JPS60195056A - 導電性セラミツク - Google Patents
導電性セラミツクInfo
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- JPS60195056A JPS60195056A JP59048094A JP4809484A JPS60195056A JP S60195056 A JPS60195056 A JP S60195056A JP 59048094 A JP59048094 A JP 59048094A JP 4809484 A JP4809484 A JP 4809484A JP S60195056 A JPS60195056 A JP S60195056A
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- Japan
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- sintered body
- carbon
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- component compound
- powder
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は新規な導電性セラミックを提供する。詳しくは
アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれ
た少くとも一種の金属の炭化物又は窒化物／ρ 〜ｆ／
重量％とカーボン ３〜フタ重量％とからなる焼結体で
、該焼結体の機械的な破断面がアルミニウム、ケイ素及
びホウ素よりなる群から選ばれた少くとも一種の金属の
炭化物又は窒化物の結晶粒子とカーボンとが緊密に充填
されてなる導電性セラミックに関する。
アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれ
た少くとも一種の金属の炭化物又は窒化物／ρ 〜ｆ／
重量％とカーボン ３〜フタ重量％とからなる焼結体で
、該焼結体の機械的な破断面がアルミニウム、ケイ素及
びホウ素よりなる群から選ばれた少くとも一種の金属の
炭化物又は窒化物の結晶粒子とカーボンとが緊密に充填
されてなる導電性セラミックに関する。
従来、各種産業用及び民生用の機械１機器材料式いは電
子機器材料等に種々のセラミック又はセラミック複合体
が使用されて−ろ。
子機器材料等に種々のセラミック又はセラミック複合体
が使用されて−ろ。
しかしながら特定の用途に要求される二７ズを満足する
材料を工業的に製造することはしばしば困雛を伴う。
材料を工業的に製造することはしばしば困雛を伴う。
本発明者等は特定の性状を有する種々のセラミック複合
体の開発を鋭意行って来た。特に導電性セラミックを工
業的に製造する研究を続けた結果、新規な導電性セラミ
ックの開発に成功し、ここに提案するに至った。
体の開発を鋭意行って来た。特に導電性セラミックを工
業的に製造する研究を続けた結果、新規な導電性セラミ
ックの開発に成功し、ここに提案するに至った。
即ち、本発明はアルミニウム、ケイ素及びホウ素よりな
る群から選ばれた少ぐとも一種の金属の炭化物又は窒化
物１０〜Ｐ７Ｍ量 ・％トカーホン ｉ −ｅｏ重量％
とからなる焼結体で、該焼結体の機械的な破断面がアル
ミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少
くとも一種の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子とカー
ボンとが緊密に充填されてなることを特徴とする導電性
セラミックである。
る群から選ばれた少ぐとも一種の金属の炭化物又は窒化
物１０〜Ｐ７Ｍ量 ・％トカーホン ｉ −ｅｏ重量％
とからなる焼結体で、該焼結体の機械的な破断面がアル
ミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少
くとも一種の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子とカー
ボンとが緊密に充填されてなることを特徴とする導電性
セラミックである。
本発明の導電性セラミックの第一成分は、アルミニウム
、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少くとも一
種の金属の炭化物又は窒化物（以下単に第−酸物化合物
と云う）である。該第一成分化合物は既に公知の化合物
である。本発明の導電性セラミックを得る原料としては
これらの公知の化合物をそのまま使用して焼結すればよ
い。一般には焼結性をより好ましくするために該第−成
分化合物の粒子径は出来るだけ小さく、しかも粒度分布
が揃ったものが好適である。これらの粒子径及び粒度分
布は該第−成分化合物の種類。
、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少くとも一
種の金属の炭化物又は窒化物（以下単に第−酸物化合物
と云う）である。該第一成分化合物は既に公知の化合物
である。本発明の導電性セラミックを得る原料としては
これらの公知の化合物をそのまま使用して焼結すればよ
い。一般には焼結性をより好ましくするために該第−成
分化合物の粒子径は出来るだけ小さく、しかも粒度分布
が揃ったものが好適である。これらの粒子径及び粒度分
布は該第−成分化合物の種類。
焼結条件等によって異なり一概に限定出来ないが一般に
は例えば平均粒子径が５μｍ以下好ましくは２μｍ以下
で、粒度分布は平均粒子径をＤとするどきρ、θＤ−１
，ｌｏの範囲の粒子が７σ容量％以上を占めるようなも
ので、その純度が９５％以上好ましくは９８％以上のも
のが特に好適に使用される。特に第一成分化合物のなか
で窒化アルミニウムを用いるときは次のような本発明者
等が開発した新規な窒化アルミニウム粉末を用すると好
適である。
は例えば平均粒子径が５μｍ以下好ましくは２μｍ以下
で、粒度分布は平均粒子径をＤとするどきρ、θＤ−１
，ｌｏの範囲の粒子が７σ容量％以上を占めるようなも
ので、その純度が９５％以上好ましくは９８％以上のも
のが特に好適に使用される。特に第一成分化合物のなか
で窒化アルミニウムを用いるときは次のような本発明者
等が開発した新規な窒化アルミニウム粉末を用すると好
適である。
例えば、平均粒子径が２μｍ以下、６μｍ以下の粒子の
ものを７０容量％以上の割合で含有するもので且つ酸素
含有量６．０重量％以下好ましくは１．５重量％以下及
び窒化アルミニウムの純度が９５％以上の窒化アルミニ
ウム粉末である。
ものを７０容量％以上の割合で含有するもので且つ酸素
含有量６．０重量％以下好ましくは１．５重量％以下及
び窒化アルミニウムの純度が９５％以上の窒化アルミニ
ウム粉末である。
上記窒化アルミニウム粉末は次のようｆｘＨ造方法によ
って得られる。
って得られる。
即ち、
ラム微粒子と灰分含量０．２重量％以下好ましくは０．
１重量％以下で平均粒子径が１μ■ム微粉末対該カーボ
ン微粉末の重量比は１：Ｑ、６６〜１：１であり： （２）得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又はア
ンモニアの雰囲気下で１４００〜１７００℃の温度で焼
成し； （３）次層で得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下で６
００〜９００℃の温度で加熱して未反応のカーボンを加
熱除去し、窒化アルミニウム含量が少くとも９５重量％
Ｗであり、結合酸素の含量が最大３．０重量％好ましく
は１．５重量％であり、且つ不純物としての金属化合物
の含量が金属として最大０．３重量％である平均粒子径
が２μｍ以下の窒化アルミニウム粉末を生成せしめるこ
とによって製造することができる。
１重量％以下で平均粒子径が１μ■ム微粉末対該カーボ
ン微粉末の重量比は１：Ｑ、６６〜１：１であり： （２）得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又はア
ンモニアの雰囲気下で１４００〜１７００℃の温度で焼
成し； （３）次層で得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下で６
００〜９００℃の温度で加熱して未反応のカーボンを加
熱除去し、窒化アルミニウム含量が少くとも９５重量％
Ｗであり、結合酸素の含量が最大３．０重量％好ましく
は１．５重量％であり、且つ不純物としての金属化合物
の含量が金属として最大０．３重量％である平均粒子径
が２μｍ以下の窒化アルミニウム粉末を生成せしめるこ
とによって製造することができる。
本発明の導電性セラミックの第二成分化合物はカーボン
である。該カーボンは前記ｉ−成分化合物が焼結された
状態でカーボンとなって込ればよく、原料として必らず
しもカーボンを使用する必要はない。例えば前記第一成
分化合物と焼結後にカーボンとなりうる化合物例えばポ
リエチレングリフール、デンプン等を原料として使用す
ることも出来る。しかしながら、一般にはカーボンブラ
ック、黒鉛化カーボン等を原料として使用するのが好ま
しい。
である。該カーボンは前記ｉ−成分化合物が焼結された
状態でカーボンとなって込ればよく、原料として必らず
しもカーボンを使用する必要はない。例えば前記第一成
分化合物と焼結後にカーボンとなりうる化合物例えばポ
リエチレングリフール、デンプン等を原料として使用す
ることも出来る。しかしながら、一般にはカーボンブラ
ック、黒鉛化カーボン等を原料として使用するのが好ま
しい。
前記第一成分化合物と第二成分化合物とを混合して焼結
すると本発明の導電性セラミックを得ることが出来るが
、該混合に際して、該第−成分化合物の焼結助剤を用す
ることはしばしば好適な実施態様となる。該焼結助剤は
第一成分化合物の種類によってそれぞれ多少異なるので
、該第−成分化合物の種類に応じて公知の焼結助剤から
選び決定すればよい。
すると本発明の導電性セラミックを得ることが出来るが
、該混合に際して、該第−成分化合物の焼結助剤を用す
ることはしばしば好適な実施態様となる。該焼結助剤は
第一成分化合物の種類によってそれぞれ多少異なるので
、該第−成分化合物の種類に応じて公知の焼結助剤から
選び決定すればよい。
一般に好適に使用される焼結助剤は周期律表ｍｎａ族、
同第■ａ族等の金属酸化物−訪全属炭酸塩、該金属硝酸
塩等などである。
同第■ａ族等の金属酸化物−訪全属炭酸塩、該金属硝酸
塩等などである。
前記第一成分化合物と第二成分化合物との原料混合比は
原則として焼結体に於ける各成分比となる場合が多いが
、例えば窒化アルミニウム、窒化ケイ酸等に於いては表
面の一部が酸化されて酸化物となって存在する場合があ
る。このように第一成分化合物中に酸素が含有されろ場
合は、焼結時に第二成分化合物即ちカーボンが酸化炭素
となり消化されるので、該酸素含有量に応じて原料中に
配合する第二成分化合物の量を変化させて使用する必要
がある。か＼る事情を考慮して焼結体中の第一成分化合
物と第二成分化合物との組成比を予め決定するのが好ま
しい。
原則として焼結体に於ける各成分比となる場合が多いが
、例えば窒化アルミニウム、窒化ケイ酸等に於いては表
面の一部が酸化されて酸化物となって存在する場合があ
る。このように第一成分化合物中に酸素が含有されろ場
合は、焼結時に第二成分化合物即ちカーボンが酸化炭素
となり消化されるので、該酸素含有量に応じて原料中に
配合する第二成分化合物の量を変化させて使用する必要
がある。か＼る事情を考慮して焼結体中の第一成分化合
物と第二成分化合物との組成比を予め決定するのが好ま
しい。
本発明の導電性セラミック中に於ける各成が好ましい。
該第二成分化合物の含有量が上記範囲の下限値より少な
い場合は十分に導電性の性状を発揮させることが出来な
いし、逆に該上限値より多い場合は導電性の性状は良好
であるが、焼結体の強度が低下し、十分に工業的な素材
として供することが出来なくなるので好ましくない。
い場合は十分に導電性の性状を発揮させることが出来な
いし、逆に該上限値より多い場合は導電性の性状は良好
であるが、焼結体の強度が低下し、十分に工業的な素材
として供することが出来なくなるので好ましくない。
本発明の導電性セラミックを得る方法は特に限定されな
りが、一般には前記第一成分化合物、第二成分化合物必
要に応じて焼結助剤の例えば０．１〜５重量％を混合し
た後焼結することによって得られる。上記混合は特に限
定されないが一般には水、炭化水素類、アルコール類１
石油エーテル等の公知の液体分散媒体中で湿式混合する
ことによって混合するのが好適である。
りが、一般には前記第一成分化合物、第二成分化合物必
要に応じて焼結助剤の例えば０．１〜５重量％を混合し
た後焼結することによって得られる。上記混合は特に限
定されないが一般には水、炭化水素類、アルコール類１
石油エーテル等の公知の液体分散媒体中で湿式混合する
ことによって混合するのが好適である。
上記混合された混合物は必要に応じて乾燥した後、焼結
に供される。該焼結するだめの温度は前記第一成分化合
物の種類によって異なり一部に限定出来ないが、一般に
は１６００〜２２００℃の温度から選べば好適である。
に供される。該焼結するだめの温度は前記第一成分化合
物の種類によって異なり一部に限定出来ないが、一般に
は１６００〜２２００℃の温度から選べば好適である。
前記方法で得られた焼結体は本発明の第一成分化合物と
第二成分化合物とが緊密に充填 タされた焼結体で、そ
の強度も例えば第二成分化合物含有量が２０重量％のと
き２ ［］ Ｋｇ／ ｃｒ１以上のものとなりうる。し
かも本発明の焼結体は前記第二成分化合物に基因し、す
ぐれた導電性の性状を発揮する。そのだめに本発明の焼
結体は導電性セラミックとして電子機器。
第二成分化合物とが緊密に充填 タされた焼結体で、そ
の強度も例えば第二成分化合物含有量が２０重量％のと
き２ ［］ Ｋｇ／ ｃｒ１以上のものとなりうる。し
かも本発明の焼結体は前記第二成分化合物に基因し、す
ぐれた導電性の性状を発揮する。そのだめに本発明の焼
結体は導電性セラミックとして電子機器。
電気機器等に広く利用することが出来る。
本発明を更に具体的に説明するだめ以下実施例を挙げて
説明するが本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
説明するが本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
以−ｊ−≦ｓｃ１
す施例１
純度９９．９９％（不純物分析値を表１に示す）で平均
粒子径が０．５２μｍで３μｍ以下の粒子の割合が９５
ｖｏｌＪ ％のアルミナ１００重量部と、灰分０．０
８ｗｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラッ
ク５０重量部とを、ナイロン製ポットとナイロンコーテ
ィングしたボールを用いエタノールを分散媒体として均
一にボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高
純度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを３ ｌ／
ｍｉｎで連続的に供給しながら１６００℃の温度で６時
間加熱した。得られた反応混合物を空気中で７５０℃の
温度で４時間加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した
。得られた白色の粉末はＸ線回折分析（Ｘｒａｙ ｄｉ
ｆｆｒａｃｔｉｏｎ ａｎａｌｙｓｉｓ）の結果、単相
（Ｓｉｎｇｌｅ ｐｈａｓｅ）のＡｌＮであり、Ａ７２
０３の回折ピークは無かった。また該粉末の平均粒子径
を粒度分布測定器（板場製作所製（ＡＰＡ−５００’）
） を用いて測定したところ１３１μｍであり、３μ
ｍ以下が９０容量係を占めた。走査型電子顕微鏡による
観察ではこの粉末は平均０．７μｍ程度の均一な粒子で
あった。また比表面積の測定値は４． Ｏｒｒｔ／ ｔ
であった。この粉末の分析値を表２に示す。
粒子径が０．５２μｍで３μｍ以下の粒子の割合が９５
ｖｏｌＪ ％のアルミナ１００重量部と、灰分０．０
８ｗｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラッ
ク５０重量部とを、ナイロン製ポットとナイロンコーテ
ィングしたボールを用いエタノールを分散媒体として均
一にボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高
純度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを３ ｌ／
ｍｉｎで連続的に供給しながら１６００℃の温度で６時
間加熱した。得られた反応混合物を空気中で７５０℃の
温度で４時間加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した
。得られた白色の粉末はＸ線回折分析（Ｘｒａｙ ｄｉ
ｆｆｒａｃｔｉｏｎ ａｎａｌｙｓｉｓ）の結果、単相
（Ｓｉｎｇｌｅ ｐｈａｓｅ）のＡｌＮであり、Ａ７２
０３の回折ピークは無かった。また該粉末の平均粒子径
を粒度分布測定器（板場製作所製（ＡＰＡ−５００’）
） を用いて測定したところ１３１μｍであり、３μ
ｍ以下が９０容量係を占めた。走査型電子顕微鏡による
観察ではこの粉末は平均０．７μｍ程度の均一な粒子で
あった。また比表面積の測定値は４． Ｏｒｒｔ／ ｔ
であった。この粉末の分析値を表２に示す。
表ｌＡｌ２Ｏ３粉末分析値
Ａ１２戟含有量 ９９．９９％
元素 含有量（ＰＰＭ）
Ｍｇ〈５
Ｃｒ ＜１０
Ｓｉ ３０
Ｚｎ＜５
Ｆｅ ２２
Ｃｕ ＜５
Ｃａ ＜２Ｏ
Ｎｉ ’１５
Ｔｉ ＜ ５
表２ ＡＡＮ粉末分析値
ＡＡＮ含有量 ９７．８チ
元素 含有量
Ｍｇ ＜５ （ＰＰＭ）
Ｃｒ ２１（／／）
Ｓｉ １２５（／／）
Ｚｎ ９（／／）
Ｆｅ ２０（／／）
Ｃｕ −＜ｓ（／／）
Ｍｎ ５（／／）
Ｎｉ ２７（ｔｔ）
Ｔｉ ＜５（／／）
Ｃｏ ＜ ５’ 、Ｃ４ｔ ）
Ａ１６４．８ （ｗｔ％）
Ｎ ３３．４ （ｔｔ ）
０ １．１ （／／ ）
ＣＯ，１１（／／ ）
上記の窒化アルミニウム粉末８０重量部と、平均粒径５
μｍ１灰分３５ ｐｐｍ以下の黒鉛粉末２０重量部とを
、ナイロン製ポットとナイロンコーティングしたボール
を用い、エタノールを分散媒体として均一にボールミル
混合した。得られたスラリーを、乾燥器内で６０℃２４
時間乾燥を行なった。
μｍ１灰分３５ ｐｐｍ以下の黒鉛粉末２０重量部とを
、ナイロン製ポットとナイロンコーティングしたボール
を用い、エタノールを分散媒体として均一にボールミル
混合した。得られたスラリーを、乾燥器内で６０℃２４
時間乾燥を行なった。
上記混合粉末１２Ｓ’を、窒化硼素粉末を内面に塗布し
た内径４０叫の黒鉛型中で、２００驚の加圧下、１気圧
の窒素中に於いて２０００℃３時間加圧焼結した。得ら
れた焼結体は、黒鉛に近似の光沢を有する黒色であった
。この焼結体は、Ｘ線回折により、窒化アルミニウムと
グラファイトの２相より成っていることが判った。
た内径４０叫の黒鉛型中で、２００驚の加圧下、１気圧
の窒素中に於いて２０００℃３時間加圧焼結した。得ら
れた焼結体は、黒鉛に近似の光沢を有する黒色であった
。この焼結体は、Ｘ線回折により、窒化アルミニウムと
グラファイトの２相より成っていることが判った。
また、アルキメデス法で測定した密度は２．９１ｆ ／
ａｄであった。
ａｄであった。
上記焼結体から、約３ｍｍ角、長さ約４０咽の試験片を
切り出し、１５００番のサンドペーパーで磨いた後、曲
げ強度を測定した。測定条件は、クロス・ヘッド・スピ
ード１ｒｎＩ＋ｌ／分、スパン２０ｍｍの３点曲げとし
た。測定値より計算された曲げ強度の平均値は、２７ｈ
／−であった。
切り出し、１５００番のサンドペーパーで磨いた後、曲
げ強度を測定した。測定条件は、クロス・ヘッド・スピ
ード１ｒｎＩ＋ｌ／分、スパン２０ｍｍの３点曲げとし
た。測定値より計算された曲げ強度の平均値は、２７ｈ
／−であった。
また、上記焼結体から直径１０謳、厚さ２５叫の試験片
を切り出し、理学電気製レーザー・フラッシュ法熱定数
測定装置ＰＳ−７を用いて、室温に於げる熱定数を測定
した。その結果、熱伝導率は１４０ ｗ／ｍ＊ ｋであ
ることが判った。
を切り出し、理学電気製レーザー・フラッシュ法熱定数
測定装置ＰＳ−７を用いて、室温に於げる熱定数を測定
した。その結果、熱伝導率は１４０ ｗ／ｍ＊ ｋであ
ることが判った。
更に、横筒ヒユーレット・パラカード製ミリオーム・メ
ータ４３２８Ａを用いて固有抵抗を測定したところ、３
００ｏμΩ−ｃｍであった。
ータ４３２８Ａを用いて固有抵抗を測定したところ、３
００ｏμΩ−ｃｍであった。
一方、本実施例で得られた複合焼結体の加工性を調べた
ところ、超硬ドリルによる穿孔、超硬バイトによる高速
切削のいずれも容易に行なえ、快削性であることが判っ
た。
ところ、超硬ドリルによる穿孔、超硬バイトによる高速
切削のいずれも容易に行なえ、快削性であることが判っ
た。
実施例２
実施例１に於いて、窒化アルミニウム粉末と黒鉛粉末の
混合割合をそれぞれ７０重量部、３０重量部に変えた以
外は実施例１と全く同一にして実験を行なった。
混合割合をそれぞれ７０重量部、３０重量部に変えた以
外は実施例１と全く同一にして実験を行なった。
ここでも、窒化アルミニウムとグラファイトの２相より
成る複合焼結体が得られた。密度は２、７７ Ｓ’ ／
ａｄであった。
成る複合焼結体が得られた。密度は２、７７ Ｓ’ ／
ａｄであった。
実施例１と同様に上記焼結体の物性を測定したところ、
ｆｆｌ＋げ強度は１４Ｋｇ／ｍＡであった。また、熱伝
導率は１８０ ｗ／ｍ−にであることが判った。固有抵
抗は１９００μΩ−ｃｔｎであった。
ｆｆｌ＋げ強度は１４Ｋｇ／ｍＡであった。また、熱伝
導率は１８０ ｗ／ｍ−にであることが判った。固有抵
抗は１９００μΩ−ｃｔｎであった。
一方、実施例１と同様に上記焼結体の加工性を調べたと
ころ、実施例１で得たものと同様に快削性であることが
判った。
ころ、実施例１で得たものと同様に快削性であることが
判った。
実施例３
実施例１に於いて、黒鉛粉末をカーボン・ブランクに変
え、それ以外は実施例１と全く同一にして実験を行なっ
た。尚、カーボン・ブラックは、実施例１に於いて゛窒
化アルミニウム粉末を製造するに用いたと同一のものを
使用した。
え、それ以外は実施例１と全く同一にして実験を行なっ
た。尚、カーボン・ブラックは、実施例１に於いて゛窒
化アルミニウム粉末を製造するに用いたと同一のものを
使用した。
ここでは、カーボン・ブランクの結晶性が低い為にＸ線
的に確認することはできなかったが、窒化アルミニウム
と炭素の２相より成ると思われる、黒色の焼結体が得ら
れた。密度は２．８０？ ／ ａｄであった。
的に確認することはできなかったが、窒化アルミニウム
と炭素の２相より成ると思われる、黒色の焼結体が得ら
れた。密度は２．８０？ ／ ａｄであった。
実施例１と同様に上記焼結体の物性を測定したところ、
曲げ強度は３３Ｋｇ／ｍＡであった。また、熱伝導率は
１０５ ｗ／ｒｒｒｋであることが判った。固有抵抗は
２２００μΩ−ｃｍであった。
曲げ強度は３３Ｋｇ／ｍＡであった。また、熱伝導率は
１０５ ｗ／ｒｒｒｋであることが判った。固有抵抗は
２２００μΩ−ｃｍであった。
一方、実施例１と同様に上記焼結体の加工性を調べたと
ころ、実施例１で得たものと同様に、快削性であること
が判った。なお図１は本実施例で得られた複合焼結体の
機械的破断面の走査型電子顕微鏡写真（倍率？σｏＯ倍
）である。
ころ、実施例１で得たものと同様に、快削性であること
が判った。なお図１は本実施例で得られた複合焼結体の
機械的破断面の走査型電子顕微鏡写真（倍率？σｏＯ倍
）である。
実施例４
実施例１において、アルミナとカーボンの混合粉末を窒
素気流中で焼成した後の粉末（分析によれば１７．６重
量％のカーボンを含有していた）をそのまま内径４０咽
で内壁を窒化ホウ素粉末でコーティングした黒鉛製モー
ルドに充填し、１気圧の窒素中で、圧力２０Ｃ１，２０
００℃、３時間の条件で加圧焼結した。得られた黒色の
焼結体は密度２．６３１Ｆ／ｃＪであった。この複合焼
結体の曲げ強度を実施例１と同様にして測定したところ
２３Ｋｇ／ｍｊであった。
素気流中で焼成した後の粉末（分析によれば１７．６重
量％のカーボンを含有していた）をそのまま内径４０咽
で内壁を窒化ホウ素粉末でコーティングした黒鉛製モー
ルドに充填し、１気圧の窒素中で、圧力２０Ｃ１，２０
００℃、３時間の条件で加圧焼結した。得られた黒色の
焼結体は密度２．６３１Ｆ／ｃＪであった。この複合焼
結体の曲げ強度を実施例１と同様にして測定したところ
２３Ｋｇ／ｍｊであった。
図１は実施例Ｙで得られた複合焼結体の機械的破断面の
走査型電子顕微鏡写真である。 特許出願人 徳山曹達株式会社 図 ／ 手続補正書（方式） １．事件の表示 特願昭５９−４８０９４号２、発明の
名称 導電性セラミック ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 山口県徳山市卿影町１番１号 ４、補正命令の日付 昭＄１７５９年６月 ６０同 発
送口 昭和５９年６月２６０ ５、補正の対象 「的破断面」の後に「複合焼結体粒子の粒子構造を現わ
すＡを挿入する。
走査型電子顕微鏡写真である。 特許出願人 徳山曹達株式会社 図 ／ 手続補正書（方式） １．事件の表示 特願昭５９−４８０９４号２、発明の
名称 導電性セラミック ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 山口県徳山市卿影町１番１号 ４、補正命令の日付 昭＄１７５９年６月 ６０同 発
送口 昭和５９年６月２６０ ５、補正の対象 「的破断面」の後に「複合焼結体粒子の粒子構造を現わ
すＡを挿入する。
Claims (1)
- アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれ
た少くとも一種の金属の炭化物又は窒化物ｇρ 〜グア
重量％とカーボン３〜４０Ｍ量％とからなる焼結体で、
該焼結体の機械的な破断面がアルミニウム、ケイ素及び
ホウ素よりなる群から選ばれた少くとも一種の金属の炭
化物又は窒化物の結晶粒子とカーボンとが緊密に充填さ
れてなることを特徴とする導電性セラミック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59048094A JPS60195056A (ja) | 1984-03-15 | 1984-03-15 | 導電性セラミツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59048094A JPS60195056A (ja) | 1984-03-15 | 1984-03-15 | 導電性セラミツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60195056A true JPS60195056A (ja) | 1985-10-03 |
Family
ID=12793727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59048094A Pending JPS60195056A (ja) | 1984-03-15 | 1984-03-15 | 導電性セラミツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60195056A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0237072A2 (de) * | 1986-03-13 | 1987-09-16 | Elektroschmelzwerk Kempten GmbH | Praktisch porenfreie Formkörper aus polykristallinem Aluminiumnitrid und Verfahren zu ihrer Herstellung ohne Mitverwendung von Sinterhilfsmitteln |
| US4871698A (en) * | 1987-11-09 | 1989-10-03 | Vesuvius Crucible Company | Carbon bonded refractory bodies |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56140075A (en) * | 1980-03-31 | 1981-11-02 | Kogyo Gijutsuin | Manufacture of carbon-ceramics complex material |
-
1984
- 1984-03-15 JP JP59048094A patent/JPS60195056A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56140075A (en) * | 1980-03-31 | 1981-11-02 | Kogyo Gijutsuin | Manufacture of carbon-ceramics complex material |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0237072A2 (de) * | 1986-03-13 | 1987-09-16 | Elektroschmelzwerk Kempten GmbH | Praktisch porenfreie Formkörper aus polykristallinem Aluminiumnitrid und Verfahren zu ihrer Herstellung ohne Mitverwendung von Sinterhilfsmitteln |
| US4871698A (en) * | 1987-11-09 | 1989-10-03 | Vesuvius Crucible Company | Carbon bonded refractory bodies |
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