JPS60171415A - 抵抗式変換装置 - Google Patents
抵抗式変換装置Info
- Publication number
- JPS60171415A JPS60171415A JP59027652A JP2765284A JPS60171415A JP S60171415 A JPS60171415 A JP S60171415A JP 59027652 A JP59027652 A JP 59027652A JP 2765284 A JP2765284 A JP 2765284A JP S60171415 A JPS60171415 A JP S60171415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- resistance
- physical quantity
- measured
- resistance value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/16—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の属する技術分野〉
本発明は、圧力、差圧等の被測定物理量に応じて抵抗値
が変化する可変抵抗を有するセンサを用いた抵抗式変換
装置に関するものである。
が変化する可変抵抗を有するセンサを用いた抵抗式変換
装置に関するものである。
〈従来技術〉
例えば、半導体のピエゾ抵抗効果を利用したシリコン圧
力センサにおいては、ピエゾ抵抗変化の温度依存性が太
きいため、温度変動による影響を受ける欠点がある。こ
のため一般には、サーミスタ、ポジスタ、トランジスタ
等の感温素子を用い、温度変動に応じてセンサのブリッ
ジ電源電圧を制御することによって補償を行っている。
力センサにおいては、ピエゾ抵抗変化の温度依存性が太
きいため、温度変動による影響を受ける欠点がある。こ
のため一般には、サーミスタ、ポジスタ、トランジスタ
等の感温素子を用い、温度変動に応じてセンサのブリッ
ジ電源電圧を制御することによって補償を行っている。
この方法で精度よく補償を行うには、センサの温度依存
性と補償用感温素子の温度特性を一致させる必要がある
。しかしながら両者を一致させることは容易でなく、高
精度な補償は困難であった。
性と補償用感温素子の温度特性を一致させる必要がある
。しかしながら両者を一致させることは容易でなく、高
精度な補償は困難であった。
〈発明の目的〉
本発明は、センサの温度係数による影響を受けず、高精
度に被測定物理量を検出できる抵抗式変換装置を実現す
るにある。
度に被測定物理量を検出できる抵抗式変換装置を実現す
るにある。
〈発明の構成〉
本発明は、被測定物理量に応じて抵抗値ＲＭが変化する
可変抵抗とこの可変抵抗の初期値と等しい抵抗値Ｒ２の
ゼロ点用抵抗および一定物理量に応じた抵抗値ＲＩＩの
スパン用抵抗を有するセンサと、このセンサの各抵抗値
を検出し、実質的にＲＭ−Ｒ。
可変抵抗とこの可変抵抗の初期値と等しい抵抗値Ｒ２の
ゼロ点用抵抗および一定物理量に応じた抵抗値ＲＩＩの
スパン用抵抗を有するセンサと、このセンサの各抵抗値
を検出し、実質的にＲＭ−Ｒ。
Ｒ８，−Ｒｚ なる演算をして被測定物理量に応じた信
号を出力する信号処理回路とを具えたことを特徴とする
ものである。
号を出力する信号処理回路とを具えたことを特徴とする
ものである。
〈実施例〉
第１図は本発明装置の一実施例を示す接続図、第２図は
本発明装置に用いるセンサの一例を示す構成説明図であ
る。両図において、１０はセンサで、２０は信号処理回
路である。センサ１０は、ピエゾ抵抗１１ａ、ｌｌｂ、
ｌｌｃを有している。ピエゾ抵抗１１ａはシリコン基板
１２の第１のダイヤフラム部１２ａに、ピエゾ抵抗１１
ｂはシリコン基板１２の第２のダイヤフラム部１２ｂに
、ピエゾ抵抗１１ｃはシリコン基板１２の固定部１２゜
に設けられている。シリコン基板１２はガラス等の絶縁
体１３に取付けられておシ、その第１のダイヤフラム部
１２ａには絶縁体１３の開口１３＆を介して被測定圧力
ＰＭが与えられ、第２のダイヤフラム部１２ｂはネジ１
５により調整できる恒弾性ばね合金であるＮ、 −Ｓ、
１ＬｎＣ等のバネ１４によって抑圧されている。またシ
リコン基板１２の外側は大気圧（または真空）とされて
いる。したがりて、ピエゾ抵抗１１ａは被測定圧力ＰＭ
に応じたダイヤフラム部１２ａの変形にょシ、その抵抗
値ＲＭが変化する可変抵抗である。またピエゾ抵抗１１
ｂはバネ１４の抑圧に応じたダイヤフラム部１２ｂの変
形により、その抵抗値Ｒが決るスパン抵抗であシ、ピエ
ゾ抵抗１１ａはその抵抗Ｒ２が、被測定圧力ＰＭおよび
バネ１４にょる押圧の影響を受けないゼロ点用抵抗であ
る。そして、ピエゾ抵抗用、ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃは、被
測定圧力ＰＭにより変化する応力をσ８．バネ１４によ
る一定応力をσ８．ピエゾ抵抗係数をπ、σヶ、σ、が
零のときの初期抵抗値をＲとしたとき、各抵抗値ＲＭ、
Ｒ，。
本発明装置に用いるセンサの一例を示す構成説明図であ
る。両図において、１０はセンサで、２０は信号処理回
路である。センサ１０は、ピエゾ抵抗１１ａ、ｌｌｂ、
ｌｌｃを有している。ピエゾ抵抗１１ａはシリコン基板
１２の第１のダイヤフラム部１２ａに、ピエゾ抵抗１１
ｂはシリコン基板１２の第２のダイヤフラム部１２ｂに
、ピエゾ抵抗１１ｃはシリコン基板１２の固定部１２゜
に設けられている。シリコン基板１２はガラス等の絶縁
体１３に取付けられておシ、その第１のダイヤフラム部
１２ａには絶縁体１３の開口１３＆を介して被測定圧力
ＰＭが与えられ、第２のダイヤフラム部１２ｂはネジ１
５により調整できる恒弾性ばね合金であるＮ、 −Ｓ、
１ＬｎＣ等のバネ１４によって抑圧されている。またシ
リコン基板１２の外側は大気圧（または真空）とされて
いる。したがりて、ピエゾ抵抗１１ａは被測定圧力ＰＭ
に応じたダイヤフラム部１２ａの変形にょシ、その抵抗
値ＲＭが変化する可変抵抗である。またピエゾ抵抗１１
ｂはバネ１４の抑圧に応じたダイヤフラム部１２ｂの変
形により、その抵抗値Ｒが決るスパン抵抗であシ、ピエ
ゾ抵抗１１ａはその抵抗Ｒ２が、被測定圧力ＰＭおよび
バネ１４にょる押圧の影響を受けないゼロ点用抵抗であ
る。そして、ピエゾ抵抗用、ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃは、被
測定圧力ＰＭにより変化する応力をσ８．バネ１４によ
る一定応力をσ８．ピエゾ抵抗係数をπ、σヶ、σ、が
零のときの初期抵抗値をＲとしたとき、各抵抗値ＲＭ、
Ｒ，。
Ｒ２が次式を満足するように構成されている。
ｆｉ１式において、初期抵抗値Ｒとピエゾ抵抗係数πに
それぞれ温度係数α、βがあシ、基準温度のときの初期
抵抗値をＲ６，基準温度のときのピエゾ抵抗係数をπ。
それぞれ温度係数α、βがあシ、基準温度のときの初期
抵抗値をＲ６，基準温度のときのピエゾ抵抗係数をπ。
および温度をｔとすると、Ｒとπはそれぞれ次式で与え
られる。
られる。
信号処理回路２０において、２１ｍ、２１ｂ、２１ｃは
各々センサアンプで、センサアンプ２１ａの帰還回路に
センサー０のピエゾ抵抗１１ａが、センサアンプ２１ｂ
の帰還回路にセンサー０のピエゾ抵抗１１ｂが、センサ
アンプ２１ｅの帰還回路にセンサー０のピエゾ抵抗１１
ｃがそれぞれ接続されている。２２は誤差増幅器で、そ
の出力Ｅ が抵抗値の等しい抵抗２３ａ、２３ｂ、２３
ｃをそれぞれ介してセンサアンプ２１ａ、２１ｂ、２１
ｅの入力に加えられている。２４．２５ は各々減算回
路である。
各々センサアンプで、センサアンプ２１ａの帰還回路に
センサー０のピエゾ抵抗１１ａが、センサアンプ２１ｂ
の帰還回路にセンサー０のピエゾ抵抗１１ｂが、センサ
アンプ２１ｅの帰還回路にセンサー０のピエゾ抵抗１１
ｃがそれぞれ接続されている。２２は誤差増幅器で、そ
の出力Ｅ が抵抗値の等しい抵抗２３ａ、２３ｂ、２３
ｃをそれぞれ介してセンサアンプ２１ａ、２１ｂ、２１
ｅの入力に加えられている。２４．２５ は各々減算回
路である。
減算回路２４は演算増幅器２４ｍと抵抗値の等しい４個
の演算抵抗２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、２４ｅ からなシ
、センサアンプ２１ｂの出力Ｅ とセンサアンプ２１ｃ
の出力Ｅ２ との差（Ｅ、−Ｅ、）を演算して、誤差増
幅器２２の入力端子（−）に抵抗２２＆を介して加える
。減算回路２５は演算増幅器２５ａと抵抗値の等しい４
個の演算抵抗２５ｂ、２５ｃ。
の演算抵抗２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、２４ｅ からなシ
、センサアンプ２１ｂの出力Ｅ とセンサアンプ２１ｃ
の出力Ｅ２ との差（Ｅ、−Ｅ、）を演算して、誤差増
幅器２２の入力端子（−）に抵抗２２＆を介して加える
。減算回路２５は演算増幅器２５ａと抵抗値の等しい４
個の演算抵抗２５ｂ、２５ｃ。
２５ｄ、２５ｅ からなシ、センサアンプ２１ｍの出力
ＥＭとセンサアンプ２１ａの出力Ｅ７との差（ＥＭ−Ｅ
ｚ）を演算して、出力端子ＯＵＴに出力電圧Ｅ として
与える。２６は基準電圧源で、一定電圧Ｅ、を誤差増幅
器２２の入力端子（ｌ−）に与える。
ＥＭとセンサアンプ２１ａの出力Ｅ７との差（ＥＭ−Ｅ
ｚ）を演算して、出力端子ＯＵＴに出力電圧Ｅ として
与える。２６は基準電圧源で、一定電圧Ｅ、を誤差増幅
器２２の入力端子（ｌ−）に与える。
このように構成した本発明装置においては、センサアン
プ２１ａ、２１ｂ、２１ｃ の出力ＥＭ、 Ｅ、、 Ｋ
。
プ２１ａ、２１ｂ、２１ｃ の出力ＥＭ、 Ｅ、、 Ｋ
。
は抵抗２３ａ、２３ｂ、２３ｃ の抵抗値をＲとすると
、 となり、減算口Ｍ２４．２５の出力ＥＡ、Ｅｏ はそれ
ぞれ次式の如くなる。
、 となり、減算口Ｍ２４．２５の出力ＥＡ、Ｅｏ はそれ
ぞれ次式の如くなる。
ＥＡ＝ −（Ｅ、−ｇ、Ｌ）＝去（Ｒ，−Ｒ，）Ｅ、・
・・・・・（４）Ｂ。＝ −（ＥＭ−Ｅ、）＝ ｉ−（
ＲＭ−Ｒ，） Ｂｃ−・・・・・（５）そして、誤差増
幅器２２により減算回路２４の出力ＥＡが基準電圧ＥＲ
と等しくなるように、センサアンプ２１ａ、２１ｂ、２
１ｃ の入力電圧Ｅ０が制御されるので、次式の関係が
成立する。
・・・・・（４）Ｂ。＝ −（ＥＭ−Ｅ、）＝ ｉ−（
ＲＭ−Ｒ，） Ｂｃ−・・・・・（５）そして、誤差増
幅器２２により減算回路２４の出力ＥＡが基準電圧ＥＲ
と等しくなるように、センサアンプ２１ａ、２１ｂ、２
１ｃ の入力電圧Ｅ０が制御されるので、次式の関係が
成立する。
よって、（６）式を（５）式に代入すると、出力電圧Ｅ
。
。
は、
となる。（７）式に（１）式を代入すると、出力電圧Ｅ
０は、 −σＭ Ｅｏ−、ＰＲ・・・・・・・・・（８）となり、温度係
数を持った初期抵抗値Ｒとピエゾ抵抗係数πの項を含ま
ないので、温度変動による影響を受けない。また、スパ
ン調整は一定応力σ８の値をネジ１５によりバネ１４の
抑圧を変えることによってできる。
０は、 −σＭ Ｅｏ−、ＰＲ・・・・・・・・・（８）となり、温度係
数を持った初期抵抗値Ｒとピエゾ抵抗係数πの項を含ま
ないので、温度変動による影響を受けない。また、スパ
ン調整は一定応力σ８の値をネジ１５によりバネ１４の
抑圧を変えることによってできる。
第３図は本発明装置の他の実施例を示す接続図である。
第６図において、第１図の実施例と異るところは、セン
サ１０に抵抗値がＲ７のピエゾ抵抗ｌｉｄを追加し、ゼ
ロ点用抵抗を２個にするとともに、センサアンプに演算
機能を持たせ、（ＲＭ−Ｒ，）の演算をセンサアンプ２
１ｄで行い、（Ｒ，−Ｒ−の演算をセンサアンプ２１ｅ
で行うようにした点である。すなわち、ピエゾ抵抗１１
ｍがセンサアンプ２１ｄの入力端子（ト）とコモン間に
、ピエゾ抵抗１１ｃがセンサアンプ２１ｄの帰還回路に
、ピエゾ抵抗１１ｂがセンサアンプ２１ｅの入力端子←
）とコモン間に、ピエゾ抵抗１１ｄがセンサアンプ２１
ｅの帰還回路にそれぞれ接続されている。
サ１０に抵抗値がＲ７のピエゾ抵抗ｌｉｄを追加し、ゼ
ロ点用抵抗を２個にするとともに、センサアンプに演算
機能を持たせ、（ＲＭ−Ｒ，）の演算をセンサアンプ２
１ｄで行い、（Ｒ，−Ｒ−の演算をセンサアンプ２１ｅ
で行うようにした点である。すなわち、ピエゾ抵抗１１
ｍがセンサアンプ２１ｄの入力端子（ト）とコモン間に
、ピエゾ抵抗１１ｃがセンサアンプ２１ｄの帰還回路に
、ピエゾ抵抗１１ｂがセンサアンプ２１ｅの入力端子←
）とコモン間に、ピエゾ抵抗１１ｄがセンサアンプ２１
ｅの帰還回路にそれぞれ接続されている。
誤差増幅器２２の出力ＥＣが抵抗２３ｄ、２３ｅｔｌ−
介してセンサアンプ２１ｄの入力端子（ト）、（−）に
加えられるとともに、抵抗２３ｆ、２３ｇを介してセン
サアンプ２１ａの入力端子（ト）、（−）に加えられて
いる。
介してセンサアンプ２１ｄの入力端子（ト）、（−）に
加えられるとともに、抵抗２３ｆ、２３ｇを介してセン
サアンプ２１ａの入力端子（ト）、（−）に加えられて
いる。
よって、誤差増幅器２２でセンサアンプ２１・の出力が
基準電圧ＥＲと等しくなるように制御すれば、センサア
ンプ２１ｄの出力端には、（７）式で示す出力電圧Ｅ。
基準電圧ＥＲと等しくなるように制御すれば、センサア
ンプ２１ｄの出力端には、（７）式で示す出力電圧Ｅ。
が得られる。なお第６図においては誤差増幅器２２の帰
還回路にコンデンサ２２ｂを接続して、誤差増幅器２２
に積分特性を持たせである。また、第４図に示すように
センサアンプ２１ｍ、２１ｂ、２１ｃの入力電圧Ｅ を
一定にし、減算回路２４．２５の出力を割算回路２７で
割算して、（７）式の関係を得るようにしてもよい。こ
の場合センサアンプ２１ａ、２１ｂ、２１ａの出力ＥＭ
、 Ｅｓ、 Ｅ、をそれぞれＡ／Ｄ変換器でディジタル
量に変換後マイクロコンピュータに与え、マイクロコン
ピュータよい。
還回路にコンデンサ２２ｂを接続して、誤差増幅器２２
に積分特性を持たせである。また、第４図に示すように
センサアンプ２１ｍ、２１ｂ、２１ｃの入力電圧Ｅ を
一定にし、減算回路２４．２５の出力を割算回路２７で
割算して、（７）式の関係を得るようにしてもよい。こ
の場合センサアンプ２１ａ、２１ｂ、２１ａの出力ＥＭ
、 Ｅｓ、 Ｅ、をそれぞれＡ／Ｄ変換器でディジタル
量に変換後マイクロコンピュータに与え、マイクロコン
ピュータよい。
第５図は本発明装置に用いるセンサの他の例の構成を示
す断面図である。第５図において第２図と異るところは
、ピエゾ抵抗１１ｃもシリコン基板１２の第３のダイヤ
フラム部１２ｄに設けて、σヶ、σ８が零にもかかわら
ずシリコン基板１２と絶縁体１３との接着等によシ発生
する初期応力σ。
す断面図である。第５図において第２図と異るところは
、ピエゾ抵抗１１ｃもシリコン基板１２の第３のダイヤ
フラム部１２ｄに設けて、σヶ、σ８が零にもかかわら
ずシリコン基板１２と絶縁体１３との接着等によシ発生
する初期応力σ。
による影響を受けないようにした点である。すなわち第
６のダイヤフラム部１２ｄの両側を同じ圧力（例えは大
気圧）とすると、各抵抗値ＲＭＩＲ８’Ｒは、 によって、σの影響も除去できる。
６のダイヤフラム部１２ｄの両側を同じ圧力（例えは大
気圧）とすると、各抵抗値ＲＭＩＲ８’Ｒは、 によって、σの影響も除去できる。
なお上述では、センサー０のピエゾ抵抗１１ｂに一定応
力σ を作用させるために、ノクネ１４を用いる場合を
例示したが、バネ１４の代シに一定圧力Ｐ を加える等
必要に応じて穐々の手段を用いることができる。また上
述では、センサー０として応力によって抵抗値が変るも
のを例示したが、ストレンゲージのように変位によって
抵抗値が変るものでも同様にできる。
力σ を作用させるために、ノクネ１４を用いる場合を
例示したが、バネ１４の代シに一定圧力Ｐ を加える等
必要に応じて穐々の手段を用いることができる。また上
述では、センサー０として応力によって抵抗値が変るも
のを例示したが、ストレンゲージのように変位によって
抵抗値が変るものでも同様にできる。
〈発明の効果〉
本発明においてに、温度変動の影響を受けず、高精度に
被測定物理量を検出できる抵抗式変換装置が得られる。
被測定物理量を検出できる抵抗式変換装置が得られる。
第１図は本発明装置の一実施例を示す接続図、第２図は
本発明装置に用いるセンサの構成の一例を示す断面図、
第６図、第４図は本発明装置の他の実施例を示す接続図
、第５図は本発明装置に用いるセンサの構成の他の例を
示す断面図である。 １０・・・センサ ｌｌａ、ｌｌｂ、ｌｌａ、ｌｉｄ
−ピエゾ抵抗 １２・・・シリコン基板 １２ａ。 １２ｂ、１２ｄ ・・・ダイヤフラム部 １２ｃ・・・
固定部 １３・・・絶縁体 ２０・・・信号処理回路２
１ ａｌ ２１ ｂＨ２１（！、 ２１ ｄｏ ２１
ｅ・・・センサアンプ２２ ・・・誤差増幅器 ２３ａ
＋ ２３ｂ＋ ２３ａ、２３ａ。 ２３ ｅ 、 ２３ ｆ 、 ２３ ｇ −抵抗 ２４
．２５−・・減算回路 ２６・・・基準電圧源 ２７・
・・割算回路第１図 第２図
本発明装置に用いるセンサの構成の一例を示す断面図、
第６図、第４図は本発明装置の他の実施例を示す接続図
、第５図は本発明装置に用いるセンサの構成の他の例を
示す断面図である。 １０・・・センサ ｌｌａ、ｌｌｂ、ｌｌａ、ｌｉｄ
−ピエゾ抵抗 １２・・・シリコン基板 １２ａ。 １２ｂ、１２ｄ ・・・ダイヤフラム部 １２ｃ・・・
固定部 １３・・・絶縁体 ２０・・・信号処理回路２
１ ａｌ ２１ ｂＨ２１（！、 ２１ ｄｏ ２１
ｅ・・・センサアンプ２２ ・・・誤差増幅器 ２３ａ
＋ ２３ｂ＋ ２３ａ、２３ａ。 ２３ ｅ 、 ２３ ｆ 、 ２３ ｇ −抵抗 ２４
．２５−・・減算回路 ２６・・・基準電圧源 ２７・
・・割算回路第１図 第２図
Claims (1)
- 被測定物理量に応じて抵抗値ＲＭが変化する可変抵抗と
この可変抵抗の初期値と等しい抵抗値Ｒ２のゼロ点用抵
抗および一定物理量に応じた抵抗値算をして被測定物理
量に応じた信号を出力する信号処理回路とを具備したこ
とを特徴とする抵抗式
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59027652A JPS60171415A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 抵抗式変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59027652A JPS60171415A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 抵抗式変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60171415A true JPS60171415A (ja) | 1985-09-04 |
| JPH0476046B2 JPH0476046B2 (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=12226848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59027652A Granted JPS60171415A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 抵抗式変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60171415A (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4940782A (ja) * | 1972-08-21 | 1974-04-16 | ||
| JPS49119676A (ja) * | 1973-03-15 | 1974-11-15 | ||
| JPS52156648A (en) * | 1976-06-23 | 1977-12-27 | Hitachi Ltd | Measurement of sensor |
| JPS5747858U (ja) * | 1980-09-01 | 1982-03-17 | ||
| JPS5791431A (en) * | 1980-10-09 | 1982-06-07 | Gen Motors Corp | Double hollow pressure sensor |
| JPS5896399A (ja) * | 1981-12-02 | 1983-06-08 | 日産自動車株式会社 | 補償機能付き測定回路 |
| JPS58187024A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-11-01 | Chino Works Ltd | 入力切換回路 |
-
1984
- 1984-02-16 JP JP59027652A patent/JPS60171415A/ja active Granted
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4940782A (ja) * | 1972-08-21 | 1974-04-16 | ||
| JPS49119676A (ja) * | 1973-03-15 | 1974-11-15 | ||
| JPS52156648A (en) * | 1976-06-23 | 1977-12-27 | Hitachi Ltd | Measurement of sensor |
| JPS5747858U (ja) * | 1980-09-01 | 1982-03-17 | ||
| JPS5791431A (en) * | 1980-10-09 | 1982-06-07 | Gen Motors Corp | Double hollow pressure sensor |
| JPS5896399A (ja) * | 1981-12-02 | 1983-06-08 | 日産自動車株式会社 | 補償機能付き測定回路 |
| JPS58187024A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-11-01 | Chino Works Ltd | 入力切換回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0476046B2 (ja) | 1992-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4414853A (en) | Pressure transmitter employing non-linear temperature compensation | |
| CN109668674B (zh) | 一种硅压阻式压力传感器的高精度温度补偿电路及方法 | |
| US3967188A (en) | Temperature compensation circuit for sensor of physical variables such as temperature and pressure | |
| JPH08510549A (ja) | 統合的な温度信号を出力する歪みゲージセンサ | |
| EP0717836A1 (en) | Media-isolated differential pressure sensor | |
| JPH038482B2 (ja) | ||
| GB2201791A (en) | Transducer signal conditioner | |
| JPH02269912A (ja) | 半導体複合センサ及び信号処理方法 | |
| JPS60171415A (ja) | 抵抗式変換装置 | |
| JPS60171416A (ja) | 抵抗式変換装置 | |
| JPS6147371B2 (ja) | ||
| JPH11160347A (ja) | センサ回路 | |
| JPH0313537B2 (ja) | ||
| RU2082129C1 (ru) | Преобразователь давления в электрический сигнал | |
| JPH0814521B2 (ja) | 半導体圧力センサの温度補償方法 | |
| JPS60216213A (ja) | 抵抗ブリツジを用いた測定装置 | |
| JPS60201229A (ja) | 圧力センサ | |
| JPS60205328A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH04307331A (ja) | 複合センサ | |
| JPH07139985A (ja) | 熱式空気流量測定装置 | |
| JP2002039888A (ja) | 半導体圧力センサのゲージ抵抗の位置設定方法 | |
| JP2536822B2 (ja) | 計量装置用温度補償回路 | |
| JPH042170A (ja) | 半導体拡散抵抗形圧力センサにおけるスパン電圧温度補償方法 | |
| RU2024830C1 (ru) | Устройство для измерения давления | |
| JPH03220402A (ja) | 半導体歪検出回路 |