JPS60196634A - 水晶温度計 - Google Patents
水晶温度計Info
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- JPS60196634A JPS60196634A JP5395384A JP5395384A JPS60196634A JP S60196634 A JPS60196634 A JP S60196634A JP 5395384 A JP5395384 A JP 5395384A JP 5395384 A JP5395384 A JP 5395384A JP S60196634 A JPS60196634 A JP S60196634A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- axis
- oscillating
- temperature
- temperature coefficient
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/32—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using change of resonant frequency of a crystal
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、水晶振動子を測温素子として用いた水晶温度
計に関し、同一の水晶ウェハから構成した２つの水晶振
動子を有し、一方の振動子を測温素子とし、他方の振動
子を基準クロックを得るための発振素子とした水晶温度
計に関するものである。
計に関し、同一の水晶ウェハから構成した２つの水晶振
動子を有し、一方の振動子を測温素子とし、他方の振動
子を基準クロックを得るための発振素子とした水晶温度
計に関するものである。
〈従来技術〉
水晶は結晶異方性を廟しているので、切り出し角を適当
に選択することによって、温度係数を零にすることもで
き、又、逆に温度係数を大きくす−ることもできる。こ
の温度係数の大きな水晶振動子を測温素子、温度係数の
小さな水晶振動子を発振素子として用いたものが水晶温
度計で、高分解能、高安定性に渥れている。
に選択することによって、温度係数を零にすることもで
き、又、逆に温度係数を大きくす−ることもできる。こ
の温度係数の大きな水晶振動子を測温素子、温度係数の
小さな水晶振動子を発振素子として用いたものが水晶温
度計で、高分解能、高安定性に渥れている。
従来、この柚の水晶温度計においては、測温素子として
の水晶振動子と、基準クロックを得る発振素子としての
水晶振動子とは、全く別々に構成されたものであるため
、多くの温肢校正点を必要とし、その校正に大震な労力
を畏するという欠点があった。
の水晶振動子と、基準クロックを得る発振素子としての
水晶振動子とは、全く別々に構成されたものであるため
、多くの温肢校正点を必要とし、その校正に大震な労力
を畏するという欠点があった。
く発明の目的〉
本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みてなされたもので
、温度校正点を減少させ、高精度の水晶温度計を提供す
ることを目的とする。
、温度校正点を減少させ、高精度の水晶温度計を提供す
ることを目的とする。
〈発明の構成〉
この目的を達成する本発明の構成は、Ｘ軸又はＹ軸に対
する回転角が２０〜１６０°の範囲で切り出した水晶ウ
ェハ上に、一対の水晶振動子を作り、温度係数の大きい
水晶振動子を測温素子として用いると共に、温度係数の
小さい水晶振動子を基準クロックを得るための発振素子
として用い、Ｘ軸に対する回転角が２０〜１６０°の範
囲で切り出した一対の水晶振’Ｉ’ｒｂ子は、温度係数
の大きい測温素子をＹ軸に対して０±２０°、または１
８０±２０°の範囲に形成し、温度係数の小さい発振素
子をＹ軸に対して６０±２０°、１２０±２０°、２４
０±２０゛、または３００±２０°の範囲に形成し、そ
れぞれの振動子を組み合わせで水晶温度計とし、１だ、
Ｙ軸に対する回転角が２０〜１６０°の範囲で切り出し
た水晶振動子は、温度係数の大きい測温素子′ｆ：Ｙ軸
に対して９０±２０°、または２７０±２０′の範囲に
形成し、温度係数の小さい発振素子をＹ軸に対して０±
２０′。
する回転角が２０〜１６０°の範囲で切り出した水晶ウ
ェハ上に、一対の水晶振動子を作り、温度係数の大きい
水晶振動子を測温素子として用いると共に、温度係数の
小さい水晶振動子を基準クロックを得るための発振素子
として用い、Ｘ軸に対する回転角が２０〜１６０°の範
囲で切り出した一対の水晶振’Ｉ’ｒｂ子は、温度係数
の大きい測温素子をＹ軸に対して０±２０°、または１
８０±２０°の範囲に形成し、温度係数の小さい発振素
子をＹ軸に対して６０±２０°、１２０±２０°、２４
０±２０゛、または３００±２０°の範囲に形成し、そ
れぞれの振動子を組み合わせで水晶温度計とし、１だ、
Ｙ軸に対する回転角が２０〜１６０°の範囲で切り出し
た水晶振動子は、温度係数の大きい測温素子′ｆ：Ｙ軸
に対して９０±２０°、または２７０±２０′の範囲に
形成し、温度係数の小さい発振素子をＹ軸に対して０±
２０′。
または１８０±２０°の範囲に形成し、それぞれの振動
子を組み合わせて水晶温度計としたことを構成上の特徴
とするものである。
子を組み合わせて水晶温度計としたことを構成上の特徴
とするものである。
〈実施例〉
第１図は本発明に係る水晶温度計の一例を示す′眠気的
なブロック図でめる。この図において、１は徂す温素子
、２は発振素子である。これら水晶振動子は、図示して
ないが、熱伝達を迅速に何うため、例えばヘリウムガス
等が封入きれた熱伝導率の高い金栖ケース内に設置され
ている。；（１，３２に増巾器で、それぞれ測温素子１
９発振素子２と共に発振回路ｏｓ、 、 ｏｓ２ を形
成しておシ、各発振回路ｏｓ、 、 ｏｓ２から発振周
波数信号ｆ、、ｆ２が得られる。４０は発振回路ＯＳ、
からの発振周波数信号ｆ、を分周する分周器、４は分周
器４０からのパルスと発振回路Ｏ８２からの発振周波数
信号ｆ２を入力するゲート回路、５はカウンタ、６はカ
ウンタ５からの信号を入力する演算表示回路である。
なブロック図でめる。この図において、１は徂す温素子
、２は発振素子である。これら水晶振動子は、図示して
ないが、熱伝達を迅速に何うため、例えばヘリウムガス
等が封入きれた熱伝導率の高い金栖ケース内に設置され
ている。；（１，３２に増巾器で、それぞれ測温素子１
９発振素子２と共に発振回路ｏｓ、 、 ｏｓ２ を形
成しておシ、各発振回路ｏｓ、 、 ｏｓ２から発振周
波数信号ｆ、、ｆ２が得られる。４０は発振回路ＯＳ、
からの発振周波数信号ｆ、を分周する分周器、４は分周
器４０からのパルスと発振回路Ｏ８２からの発振周波数
信号ｆ２を入力するゲート回路、５はカウンタ、６はカ
ウンタ５からの信号を入力する演算表示回路である。
第２図はＸ軸のまわりに水晶ウエノ・Ｗ、金切り出す説
明図で、回転角αは、Ｘ、 Ｙ、 Ｚ軸を有する水晶か
ら、Ｘ軸を回転軸としてＹ軸からの角度を示し、第６図
はＹ軸のまわりに水晶ウェアＷ２金切り出す説明図で、
回転角αは、Ｙ軸を回転軸としたＸ軸からの角度を示し
ている。
明図で、回転角αは、Ｘ、 Ｙ、 Ｚ軸を有する水晶か
ら、Ｘ軸を回転軸としてＹ軸からの角度を示し、第６図
はＹ軸のまわりに水晶ウェアＷ２金切り出す説明図で、
回転角αは、Ｙ軸を回転軸としたＸ軸からの角度を示し
ている。
上記のようなＸ軸又はＹ軸に対する回転角αを柚々変え
て切り出した水晶ウエノ％ Ｗ、 、 Ｗ２から水晶振
動子を作り、その温度特性をめると、第４図の通りとな
る。第４図において縦軸は共振周波数の変化Δｆ／ｆを
示す。本発明においては、第２図または第６図において
Ｘ軸又はＹ軸に対する回転角αが２０〜１６０°の範囲
、すなわち、温度係数が大きくなる範囲（Δｆ／ｆ が
−２０ｐｐｍ／℃以上となる範囲）で切り出した水晶ウ
エノ・Ｗ、 、 Ｗ２を使用するものである。
て切り出した水晶ウエノ％ Ｗ、 、 Ｗ２から水晶振
動子を作り、その温度特性をめると、第４図の通りとな
る。第４図において縦軸は共振周波数の変化Δｆ／ｆを
示す。本発明においては、第２図または第６図において
Ｘ軸又はＹ軸に対する回転角αが２０〜１６０°の範囲
、すなわち、温度係数が大きくなる範囲（Δｆ／ｆ が
−２０ｐｐｍ／℃以上となる範囲）で切り出した水晶ウ
エノ・Ｗ、 、 Ｗ２を使用するものである。
第５図は、第２図で切り出した水晶ウエノ・Ｗ、上に、
水晶振動子Ｃ１をホトリソグラフィーの技術とエツチン
グの技術によって形成したものである。
水晶振動子Ｃ１をホトリソグラフィーの技術とエツチン
グの技術によって形成したものである。
第５図において、Ｙ軸に対する面内回転角θの角度を種
々変えて、その温度特性および等価直列抵抗をめると第
６図および第７図に示す通りとなる。
々変えて、その温度特性および等価直列抵抗をめると第
６図および第７図に示す通りとなる。
第６図は面内回転角θに対する温度係数を示すもので、
振動子をθが０°または１８０″付近で形成した場合が
温度係数が一帯大きく、振動子をθが９０および２７０
″付近で形成した場合が温度係数が一査小さくなる。こ
の温度係数の曲線は１８０゛周期で繰返す。
振動子をθが０°または１８０″付近で形成した場合が
温度係数が一帯大きく、振動子をθが９０および２７０
″付近で形成した場合が温度係数が一査小さくなる。こ
の温度係数の曲線は１８０゛周期で繰返す。
第７図は、水晶ウェハＷ、の切り出し角αを０′とし、
面内回転角θを０′として振動子を形成した場合の等価
直列抵抗の比を１とし、ｉＭｉ内回転回転角々笈化して
形成したときの等価直列抵抗の比をプロットしたもので
ある。第７図によれば面内回転角θがＯ’、 ６０”、
１２０”、 １８０’、 ２４０’、 ３００付近で
直列等価抵抗の比が低くなっている。
面内回転角θを０′として振動子を形成した場合の等価
直列抵抗の比を１とし、ｉＭｉ内回転回転角々笈化して
形成したときの等価直列抵抗の比をプロットしたもので
ある。第７図によれば面内回転角θがＯ’、 ６０”、
１２０”、 １８０’、 ２４０’、 ３００付近で
直列等価抵抗の比が低くなっている。
一対の水晶振動子を温歴計として利用する場合の条件は
、第１に水晶振動子の等価直列抵抗比が低いことであり
、この値が高いと、水晶振動子の出力を高入力インピー
ダンスの回路で受けたり、低′６麺のシールド線を使っ
て信号の減衰を防いだすせねばならず、回路側の負担が
大きくなる。第２の条件としては、測温素子の温度係数
は大きく、発振素子の温度係数は小さくシ、かつ、その
差を大きくする心太がある。
、第１に水晶振動子の等価直列抵抗比が低いことであり
、この値が高いと、水晶振動子の出力を高入力インピー
ダンスの回路で受けたり、低′６麺のシールド線を使っ
て信号の減衰を防いだすせねばならず、回路側の負担が
大きくなる。第２の条件としては、測温素子の温度係数
は大きく、発振素子の温度係数は小さくシ、かつ、その
差を大きくする心太がある。
上記、水晶温度計の条件を満たす水晶振動子として、温
度係数の差を大きくするだめには、前記第６図から、測
温素子全面内回転角θが０または１８０°として形成し
、発掘素子を９０°または２７０として形成ずれはよい
。一方、等価直列抵抗を小さくするためＫは、第７図か
ら、１ｍ内回転角θを６０’。
度係数の差を大きくするだめには、前記第６図から、測
温素子全面内回転角θが０または１８０°として形成し
、発掘素子を９０°または２７０として形成ずれはよい
。一方、等価直列抵抗を小さくするためＫは、第７図か
ら、１ｍ内回転角θを６０’。
１２０、２４０．３００’のいずれかにする心安がある
。
。
この場合測温素子は面内回転角θｔｌ−Ｏ″または１８
０゛に選べは温度係数も大きく、等価直列抵抗比も小さ
いので都合がよいが、発振素子は面内回転角θを温度係
数の小さい９０′また１ｄ２７０”Ｋ辿ぶと、等価直列
抵抗比が無限大になり具合いが悪い。そこで、温度係数
は少し大きくなるが、等価直列抵抗比が小さい６０．１
２０”、 ２４０″、３００’にする。
０゛に選べは温度係数も大きく、等価直列抵抗比も小さ
いので都合がよいが、発振素子は面内回転角θを温度係
数の小さい９０′また１ｄ２７０”Ｋ辿ぶと、等価直列
抵抗比が無限大になり具合いが悪い。そこで、温度係数
は少し大きくなるが、等価直列抵抗比が小さい６０．１
２０”、 ２４０″、３００’にする。
このような面内回転角θにおける迄動子を水晶ウェハＷ
、上にすべて形成したもの全第８図に示す。
、上にすべて形成したもの全第８図に示す。
第８図において、４１口はＹ軸に対してそれぞれ０．１
８０°で形成した測温素子、ハ、二、ホ、へは発振素子
であり、水晶温度計として測温素子および発振素子を一
対としてそれぞれ組み合わせて使用する。
８０°で形成した測温素子、ハ、二、ホ、へは発振素子
であり、水晶温度計として測温素子および発振素子を一
対としてそれぞれ組み合わせて使用する。
第９図は第６図で示したＹ軸に対する回転角が２０〜１
６０°の範囲で切り出した水晶ウェハＷ２上に、水晶Ａ
ｈ ｍ＋Ｊ子Ｃ２ヲボトリングラフィーとエツチングの
技術によって形成したもので、この図において、Ｙ軸に
対する面内回転角θの角度を個々変えて、その温度特性
および等価直列抵抗比をめると、第１０図、第１１図に
示す通りとなる。これらの図によれば、θが９０″およ
び２７０゛付近で温度係数が一番大きくなす、０°およ
び１８０”付近で温度係数が小さくなる。また等価直列
抵抗比は、Ｏ’、９０°。
６０°の範囲で切り出した水晶ウェハＷ２上に、水晶Ａ
ｈ ｍ＋Ｊ子Ｃ２ヲボトリングラフィーとエツチングの
技術によって形成したもので、この図において、Ｙ軸に
対する面内回転角θの角度を個々変えて、その温度特性
および等価直列抵抗比をめると、第１０図、第１１図に
示す通りとなる。これらの図によれば、θが９０″およ
び２７０゛付近で温度係数が一番大きくなす、０°およ
び１８０”付近で温度係数が小さくなる。また等価直列
抵抗比は、Ｏ’、９０°。
１８σ’、２７０”付近で小さくなる。従って測温素子
としては面内回転角θを９０°または２７０°で形成し
、発振素子としては０゛または１８０°付近で形成すれ
ばよい。
としては面内回転角θを９０°または２７０°で形成し
、発振素子としては０゛または１８０°付近で形成すれ
ばよい。
このような面内回転角度θにおける振動子を水晶ウェア
Ｗ２上にすべて形成したもの金弟１２図に示す。第１２
図において、４７９口′にＹ軸に対してそれぞれ９０゛
、２７０°で形成した測温素子、ノ４．二′は発振素子
であシ、それぞれを一対として組み合わせて使用する。
Ｗ２上にすべて形成したもの金弟１２図に示す。第１２
図において、４７９口′にＹ軸に対してそれぞれ９０゛
、２７０°で形成した測温素子、ノ４．二′は発振素子
であシ、それぞれを一対として組み合わせて使用する。
第１３図は、上述のＸ軸又はＹ軸に対する回転角αが２
０〜１６０の範囲で切り出した同一のウェハ上に水晶撮
動子を形成したもので、第１３図（、）は第８図の測温
素子口、発振素子二を組合わせたもの、第１３図（ｂ）
は第１２図の口′で測温素子を形成し、との測温素子の
中に発振素子ハ′を形成したものである。
０〜１６０の範囲で切り出した同一のウェハ上に水晶撮
動子を形成したもので、第１３図（、）は第８図の測温
素子口、発振素子二を組合わせたもの、第１３図（ｂ）
は第１２図の口′で測温素子を形成し、との測温素子の
中に発振素子ハ′を形成したものである。
このような構成の水晶振動子は、測温素子と発振素子と
がｌ同一の水晶ウェハ上にホトリソグラフィーとエツチ
ングの技術によって／ ＰＪ一工程で作られるもので７
両水晶振動子の面内回転角θを常に正確な値に維持する
ことができる。また両振動子を同一工程で得ることから
、電極やゴミの付着等の影響をほぼ同じにできる。従っ
て、水晶ウェハの切り出し角αを正確に定めて周波数金
得るようにすれば、各棟の外乱の影響をキャンセルする
ことができる。
がｌ同一の水晶ウェハ上にホトリソグラフィーとエツチ
ングの技術によって／ ＰＪ一工程で作られるもので７
両水晶振動子の面内回転角θを常に正確な値に維持する
ことができる。また両振動子を同一工程で得ることから
、電極やゴミの付着等の影響をほぼ同じにできる。従っ
て、水晶ウェハの切り出し角αを正確に定めて周波数金
得るようにすれば、各棟の外乱の影響をキャンセルする
ことができる。
第１図に戻り、測温素子金倉む発振回路ＯＳ、からは、
温度に関連した周波数信号ｆ、が出力され、また発振素
子を含む発振回路Ｏ８２からは、温度に対してほとんど
影響されない周波数信号ｆ２（基準クロック信号）が出
力される。分周器４０は、周波数信号ｆ、を分周し、ゲ
ート４に印加し、ゲート４はこれが開となっている開、
周波数信号ｆ２をカウンタ５に印加する。カウンタ５は
この信号を計数する。演算表示回路６は、カウンタ５か
らの計数値を入力し、これから温度に変換する演算、リ
ニアライズのだめの演算等を行って、演算結果を表示す
る。
温度に関連した周波数信号ｆ、が出力され、また発振素
子を含む発振回路Ｏ８２からは、温度に対してほとんど
影響されない周波数信号ｆ２（基準クロック信号）が出
力される。分周器４０は、周波数信号ｆ、を分周し、ゲ
ート４に印加し、ゲート４はこれが開となっている開、
周波数信号ｆ２をカウンタ５に印加する。カウンタ５は
この信号を計数する。演算表示回路６は、カウンタ５か
らの計数値を入力し、これから温度に変換する演算、リ
ニアライズのだめの演算等を行って、演算結果を表示す
る。
〈効果〉
以上、実施例と共に具体的に説明したように、本発明に
よれば、２つの水晶振動子をフォトリソグラフィーとエ
ツチングの技術により同一ウェハ上に形成し、等価直列
抵抗比が小さく、温度係数の大きな角度に測温素子を、
温度係数の小さな角度に発掘素子を形成したので、校正
点数が少なく、高精度で、かつ、発振回路の簡単な水晶
温度計を実現することができる。
よれば、２つの水晶振動子をフォトリソグラフィーとエ
ツチングの技術により同一ウェハ上に形成し、等価直列
抵抗比が小さく、温度係数の大きな角度に測温素子を、
温度係数の小さな角度に発掘素子を形成したので、校正
点数が少なく、高精度で、かつ、発振回路の簡単な水晶
温度計を実現することができる。
第１図は本発明に係る水晶温度計の一例を示す電気的な
ブロック図、第２図および第６図は水晶ウェハを切り出
す説明図、第４図は水晶ウェハの切り出し角に対する温
度特性を示す線図、第５図乃至第１２図は水晶ウェハ上
に面内回転角θで水晶振動子を柿々形成した場合の、温
度特性および等価直列抵抗比を示す説明図、第１３図は
測温素子および発振素子の形状の一例を示す説明図であ
る。 １・・測温素子、２・・・発振素子、３１．３２・・・
増巾器、ｏｓ４． ｏｓ２・・・発振回路、４・・・分
周器、５・・・カウンタ、６・・・演算表示回路。 第１囚 Ｍ２図 第３図 第４図 ダ［度Ｊ−一÷ 第５図 Ｙ Ｍ６図 ９０ １２０ １５０ １８０ ２１０ ２４０ ２７
０品内ロ耘角（ｅ） 箪７囚 酵Ｅ転月（θ） 第８図 本 一一一一繁Ｙ 第９図 ＋１８０１ ＋２７０１ ＋３６０１ 面内ロ耘角（ｅ） 第１１図 ３６０ ３４０ ３２０ ３００ ２８０ ２６０ ２
７．０ ２２０ ２００ １８０面内口耘角（θ） 第１２図 −一一−Ｙ 箪１３図 （ａ） （ｂ）
ブロック図、第２図および第６図は水晶ウェハを切り出
す説明図、第４図は水晶ウェハの切り出し角に対する温
度特性を示す線図、第５図乃至第１２図は水晶ウェハ上
に面内回転角θで水晶振動子を柿々形成した場合の、温
度特性および等価直列抵抗比を示す説明図、第１３図は
測温素子および発振素子の形状の一例を示す説明図であ
る。 １・・測温素子、２・・・発振素子、３１．３２・・・
増巾器、ｏｓ４． ｏｓ２・・・発振回路、４・・・分
周器、５・・・カウンタ、６・・・演算表示回路。 第１囚 Ｍ２図 第３図 第４図 ダ［度Ｊ−一÷ 第５図 Ｙ Ｍ６図 ９０ １２０ １５０ １８０ ２１０ ２４０ ２７
０品内ロ耘角（ｅ） 箪７囚 酵Ｅ転月（θ） 第８図 本 一一一一繁Ｙ 第９図 ＋１８０１ ＋２７０１ ＋３６０１ 面内ロ耘角（ｅ） 第１１図 ３６０ ３４０ ３２０ ３００ ２８０ ２６０ ２
７．０ ２２０ ２００ １８０面内口耘角（θ） 第１２図 −一一−Ｙ 箪１３図 （ａ） （ｂ）
Claims (5)
- （１）Ｘ軸又はＹ軸まわりの回転角が２０〜１６０′の
範囲で切り出した水晶ウエノ・上に、一対の水晶振動子
を作り、温度係数の大きい水晶振動子を測温素子として
用いると共に、温度係数の小さい水晶振動子を基準クロ
ックを得るための発振素子として用いたことを特徴とす
る水晶温度計。 - （２）Ｘ軸まわりの回転角が２０〜１６０°の範囲で切
シ出した水晶ウェハ上の一対の水晶振動子は、温度係数
の大きい測温素子をＹ軸に対してθ±２０°、または１
８０±２０゛の範囲に形成し、温度係数の小さい発振素
子をＹ軸に対して６０±２０゛。 １２０±２０°、２４０±２０′、または３００±２０
°の範囲に形成し、それぞれの振動子を組み合わせたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の水晶温度計
。 - （３）Ｙ軸まわシの回転角が２０〜１６０°の範囲で切
シ出した水晶ウェハ上の一対の水晶振動子は、温度係数
の大きい測温素子をＹ軸に対して９〇−２０°、または
２７０°−２０°の範囲に形成し、温度係数の小さい発
振素子をＹ軸に対して０±２０°。 または１８０±２０°の範囲に形成し、それぞれの振動
子を組み合わせたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の水晶温度計。 - （４） 一対の水晶振動子をホトリソグラフィーの技術
とエツチングの技術をオリ用して形成するようにしたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の水晶温度計
。 - （５）一対の水晶振動子を一体化して構成したことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の水晶温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5395384A JPS60196634A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 水晶温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5395384A JPS60196634A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 水晶温度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60196634A true JPS60196634A (ja) | 1985-10-05 |
| JPH0443223B2 JPH0443223B2 (ja) | 1992-07-15 |
Family
ID=12957080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5395384A Granted JPS60196634A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 水晶温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60196634A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5607236A (en) * | 1987-02-27 | 1997-03-04 | Seiko Epson Corporation | Quartz oscillator temperature sensor |
| JP4679782B2 (ja) * | 1999-12-10 | 2011-04-27 | 富士通株式会社 | 温度センサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5195885A (ja) * | 1975-01-09 | 1976-08-23 | ||
| JPS5854719A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-03-31 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型屈曲水晶振動子 |
| JPS59128422A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-24 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 水晶温度計 |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP5395384A patent/JPS60196634A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5195885A (ja) * | 1975-01-09 | 1976-08-23 | ||
| JPS5854719A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-03-31 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型屈曲水晶振動子 |
| JPS59128422A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-24 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 水晶温度計 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5607236A (en) * | 1987-02-27 | 1997-03-04 | Seiko Epson Corporation | Quartz oscillator temperature sensor |
| JP4679782B2 (ja) * | 1999-12-10 | 2011-04-27 | 富士通株式会社 | 温度センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0443223B2 (ja) | 1992-07-15 |
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