JPS60172302A - トラツプおよびその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空装置用プニクチドトラップおよびプニクチ
ドクラッカ−（ｃｒａｃｋｅｒ　）に係る〇従来の技術 燐その他のプニクチド（周期律表第■族の元素）は真空
装置のフメアｄ９ン７′１′（ｆｏｒｅ　ｐｕｍｐ　）
を通過するとき有害な作用がある。これらは真空装置の
壁および機構に付着し、真空機イ１“４を周期的に分解
して清浄化しなければならない。同様に、プニクチドの
再蒸発は（プニクチド）４種の背景圧力を増加し、これ
は特定の処理では不所望である。そこで、有効なトラッ
プ装置が必要である。

発明の開示 本発明によるプニクチドトラツノ３８は冷却した円筒状
スリーブ２０（第２図）とスリーブ２゜内の中央に配置
した加熱フィラメント２２またはプラズマ（例えばグロ
ー放電でつくり出す）からなる。２４種は開口２４を通
ってスリーブ２ｏに入る。Ｐ４は好ましくは約１ｏｏｏ
℃に加熱されリープ２０の内壁２６上で燐膜に変わる。

スリーブ２０はクラン７Ｄ２９を外すことによって装置
から取外すことができる。最初に蓋板２８およびフィラ
メント２２を、次にスリーブを取シ外す。それを清浄化
するか新しい清浄なスリーブで交換することができる。

第１図ではプニクチドトラップ３８は真空のライン中に
ある。同様に、もう１つのトラフｆ６０を真空室３２内
に配置してそこでの異常なプニクチドの堆積を低減する
ことができる。

以下余白 発明の目的 従って、本発明の目的は真空装置用トラップを提供する
ことである。

本発明のもう１つの目的はプニクチドのそうしたトラッ
プを提供することである。

本発明のその他の目的は、その一部分は自明であシ、ま
た一部外は以下の記載から明らかであろうＯ 従って、本発明はいくつかの工程としまたはそれ以上の
そうした工程の他の工程との相互関係、ならびにそうし
た工程の実施に適合する構成、部拐の選択、および部品
の配置を特徴として具有する装置を含Ｘ７で成り、具体
的には以下の実施例において説明する。発明の範囲は特
許請求の範囲に記載する。

実施例 本発明の性質および目的をより完全に理解するために図
面を参照して説明する。いくつかの図面において同じ参
照数字は同じ部材を示す。

第１図を参照すると、本発明により、真空装置３０は真
空室３２．高真空弁３４．拡散Ｉンプ３６、ｆニクチド
ト２ッｆ３Ｂ、および機械的フォアポンプ４０を有する
。ガスは真空装置から矢印の方向に出る。

次に、第２図を参照すると、本発明のプニクチドトラッ
プは拡散ポンプ３６（第１図）からの出口・やイｆ４２
と機械的フォアポンプ４０（第１図）へ向かう供給管４
４の間に接続されている。

プニクチドトラップ３８は、例えば、密に接する水冷管
で冷却されているステンレス鋼製円筒体（本体）４６を
有する。

円筒体４６にはその頂上５の開口を包囲する環状のカラ
ー５を設ける。取外し可能の円筒状スリーブ２０はこの
開口に嵌まる。スリーブ２０は本体４６と伝熱的接触で
取付けられているので水冷管４８によって冷却される。

スリーブ２０は管４２に対して開口２４を有し、そこを
通って２４種がトラップ３８に入る。加熱フィラメント
は適当な供給管（図示せず）を用いて蓋板２８に装着す
る。フィラメントは好ましくは約１０００℃に加熱して
Ｐ４８の有意部分をＰ２にクラッキングさせ、それをス
リーブ２−ｏり内壁２６に氷膜の形で付着させる。

クラッカー２２の操作に関する詳しい情報は我々が本願
と同日付で出願した特許Ｈ（２）の「プニクチド含有蒸
着フィルム、その形成方法及びその形成装肘」を参照さ
れたい。

第２図に見られるように、蓋板２８はフランジ２９を外
すことによってフィラメント２２と共に取外しができる
。次いで、円筒形スリーブ２０（第３図）を取外し、清
浄化した後、あるいは新しいスリーブを再び取付ける。

真空室３２内のゾニクチＰをトラップするために６０の
ような真空室３２内にスリーブ２０とフィラメント２２
を含むトラップを設置することができる。これによって
真空室３２の内側におけるプニクチドの被膜の形成を低
減し、清浄の間の使用時間を延長し、そして必要な場合
に背景（プニクチド）４圧力を低減するであろう。

本発明は（プニクチド）４が低い粘着係数を有しかつそ
のクラッキングされた種、例えば（プニクチド）２が高
い粘着係数を有するプニクチドに有効である。

本発明は、同様に、クラッキングされるまで低い粘着係
数を持つような真空装置内のその他のガスにも適用でき
る。

プニクチドはフォアポンプの操作にとって非常に有害で
あるのでプニクチドをフォアポンプに至る前にトラップ
することは特別に重要である。

グロー放電でつくり出されるグラズマのようにすべての
適当なりラッカーまたはクラッキング方法を使用できる
。入口管４２は未りラッキング種をクラッカーに向かわ
せる。入口管４２に垂直な出口管４４を有すると、よシ
多くのクラッキングされた穏が壁に向かい、より多くの
未クラッキング１１が管４４を通って出る以前にクラッ
カーと出会うことを確実にする。

こうして、以上の記載で明らかにされたように前記の目
的は有効に達成されておシ、上記の方法および装置の構
成において特定の変形を行なうことができるので、上記
の説明および図面に示されたすべての事項は説明的であ
って、伺ら限定する意図によるものではないことが明ら
かであろう。

同様に、特＝Ｔ−請求の範囲は、この明細書に記載した
本発明の一般的および特定の特徴の全部、ならびに特許
請求の範囲の文言に含まれる事項の全部を含むものとし
て考えられていることを理解されるべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるプニクチドトラップを用いる真空
装置の概略図、第２図は紀１図の真空装置のプニクチド
ドラッグの縦断面図、紀３図は第２図のプニクチドトラ
ツノの取外しおよび交換可能な部分の部分縦断面図であ
る。 ３０・・・真空装置、３２・・・真空室、３４・・・弁
、３６・・・拡散ポンプ、３８・・・プニクチドトラッ
プ、４０・・・機械的フォアポンプ、４２・・・出口管
、４４・・・供給管、４６・・・円筒体（本体）、４８
・・・水冷管。 以下余白 ＦＩＧ、　１ 口Ｇ、２ ＦＩＧ、　３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、Ａ）り２ッキング手段とＢ）その近くの低温壁を具
   備することを特徴とする真空装置用トラ。 ノ。 ２、前記タップキング手段が加熱フィラメントである特
   許請求の範囲第１項記載のトラップ。 ３、前記低温壁が前記真空装置から取外し可能でおる特
   許請求の範囲第１項記載のドラッグ。 ４、Ａ）本体部分、 Ｂ）前記本体部分と接する冷却手段、 Ｃ）前記本体部分に取付ける取外し可能なスリー１、お
   よび Ｄ）前記スリーブ内のクラッキング手段、を具備する特
   許請求の範囲第１項記載のトラップ。 ５、前記クラッキング手段が加熱フィラメントでおる特
   許請求の範囲第４項記載のトラップ。 ６、真空室内に配置された特許請求の範囲第３項記載の
   トラップ。 ７、真空のライン内に配置された特許請求の範囲第５項
   記載のトラップ。 ８、Ｅ）第１の方向に向かう前記トラップの入口、およ
   び Ｆ）一般的には第１の方向に対して垂直の第２の方向に
   向かう前記トラップの出口、を特徴とする特許請求の範
   囲第１項から第７項までに記載のトラップ。 ９、前記入口が前記クラッキング手段に向けられている
   特許請求の範囲第８項記載のトラップ。 １０、Ｅ）前記クラッキング手段に向けられた前記トラ
   ップの入口、 を特徴とする特許請求の範囲第１項から第７項までのい
   ずれかに記載のトラップ。 １１、有害ガスをより高い粘着係数を持つ形に分ｗｌ（
   クラッキング）シ、そうしたガスを低温表面で凝縮（ｃ
   ｏｎｄｅｎｓｅ　）する工程を含むことを特徴とする真
   空室から有害ガスを除去する方法。 １２、前記有害ガスがグニクチドを含む特許請求の範囲
   第１１項記載の方法。 １３、前記有害ガスが（プニクチド）４を含み（プニク
   チド）２に分解される特許請求の範囲第１１項記載の方
   法。 １４、前記真空室が真空のラインである特許請求の範囲
   第１１項から第１３項までのいずれかに記載の方法。