KR850005985A - 진공장치를 위한 프닉티드트랲 - Google Patents

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KR850005985A
KR850005985A KR1019840003738A KR840003738A KR850005985A KR 850005985 A KR850005985 A KR 850005985A KR 1019840003738 A KR1019840003738 A KR 1019840003738A KR 840003738 A KR840003738 A KR 840003738A KR 850005985 A KR850005985 A KR 850005985A
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trap
vacuum
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main body
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KR1019840003738A
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Inventor
월터페리 로버어트 (외 2)
Original Assignee
로버트 씨. 술리반
스타우퍼 케미칼 캄파니
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    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B25/00—Phosphorus; Compounds thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/0894—Processes carried out in the presence of a plasma

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Abstract

내용 없음

Description

진공장치를 위한 프닉티드트랩
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 프닉티드 트랩을 이용한 진공장치의 개략도.
제2도는 제1도의 진공장치의 프닉티드 트랩의 횡단면도.
제3도는 제2도의 프닉티드 트랩의 제거 및 교환가능부분의 횡단면도.

Claims (14)

  1. 분해수단이 이에 인접된 냉벽으로 이루어진 진공장치트랲.
  2. 상기 분해수단은 가열필라멘트인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1기재의 진공장치트랲.
  3. 상기 냉벽은 상기 진공장치로부터 제거가능하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1기재의 진공장치트랩.
  4. 본체부분과 상기 본체부분과 접촉되어 있는 냉각수단과 상기 본체부분에 감합된 제거가능 슬리이브와 상기 슬리이브내의 분해수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공장치트랲.
  5. 상기 분해수단은 가열필라멘트로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공장치트랲.
  6. 진공실내에 위치한 특허청구의 범위 3기재의 트랲.
  7. 지공선로에 위치한 특허청구의 범위 5기재의 트랲.
  8. 제1방향으로 지향된 상기 트랩에 연결된 인레트와 제2방향으로 지향되며, 알반적으로 상기 제1방향으로 직교된 상기 트랩의 아우트리트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1-7기재의 어느 기재에 의한 트랩.
  9. 상기 인레트는 상기 분해수단을 행하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 8기재의 트랩.
  10. 상기 분해수단을 향하여있는 상기 트랩에 부착된 인레트로 이루어지는 특허청구의 범위 1~7기재중 어느 기재의 트랲.
  11. 고점착계수를 가지며, 냉각면상에 상기 가스를 응축시키는 형상으로 가스분해하는 것으로 이루어지는 진공실로부터 공핍가스를 제거하는 방법.
  12. 상기 가스는 프릭티드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 11기재의 방법.
  13. 상기 가스는 프릭티드2(Pnictide)로 분해되는 프닉티드4로 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 11기재의 방법.
  14. 상기 진공실은 진공선로인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 11~13기재중 어느 기재에 의한 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019840003738A 1984-02-17 1984-09-29 진공장치를 위한 프닉티드트랲 KR850005985A (ko)

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EP0153525A1 (en) 1985-09-04
CA1243472A (en) 1988-10-25
DK317784A (da) 1985-08-18
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