JPS6019037A - 排ガス処理用触媒の製造方法 - Google Patents
排ガス処理用触媒の製造方法Info
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- JPS6019037A JPS6019037A JP58126851A JP12685183A JPS6019037A JP S6019037 A JPS6019037 A JP S6019037A JP 58126851 A JP58126851 A JP 58126851A JP 12685183 A JP12685183 A JP 12685183A JP S6019037 A JPS6019037 A JP S6019037A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- catalyst
- exhaust gas
- platinum
- slurry
- refractory ceramic
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- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、高温酸化雰囲気において高い耐久性を示す
、主として車輌排ガス、特に自りＩＩＭｊ排ガ・ス中の
一酸化炭素（ＣＯ）、炭化水嚢ｆＨｃｌおよび窒素酸化
物ｆ ＮｏＸｌを同時に除去するのに用いる排ガス処理
用触媒の製造方法しこ関するものである。 従来技術 従来、自動車のような車輌の排カス中のＧＯ。 ＨｅおよびＮＯｘを除去するための触媒は多数提案ざね
ている。例えば特公昭５ ８ − ２ ０ ３ ０ ７
号公報には白金（Ｐｔｌ、ロジウムＩ Ｒｈ ）および
セリウム（Ｃｅ）を耐火性押体に担持させた触媒が開示
されており、特開昭５ ８ − ８ ５ ７ ９ ’１
号公報Ｇこは白金族金属または白金族金属と卑金属およ
びセリア〔ＣｅＯ２）、例えは白金Ｉ Ｐｔ ｌ、ロジ
ウム（Ｒｈ＋、ニッケル（Ｎ土）およびセリアを担持さ
せた触媒が記載さ２１．でいる。このような触亦は、初
期性能は満足さねるものであってもＲｈが高表面積なア
ルミナに主に付着しているたＩｙ）、Ｒｈが酸素にアタ
ックさねやすく、特に７ ５ （＋ ”Ｃ Ｄ）十の高
温で酸化雰囲気にさらさねるとＲｈが酸化されてＲｈ２
Ｏ３となり性能が大幅Ｇこ低下する。 一方、自動車の排気ガス用三元ハニカム触媒は床下に配
置され使用されていたため、７５０°Ｃ以上にはならな
かったが、最近高温処理しこよる低コスト化が計らｉ］
、マニホールド位置に触媒を配置し排カス処理を行うこ
とを考える時、処理ガス温度は７５０°Ｃ以上となり、
Ｒｈを含む触媒は経時性能劣化が著しいことは明らかで
ある。 発明の開示 発明者は、このような従来の問題点を解決すべく神々研
究の結果、希土類元素の酸化物、例えばセリアが酸化雰
囲気側の状態で酸素を取込んで完全にＣｅＯ□となり、
還元雰囲気側、即ち燃料過剰領域で酸繁を放出して酸素
欠損構造となり、あたかも酸繁を放出して酸素欠損構造
となり、いわゆる酸素ストレージ効果を有することに着
目し、かかる酸素の１吸脱１着能力の高いセリアとＲｈ
を共存させることで、Ｒｈが酸素Ｇこより酸化されるこ
と、即ちＲｈのＲｈ２Ｏ３化を防止し得、触媒性能の劣
什を回避し得ることを確めこの発明を達成するに至った
。 従ってこの発明の排ガス処理用触媒の製造方法ハ、白金
およびパラジウムから成、る群から選ば才］、た少くと
も１種を耐火性セラミックス触媒押体Ｇこ付着させた担
持体Ａを形成
、主として車輌排ガス、特に自りＩＩＭｊ排ガ・ス中の
一酸化炭素（ＣＯ）、炭化水嚢ｆＨｃｌおよび窒素酸化
物ｆ ＮｏＸｌを同時に除去するのに用いる排ガス処理
用触媒の製造方法しこ関するものである。 従来技術 従来、自動車のような車輌の排カス中のＧＯ。 ＨｅおよびＮＯｘを除去するための触媒は多数提案ざね
ている。例えば特公昭５ ８ − ２ ０ ３ ０ ７
号公報には白金（Ｐｔｌ、ロジウムＩ Ｒｈ ）および
セリウム（Ｃｅ）を耐火性押体に担持させた触媒が開示
されており、特開昭５ ８ − ８ ５ ７ ９ ’１
号公報Ｇこは白金族金属または白金族金属と卑金属およ
びセリア〔ＣｅＯ２）、例えは白金Ｉ Ｐｔ ｌ、ロジ
ウム（Ｒｈ＋、ニッケル（Ｎ土）およびセリアを担持さ
せた触媒が記載さ２１．でいる。このような触亦は、初
期性能は満足さねるものであってもＲｈが高表面積なア
ルミナに主に付着しているたＩｙ）、Ｒｈが酸素にアタ
ックさねやすく、特に７ ５ （＋ ”Ｃ Ｄ）十の高
温で酸化雰囲気にさらさねるとＲｈが酸化されてＲｈ２
Ｏ３となり性能が大幅Ｇこ低下する。 一方、自動車の排気ガス用三元ハニカム触媒は床下に配
置され使用されていたため、７５０°Ｃ以上にはならな
かったが、最近高温処理しこよる低コスト化が計らｉ］
、マニホールド位置に触媒を配置し排カス処理を行うこ
とを考える時、処理ガス温度は７５０°Ｃ以上となり、
Ｒｈを含む触媒は経時性能劣化が著しいことは明らかで
ある。 発明の開示 発明者は、このような従来の問題点を解決すべく神々研
究の結果、希土類元素の酸化物、例えばセリアが酸化雰
囲気側の状態で酸素を取込んで完全にＣｅＯ□となり、
還元雰囲気側、即ち燃料過剰領域で酸繁を放出して酸素
欠損構造となり、あたかも酸繁を放出して酸素欠損構造
となり、いわゆる酸素ストレージ効果を有することに着
目し、かかる酸素の１吸脱１着能力の高いセリアとＲｈ
を共存させることで、Ｒｈが酸素Ｇこより酸化されるこ
と、即ちＲｈのＲｈ２Ｏ３化を防止し得、触媒性能の劣
什を回避し得ることを確めこの発明を達成するに至った
。 従ってこの発明の排ガス処理用触媒の製造方法ハ、白金
およびパラジウムから成、る群から選ば才］、た少くと
も１種を耐火性セラミックス触媒押体Ｇこ付着させた担
持体Ａを形成
【７、この４１−１持体Ａと、ロジウムを
希土類元素酸化物に付着させて形成した担持体Ｂを混合
し、無機質バインダーおよび水と共に粉砕してスラリー
を生成し、このスラリーを耐火性セラミック基体上にコ
ート量、乾燥し、焼成することを特徴とする。 この発明で使用し得る耐火性セラミックス餉媒枦体とし
ては活性アルミナ、コープイエライトノにカム等を用い
ることができる。また希土類酸化物としては、スカンジ
ウムｆｓｃｌ、イツトリウム（Ｙｌ、ランタン（Ｌａ
ｌ 、セリウム（Ｃｅ）、ブラ七オジム（Ｐｒｌ、ネオ
ジムｆＮｄｌ、プロメチウムｆＰｍｌ、サマリウム（Ｓ
ｍ）πｒの酸化物が好ましく、特にセリウムの酸化物セ
リアＩ Ｇｅｍ２１が好ましい。かかる希土類元素酸化
物、例えばセリアの爪は、触媒担体コート層に含まれる
セリアの量がセリウム換算でコート量に対して５〜５０
重量％であるのが好ましく、セリアの量が５重量％より
少ないと、ＲｈのＲｈ２Ｏ３化を防止する効果があまり
見られず、また５０重量％を超えるとアルミナの絶体量
が不足するため逆に耐久性が低下して好ましくない。 また無機バインダーとしては、無機酸、例えば硝酸また
は塩酸で安定化されたベーマイトアルミナゾルを用いる
のが好ましい。 この発明の方法しこおいて、１υ持体ＡおよびＢを作製
する際の焼成温度およびスラリーを耐火性セラミックス
基体上にコートし、乾燥後焼成する温度は、この棹触媒
の製造時用いらねる温度でよく空気雰囲気で４００°Ｃ
〜７５ （＋ ”Ｃの範囲の温度でよい。 発明の実施例 ・実施例Ｊ 和光純薬製セリア１０００りＧこ、塩化ロジウム水溶液
を吸収させ、次いで空気中１５（ピＣで乾燥した後、空
気中６００℃で２時間焼成し、ロジウム付セリア（セリ
ア１０ （ｌ Ｑり当りロジウムとして］８．６り相持
した）をイ（Ｊた。 次に活性アルミナ（ＳＣ８−７９、フランス国ローンフ
ーラン社製、商品名１２ （１（１０’；７に塩化白金
酸を吸収ぎせ、空気中１５０°Ｃで乾燥さゼた後、空気
中６００°Ｃで２時間焼成し白金イに１アルミナＣアル
ミナ２０００ｇ当り白金として８９．１ｇ世持した）を
得た。 またベーマイトアルミナゲル（デイスビューラル、西独
国コンデア社製、商品名）を７５３０９の水に徐々に添
加し、充分懸濁させ、生成した懸濁液に１０％硝酸１４
７０りを徐々に攪拌しながら添加し、アルミナゾル１０
（１（１ｇを得た。 このようにして得た白金付アルミナ１１２２り、ロジウ
ムイ寸セリア７４・２！７およびアルミナゾル２ ］
８５．８７を磁性ボールミル中に人ね、２４ Ｉ＋、’
？間粉砕してスラリーとした。 得られたスラリー中に日本碍子Ｃ株）社製ノ・ニカム押
体を浸漬し、引き上げ残余σ）スラリーを空気で吹き飛
ばした。得られたスラリー付担体を空気中］５０°Ｃで
乾燥し、さらに都市ガス燃焼排ガス中６５０°Ｃで３時
間加熱焼成し、触媒Ａを得た。 この触媒Ａは押体１１当リコーｔｔｔｔが１０（１７で
、このうちセリアがセリウムとして３０９含まね、た。 また白金、ロジウムはそれぞれ（ｌ。２７８重量％およ
び０．０５６重量％であった。 実施例２ 実施例］と同様の方法でセリア１０００り当りロジウム
２．２７を担持したロジウム付セ１ノアおよびアルミナ
２００ （１ｇ当り白金２９．２９担持した白金付アル
ミナをそｔコぞれ作り、慶下実施例］と同様Ｇこ掃作し
て触媒Ｂをイηｔた。 得らねた触媒は担体］ｌ当りコート量が１０（）りで、
このうち七リアがセリウムとして３０ｇ含まれた。また
白金およびロジウムはそねぞね０．０９１重量％および
０．０’０９取量％であった。 実施例８ 実施例１と同様の方法でセリア］ ０ （１（＋ （７
当りロジウム２゜］り担持したロジウム付セリアおよび
アルミナ２０００！７当り白金１２゜３り担持した白金
側アルミナおよびアルミナゾルをつくり、白金付アルミ
ナ１２５０７、ロジウム付セリア６】４り、アルミナゾ
ル２ ］ ８５．８９ ＆磁性ボールミルに入れ、３６
時間粉砕し、スラリーとした。 得られたスラリー中Ｇこ日本碍子１株）社製ノ・二カム
担体を浸漬し、引きあげ、残金のスラリーを空気で吹き
飛ばした。得られたスラリー伺１１１体を空気中１５０
°Ｃで乾燥した。 上記操作を更に１回繰返した後、都市ガス溶焼排ガス中
６５０°Ｃで２時間加熱焼成し、触媒Ｃを得た。 得られた触媒は押体１１当りコート量が２００７で、こ
のうち七り了がセリウムとして５０り含まれた。また白
金、ロジウムはそれぞわ０．０８ ｆｉ重量％および０
．０１４重量％であった。 比較例１ 日本碍子（株）社製ハニカム担体に、セリアを含む活性
アルミナ（セリウムとして３０重量％含□ む）を担体
１１Ｊす】００９コートし、塩化白金酸および塩化ロジ
ウムを含む水溶液に浸漬し、引き上げ、残余の液を空気
で吹き飛ばした。得られた溶液付担体を電子レンジ中１
５０°Ｃの空気を通しながら乾燥し、都市ガス燃焼排ガ
ス中６５０°Ｃで３時間焼成し、触媒Ａ′を得た。 この触媒Ａ′は白金およびロジウムをそねぞれ０．２７
８重量％および０．０５６重量％担持した。 比較例２ 比較例１において、塩化白金酸および塩化ロジウムを含
む水溶液の濃度を変化させた以外は全く同様にして触媒
Ｂ′を得た。 この触媒Ｂ′は白金およびロジウムをそれぞれｆｌ、０
９１乗取％および０．０ （１９重世％担持した。 比較例３ 日本碍子１株）社製ハニカム担体に、セリアを含む活性
アルミナ（セリアをギリウムとして２５重量％含む）を
担体１１当り２ （１０クコートし、環化白金酸および
塩化ロジウムを含む水溶液にｆＪ清し、引き上げ残余の
液を空気で吹き飛ばした。 以下比較例１と同様に操作し、触媒Ｃ′を得た。（ｈら
れた触媒は白金およびロジウムをそ〕】ぞＡ］０、（１
８６重量％および０゜０１４ηｃｆｊｔ％担持した。 実験例 実施例１〜３および比較例１〜２３で得た６種類の触媒
Ａ−０および触媒Ａ′〜Ｃ′につき空気雰囲気電気炉で
耐久実験を行なった。耐久は各ＪＯ（）時間ずつ入口温
度を６０（ピＣ〜９００°Ｃの範、囲で６００℃から５
０℃差で９（）０°Ｃ士での７点で省゛なった。 上記耐久実験を終了した後者触媒につき下記評価条件で
、ガス中のＮｏ 、 Ｇｏ 、 Ｈｅの転化率を測定し
、性能を評価し、Ｎｏ転化率を第１図に、（３０（７−
１転化率を第２図しこ、Ｈ６の転化率を第３図に示ず。 評価条件 発明の詳細 な説明したようにこの発明は、白金およびパラジウムの
うぢの少くとも１種を付着させた担持体Ａとロジウムを
希土類酸化物Ｇこ付着させた担持体Ｂを混合し、無機質
バインダーおよび水と共に粉砕して召したスラリーを耐
火性セラミックス基体十にコートし、乾燥し、焼成する
工程の組合せとすることにより、得らＴ］る触媒は、ロ
ジウムとセＩＪ Ｔ カ予め共存して構成さねでいるた
めロジウムが酸化劣化されるのが防止さｆ］ているため
第１〜３図から明らかなように比較例の触媒より高温酸
化零囲気でも良好な耐久性を示し、優才］た触Ｑｖ二性
ＯＦを示す。
希土類元素酸化物に付着させて形成した担持体Ｂを混合
し、無機質バインダーおよび水と共に粉砕してスラリー
を生成し、このスラリーを耐火性セラミック基体上にコ
ート量、乾燥し、焼成することを特徴とする。 この発明で使用し得る耐火性セラミックス餉媒枦体とし
ては活性アルミナ、コープイエライトノにカム等を用い
ることができる。また希土類酸化物としては、スカンジ
ウムｆｓｃｌ、イツトリウム（Ｙｌ、ランタン（Ｌａ
ｌ 、セリウム（Ｃｅ）、ブラ七オジム（Ｐｒｌ、ネオ
ジムｆＮｄｌ、プロメチウムｆＰｍｌ、サマリウム（Ｓ
ｍ）πｒの酸化物が好ましく、特にセリウムの酸化物セ
リアＩ Ｇｅｍ２１が好ましい。かかる希土類元素酸化
物、例えばセリアの爪は、触媒担体コート層に含まれる
セリアの量がセリウム換算でコート量に対して５〜５０
重量％であるのが好ましく、セリアの量が５重量％より
少ないと、ＲｈのＲｈ２Ｏ３化を防止する効果があまり
見られず、また５０重量％を超えるとアルミナの絶体量
が不足するため逆に耐久性が低下して好ましくない。 また無機バインダーとしては、無機酸、例えば硝酸また
は塩酸で安定化されたベーマイトアルミナゾルを用いる
のが好ましい。 この発明の方法しこおいて、１υ持体ＡおよびＢを作製
する際の焼成温度およびスラリーを耐火性セラミックス
基体上にコートし、乾燥後焼成する温度は、この棹触媒
の製造時用いらねる温度でよく空気雰囲気で４００°Ｃ
〜７５ （＋ ”Ｃの範囲の温度でよい。 発明の実施例 ・実施例Ｊ 和光純薬製セリア１０００りＧこ、塩化ロジウム水溶液
を吸収させ、次いで空気中１５（ピＣで乾燥した後、空
気中６００℃で２時間焼成し、ロジウム付セリア（セリ
ア１０ （ｌ Ｑり当りロジウムとして］８．６り相持
した）をイ（Ｊた。 次に活性アルミナ（ＳＣ８−７９、フランス国ローンフ
ーラン社製、商品名１２ （１（１０’；７に塩化白金
酸を吸収ぎせ、空気中１５０°Ｃで乾燥さゼた後、空気
中６００°Ｃで２時間焼成し白金イに１アルミナＣアル
ミナ２０００ｇ当り白金として８９．１ｇ世持した）を
得た。 またベーマイトアルミナゲル（デイスビューラル、西独
国コンデア社製、商品名）を７５３０９の水に徐々に添
加し、充分懸濁させ、生成した懸濁液に１０％硝酸１４
７０りを徐々に攪拌しながら添加し、アルミナゾル１０
（１（１ｇを得た。 このようにして得た白金付アルミナ１１２２り、ロジウ
ムイ寸セリア７４・２！７およびアルミナゾル２ ］
８５．８７を磁性ボールミル中に人ね、２４ Ｉ＋、’
？間粉砕してスラリーとした。 得られたスラリー中に日本碍子Ｃ株）社製ノ・ニカム押
体を浸漬し、引き上げ残余σ）スラリーを空気で吹き飛
ばした。得られたスラリー付担体を空気中］５０°Ｃで
乾燥し、さらに都市ガス燃焼排ガス中６５０°Ｃで３時
間加熱焼成し、触媒Ａを得た。 この触媒Ａは押体１１当リコーｔｔｔｔが１０（１７で
、このうちセリアがセリウムとして３０９含まね、た。 また白金、ロジウムはそれぞれ（ｌ。２７８重量％およ
び０．０５６重量％であった。 実施例２ 実施例］と同様の方法でセリア１０００り当りロジウム
２．２７を担持したロジウム付セ１ノアおよびアルミナ
２００ （１ｇ当り白金２９．２９担持した白金付アル
ミナをそｔコぞれ作り、慶下実施例］と同様Ｇこ掃作し
て触媒Ｂをイηｔた。 得らねた触媒は担体］ｌ当りコート量が１０（）りで、
このうち七リアがセリウムとして３０ｇ含まれた。また
白金およびロジウムはそねぞね０．０９１重量％および
０．０’０９取量％であった。 実施例８ 実施例１と同様の方法でセリア］ ０ （１（＋ （７
当りロジウム２゜］り担持したロジウム付セリアおよび
アルミナ２０００！７当り白金１２゜３り担持した白金
側アルミナおよびアルミナゾルをつくり、白金付アルミ
ナ１２５０７、ロジウム付セリア６】４り、アルミナゾ
ル２ ］ ８５．８９ ＆磁性ボールミルに入れ、３６
時間粉砕し、スラリーとした。 得られたスラリー中Ｇこ日本碍子１株）社製ノ・二カム
担体を浸漬し、引きあげ、残金のスラリーを空気で吹き
飛ばした。得られたスラリー伺１１１体を空気中１５０
°Ｃで乾燥した。 上記操作を更に１回繰返した後、都市ガス溶焼排ガス中
６５０°Ｃで２時間加熱焼成し、触媒Ｃを得た。 得られた触媒は押体１１当りコート量が２００７で、こ
のうち七り了がセリウムとして５０り含まれた。また白
金、ロジウムはそれぞわ０．０８ ｆｉ重量％および０
．０１４重量％であった。 比較例１ 日本碍子（株）社製ハニカム担体に、セリアを含む活性
アルミナ（セリウムとして３０重量％含□ む）を担体
１１Ｊす】００９コートし、塩化白金酸および塩化ロジ
ウムを含む水溶液に浸漬し、引き上げ、残余の液を空気
で吹き飛ばした。得られた溶液付担体を電子レンジ中１
５０°Ｃの空気を通しながら乾燥し、都市ガス燃焼排ガ
ス中６５０°Ｃで３時間焼成し、触媒Ａ′を得た。 この触媒Ａ′は白金およびロジウムをそねぞれ０．２７
８重量％および０．０５６重量％担持した。 比較例２ 比較例１において、塩化白金酸および塩化ロジウムを含
む水溶液の濃度を変化させた以外は全く同様にして触媒
Ｂ′を得た。 この触媒Ｂ′は白金およびロジウムをそれぞれｆｌ、０
９１乗取％および０．０ （１９重世％担持した。 比較例３ 日本碍子１株）社製ハニカム担体に、セリアを含む活性
アルミナ（セリアをギリウムとして２５重量％含む）を
担体１１当り２ （１０クコートし、環化白金酸および
塩化ロジウムを含む水溶液にｆＪ清し、引き上げ残余の
液を空気で吹き飛ばした。 以下比較例１と同様に操作し、触媒Ｃ′を得た。（ｈら
れた触媒は白金およびロジウムをそ〕】ぞＡ］０、（１
８６重量％および０゜０１４ηｃｆｊｔ％担持した。 実験例 実施例１〜３および比較例１〜２３で得た６種類の触媒
Ａ−０および触媒Ａ′〜Ｃ′につき空気雰囲気電気炉で
耐久実験を行なった。耐久は各ＪＯ（）時間ずつ入口温
度を６０（ピＣ〜９００°Ｃの範、囲で６００℃から５
０℃差で９（）０°Ｃ士での７点で省゛なった。 上記耐久実験を終了した後者触媒につき下記評価条件で
、ガス中のＮｏ 、 Ｇｏ 、 Ｈｅの転化率を測定し
、性能を評価し、Ｎｏ転化率を第１図に、（３０（７−
１転化率を第２図しこ、Ｈ６の転化率を第３図に示ず。 評価条件 発明の詳細 な説明したようにこの発明は、白金およびパラジウムの
うぢの少くとも１種を付着させた担持体Ａとロジウムを
希土類酸化物Ｇこ付着させた担持体Ｂを混合し、無機質
バインダーおよび水と共に粉砕して召したスラリーを耐
火性セラミックス基体十にコートし、乾燥し、焼成する
工程の組合せとすることにより、得らＴ］る触媒は、ロ
ジウムとセＩＪ Ｔ カ予め共存して構成さねでいるた
めロジウムが酸化劣化されるのが防止さｆ］ているため
第１〜３図から明らかなように比較例の触媒より高温酸
化零囲気でも良好な耐久性を示し、優才］た触Ｑｖ二性
ＯＦを示す。
第１図は実施例および比較例で佐だ触吸の空気雰囲気熱
耐久後のＨｅ転化率を示ず曲線図、第２図は同じくＣＯ
転化率を示す曲線図、第３図は同じ＜ Ｈｅ転化率を示
す曲線図である。 特許出願人 日産自動車株式会社
耐久後のＨｅ転化率を示ず曲線図、第２図は同じくＣＯ
転化率を示す曲線図、第３図は同じ＜ Ｈｅ転化率を示
す曲線図である。 特許出願人 日産自動車株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 高温酸化雰囲気において高い耐久性を示す、排ガス
中の一酸化炭素、炭化水素および窒素酸化物を同時に除
去する排ガス処理用触媒の製造方法において、 白金およびパラジウムから成る群から選ばれた少くとも
１種を耐火性セラミック触媒担体に付着ぎせた担持体Ａ
と、ロジウムを希土類元素酸化物に付着させた担持体Ｂ
を混合し、無機質バインダーおよび水と共に粉砕してス
ラリーを生成１し、このスラリーを耐火性セラミック基
体上にコードン、乾燥し、焼成することを特徴とする排
ガス処理用触媒の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58126851A JPS6019037A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 排ガス処理用触媒の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58126851A JPS6019037A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 排ガス処理用触媒の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6019037A true JPS6019037A (ja) | 1985-01-31 |
Family
ID=14945417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58126851A Pending JPS6019037A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 排ガス処理用触媒の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6019037A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9651868B2 (en) | 2012-03-26 | 2017-05-16 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| KR20190004360A (ko) | 2012-05-23 | 2019-01-11 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 시스템 |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP58126851A patent/JPS6019037A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9651868B2 (en) | 2012-03-26 | 2017-05-16 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| KR20190107758A (ko) | 2012-03-26 | 2019-09-20 | 가부시키가이샤 니콘 | 패턴 형성 장치 |
| US10527945B2 (en) | 2012-03-26 | 2020-01-07 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| KR20200016409A (ko) | 2012-03-26 | 2020-02-14 | 가부시키가이샤 니콘 | 패턴 형성 장치 |
| US10591827B2 (en) | 2012-03-26 | 2020-03-17 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| US10691027B2 (en) | 2012-03-26 | 2020-06-23 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| KR20200075030A (ko) | 2012-03-26 | 2020-06-25 | 가부시키가이샤 니콘 | 패턴 형성 장치 |
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| KR20190004360A (ko) | 2012-05-23 | 2019-01-11 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 시스템 |
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