JPS60177889A - 移載型ロボツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、アーム先端のハンド部に搬送治具のコード読
み取シ餞能を有する移載ロボットに関するものである。

従来の一般的な無人搬送システムに於ける移載ロボット
は、メインコンピュータの指令によシただ単に対象物体
の移載の実行のみであった。しかし、半導体製造工程の
中では、第１図に示す様に半導体装置１は、加工工程を
通過する毎に供給治具２から収納治具３へと移動してゆ
く、半導体製造工程の完全無人化が実現すれば搬送治具
と収納した半導体装置、材料及び治具等との照合は不用
となるが人が介在する以上ある頻贋での照合は不可欠な
ものとなる。

この発明の目的は、搬送治具に貼り付けたコードを読み
取る機能を有した移載ロボットを提供し、搬送治具の移
載時に収納された半導体装置、材料及び治具等に対応す
る搬送治具のコードをメインコンピュータへ知らせるこ
とである。

本発明の特徴は、半導体製造工程に於ける半導体装置、
材料及び治具等をコンピュータの自動制御による搬送及
び移載を行なうロボットに於いて、アーム先端のハンド
部に搬送対象物に貼シ付けられた反射板のコードを読み
取る為のコード読み取シ装置を取シ付けた移載ロボット
にある。

つぎにこの発明を実施例により説明する。第２図は、そ
の構成図であり、コードを表現する反射板４を貼）付け
た搬送治具３がある方法によシ送られてくる。移載ロボ
ットのアームは、破線の様に下降し、ハンドが搬送治具
を掴む。ど゛の時−・ンド部に取シ付けられた光学的な
コード読み取り装置６により、搬送治具のコードが読み
取られそのコードがメインコンピュータへ送られる。こ
の様にして移載の際に必ず半導体装置に対応する搬送治
具のコードを更新してゆくのである。

この様なコード読み数少機能を有する移載ロボットを使
用することにより、メインコンピュータは常に搬送治具
と収納されている半導体装置、材料及び治具等が対応づ
けられる事になシ、搬送治具のコードを知るだけで、収
納されている半導体装置、材料及び治具等のタイプ及び
半導体製造工程中の進度等を知ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体製工程中のある加工装置での供給収納と
して搬送治具を使った配置図である。 第２図は本発明の詳細な説明の為の構成図である。 尚、図ニオイて、１・・・・・・半導体装置、２・・・
・・・供給治具、３・・・・・・収納治具、４・・・・
・・コードを表わす反射板、訃・・・・・移載ロボット
のハンド、６・・・・・・コード読み取シ装置、７・・
・・・・メインコンピュータである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体製造工程に於ける半導体装置、材料及び治具等を
   コンピュータの自動制御による搬送及び移載を行なうロ
   ボットに於いて、アーム先端の−・ンド部に搬送対象物
   に貼り付けられた反射板のコードを読み取る為のコード
   読み取り装置を取り付けたことを特徴とする移載型ロボ
   ット。