JPS60162908A - 赤外線透過反射式厚み測定法 - Google Patents
赤外線透過反射式厚み測定法Info
- Publication number
- JPS60162908A JPS60162908A JP1836484A JP1836484A JPS60162908A JP S60162908 A JPS60162908 A JP S60162908A JP 1836484 A JP1836484 A JP 1836484A JP 1836484 A JP1836484 A JP 1836484A JP S60162908 A JPS60162908 A JP S60162908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- measured
- reflected
- thickness
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は赤外線透過減衰式の厚み測定に関する。従来
、赤外線の透過減衰式の厚み測定においては被測定物の
片側に赤外光源を置き、その反対側に検出部を位置させ
ることにより、赤外線が被測定物を透過する際に受ける
減衰の量を測定することにより厚みを測定していたが、
被測定物を赤外線が透過する際には干渉の影響を受け、
この干渉の影響が被測定物の厚さに誤差範囲内の影響の
み与える範囲の厚めの被測定物の測定に利用を挾められ
ていた。
、赤外線の透過減衰式の厚み測定においては被測定物の
片側に赤外光源を置き、その反対側に検出部を位置させ
ることにより、赤外線が被測定物を透過する際に受ける
減衰の量を測定することにより厚みを測定していたが、
被測定物を赤外線が透過する際には干渉の影響を受け、
この干渉の影響が被測定物の厚さに誤差範囲内の影響の
み与える範囲の厚めの被測定物の測定に利用を挾められ
ていた。
この発明は検出部と赤外光源を被測定物の片側の同一光
軸に置くことにより検出部へ到達する赤外線の干渉の影
響を吸収する。
軸に置くことにより検出部へ到達する赤外線の干渉の影
響を吸収する。
第１図を用いて説明すると赤外光源である黒体炉１より
発せられた赤外線ＮＡはハーフミラ−２で反射し、被測
定物３に入射し、このとき干渉を受け、前面反射ミラー
４に到り、同一光軸上の反対方向に反射され、再度、被
測定物３を透過し、ハーフミラ−２を通り、レンズ６で
赤外検出器５へ集光されて電気変換しデータ処理部７で
演算するが、被測定物３の上部及び下部の境界面を考え
ると、赤外線が入射したとき一部は反射し、一部は透過
する。これが上部境界面と下部境界面との間で多重反射
を起こし、干渉となって表われる原因であるが、各境界
面では反射する赤外線の量と透過する赤外線の量は入射
する赤外線の量と一致する。
発せられた赤外線ＮＡはハーフミラ−２で反射し、被測
定物３に入射し、このとき干渉を受け、前面反射ミラー
４に到り、同一光軸上の反対方向に反射され、再度、被
測定物３を透過し、ハーフミラ−２を通り、レンズ６で
赤外検出器５へ集光されて電気変換しデータ処理部７で
演算するが、被測定物３の上部及び下部の境界面を考え
ると、赤外線が入射したとき一部は反射し、一部は透過
する。これが上部境界面と下部境界面との間で多重反射
を起こし、干渉となって表われる原因であるが、各境界
面では反射する赤外線の量と透過する赤外線の量は入射
する赤外線の量と一致する。
干渉の影響が一方向へ強く表わ扛る原因は各境界面で入
射した赤外線が反射され、透過するときの反射の分量と
透過の分量とのバランスのくずれであるが、黒体炉１と
赤外検出器５を被測定物３の同一光軸の同一方向に位置
させることにより、各境界面の反射赤外線も透過赤外線
も赤外検出器５に集光することが出来る。このことによ
り赤外検出器５には、各境界面でバランスがくずれて一
方向に強い光がいき、逆方向に強い光がいっても、その
総ての光が入射することになり、結果として黒体炉より
赤外検出器へ到る赤外線Ｎ １１は、干渉があっても、
又、ないとしても被測定物３で減衰する以外の影響は受
けていないことになる。
射した赤外線が反射され、透過するときの反射の分量と
透過の分量とのバランスのくずれであるが、黒体炉１と
赤外検出器５を被測定物３の同一光軸の同一方向に位置
させることにより、各境界面の反射赤外線も透過赤外線
も赤外検出器５に集光することが出来る。このことによ
り赤外検出器５には、各境界面でバランスがくずれて一
方向に強い光がいき、逆方向に強い光がいっても、その
総ての光が入射することになり、結果として黒体炉より
赤外検出器へ到る赤外線Ｎ １１は、干渉があっても、
又、ないとしても被測定物３で減衰する以外の影響は受
けていないことになる。
上記のように赤外線厚み計の光学系を配置させることに
より、今寸で干渉の影響を受ける為に測圧が不可能であ
った極薄物の被測定物の測定が可能になるとともに、今
寸での被測定物の測定精度向上の効果がある。
より、今寸で干渉の影響を受ける為に測圧が不可能であ
った極薄物の被測定物の測定が可能になるとともに、今
寸での被測定物の測定精度向上の効果がある。
第１図は赤外線透過反射式厚み測定法の光学系を示す側
面図である。 特許出願人 株式会社ジャパン・センサー・コーポレイ
ション 一第１図− 手続補正書（方式） ％式％ １ 事件の表示 昭和５９年特許願第１８３６４号２、
発明の名称 赤外線透過反射式厚み測定法３ 補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都目黒区上目黒１丁目３番９号□５ 補正
の対象 明 細 書 ６ 補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし）／＋
−−− ／
面図である。 特許出願人 株式会社ジャパン・センサー・コーポレイ
ション 一第１図− 手続補正書（方式） ％式％ １ 事件の表示 昭和５９年特許願第１８３６４号２、
発明の名称 赤外線透過反射式厚み測定法３ 補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都目黒区上目黒１丁目３番９号□５ 補正
の対象 明 細 書 ６ 補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし）／＋
−−− ／
Claims (1)
- 赤外線の透過減衰式測定法による厚み計測において赤外
光源と検出装置を被測定物に対し同一光線」−の片側に
位置させることにより赤外線の干渉による影響を光学的
に除く方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1836484A JPS60162908A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 赤外線透過反射式厚み測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1836484A JPS60162908A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 赤外線透過反射式厚み測定法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60162908A true JPS60162908A (ja) | 1985-08-24 |
Family
ID=11969639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1836484A Pending JPS60162908A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 赤外線透過反射式厚み測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60162908A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005049350A (ja) * | 1999-08-06 | 2005-02-24 | Thermo Electron Corp-Point Of Care Rapid Diagnostics | 薄膜による光の減衰に基づく分析結合アッセイ用装置 |
-
1984
- 1984-02-06 JP JP1836484A patent/JPS60162908A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005049350A (ja) * | 1999-08-06 | 2005-02-24 | Thermo Electron Corp-Point Of Care Rapid Diagnostics | 薄膜による光の減衰に基づく分析結合アッセイ用装置 |
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