JPS60197359A - 磁気ヘツドおよび磁気ヘツド面取り加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッドおよび磁気ヘッド面取シ加工装置
に係シ、特に、磁気ヘッドの浮上−接地の繰返し特性の
向上を志向した、磁気ヘッドおよび磁気ヘッド面取シ加
工装置に関するものである。

〔発明の背景〕

磁気ヘッドは、磁気ディスク上を０．３μｍ程度浮上し
て駆動するものであるので、該磁気ヘッドの磁気ディス
クと対向するディスク対向面の加工精度は一般に高精度
が要求される。そして、この磁気ヘッドの構成材料とし
てはセラミック材が用いられている。したがって、その
端部が角状、特に鋭角状であると該端部において欠けや
脱落等を発生しやすいので、このような欠けや脱落等を
防止するために、従来、該端部に直線状の面取りを施し
ていた。

しかしこのように面取りした従来の磁気ヘッドは、浮上
−接地（スタート、ストップ時点では磁気ヘッドと磁気
ディスクとが接地している）の繰返し特性が悪く、安定
した浮上ができないという欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明は、上記した従来技術の欠点を除去して、浮上−
接地の繰返し特性の優れた磁気ヘッド、および゛この磁
気ヘッドの加工に直接使用される磁気ヘッド面取り加工
装置の提供を、その目的とするものである。

〔発明の概要〕

本発明に係る磁気ヘッドの構成は、磁気ディスク上を駆
動する磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドの、磁気ディス
クと対向するディスク対向面のＸ方向およびＹ方向端部
に、曲率を有する面取シ部を設けるようにしたものであ
る。

まだ、本発明に係る磁気ディスク′冒取り加工装置の構
成は、ガイド面に所定の曲率を設けたＸ方向端部加工用
テープガイドと、このＸ方向端部加工用テープガイドの
前記ガイド面に研磨テープをなられせ力から駆動させる
テープ駆動装置と、加工試料である磁気ヘッドのＸ方向
端部を面取シ加工できるように該磁気ヘッドを載置する
Ｘ方向端部加工用の試料台と、この試料台を支持し前記
磁気ヘッドのディスク対向面を前記研磨テープに押圧す
ることができる試料台駆動装置とを具備したＸ方向端部
加工ユニットと、ガイド面に所定の曲率を設けたＹ方向
端部加工用テープガイドと、このＹ方向端部加工用テー
プガイドの前記ガイド面に研磨テープをなられせながら
駆動させるテープ駆動装置と、前記磁気ヘッドのＹ方向
端部を面取り加工できるようじ該磁気ヘッドを載置する
Ｙ方向端部加工用の試料台と、この試料台を支持し前記
磁気ヘッドのディスク対向面を前記研磨テープに押圧す
ることができる試料台駆動装置とを具備したＹ方向端部
加工ユニットとを有せしめるようにしたものである。

〔発明の実施例〕

まず、本発明の磁気ヘッドの実施例を、従来のＳ加−１
すし＋シＬ＋／白シ１イラピＲＲ斗ム第１図は、従来の
磁気ヘッドの斜視図、第２図は、本発明の一実施例に係
る磁気ヘッドを示す斜視図、第３図は、第２図の■−■
矢視部分拡大断面図である。

第１図において、１は、従来の磁気ヘッド、１ａは、こ
の磁気ヘッド１の、磁気ディスク（図示せず）と対向す
るディスク対向面、１ｂは、このディスク対向面１ａの
端部に設けられた直線状の面取シ部である。このように
直線状の面取り部１ｂを設けた従来の磁気ヘッド１は、
前述したように、浮上−接地の繰返し特性が悪いもので
あった。

本発明者等は、この原因を検討した結果、直線状の面取
シ部１ｂを設けたものでは、この面取り部１ｂと磁気デ
ィスクとの間に生ずる隙間の大きさに不連続性が発生し
、この隙間の大きくなったところに、駆動中に雰囲気中
に存在すΣ゛ごみ″や前記磁気ディスク材から出た物質
が付着し、これが磁気ヘッド１の安定した浮上を妨げる
ことがわかった。そこで本発明者等は、第２，３図に示
すように、磁気ヘッドＩＡのディスク対向面１ａのＸ方
向端部およびＹ一方向端部の面取り範囲Ｚ１＋ｔ２に、
曲率１／Ｒを有する面取り部ＩＣを設けることにより、
これを改善するようにした。

具体例として、ｔ、＝１０μｍ、　ｔ２　＝０．３μｍ
、　’ｆ３．＝　２６ｔｒｒｍの面取シ部ＩＣを設ける
ことにより、直線状の面取シ部１ｂを設けた従来の磁気
ヘッド１に比べて、浮上−接地の繰返し特性が約５０％
向上した。

以上説明した実施例によれば、磁気ヘッドＩＡの浮上−
接地の繰返し特性が向上して安定した浮上が可能となり
、信頼性の高い磁気ヘッドを提供することができるとい
う効果がある。な給、面取シ部ＩＣに設ける面取シ範囲
Ｚ１　＋　Ｌ２および曲率１／Ｒの大きさは任意でアリ
、特にその大きさを限定するものではない。

次に、第２図に係る磁気ヘッドＩＡの面取り加工方法の
実施に供せられる面取り加工装置を、従来から行なわれ
ている面取り加工装置と比較して説明する。

第４図は、従来から行なわれている面取シ加工装置によ
シ、ディスク対向面端部に曲率を有する面取シ部を加工
した場合の問題点を示す略示正面図、第５図は、第４図
に係る面取シ加工装置によって加工された磁気ヘッドを
示す斜視図、第６図は、第５図の■矢視図である。

この第４図において、１′は磁気ヘッドＳ２は研磨テー
プ、３は弾性体である。加圧力Ｐｌで磁気ヘッド１′を
研磨テープ２上に押しつけ、この研磨テープ２を矢印方
向へ動かすと、前記加圧力Ｐ１により弾性体３が磁気ヘ
ッド１′にならい、これによって磁気ヘッド１′のディ
スク対向面１ａの端部１ｄに面取シ加工が行なわれる。

しかし、この場合、端部１ｄ（第５図で斜線を施した部
分）が加工されるとともに、第５，６図に示すように、
ディスク対向面１ａ全面が加工され、平面形状が劣化す
る。すなわち、面取りを施す前のディスク対向面１ａの
平面度は０．０５μｍ程度であったものが、この装置に
よって面取り加工すると０．１μｍ前後もしくはそれ以
下に劣化してしまうので、この面取シ加工装置は適用で
きない。

第７図は、従来から行なわれている他の面取り加工装置
によシ、ディスク対向面端部に曲率を有する面取シ部を
加工した場合の問題点を示す略示正面図である。

この第７図において、１′は磁気ヘッド、４は研磨テー
プである。この加工装置は、研磨テープ４の両端を引張
力Ｔで引張りながら、加圧力Ｐ２を加えた磁気ヘッド１
′を矢印方向に往復運動させて面取り加工を行なうもの
である。しかしこの場合、面取シ形状にばらつきが生ず
るのみならず、内面部（図中のＡ）の面取り加工ができ
ない。

そこで本発明者等は、上述した第４，７図に係る面取り
加工装置によらず、磁気ヘッドのＸ方向端部を面取り加
工するためのＸ方向端部加工ユニットと、Ｙ方向端部を
面取シ加工するためのＹ方向端部加工ユニットとからな
る磁気ヘッド面取り加工装置（詳細後述）を使用するこ
とによシ、該磁気ヘッドの面取り加工を実施するように
したものｆ訊Å 以下、その詳細を、図面を使用して説明する。

第８図は、本発明の一実施例に係る磁気ヘッド面取シ加
工装置のＸ方向端部加工ユニットを示す斜視図、第９図
は、第８図におけるＸ方向端部加工用テープガイドとこ
のガイド面にならって走行する研磨テープの詳細を示す
要部断面図、第１０図は、第８図における試料台の詳細
を示す正面図、第１１図は、Ｙ方向端部加工ユニットの
Ｘ方向端部加工用テープガイドとこのガイド面にならっ
て走行する研磨テープの詳細を示す要部断面図である。

まず、Ｘ方向端部加工ユニットを説明する。

第８，９図において、２０は、そのガイド面２０ａに、
加工試料である磁気ヘッドＩＡ’のディスク対向面のＸ
方向端部に曲率１／Ｒの面取シ部ＩＣを施すための、曲
率１／Ｒ（すなわち曲率半径Ｒ）を有す隣り合った１組
の凹部を形成した、円板状のＸ方向端部加工用テープガ
イド、１１は研磨テープである。

この研磨テープ１１をＸ方向端部加工用テープガイド２
０のガイド面２０ａになられせながら該研磨テープ１１
を駆動させるテープ駆動装置２３は、次のようになって
いる。すなわち、１２は、この研磨テープ１１を、繰出
しボビン１３がら送り出すためのブレーキ付きモータ、
１４は、重錘（図示せず）を吊すことによって、研磨テ
ープ１１に一定の張力を与えるだめのテンションローラ
、１５，１６，１７．１９はカイト、２１は、一定回転
数のモータ２２（前記ブレーキ付きモータ１２よシも低
速回転のモータ）の軸に取付けられたピンチローラ、１
８は、上方センサ１８ａと下方センサ１８ｂとからなる
センサであシ、テンションローラ１４が上昇して上方セ
ンサ１８ａを通過したとき、この上方センサ１８ａがら
の信号によってブレーキ付きモータ１２が駆動して研磨
−ｙ−−フｌ’ｌを送り出し、テンションローラ１４が
下降して下方センサ１８ｂを通過したとき、この下方セ
ンサ１８ｂからの信号によってブレーキ付ぎモータ１２
が停止して研磨テープ１１の送シ出しを中止することに
よシ、研磨テープ１１の繰出し量を制御するようになっ
ている。

２４は、加工試料である磁気ヘッドＩＡ’を、そのＸ方
向端部を面取シ加工できるような状態（第９図の状態）
に載置するＸ方向端部加工用の試料台であシ、この試料
台２４は、その詳細を第１０図に示すように、磁気ヘッ
ドＩＡ’を弾性体５を介して載置する受け６を有し、こ
の受け６を試料台本体７に設けた凸状受け８によって支
持する（この場合、受け６と凸状受け８との当接面は、
受け６側が曲率半径ｒ２の凹面、凸状受け８側が曲率半
径ｒｌの凸面である。ｒｌ＜ｒ２）とともに、受け６の
周辺部を多自由度弾性体９で支持し、磁気ヘッドＬＡ’
の変位を抑制するストッパ１゜を試料本体７に設けてな
るものである。

次に、この試料台２４を支持し磁気ヘッドＩＡ’のディ
スク対向面１ａを研磨テープ１１に押圧することができ
る試料台駆動装置２８は、次のようになっている。すな
わち、２８ａは試料台駆動装置本体、３０は、この試料
台駆動装置本体２８ａに取付けられた、ポールねじ２９
を軸端に取付けたモータ、２７は、前記ボールねじ２９
と噛合うめねじ部（図示せず）を設けた駆動テーブルで
あり、この駆動テーブル２７は、モータ３０を回転させ
ることにより、試料台駆動装置本体２８ａの側面に設け
た溝に沿って上下方向に移動することができる。そして
、前記試料台２４は駆動テーブル２７上に搭載されてお
シ、試料台２４には、レーバ２５を介して荷重２６によ
る押圧力が付加されるようになっている。

一方、Ｙ方向端部加工ユニット（図示せず）は、第８図
で説明したＸ方向端部加工ユニットと同様の構成のもの
であるが、第９図のテープガイド。

研磨テープの代シに、第１１図に示すＹ方向端部加工用
テープガイド２０Ａ、研磨テープＩＩＡを使用する。ま
た、第８図における試料台２４の代シに、この試料台２
４の状態からディスク対向面１ａの面内で９０°回転さ
せて駆動テーブル２７に取付けたＹ方向端部加工用の試
料台（この試料台の構造そのものは試料台２４と同じ）
を使用することによシ、磁気ヘッドＬＡ’を、そのＹ方
向端部の面取り加工ができるような状態（第１１図の状
態）に載置するようにしたものである。

このように構成した磁気ヘッド面取シ加工装置によって
磁気ヘッドＬＡ’の面取り加工する動作を説明する。

まず・Ｘ方向端部加工ユニットのテンションローラ１４
に重錘を吊し、研磨テープ１１に所定の張力を付加する
。試料台２４の弾性体５上に、加工試料である磁気ヘッ
ドＬＡ’を載置する。試料台駆動装置２８に所定の荷重
２６を載せて、磁気ヘッドＩＡ’のディスク対向面１ａ
の８１側（第２図参照）を研磨テープ１１に押圧してこ
れになられせる。駆動テーブル２７を所定の送シ速度下
２１、−−〜移動させ、Ｘ方向端部の加工終了（館２図
におい　−てＳ２側まで加工終了）したときこの駆動テ
ーブル２７を停止させるために、モータ３０に、回転速
度、および駆動テーブル２７の移動量を設定する。

同様にして、前記Ｙ方向端部加工ユニットの研磨テープ
１１Ａに所定の張力を付加し、試料台駆動装置の駆動テ
ーブルの送り速度、移動量を設定する。

ここで、この面取シ加工装置をＯＮにすると、Ｘ方向端
部加工ユニットのブレーキ付きモータ１２が駆動し、研
胎テープ１１が繰出しボビン１３から送シ出され、ガイ
ド１５，１６．１７を介してＸ方向端部加工用テープガ
イド２０へ送られる。この研磨テープ１１は、さらにカ
イト１９を介してピンチローラ２１へ送シ込まれ、モー
タ２２で一定速度で送り出されて巻き取シボビン（図示
せず）に巻き取られる。研磨テープ１１の走行中にテン
ションローラ１４が下降して下方センサ１８ｂを通過す
ると、ブレーキ付きモータ１２が停止して研磨テープ１
１の送シ出しが中止され、また、テンションローラ１４
が上昇して上方センサ１８ａを通過すると、ブレーキ付
きモータ１２が再び駆動して研磨テープ１１が送シ出さ
れる。このようにして、研磨チーブ１１の繰出し量、が
制御される。

一方、試料台２４上の磁気ヘッドＩＡ’は、ディスク対
向面１ａのＳ１側からＳ２側へ向けて、前記設定速り速
度で加工される。そして、Ｓ２側まで面取り部ＩＣの加
工が行なわれたとき、Ｘ方向端部加工ユニットがＯＦＦ
’になシ、各モータ１２．２２．３０が停止し、磁気ヘ
ッドＬＡ’のＸ方向端部の面取シ加工が終了する。

このようにしてＸ方向端部の面取シ加工か終了した、Ｘ
方向端部加工用の試料台２４上の磁気ヘッドＩＡ’は、
把握装置（図示せず）によってこの試料台２４か、ら除
去され、前記Ｙ方向端部加工ユニットのＹ方向端部加工
用の試料台上に載置されて研磨テープＩＩＡへ押圧され
る（第１１図の状態）。そして該Ｙ方向端部加工ユニッ
トの各モータが駆動し、磁気ヘッドＬＡ’のＹ方向端部
がＳ３側（第２図参照）から面取り加工が行なわれ、Ｓ
４側まで加工されたとき、該Ｙ方向端部加工ユニットが
ＯＦＦになシ、前記各モータが停止し、Ｙｉ向端部の加
工が完了し、第２図に示す磁気ヘッドＩＡが得られる。

具体例として、研磨テープにダイヤモンドラッビッグテ
ープ（砥粒径１μｍ）を使用し、磁気ヘッドＩへ′　（
アルミナ系セラミック材）を荷重７００ｇｒで押圧しな
がら面取シ加工を行なったところ、面取り範囲ＡＩ　＝
Ｉ　Ｑμｍ、　Ｌ２＝０．３μｍ　、　Ｒ＝　２６ｔｒ
ａｎ　（第３図参照）の面取り部ＩＣが加工された。

以上説明した実施例によれば、加工試料である磁気ヘッ
ドＩＡ’のディスク対向面１ａめ端部に、所望の曲率１
／Ｒを有する微小の面取シ加工を、ディスク対向面１ａ
の平面形状を劣化させることなく、高能率で実施するこ
とができる磁気ディスク面取り加工装置を提供すること
ができるという効果がある。また試料台２４については
、磁気ヘンドＩＡ’を載置した受け６の周辺部を多自由
度弾性体（たとえば、ゴム）で支持するようにしたので
、磁気ヘッドＬＡ’に研磨テープ１１が不平、衡に作用
することがあっても、その磁気ヘッドＬＡ’は研磨テー
プ１１にならって正常に面取り加工が行なわれる。さら
に、不平衡量が太きすぎる場合には、磁気ヘッドＩＡ’
の変位がストツパ１０によって抑制されるので、磁気ヘ
ッドＩＡ′。

研磨チーブ１１の破損を防止することができるという利
点もある。

第１２図は、本発明の他の実施例に係る磁気・ヘッド面
取シ加工装置に使用されるテープガイド。

研磨テープを示す要部断面図である。

この実施例装置による面取シ加工方法は、まず、第１２
図（ａ）に示す、ガイド面２０Ｃに曲率１／Ｒ。

の凹部を形成した円板状のＸ方向端部加工用テープカイ
ト２０Ｂ上を走行する研磨テープ１１Ｂによって、加工
試料でちる磁気ヘッドＩＡ’のディスク対向面１ａのＸ
方向端部の外面部０に曲率１／Ｒの面取り加工を行なっ
たのち、第１２図（ｂ）に示す、ガイド面２０ｄの両外
側に曲率１／Ｒの凹部を対向して形成した円板状のＸ方
向端部加工用テープガイド２０Ｃ上を走行する研磨テー
プ１１Ｃによって、ディスク対向面１ａのＸ方向端部の
内面部ｉを加工する。このようにしてＸ方向端部の面取
シ加工が終了したのち、前記第１１図に示す、Ｙ方向端
部加工用テープガイド２０Ａ上を走行する研磨テープ１
１Ａによって、Ｙ方向端部の面取シ加工を行なうもので
ある。

このように、本実施例の磁気ヘッド面取シ加工装置は、
Ｘ方向端部を面取シ加工するために２組のテープガイド
、研脂テープ（すなわち、テープガイド２０Ｂ、研磨テ
ープＩＩＢおよびテープガイド２０Ｃ１研磨テープ１１
Ｃ）を必要とするものであるから装置が大型になる。

これに対して、前述した第８図に係る面取シ加工装置は
構造が簡単で小型・である。

第１３図は、本発明のさらに他の実施例に係る磁気ヘッ
ド面取シ加工装置の試料台を示す詳細断面図である。

この実施例は、エア供給口３１とエア通路３２を介して
連通ずる空間部３３を有する試料台本体３４の前記空間
部３３内に、磁気ヘッドＩ　Ａ　／を載置する支持体３
５を収納してなる試料台２４Ａを使用し、エア供給口３
１から供給される空気圧によ、って前記支持体３５を支
持するようにしたものである。

この実施例は、試料台２４Ａへ圧縮空気を供給するだめ
の空気源を必要とするものの、空気圧による支持のため
剛性が弱く、磁気ヘッドＩＡ’に不平衡な力が作用して
もそれにならって支持体３５が速やかに変位しくその追
随性は、第１０図の試料台２４よシも優れている）、常
に均一な面取シ加工を実施することができるという効果
がある。

なお、試料台としては、前述した試料台２４（第１０図
）、２４Ａ、（第１３図）のほか、クロスローラガイド
、板ばねなどを用いたものであってもよい。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように本発明によれば、浮上−接地
の繰返し特性の優れた磁気ヘッド、およびこの磁気ヘッ
ドの加工に直接使用される磁気ヘッド面取シ加工装置を
提供することがＴきる。

【図面の簡単な説明】 第１図は、従来の磁気ヘッドの斜視図、第２図は、本発
明の一実施例に係る磁気ヘッドを示す斜視図、第３図は
、第２図の■−■矢視部分拡大断面図、第４図は、従来
から行なわｎている面取シ加工装置によシ、ディスク対
向面端部に曲率を有する面取シ部を加工した場合の問題
点を示す略示正面図、第５図は、第４図に係る面取り加
工装置によって加工された磁気ヘッドを示す斜視図、第
６図は、第５図の■矢視図、第７図は、従来から行なわ
れている他の面取り加工装置によシ、ディスク対向面端
部に曲率を有する面取シ部を加工した場合の問題点を示
す略示正面図、第８図は、本発明の一実施例に係る磁気
ヘッド面取シ加工装置のＸ方向端部加工ユニットを示す
斜視図、第９図は、第８図におけるＸ方向端部加工用テ
ープガイドとこのガイド面にならって走行する研磨テー
プの詳細を示す要部断面図、第１０図は、第８図におけ
る試料台の詳細を示す正面図、第１１図は、Ｙ方向端部
加工ユニットのＹ方向端部加工用テープガイドとこのガ
イド面にならって走行する研磨テープの詳細を示す要部
断面図、第１２図は、本発明の他の実施例に係る磁気ヘ
ッド面取シ加工装置に使用されるテープガイド、研磨テ
ープを示す要部断面図、第１３図は、本発明のさらに他
の実施例に係る磁気ヘッド面取シ加工装置の試料台を示
す詳細断面図である。 ＩＡ・・・磁気ヘッド、１ａ・・・ディスク対向面、１
ｃ・・・面取シ部、５・・・弾性体、６・・・受け、７
・・・試料台本体、８・・・凸状受け、９・・・多自由
度弾性体、１゜・・・ストッパ、１１．ＩＩＡ、ＩＩＢ
、ＩＩＣ・・・研磨テープ、２０．２０Ｂ、２０Ｃ・・
・Ｘ方向端部加工用テープガイド、２０Ａ・・・Ｙ方向
端部加工用テープガイド、２０　ａ　、　２０　ｂ　、
２０　ｃ　、２０　ｄ　・−ガイド面、２３・・・テー
プ駆動装置、２４，２４Ａ・・・試料台、２８・・・試
料台駆動装置、３１・・・エア供給口、３３・・・空間
部、３４・・・試料台本体、３５・・・第　４　目 Ｐｌ 茶　！５　閃 第　６　目 第　７２　国 （α）（ｂ） 第　１３　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気ディスク上を駆動する磁気へ、ラドにおいて、
   磁気ヘッドの、磁気ディスクと対向するディスク対向面
   のＸ方向およびＹ方向端部に、曲率を有する面取り部を
   設けたことを特徴とする磁気ヘッド。 ２゜ガイド面に所定の曲率を設けたＸ方向端部加工用テ
   ープガイドと、とのＸ方向端部加工用テープガイドの前
   記ガイド面に研磨テープをなられせながら駆動させるテ
   ープ駆動装置と、加工試料である磁気ヘッドのＸ方向端
   部を面取り加工できるように該磁気ヘッドを載置するＸ
   方向端部加工用の試料台と、この試料台を支持し前記磁
   気ヘッドのディスク対向面を前記研磨テープに押圧する
   ことができる試料台駆動装置とを具備したＸ方向端部加
   エユニットと、カイト面に所定の曲率を設けたＹ方向端
   部加工用テープガイドと、とのＹ方向端部加工用テープ
   ガイドの前記カイト面に研磨テープをなられせながら駆
   動させるテープ駆動装置と、前記磁気ヘッドのＹ方向端
   部を面取シ加工できるように該磁気ヘッドを載置するＹ
   方向端部加工用の試料台と、この試料台を支持し前記磁
   気ヘッドのディスク対向面を前記研磨テープに押圧する
   ことができる試料台駆動装置とを具備したＹ方向端部加
   工ユニットとを有することを特徴とする磁気ヘッド面取
   シ加工装置。 ３、試料台を、磁気ヘッドを弾性体を介して載置する受
   けを有し、この受けを、試料台本体に設けた凸状受けお
   よびその外側の多自由度弾性体によって支持し、前記磁
   気ヘッドの変位を前記試料台本体に取付けたストッパに
   よって抑制御するようにしたものである特許請求の範囲
   第２項記載の磁気ヘッド面取シ加工装置。 ４、試料台を、磁気ヘッドを載置びる支持体を有し、こ
   の支持体を、エア供給孔と連通する空間部を有する試料
   台本体の前記空間部に収納し、前記エア供給孔から供給
   される望気圧によって前記支特休を支持するようにした
   ものである特許請求の範囲第２項記載の磁気ヘッド面取
   り加工装置。