JPS60164739A - 光重合性組成物 - Google Patents

光重合性組成物

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JPS60164739A
JPS60164739A JP2054284A JP2054284A JPS60164739A JP S60164739 A JPS60164739 A JP S60164739A JP 2054284 A JP2054284 A JP 2054284A JP 2054284 A JP2054284 A JP 2054284A JP S60164739 A JPS60164739 A JP S60164739A
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Koichi Kawamura
浩一 川村
Akira Umehara
梅原 明
Atsuaki Arai
新井 厚明
Eisaku Hayashi
林 英作
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の利用分野) 本発明は光重合性組成物に関するものであり。
さらに詳しくは、エチレン性不飽和結合を有する重合可
能な化合物と光重合開始剤と、必要とするならば結合剤
と、ざら・に必要とするならば増感剤とからなる光重合
性組成物に関し、特に感光性印刷版の感光層、フォトレ
ジスト等に有事な光重合性組成物に関するものである。
(従来技術) エチレン性不飽和結合を有する重合可能な化合物と光重
合開始剤と更に必要に応じて適当な皮膜形成能を有する
結合剤、熱重合禁止剤を混和させた感光性組成物を用い
て、写真的手法により画像の複製を行なう方法は現在知
られるところである。
すなわち、米国特許コ、タコ7、θ、2.2号、同2゜
り02,3jt号あるI/ij同3,170,1.24
4号に記載されているように、この種の感光性組成物は
光照射により硬化し不溶化することから、この感光性組
成物を適当な皮膜となし、所望の画像の陰画を通して光
照射を行ない、適当な溶媒により末路元部のみを除去す
ることにより所望の光重合性組成物の硬化画像を形成さ
せることができる。
このタイプの感光性組成物は印刷版あるいはフォトレジ
スト等を作成するために使用されるものとして極めて有
用であることは論をまたない。
従来、エチレン性不飽和結合を有する重合可能な化合物
のみでは充分な感光性がなく、感光性を高めるために光
重合開始剤を添加することが提唱されており、かかる光
重合開始剤としてはベンジル、ヘンゾイン、ベンゾイン
エチルエーテル、ミヒラーケトン、アントラキノン、ア
クリジン、フェナジン、ベンゾフェノン%コーエテルア
ントラキノン等が用いられてきた。l、かじながら、こ
れらの光重合開始剤を用いた場合、光重合性組成物の硬
化の感応度が低いので画像形成における像蕗元に長時間
を要するため、細密な画像の場合には操作にわずかな振
動があると良好な画質の画1家がJP+mされず、また
蕗尤の光源のエネルギー放射量を増大しなければならな
いためにそれに伴なう多大な発熱の放射を考慮する必要
があり、さら匠熱による組成物の皮膜の変形および変質
も生じ易い等の問題があった。
(発明の目的) したがって1本発明の目的に、高感度の光重合性組成物
を提供することである。
本発明の他の目的は広く一般にエチレン性不飽和結合を
有する重合可能な化合物を含む光重合性組成物の光重合
感度を増大させる光重合開始剤を含んだ光重合性組成物
を提供することである。
(発明の構成) 本発明者は、上記目的を達成すべく精意研究を重ねてい
たが、ある特定の光重合開始剤がエチレン性不飽オロ結
合を有する重合可能な化合物の光重合速度を著しく増大
させることを見出し、本発明に到達したものである。
本発明は、エチレン性不飽和結合を有する重合可能な化
合物と、必要とするならば結合剤と、さらに必要とする
ならば増感剤と、 一般式(1) %式% (式中、Rlt R21R3w u 4 +R5H’ 
6 *R7およびRsH各々独立して水素原子、アルキ
ル基、瞳侯アルキル基、アリール基、置換アリール基、
ハロゲン原子またはアルコキシ基を表わし、R9はアリ
ール基、置換アリール基、ヘテロ環または置換のへテロ
環を表わす。)で表わされる光重合開始剤を含有する光
重合性組成物に関するものである。
本発明の組成物におけるエチレン性不飽和結合をMする
重合可能な化合物とは、その化学構造中に少なくとも1
個のエチレン性不飽和結合を有する化合物であって、モ
ノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体および
他のオリゴマーそれ−,1− らの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態
をもつものである。それらの例としては不飽和カルボン
酸およびその塩、脂肪族多価アルコール化合物とのエス
テル、脂肪族多価アミン化合物とのアミド等があげられ
る。
不飽和カルボン酸の具体例としては、アクリル酸、メタ
クリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、
マレイン酸などがある。
不飽和カルボン酸の塩としては、前述の酸のナトリウム
塩およびカリウム塩などがある。
脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエ
ステルの具体例としてはアクリル酸エステルとして、エ
チレングリコールジアクリレート。
トリエチレングリコールトリアクリレート% l。
3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレング
リコールジアクリレート、プロピレングリコールジアク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールエタントリアクリレート、/、#−シク
ロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエナレング
リコールジアク1− リレート、ペンタエリスリトールジアクリレート。
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリス
リトールテトラアクリレート、ジはツタエリスリトール
ジアクリレート、ジペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ソ
ルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアク
リレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビト
ールへキサアクリレート、ポリエステルアクリレートオ
リゴマー等がある。メタクリル酸エステルとしては、テ
トラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレ
ングリコールジメタクリレート、トリメテロールプロノ
ξントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメ
タクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、
/、3−ブタンジオールジメタクリレート、ペンタエリ
スリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールト
リメタクリート、ジぼツタエリスリトールジメタクリレ
ート、ソルビトールトリメタクリレート、ノルビトール
テトラメタクリレート、ビス−(p−(3−7− メタクリルオキシーコーヒドロキシプロボキシ)フェニ
ル〕ジメチルメタン、ビス−Cp−(アクリルオキシエ
トキシ)フェニル〕ジメチルメタン寺がある。イタコン
酸エステルとしては、エチレングリコールシイタコネー
ト、プロピレングリコールシイタコネート、/、3−ブ
タンジオールシイタコネート、/、グーブタンジオール
シイタコネート、テトラメチレングリコールシイタコネ
ート、ハツタニリスリトールジイタコネート、ソルビト
ールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステル
としてに、ニガしングリコールジクロトネート、テトラ
メテレングリコールジクロトネート、はツタエリスリト
ールジクロトネート、ソルビトールテトラクロトネート
等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレン
グリコールジイソクロトネート、ぼツタエリスリトール
ジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネ
ート等がある。マレイン酸エステルとしては、エナレン
グリコールジマレート、トリエチレングリコールシマレ
ート、−!ツタエリスリトールジマr− レート、ンルビトールテトラマレード等がある。
さらに、前述のエステルの混合物もあげることができる
脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミド
の具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メ
テレンビスーメ、タクリルアミド。
/、&−へキサメチレンビス−アクリルアミド。
/、4−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド。
ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレ
ンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミ
ド等がある。
その仙の例としては、特公昭at−ψ/701号公報中
に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基
を有するポリイソシアネート化合物に、下記の一般式(
11)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付
加せしめた1分子中にコ個以上の重合性ビニル基を含有
するビニフレウレタン化合物等があげられる。
CH2=C(R)COOCH2CH(R’ )OH(■
)−ター (ただし、RおよびR′はI(あるいはCH3を示す。
) 次に本発明の光重、合性組成物において著しい特徴をな
す光重合開始剤について説明する。
本発明で世いられる前記一般式(I)で表わされる光重
合開始剤は公知の方法を用いて合成することができる。
代表的な合成法の一つに例えば’L’、Caronna
ら著「Journal of Chemical 5o
cietyf’erkin It J、203 r 〜
203 lr頁(lり7.2年)K記載されているがご
とく一般式(IJI )及び一般式(IV)で表わされ
る化合物から合成する方法がある。
?(■) H−c−R,9 −/ O− (ここでR1−R9は一般式(1)の場合と同義のもの
を表わす) 1だ他の合成法としてHE、H、Whiteら著「Jo
urnal of the American Che
micalSocietyJ第タグ巻3/40〜3/4
7頁(1972年)に記載されているがごとく一般式(
Vlから合成する方法がある。
(ここでR1−R9は一般式(I)の場合と同義である
。) 一般式(1)においてh ’ 1 + ’ 2 l” 
+R4,R5,kL6.R7およびR8は各々独立して
水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、
置換アリール基、ノ・ロゲン原子、アルコキシ基を表わ
すがアルキル基としては炭素原子数7〜2個のものが好
ましくメチル基、エチル基などが含まれる。置換アルキ
ル基は上記のようなアルキル基に例えば塩素原子のよう
なノ為ロゲン原子。
例えばメトキシ基のような炭素数7〜2個のアルコキシ
基などが置換されたものであって具体的にはλ−クロロ
エテル基、2−メトキシエテル基すどが含まれる。
アリール基としては好ましくは単環のものであって1例
えばフェニル基などが含まれる。#換アリール基は、上
記のようなアリール基に1例えばメチル基、エチル基な
どの炭素数/−2個のアルキル基1例えばメトキシ基、
エトキシ基などの炭素原子数/−2個のアルコキシ基1
例えば塩素原子などのハロゲン原子が置換したものが含
まれ、具体的vcrsメチルフェニル基、ジメテlレフ
ェニル基、メトキシフェニル基、クロロフェニル基ナト
があげられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原
子などがあり、アルコキシ基としては炭素原子数7〜2
個の例えばメトキシ基、エトキシ基などが好ましい。
■L9がアリール基の場合、フエニlし、ナフチlしの
ような炭素数6から/弘個までの単環および多環化合物
を含みまた1を換アリール基の場合、置換基としては炭
素数1〜6個のアlレキル基、炭素数/−4個のアルコ
キシ基、炭素数6〜IO個までのアリール基、アミ7基
、炭素数7〜6個のアルキル基で置換されたアミノ基、
フッ素、@素、臭素などのハロゲン原子等がある。また
上述の置換基として用いたアルキル基は、更にメトキシ
、エトキシ等の炭素数l−2個のアルコキシ基、塩素等
のハロゲン原子を置換基として有していても良い。
これらのtIt換アリール基の置換基として好ましいも
のとしてはメチIし基、メチIし基等の炭素i/〜≠個
のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数/−
4個のアルコキシ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミ
ノ基等の炭素数7−弘個のアルキル基で置換されたアミ
ノ基、フッ素、塩素。
臭素等のハロゲン原子をあげることができる。
73− R9が置換もしくは非置換のへテロ環の場合。
ヘテロ環上しては窒素、酸素、値黄の少なくともいづれ
か一つの原子を含む単環または多環化合物であり好まし
くはフラン、ピロール、ピリジン等のj又は6員環ヘテ
ロ芳香族化合物である。置換へテロ環の場合置換基とし
ては上記の置換アリール基で甲いたものと同様のものを
挙げることができる。
本発明に用いられる一般式(T)で表わされる光重合開
始剤の具体例を下記に示す。
屋l −7弘− A、2 &3 扁弘 &j 墓7 Ir Ifi / 0  l 7− −/r− 厘l ≠ 本発明の重合性組成物は心受により結合剤を用いるが、
結合剤としてハ、恵曾可能なエナレン坤不飽和化合物お
よび光重合開始剤に対する相溶性が組成物の塗布液の調
製2塗布Pよび乾燥に至る感光材料の製造工程の全てに
おいて脱混合を起さない程度に良好であること、感光層
あるいはレジストI−として例えば溶液現像にせよ剥離
現(MKせよ像露光後の現像処理が可能であること、感
光層あるいはレジスト層として強靭な皮膜を形成し得る
ことなどの特性を有することが要求され、通常線状有機
高分子重合体より適亘、選択される。結合剤の具体的な
例としては、塩素化ポリエチレン。
塩素化ポリプロピレン、ポリアクリル酸アルキルエステ
ル(アルキル基としては、メチル基、エチル基、n−ブ
チル基、1so−7ナル基、11〜ヘキシル基、、2−
エテルヘキシル基など)、アクリル[フルキルニスアル
(アルキル基は同上)とアクリロニトリル、塩化ビニル
、塩化ビニリデン。
スチレン、ブタジェンなどのモノマーの少なくとも一種
との共重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルとアクリロ
ニトリルとの共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニ
リデンとアクリロニトリルとの共重合体、ポリ酢酸ビニ
ル、ポリビニルアルコール、ポリアクリロ、;トリル、
アクリロニトリルとスチレンとの兵事合体、アクリロニ
トリルとブタジェンおよびスチレンとの共重合体、ポリ
メタアクリル酸アルキルエステル(アルキル基としては
、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基
、1so−ブチル基、n−ヘキシル基。
シクロヘキシル基、λ−エチルヘキシルJIと)。
メタアクリル酸アルキルエステル(アルキル基は同上)
とアクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリチン、ス
チレン、ブタジェンなどのモノマーの少なくとも一種と
の共重合体、ポリスチレン。
ポリ−α−メチルスチレン、ポリアミド(6−ナイロン
、6.乙−ナイロンなど)、メチルセルロース、エチル
セルロース、アセチルセルロース。
ポリビニルフォルマール、ポリビニルブチラールなどが
挙げられる。さらに、水あるいはアルカリ水可皺性有機
高分子重合体を用いると水あるいはアルカリ水現像が可
能となる。このような高分子重合体としては*++鎖に
1ノルボン酸を有する付加重合体、たとえばメタクリル
酸共重合体(た七えば。
メタクリル酸メチルとメタクリル酸との共重合体。
メタクリル酸エチルとメタクリル酸との共重合体。
メタクリル酸ブチルとメタクリル酸との共重合体。
メタクリル酸ベンジルとメタクリル酸との共重合体、ア
クリル酸エテルとメタクリル酸との共重合体、メタクリ
ル酸トステレンおよびメタクリル酸との共重合体など)
、アクリル酸共重合体(アクリル酸エチルとアクリル酸
との共重合体、アクリル酸ブチルとアクリル酸との共重
合体、アクリル酸エテルとスチレンおよびアクリル酸と
の共重合−+2 /一 体など)、さらKはイタコン酸共重合体、クロトン酸共
重合体1部分エステル化マレイン酸共重合体などがあり
、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース
酵導体がある。
これらの高分子重合体は、単独で結合剤として甲いても
よいが、二種以上の互いに相溶性が、塗布液の調製から
塗布、乾燥に至る製造工程中に脱混合を起さない程度に
良い高分子重合体を適合な比で混合して結合剤として用
いることができる。
結合剤として用いられる高分子重合体の分子量は、重合
体の種類により広範な値をとりつるが。
一般には!千〜コθθ万、より好ましくは7万〜100
万の範囲のものが好適である。
本発明の光重合成組成物に、増感剤を更に含有させる場
合にri、一般式(1)で表わされる光重合開始剤との
併用により光重合速度を増大させる増感剤が選択される
。このような増感剤の具体例トシては、ベンゾイン、ベ
ンゾインエチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、
2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、タ
ーフルオー+2+2− レノン、+2−クロロ−ターフルオレノン、2−メチル
−ターフルオレノン、ターアントロン、2−フ゛ロモー
ターアントロン、、2−エテル−ターアントロン、?、
10−アントラキノン、コーエテルータ、io−アント
ラキノン、2−1−ブチル−?、10−アントラキノン
、λ、6−ジクロロー2.10−アントラキノン、キサ
7トン、コーメテルキサントン、2−メトキシキサント
ン、チオキサントン、ベンジル、ジベンザルアセトン、
p−(ジメチルアミノ)フェニルステリルケトン、p−
(ジメテルアi))フェニルp−メチルステリルケトン
、ベンゾフェノン、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン(′またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、ベンズアントロンなどをあげるこ
とができる。これらの化合物のうち、ミヒラーケトンを
用いた場合が特に好ましい。
ざらに1本発明における好ましい増感剤としては、特公
昭j/−≠♂り16号公報中に記載されている下記一般
式(Vl)で表わされる化合物があげられる。
式中、■も1o はアルキル基(例えは、メチル基、エ
チル基、フロビル基など)、まfcは置換アルキル基(
例えば、2−ヒドロキシエチル基、2−メトキシエナル
基、カルボキシメチル基、−一カルボ゛キシエテル基な
ど)を表わす。
ル11 Triアルキル基(例えば、メチル基、エチル
基など)、またはアリール基(例えば、7エ二ル基、p
−ヒドロキシフェニル基、ナフチル基。
ナエニル基など)を表わす。
Zは通常シアニン色素で用いられる窒素を含む複素環核
を形成するのに必要な非金属原子群1例えばベンゾチア
ゾール類(ベンゾチアゾール、!−クロロベンシナアゾ
ール、6−クロロベンゾチアゾールなど)、ナフトチア
ゾール類(α−ナフトチアゾール、β−ナフトチアゾー
ルなど)、ベンゾセレナゾール類(ベンゾセレナゾール
、!−クロロベンゾセレナゾール、6−メドキシベンゾ
セレナゾールなど)、ナフトセレナゾール類(α−ナフ
トセレナゾール、β−ナフトセレナゾールなど)、ベン
ゾオキサゾール類(ベンゾオキサゾール、!−メチルベ
ンゾオキサゾール、ターフェニルベンゾオキサゾールな
ど)、ナフトオキサゾール類(α−ナフトオキサゾール
、β−ナフトオキサゾールなど)を表わす。
一般式(IV)で表わされる化合物の具体例としては、
これらZ、R1,および凡11を組合せた化学構造を有
するものであり、多くのものが公知物質として存在する
。したがって、これら公知のものから適宜選択して使用
することができる。
さらに1本発明における好ましい増感剤としては、米国
特許≠、θ+、z 、trt号記載の増感剤。
例えばj−〔ビス(コーフロイル)メfvン〕−3−メ
チルベンゾチアゾリン、J−[ビス(2−テノイル)メ
チレンクー3−メチルベンゾテアゾーコ j− リン、2−[ビス(,2−フロイル)メチレン]−3−
メチルナ7)(/、2−d)チアゾリンなどが挙げられ
る。
さらに本発明における好ましい増感剤としては以下のも
のがある。
(i) 英5%許1 + 、23 <’ + 64’ 
1号、米国’1l−3,905,Ir/3号1%開昭1
5−24A//3号、特開昭タr−/rj03号公報中
に記載のハロゲン化合物。この代表例としてtd2 、
 A−ジ(トリクロロメチル)−4−(p−メトキシフ
ェニル)−/、J、t−トリアジン、2−トリクロロメ
チル−j−(p−メトキシステリル)−1゜3、ψ−オ
キサジアゾール、ア:7トラキノンーl−スルホニルク
ロリド等を挙げることができる。
(ft) M、LL、5anderら著[Journa
l of PolymerSocieiyJ第7θ巻3
/73頁(1972年)1%開昭31/−421θ2号
、特開昭jコー/3弘tタコ号公報中に記載のアミノ化
合物。この代表例としてはトリエチルアミン、トリエタ
ノールアミン、p−ジメチルアミ7安息香酸エナルエス
テル等を挙け−,24− ることかできる。
(iii) 西独%IPl−(01,8)第2,121
,311号公報記載の亜リン酸トリエチル等の曲リン酸
エステル化合物。
1iv) 特願昭5r−ioozoo号公報記載の2−
メルカブトベンズイミダゾール等のメルカプト化合物。
さらに1本発明の組成物の製造中あるいは保存中におい
てエチレン性不飽和結合を有する重合可能な化合物の不
要な熱重合を阻止するために熱重合防止剤を添加するこ
とが望ましい。適嶋な熱重合防止剤としてはヒドロキノ
ン、p−メトキシフェノール、シーt−7”チル−p−
クレゾール、ヒロガロール、t −−fチルカテコール
、ベンゾキノン、塩(tJ−’M、フェノチアジン、ク
ロラニーIし。
ナノナルアミン。β−ナフトール、ニトロベンゼン、ジ
ニトロベンゼンなどがある。
また場合によっては着色を目的として染料もしくは顔料
1例えばメチレンブルー、クリスタルバイオレット、ロ
ーダミンB、フクシン、オーラミン、アゾ系染料、アン
トラキノン系染料、酸化チタン、カーボンブラック、酸
化鉄、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料などを加えて
もよい。
さらに1本発明の光重合性送成物には必要に応じて可塑
剤を添加することができる。可塑剤の例としては、ジメ
チルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレ
ート、ジヘキシルフタレート、ジシクロへキシルフタレ
ート、ジトリデシルフタレートなどのフタル酸エステル
類、ジメチルグリコールフタレート、エチルフタリルエ
チルクリコレート、ブチルフタリルブチルグリコレート
などのグリコールエステル類、トリクレジルホスフェー
ト、トリフェニルホスフェートなどのリン酸エステル類
、ジイソブナルア:)−e −ト、ジオクチルアジハー
ト、ジブチルセパケート、ジブナルマレートなどの脂肪
族二塩基酸エステル類などがある。
本発明の光重合性組成物は前述の各種構成成分を溶媒中
に溶解せしめ、適当な支持体上に公知の方法により塗面
して甲いられる。次に、この場合の各種構成成分の好ま
しい比率をエチレン性不飽和結合を有する重合可能な化
合物ioo重量部に対する重量部で表わす。
一λター 凸 へ へ ^ ^ ^ ^ 5l−1(> 30− 本発明の光重合性組成物を塗布するときに用いられる溶
媒としては、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、
メチルエテルケトン、メチルセロツル7 、エチルセロ
ソルフ、酢酸メチルセロソルブ、モノクロルベンゼン、
トルエン、キシレン。
酢酸エチル、酢酸ブチルなとである。これらの溶媒は単
独または混合して使用される。
感光性平版印刷版を製造する場合の塗布fは。
一般に固形分として0.1〜/ 0.09 / In”
が適当であり、特に好1しくはo、r〜!、097m 
である。
本発明の光重合性組成物は感光性平版印刷版の感光層と
して好適である。感光性平版印刷版に適した支持体とし
ては、親水化処理したアルミニウム板、たとえばシリケ
ート処理アルミニウム板。
陽極酸化アルミニウム板、シリケート電着したアルミニ
ウム板があり、その他亜鉛板、ステンレス板、クローム
処理銅板、親水化処理したプラスチックフィルムや紙を
挙げゐことができる。
また本発明の組成物をフォトレジストとして使3 l 
− 用する場合には銅板またけ銅メツキ板、ステンレス板、
ガラス板等の種々のものを支持体として用いることがで
きる。
以下1本発明に使用される光重合開始剤の合成例と本発
明の実施例を記すが1本発明はこれに限定されるもので
はない。
合成例 1゜ の製法 アクリジン?、f9およびベンズアルデヒド26.59
を#(i[/−tm?、水7jml!および酢酸ljO
meに溶解させ、O〜r ’Cに冷却した。
これに攪拌しなから備酸第7鉄・7水和物、27゜r9
を水j Ome、に溶解1.また液と、t−ブチル/ミ
ーオキシド1.2.29を同時に滴下した。
滴下後室瀉下で史に30分間撹拌を続は生成した結晶を
過取した。
ベンゼンから再結晶を行い、融点、21r、りoC〜2
.20’Cの結晶を弘、rg得た。
収率 3.2係 32− 元素分析値 c2oH,3NOとして 計算値 C91r:I’11.7/、k156:II、
tlN制(A、F’1分析@ C4:rllJt、H9
1i:11.1it3.N’16:10r合成例 2〜
7 ベンズアルデヒドの代わりにそれぞれ対応するアルデヒ
ドを用いた以外は合成例1と同様の方法で本発明で使用
される光重合開始剤A2.J、6゜7、r、i、2を合
成した。合成した光重合開始剤の融点および元素分析値
を第7表に示す。
33− 実施例 1〜4.比較例 1 ナイロンブラシで砂目立て後シリケート処理したアルミ
ニウム板に回転塗布機を用いて回転連間20Or、p、
m、にて表1に示す光重合開始剤を用いたF艶感′ye
液を塗布(、ioo 0cr分間乾繰シフ、乾燥膜厚約
2μの感光層を形成させ感光板を作成した。
ベンジルメタアクリレート− メタアクリル酸(モル比 7J/、27)共重合体 s、og はツタエリスリトールテトラ アクリレート J、、!:9 光重合開始削 o、irg メナルエテルケトン 、2og メナルセルソルブアセテー) 、209蕗元id真空焼
忰装置を甲いて1作製した感光板上にステップ・ウェッ
ジ(濃度段差θ、/夕、淵I年段数1.5′段)を#き
、21(Wの超高用水銀灯を3.2秒間照射し1帖光後
下記処方の現像液を甲いて旬像した。
3 j− (現イ二−ξ43() リン酸三ナトリウム −259 リン酸−ナトリウム S建 ブチルセルソルブ 7θ9 活性剤 、2.2 mll。
水 /7 現出した画像の対応するステップ・ウェッジの最高段数
を試料の感度として第2表に示した。段数が高いほど感
度も高いことを意味する。また、比較のために本発明の
光重合開始剤の無添加時の感度を比較例(1)として第
2表に示した。
箪ノ表 36− 第2表に示したように1本発明の光■合間始剤を用いた
場合、比較例1に比較してより高い感度を示し1本発明
の所期の効果が十分に認められた。
実施例 5〜11 比較例 2 本発明の光重合開始剤として下記第3表に示す化合物を
用い、また増感剤としてミヒラーケトン0、/≠9を各
々VC添加した以外実施例1と同様の処方で塗布液を調
液し、同じ方法を用いて感光板を作製し7.露光、現像
を行った。
現出した画像の対応するステップウェッジの最高段数を
試料の感度として第3表に示した。またミヒラーケトン
単独使用時の感度を比較例2として第3表に示した。
第 3 表 第3表に示したように、ミヒラーケトン単独使用の比較
例2Vc比較し本発明の光重合開始剤を併用して用いた
場合1/cは感、閣は大幅に上昇する。
また実施例1〜4の第2表と比較しても明ら7)hな様
にミヒラーケトンに一般式(1)で示される光重合開始
剤の石効な増感剤として1切いていることがわかる。
実施例 12〜14 実施例1と同一処方にて調液し、た3個の塗布液に増感
剤として第弘表に示される構造を有する化合物をそれぞ
れ加え3柚類の塗布液を調製した。
第弘表 32− この塗布液を実施例1と同一の方法で塗布し。
感光板を作製し、蕗元、現揮することによりステップウ
ェッジ段数をめた。
結果を第5表に示す。
また比較例3〜5として本発明の光重合開始剤を用いず
、増感剤A、B、Cを単独で使用した場合の感度をめた
。結果を第を表に示す。
第5表 −弘 O− 第 t 表 第!表と第6表から明らかに、増感剤A、B。
Cを添加することにより本発明の光重合開始剤を含む光
重合組成物の感度が良くなることが判る。
特許出願人 富士写真フィルム株式会社−4’/− 手続補正書 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和jり年特願第二θs4′s号2、
発明の名称 光重合性組成物 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 連絡先 〒106東京都港区西麻布2丁目26番30号
富士写真フィルム株式会社東京本社 電話(406) 2537 4、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 5、補正の内容 明細書の「発明の詳細な説明」の項の記載を下記の通シ
補正する。
第3り頁r行目(Cの化合物)の [ と補正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 エチレン性不飽和結合を有する重合可能な化合物と光重
    合開始剤と、必要とするならば結合剤と。 さらに必要とするならば増感剤とからなる光重合性組成
    物において1元重合開始削として少なくとも下記の一般
    式(1)で表わされる化合物を1種含有することを特徴
    とする光重合性組成物。 式中RI HkL 2 + ” 3 # R4e R5
    *凡6゜l(+7およびl(,8i各々独立して水素原
    子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、を換ア
    リール基、ハロゲン原子またはアルコキシ基を表わしR
    9riアリール基、置換アリール基、ペテロ環または置
    換のへテロ環を表わす。
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