パターンの位置関係が合
うようｖＣｉｏ層を積層した。なお、積層条件は１００
℃の温度で２００Ｋｇ／ｃＡの加圧であ−た。積層され
たシートラ積層コンデンザ単体の構成となるように固片
に切断分離した。この固片１１３５ｏｃ、２時間焼成し
積層コンデンサとした。
うようｖＣｉｏ層を積層した。なお、積層条件は１００
℃の温度で２００Ｋｇ／ｃＡの加圧であ−た。積層され
たシートラ積層コンデンザ単体の構成となるように固片
に切断分離した。この固片１１３５ｏｃ、２時間焼成し
積層コンデンサとした。
焼結後、積層体に銀−パラジウムの外部電極を３５０℃
で焼付けて特性を評価した結果、静電容量値は０．０５
μＦ、ｔａｎδは０．５％、絶縁抵抗は２×１０Ωであ
った。
で焼付けて特性を評価した結果、静電容量値は０．０５
μＦ、ｔａｎδは０．５％、絶縁抵抗は２×１０Ωであ
った。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば乾式で積層コンデン
サの内部電極の印刷を可能にするもので従来のような湿
式スクリーン印刷に脣つわる諸問題が解決される。才だ
、電子写真技術を用いたことにより電極パターンは光学
系の倍率を変えることにより一台の機械で種々の電極面
積のものを印刷することが可能となり、品種により毎回
印刷スクリーン版を変換するという繁雑さからも解放さ
れる。また、印刷は長尺の誘電体グリーンシートを連続
的に処理することが可能で印刷速度も速くすることが可
能となり生産性の向上が図れるという点で工業上の利用
価値が高い。
サの内部電極の印刷を可能にするもので従来のような湿
式スクリーン印刷に脣つわる諸問題が解決される。才だ
、電子写真技術を用いたことにより電極パターンは光学
系の倍率を変えることにより一台の機械で種々の電極面
積のものを印刷することが可能となり、品種により毎回
印刷スクリーン版を変換するという繁雑さからも解放さ
れる。また、印刷は長尺の誘電体グリーンシートを連続
的に処理することが可能で印刷速度も速くすることが可
能となり生産性の向上が図れるという点で工業上の利用
価値が高い。
第１図、第２図、第３図、第４図＃坤者は、本発明の製
造方法で用いる電気印刷機の代表的な原理であるカール
ソン法の工程を示す図である。 １１．・感光基体、２・・・・コロナ帯電器用高圧電源
、３・・・・・・コロナ放電帯電器、４・・・・・レン
ズ、６・・・・・・現像器、７・・・・・現像器用バイ
アス電源・８′°′現像トナ一層、９・・・・・・コロ
ナ放電帯電器、１０・・パ・コロナ帯電用高圧電源、１
１・・・・・・導体印刷された誘電体層、１２・・・・
・ローラ（トナ一層の圧Ｍｋ目的とする）、１３・・・
・・ローラ（熱でトナー中樹脂を溶着させる）。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名。 第１図 、？ 第２図 第千図
造方法で用いる電気印刷機の代表的な原理であるカール
ソン法の工程を示す図である。 １１．・感光基体、２・・・・コロナ帯電器用高圧電源
、３・・・・・・コロナ放電帯電器、４・・・・・レン
ズ、６・・・・・・現像器、７・・・・・現像器用バイ
アス電源・８′°′現像トナ一層、９・・・・・・コロ
ナ放電帯電器、１０・・パ・コロナ帯電用高圧電源、１
１・・・・・・導体印刷された誘電体層、１２・・・・
・ローラ（トナ一層の圧Ｍｋ目的とする）、１３・・・
・・ローラ（熱でトナー中樹脂を溶着させる）。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名。 第１図 、？ 第２図 第千図
Claims (1)
- 導体粉末を荷電粒子となるよう形成せしめ、前記導体粒
子を誘亀体土に形成した静電潜像士に沈積して沈積層を
形成せしめ、前記沈積層を誘電体粉末と有機結合剤から
なる薄いシートに転写印刷し、前記のごとく形成したシ
ートラ複数枚積層して焼結することを特徴とする積層コ
ンデンサの編造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6484183A JPS59189617A (ja) | 1983-04-13 | 1983-04-13 | 積層コンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6484183A JPS59189617A (ja) | 1983-04-13 | 1983-04-13 | 積層コンデンサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59189617A true JPS59189617A (ja) | 1984-10-27 |
Family
ID=13269852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6484183A Pending JPS59189617A (ja) | 1983-04-13 | 1983-04-13 | 積層コンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59189617A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8374530B2 (en) | 2005-07-25 | 2013-02-12 | Afit Corporation | Methods and apparatus for developing an electrostatic latent image using conductive particles |
-
1983
- 1983-04-13 JP JP6484183A patent/JPS59189617A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8374530B2 (en) | 2005-07-25 | 2013-02-12 | Afit Corporation | Methods and apparatus for developing an electrostatic latent image using conductive particles |
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