JPS60181171A - 帯電防止用塗料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）　産業上の利用分野 に 本発明は帯電防止用塗料、詳しくはｆＩｆ！えた帯　ｌ
Ｉ電電防性性有し且つ優れた耐薬品性及び耐久性を有す
る塗膜を形成しうる塗料に関する。

（２）従来技術 半導体ウェハー用容器・クリーンベンチ・クリーンルー
ムやその他の電子・ｉｌ！機部材、半導電防止性を有す
ることが必要とされる。従来、このような部材には、例
えばアルキルアミノハロゲン化物の如きイオン伝導性の
ある有機物を塗布したり、或いはカーボンブラックを混
入した導電性塗料を塗布して導電性を付与することが行
われている。

然しなから前者の方法では部材表面の摩擦、水洗、ふき
取り等により塗膜が筒単に除去さ・れ、後者の方法では
表面の摩擦によりカーボンブラックが塗膜より脱落する
ことが多く、或いは塗膜の色彩が黒や黒に近い暗い色に
限定′されるという欠点があった。

（３）　発明の目的 本発明の目的は、帯電防止作用に優れた塗料を提供する
こと圧ある。本発明の他の目的は耐薬品性及び耐久性に
優れた塗膜を形成しうる塗成しつる塗料を提供すること
にある。

本発明の要旨は、水酸基含有ビニル単量体２〜２０モル
％、塩化ビニル単量体８０〜９８モル％及びその他の重
合性単量体０〜１８モル％を含む水酸基含有共重合体ｉ
ｏｏ重量部に対し、表面に酸化錫を主成分とする導電性
層を有する導電性微粉末が７０〜３５０重量部の割合で
含有されてなることを特徴とする帯、電防土用塗料に存
する。

上記水酸基含有共重合体は本発明塗料におけ懸濁重合法
・塊状重合法等による上記各単量体の共重合体であるこ
とが多いが、共重合体のケン化物であってもよい。

この共重合体の構成成分である上記水酸基含有ビニル単
量体の具体例としては、ヒドロキシエチル（メタ）アク
リレート（これはヒドロキシエチルアクリレートとヒド
ロキシエチルメタクリレートの両方を表わす。以下同じ
。）ヒトミキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロ
キシブチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシオクチル
（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）
アクリレートや、エーテル結合部分の繰返し数が２〜９
程度のポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレ−
Ｆ１エーテル結合部分の繰返し数が２〜６程度のポリプ
ロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等が挙げ
られ、更にビニルアルコールが包含される。

これらの具体例の内、ヒドロキシエチル（メタ）アクリ
レート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ビ
ニルアルコールが特に好適に用いられる。そして上記共
重合体中に用いられる水酸基含有単量体の量は、少な過
ぎると導電性微粉末を均一に分散させることが出来ずそ
の為に平滑な塗膜を得ることが困難であり、多過ぎると
得られる塗膜の耐薬品性が低下するので２〜２０モル％
とされるのであり、好ましくけ５〜１５モル％の範囲で
用いられる。

前記水酸基含有共重合体成分の大半を占める成する為に
必要であり、共重合体中の８０〜９８モル％、好ましく
ｔｆ８５〜９５モル％の範囲で用いられる。

水酸基含有共重合体には塩化ビニル及び水酸基含有ビニ
ル単量体の他に、更にその他のビニル単量体、例えばス
チレン、酢酸ビニル、水酸基を有し゛ないアクリル酸も
しくはメタクリル酸のエステル、オレフィン等が０〜１
８モル％の範囲で用いられても良い。

本発明塗料に用いられる導電性微粉末は、表面に酸化錫
を主成分とする導電性層を有するものであり、導電性を
より高める為に、表面の導電性層に例えば少量のアンチ
モンが含有されて７） いてもよい。良好ね！帯電防止能を有するには、表面固
有抵抗率が１０８Ω／口以下であることが望ましく、そ
の為に該導電性微粉末の量は前記水酸基含有共重合体１
００重量部に対し７０重置部以上が必要であり、好まし
くけ１００重量部以上とされる。又、導電性粉末の量が
多過ぎると分散が不良となって良好な塗膜が得られない
ので前記共重合体１００重量部に対し３５０重量部以下
、好ましくけ３００重量部以下の範１μｍ　以下とされ
る。

！ｉ！？美）６好はしく−唸り一以下′劣済れるしそし
て＊電性微粉末は、例えば、酸化チタンの様な白色顔料
の表面に酸化錫、特に第二酸化錫を主成分とする導電性
層を形成したものを用いると白色の塗膜が得られ、或い
は適宜の着色顔料の併用により所望の明かるい色調を有
する塗膜を得ることが出来る。

零発ＩＪＩ料の調整は、例えば前記共重合体バインダー
を有機溶剤に溶解し次いで酸化錫を主成分とする導電性
微粉末を混合して行なわれる。

使用される溶剤は上記共重合体バインダーを溶解し得る
ものであれば何ら特定されず、代表例としてはメチルエ
チルケトン、シクロハキサノン、トルエン、酢酸エチル
、エチレンクリコールモノメチルエーテル、エチレンク
リコールモノエチルエーテル等が挙げられ、これらは適
宜混合して用いてもよい。又、微粉末を塗料中に充分分
散させるために塗料の分散や配合に通常用いられる機器
、例えばサンドミル、ボールミル、高速回転攪拌装置、
三木ロールなどが使用され得る。この微粉末の分散をよ
り高めるためには、シランカップリング剤、チタネート
カップリング剤、界面活性剤、オレイン酸、レシチンな
どの分散助剤も併用され得る。更に、塗膜の耐久性を高
める為に、紫外線吸収剤や安定剤等を併用してもよく、
着色の為に各種顔料、染料等を用いてもよい。

仁のようにして調製された本発明の帯電防止用塗料はス
プレー法、ロールコータ−法、フローコーター法、バー
コード法、ドクターブレード法、ディッピング法などの
一般的な塗布方法により塗布されるべき対象物に塗布さ
れる。

（５）　発明の効果 本発明帯電防止用塗料は、前記水酸基含有共重合体に対
し表面に酸化銀を主成分とする導電性層を有する導電性
微粉末が特定の割合で含有されてなるので、帯電防止性
及び耐薬品性に優れた塗膜を形成し得るのであり、その
塗膜は表面の摩擦やふき取り等によっては容易に除去、
脱落することが無く耐久性に優れている。

更に従来のカーボンブラックを用いた帯電防止用塗料の
如く、色彩が黒や黒に近い暗い色に限定されることなく
、適宜の顔料、染料を選択することにより白色或いはそ
の他の明かるい色の塗膜を形成することが出来る。従っ
て従来の塗料に比べてその適用範囲が広く、例えばクリ
ーンルーム等の塗装に好適に用いられる。

（６）実施例 以下に本発明を好適な実施例について説明する。

実施例１ ２−ヒドロキシプロピルアクリレート１０モル％、塩化
ビニル９０モル％を含んだ共重合体バインダー（漬水化
学工業社製、エスレックＥ−■Ａ）１００ｙ、メチルエ
チルケトンｉｏ。

ｆ、メチルエチルケトン１ｏｏｒ及びシクロへを含有す
る導電性層が形成された白色の導電性微粉末（三菱金ｊ
ｌ製、Ｗ−１０、平均粒径０．５μｍ以下）２００ｐ、
白色顔料として酸化チタン（石頭産業製、タイベークＲ
−５０）５０ｙ。

及び着色顔料として大日本インキ社製オレンジ顔料Ｑ８
Ｐをボールミルに仕込んだ。

これを４８時同号赦させて目的のアイポリ−色の塗料を
Ｓ贋製した。

その後、アイポリ−色の硬質塩化ビニル樹脂上に上記塗
料をスプレーで塗装して性能評価用サンプルを得たとこ
ろ、塗膜の表面の平滑性は良好であった。上記サンプル
を２０℃の第１表に示す薬品に７２時間浸漬し、ＡＳＴ
ＭＤ−２５７に準拠して表面抵抗率の変化を測定した。

その結果は第１表に示す通りであった。

実施例２ 実施例１において導電性微粉末（ｗ−ｉｏ）２００ｙの
代りにＷ−１０，３００Ｆを用いる以外は全て実施例１
と同様にして塗料及び塗膜を作成し、性能を評価した。

表面平滑性は良好であった。又耐薬品性の結果は第１表
の通りであった。

主成分とする粉末（Ｗ−１０）を用層る代りに、酸化亜
鉛を主成分とする導電性微粉末（白水化学製、２３−に
平均粒径ｏ、５μζ以下）を用いる以外は全て実施例１
と同様にして塗料及び塗膜を作製し、性能を評価した。

その結果は第１表の通りであった。

比較例２ 実施例１においてバインダーとして水酸基含有共重合体
を用いる代りに、ポリエステル樹脂（東洋紡製、バイ四
ン２００）を用りる以外は全て実施例１と同様にして塗
料及び塗膜を作製し、性能を評価した。

その結果は第１表の通りであった。

比較例３ 実施例１において導電性微粉末（Ｗ−１０）を２００２
用いる代りに４５０ｙ用いる以外は実施例１と同様にし
て塗料及び塗膜を作成したところ、塗膜表面はザラザラ
であった。又、耐薬品性は第１表の通りであった。

第１表 表中の数字は表面抵抗率（Ω／口）を表わす。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｌ　水酸基含有ビニル単量体２〜２０モル％、塩化ビニ
   ル単量体８０〜９８モル％及びその他の重合性単量体０
   〜１８モル％を含む水酸基含有共重合体１００重量部に
   対し、表面に酸化錫を主成分とする導電性層を有する導
   電性微粉末が７０〜３５０重量部の割合で含有されてな
   ることを特徴とする帯電防止用塗料。