JPH0151124B2 - - Google Patents
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- JPH0151124B2 JPH0151124B2 JP58018679A JP1867983A JPH0151124B2 JP H0151124 B2 JPH0151124 B2 JP H0151124B2 JP 58018679 A JP58018679 A JP 58018679A JP 1867983 A JP1867983 A JP 1867983A JP H0151124 B2 JPH0151124 B2 JP H0151124B2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 83
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 41
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 30
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 20
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は表面粗さ検出装置の改良に係り、特
に、検査表面に投光して、該光の検査表面におけ
る反射率から表面粗さを検出するようにした表面
粗さ検出装置の改良に関する。
に、検査表面に投光して、該光の検査表面におけ
る反射率から表面粗さを検出するようにした表面
粗さ検出装置の改良に関する。
従来、表面粗さ検出装置の一つとして、触針式
表面粗さ検出装置があるが、これは、例えば、被
測定物表面が鏡面に近い状態の場合は、測定子が
被測定物表面に接触することによつて表面状態を
悪化させてしまい、且つ、正確な測定が困難とな
るという問題点があつた。
表面粗さ検出装置があるが、これは、例えば、被
測定物表面が鏡面に近い状態の場合は、測定子が
被測定物表面に接触することによつて表面状態を
悪化させてしまい、且つ、正確な測定が困難とな
るという問題点があつた。
これに対して、物体表面を傷つけることなく光
学的に非接触で表面粗さを測定する装置が採用さ
れている。
学的に非接触で表面粗さを測定する装置が採用さ
れている。
かかる光学的手段による非接触の表面粗さ検出
装置は、一般に、例えば光フアイバ等からなる光
学系を介して、被測定物表面に投光し、その反射
光線を捉え、物体表面の反射率から表面粗さを検
出するものである。
装置は、一般に、例えば光フアイバ等からなる光
学系を介して、被測定物表面に投光し、その反射
光線を捉え、物体表面の反射率から表面粗さを検
出するものである。
かかる表面粗さ検出装置は、非接触で測定でき
るという利点があるが、被測定物表面における反
射光線の出力が微細となることがある等の理由に
よつて、光学系からの投光角度、光学系による受
光角度、光学系と測定面との距離および光学系の
光軸と測定面との角度が固定的とされていて、実
用化が困難であつた。
るという利点があるが、被測定物表面における反
射光線の出力が微細となることがある等の理由に
よつて、光学系からの投光角度、光学系による受
光角度、光学系と測定面との距離および光学系の
光軸と測定面との角度が固定的とされていて、実
用化が困難であつた。
又、例えば特開昭57−163851号公報に開示され
るように、投光用フアイバーに対して受光用フア
イバーを該投光用フアイバーと平行に配置すると
共に、これと一定角度に、第２の受光用フアイバ
ーを設けて、最も感度良く被測定物表面を測定で
きるようにしたものがあるが、この光フアイバー
は、表面粗さ検出に際して最も感度のよい受光角
度を開示したに過ぎないものである。
るように、投光用フアイバーに対して受光用フア
イバーを該投光用フアイバーと平行に配置すると
共に、これと一定角度に、第２の受光用フアイバ
ーを設けて、最も感度良く被測定物表面を測定で
きるようにしたものがあるが、この光フアイバー
は、表面粗さ検出に際して最も感度のよい受光角
度を開示したに過ぎないものである。
従つて、この光フアイバーのみでは、正確な表
面粗さを得ることができない。
面粗さを得ることができない。
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされた
ものであつて、投光および受光角度、被測定面と
光学系との距離、被測定面と光学系の光軸との角
度等の変動があつても、感度よく正確に表面粗さ
を検出することができる表面粗さ検出装置を提供
することを目的とする。
ものであつて、投光および受光角度、被測定面と
光学系との距離、被測定面と光学系の光軸との角
度等の変動があつても、感度よく正確に表面粗さ
を検出することができる表面粗さ検出装置を提供
することを目的とする。
又この発明は、被測定物表面の材質、表面状態
等によつて生じる表面反射率の違いを補正して、
感度よく表面粗さを検出することができるように
した表面粗さ検出装置を提供することを目的とす
る。
等によつて生じる表面反射率の違いを補正して、
感度よく表面粗さを検出することができるように
した表面粗さ検出装置を提供することを目的とす
る。
この発明は、光軸が相互に交差する第１光学系
および第２光学系と、前記第１光学系および第２
光学系の少なくとも一方を介して検査面に投光す
る光源装置と、前記検査面からの反射光を前記第
１光学系を介して受光する第１受光器と、前記検
査面からの反射光を前記第２光学系を介して受光
する第２受光器と、を有してなる表面粗さ検出装
置において、前記第１受光器および第２受光器の
出力の比FD＝Fe／Foを求める割算器と、この割
算器による割算器出力FDと測定物の材質加工条
件等により異なる定数Ｍ，Ｋを用いてRa＝10
（FD−Ｍ／Ｋ）を逆対数演算するための演算装置と、 を設けることにより上記目的を達成するものであ
る。
および第２光学系と、前記第１光学系および第２
光学系の少なくとも一方を介して検査面に投光す
る光源装置と、前記検査面からの反射光を前記第
１光学系を介して受光する第１受光器と、前記検
査面からの反射光を前記第２光学系を介して受光
する第２受光器と、を有してなる表面粗さ検出装
置において、前記第１受光器および第２受光器の
出力の比FD＝Fe／Foを求める割算器と、この割
算器による割算器出力FDと測定物の材質加工条
件等により異なる定数Ｍ，Ｋを用いてRa＝10
（FD−Ｍ／Ｋ）を逆対数演算するための演算装置と、 を設けることにより上記目的を達成するものであ
る。
又この発明は、前記表面粗さ検出装置において
前記第１光学系および第２光学系の両方を、往路
及び復路を備えた光フアイバーから構成すること
により上記目的を達成するものである。
前記第１光学系および第２光学系の両方を、往路
及び復路を備えた光フアイバーから構成すること
により上記目的を達成するものである。
又この発明は、前記表面粗さ検出装置におい
て、前記第１光学系および第２光学系の一方を、
往路および復路を備えた光フアイバーから構成す
ることにより上記目的を達成するものである。
て、前記第１光学系および第２光学系の一方を、
往路および復路を備えた光フアイバーから構成す
ることにより上記目的を達成するものである。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
この実施例は、第１図に示されるように、光軸
が相互に30゜の角度で交差する第１光学系１１お
よび第２光学系１２と、前記第１光学系１１およ
び第２光学系１２を介して検査面１３に投光する
光源装置１４と、前記検査面１３からの反射光を
前記第１光学系１１を介して受光する第１受光器
１５と、前記検査面１３からの反射光を前記第２
光学系１２を介して受光する第２受光器１６と、
前記第１受光器１５および第２受光器１６の出力
の比を求める割算器１７と、この割算器１７によ
る割算器出力を逆対数演算するための演算装置１
８と、により表面粗さ検出装置を構成したもので
ある。
が相互に30゜の角度で交差する第１光学系１１お
よび第２光学系１２と、前記第１光学系１１およ
び第２光学系１２を介して検査面１３に投光する
光源装置１４と、前記検査面１３からの反射光を
前記第１光学系１１を介して受光する第１受光器
１５と、前記検査面１３からの反射光を前記第２
光学系１２を介して受光する第２受光器１６と、
前記第１受光器１５および第２受光器１６の出力
の比を求める割算器１７と、この割算器１７によ
る割算器出力を逆対数演算するための演算装置１
８と、により表面粗さ検出装置を構成したもので
ある。
前記第１光学系１１および第２光学系１２は、
それぞれ往路および復路を備えた光フアイバーか
ら構成されている。
それぞれ往路および復路を備えた光フアイバーか
ら構成されている。
これら第１光学系１１および第２光学系１２の
光フアイバは、共に内側に投光用の光フアイバを
円形に束ね、又その外側に同心リング状に受光用
の光フアイバを束ねたものであり、投光用および
受光用の光フアイバの面積比は１：１とされてい
る。
光フアイバは、共に内側に投光用の光フアイバを
円形に束ね、又その外側に同心リング状に受光用
の光フアイバを束ねたものであり、投光用および
受光用の光フアイバの面積比は１：１とされてい
る。
前記第１受光器１５および第２受光器１６は、
それぞれ、受光した反射光線を電気信号に光電変
換するフオトトランジスタとされ、その出力電気
信号をアンプ１９を介してそれぞれ前記割算器１
７に出力するようにされている。
それぞれ、受光した反射光線を電気信号に光電変
換するフオトトランジスタとされ、その出力電気
信号をアンプ１９を介してそれぞれ前記割算器１
７に出力するようにされている。
前記演算装置１８は、前記第１受光器１５から
の出力Foと第２受光器１６からの出力Feの比FD
＝Fe／Foに基づき、中心線平均粗さRa＝10
（FD−Ｍ／Ｋ）を演算する逆対数演算装置とされて いる。ここでＭ，Ｋは測定物の材質加工条件等に
よつて異なる定数である。
の出力Foと第２受光器１６からの出力Feの比FD
＝Fe／Foに基づき、中心線平均粗さRa＝10
（FD−Ｍ／Ｋ）を演算する逆対数演算装置とされて いる。ここでＭ，Ｋは測定物の材質加工条件等に
よつて異なる定数である。
上記第１図に示される表面粗さ検出装置によつ
て検査面１３の表面粗さを測定する場合は、同図
に示されるように、第１光学系１１を、その光軸
が検査面１３と直交するように配置するととも
に、第２光学系１２を、その光軸が検査面１３に
おいて前記第１光学系１１と交差角度θをもつて
交差するように配置する。
て検査面１３の表面粗さを測定する場合は、同図
に示されるように、第１光学系１１を、その光軸
が検査面１３と直交するように配置するととも
に、第２光学系１２を、その光軸が検査面１３に
おいて前記第１光学系１１と交差角度θをもつて
交差するように配置する。
次に、上記実施例装置によつて検査面１３の表
面粗さを測定する原理およびその原理における理
論計算式ならびにこの理論計算式を実証する実験
値について説明する。
面粗さを測定する原理およびその原理における理
論計算式ならびにこの理論計算式を実証する実験
値について説明する。
実験は、第１光学系１１および第２光学系１２
共に、内側に直径0.8mmの投光用の光フアイバを、
又、その外側にリング状に外径が1.2mmの光フア
イバを各々300本束ねたものであつて、面積比は
１：１とした。又、第１光学系１１と第２光学系
１２の交差角度θ＝30゜とした。
共に、内側に直径0.8mmの投光用の光フアイバを、
又、その外側にリング状に外径が1.2mmの光フア
イバを各々300本束ねたものであつて、面積比は
１：１とした。又、第１光学系１１と第２光学系
１２の交差角度θ＝30゜とした。
光源装置１４としては、タングステンランプ
を、又第１光学系１１および第２光学系１２によ
り照射される検査面１３におけるスポツト径は約
1.5mm、第１光学系１１および第２光学系１２先
端と検査面１３とのギヤツプを約２乃至３mmとし
た。
を、又第１光学系１１および第２光学系１２によ
り照射される検査面１３におけるスポツト径は約
1.5mm、第１光学系１１および第２光学系１２先
端と検査面１３とのギヤツプを約２乃至３mmとし
た。
一般に研削面の場合その断面曲線から得られる
表面傾斜角が正規分布となることが知られている
が、中心線平均粗さRaが0.2μｍおよび0.8μｍの表
面粗さ標準片を測定した実験の結果、その断面曲
線における表面傾斜角の分布は第２図ａおよびｂ
に示されるヒストグラムのようになつた。
表面傾斜角が正規分布となることが知られている
が、中心線平均粗さRaが0.2μｍおよび0.8μｍの表
面粗さ標準片を測定した実験の結果、その断面曲
線における表面傾斜角の分布は第２図ａおよびｂ
に示されるヒストグラムのようになつた。
第２図ａおよびｂのヒストグラムは正規分布を
示し、理論値と実験値が略一致していることがわ
かる。
示し、理論値と実験値が略一致していることがわ
かる。
従つて、表面傾斜角をθsとし、表面傾斜角分布
の標準偏差をσesとすると、分布関数ｆ（θs）は、 で表わされることになる。
の標準偏差をσesとすると、分布関数ｆ（θs）は、 で表わされることになる。
従つて２系統の光学系１１および１２で受光さ
れる検査面１３からの反射光についても同様に正
規分布するものと考えられる。
れる検査面１３からの反射光についても同様に正
規分布するものと考えられる。
ここで光フアイバは開口数N.Aによる固有の受
光角（光フアイバが受光可能な入射角）を有する
ため、検出有効範囲が限定される。実験に使用し
た第１光学系１１および第２光学系１２の垂直光
フアイバFoおよび傾斜光フアイバFeは共にN.A
≒0.26であり、有効受光角は約7゜となる。測定物
からの総反射光量をΦとすると、(1)式より Φ＝∫∞ -∞ｆ（θs）dθs ……(2) となる。又光フアイバが受光可能な反射光量をΦ
とすると、次式で表わすことができる。
光角（光フアイバが受光可能な入射角）を有する
ため、検出有効範囲が限定される。実験に使用し
た第１光学系１１および第２光学系１２の垂直光
フアイバFoおよび傾斜光フアイバFeは共にN.A
≒0.26であり、有効受光角は約7゜となる。測定物
からの総反射光量をΦとすると、(1)式より Φ＝∫∞ -∞ｆ（θs）dθs ……(2) となる。又光フアイバが受光可能な反射光量をΦ
とすると、次式で表わすことができる。
Φ＝∫b aｆ（θs）dθs ……(3)
(3)式における定数ａ，ｂは光フアイバの有効受
光角で決定される。
光角で決定される。
ここで、光フアイバが受光できる反射光量を検
出確率Ｑと呼ぶことにすると Ｑ＝Φ／Φ ……(4) となる。
出確率Ｑと呼ぶことにすると Ｑ＝Φ／Φ ……(4) となる。
第３図に示されるように、測定物の反射角θsの
表面で反射される光の反射角θrは θr＝2θs ……(5) となる。
表面で反射される光の反射角θrは θr＝2θs ……(5) となる。
よつて垂直フアイバFoの検出確率Qoは、第４
図に示されるように正規分布の中心に対して±
3.5゜、又θ＝30゜の傾斜フアイバFeの検出確率Qe
は、正規分布の中心から15゜ずれた位置を中心に
±3.5゜の範囲の積分値として求められる。
図に示されるように正規分布の中心に対して±
3.5゜、又θ＝30゜の傾斜フアイバFeの検出確率Qe
は、正規分布の中心から15゜ずれた位置を中心に
±3.5゜の範囲の積分値として求められる。
第５図に検出確率Qo，Qeの計算結果を示す。
Qo，QeおよびQD＝Qe／Qoについて対数近似を
最小自乗法により求めると、 Qo＝1.09−0.08logσes ……(6) Qe＝−0.11＋0.19logσes ……(7) QD＝−1.67＋1.72logσes ……(8) （相関係数γ＝0.97） となる。
Qo，QeおよびQD＝Qe／Qoについて対数近似を
最小自乗法により求めると、 Qo＝1.09−0.08logσes ……(6) Qe＝−0.11＋0.19logσes ……(7) QD＝−1.67＋1.72logσes ……(8) （相関係数γ＝0.97） となる。
第６図に、表面粗さ標準片について測定した結
果を示す。ここでは、縦軸は光フアイバの出力値
である。この時の、Fo，FeおよびFD＝Fe／Foの
対数関数近似を最小自乗法により求めると、 Fo＝8.90−6.27logσes ……(9) Fe＝0.16＋1.22logσes ……(10) FD＝−5.48＋11.59logσes ……(11) （相関係数γ＝0.95） となつた。
果を示す。ここでは、縦軸は光フアイバの出力値
である。この時の、Fo，FeおよびFD＝Fe／Foの
対数関数近似を最小自乗法により求めると、 Fo＝8.90−6.27logσes ……(9) Fe＝0.16＋1.22logσes ……(10) FD＝−5.48＋11.59logσes ……(11) （相関係数γ＝0.95） となつた。
以上の通り、表面傾斜角分布θsの標準偏差σes
に対する２系統の光フアイバ出力の比FDとの相
関性は、第５図の検出確率の理論計算値と比較し
て明らかなように、定性的に一致性が高い。
に対する２系統の光フアイバ出力の比FDとの相
関性は、第５図の検出確率の理論計算値と比較し
て明らかなように、定性的に一致性が高い。
表面傾斜角分布の標準偏差σesにより表面粗さ
を測定するのは実用的でない。そこで、σes−Ra
の関係式を実験的に求め、その結果を第７図に示
す。最小自乗法により対数近似を行い、 σes＝−11.03＋6.96logRa ……(12) （相関係数γ＝0.99） を得た。
を測定するのは実用的でない。そこで、σes−Ra
の関係式を実験的に求め、その結果を第７図に示
す。最小自乗法により対数近似を行い、 σes＝−11.03＋6.96logRa ……(12) （相関係数γ＝0.99） を得た。
同様に、FD−Raの関係式を求めると、
FD＝−6.07＋4.22logRa ……(13)
（相関係数γ＝0.99）
を得た（第８図参照）。
以上の結果から、光フアイバによる研削加工面
の中心線平均粗さRaの測定の場合、次の一般式
で表わすことができる。
の中心線平均粗さRaの測定の場合、次の一般式
で表わすことができる。
FD＝Ｍ＋KlogRa ……(14)
故に、
となる。ただし、Ｍ，Ｋは測定物の材質、加工条
件等により異なる定数である。
件等により異なる定数である。
よつて、光フアイバ出力FDとRaの関係を直線
化させるには、逆対数演算による変換を行えばよ
いことになる。
化させるには、逆対数演算による変換を行えばよ
いことになる。
従つて、上記実施例に係る表面粗さ検出装置に
おいては、演算装置１８における計算条件とし
て、前記（14）式および（15）式における定数Ｍ
およびＫを測定物の材質、加工条件等に応じて予
め設定しておけば、第１光学系１１および第２光
学系１２を介して第１受光器および第２受光器に
受光された２系統の反射光出力の比に基づき、表
面粗さRaを検出することができる。
おいては、演算装置１８における計算条件とし
て、前記（14）式および（15）式における定数Ｍ
およびＫを測定物の材質、加工条件等に応じて予
め設定しておけば、第１光学系１１および第２光
学系１２を介して第１受光器および第２受光器に
受光された２系統の反射光出力の比に基づき、表
面粗さRaを検出することができる。
前記実験条件で、上記実施例装置によつて表面
粗さ標準片を測定した結果は第９図に示されるよ
うになつた。
粗さ標準片を測定した結果は第９図に示されるよ
うになつた。
この第９図からも明らかなように、実験結果
は、実際の表面粗さと略一致している。
は、実際の表面粗さと略一致している。
尚上記実施例装置は、第１光学系１１および第
２光学系１２の両方から検査面１３に光源装置１
４を介して投光するようにしているが、これはど
ちらか一方の光学系のみから投光するようにして
もよい。
２光学系１２の両方から検査面１３に光源装置１
４を介して投光するようにしているが、これはど
ちらか一方の光学系のみから投光するようにして
もよい。
又、上記実施例は、第１光学系１１の光軸が検
査面１３に対して垂直となり、且つ、第２光学系
１２の光軸が第１光学系１１の光軸に対して30゜
の角度で交差するように配置しているが、本発明
はこれに限定されるものでなく、検査面１３に対
する傾斜角度および両光学系１１および１２の交
差角度θは検査面１３の状態に応じて０＜θ＜
90゜の範囲で任意である（θ≧90゜となると反射光
を受光できない）。
査面１３に対して垂直となり、且つ、第２光学系
１２の光軸が第１光学系１１の光軸に対して30゜
の角度で交差するように配置しているが、本発明
はこれに限定されるものでなく、検査面１３に対
する傾斜角度および両光学系１１および１２の交
差角度θは検査面１３の状態に応じて０＜θ＜
90゜の範囲で任意である（θ≧90゜となると反射光
を受光できない）。
又、前記第１光学系および第２光学系１１，１
２は、共に往路および復路を備えた光フアイバよ
り構成されているが、本発明はこれに限定される
ものでなく、例えば、第１光学系は往路と復路、
第２光学系は復路のみとしてもよく、更に、光フ
アイバ以外によつて光学系を構成するようにして
もよい。
２は、共に往路および復路を備えた光フアイバよ
り構成されているが、本発明はこれに限定される
ものでなく、例えば、第１光学系は往路と復路、
第２光学系は復路のみとしてもよく、更に、光フ
アイバ以外によつて光学系を構成するようにして
もよい。
本発明は上記のように構成したので、二つの光
学系からの出力の比によつて表面粗さを検出する
ことができ、従つて、光学系の投光および受光角
度、光学系と検査面との距離、検査面との角度等
の変動があつて、二つの光学系からの出力信号が
微細となつても、感度よく表面粗さを検出するこ
とができ、又、前記条件の変化に対する適用範囲
を拡大することができるとともに、単に表面粗さ
に関連する抽象的な出力を得るようにされた従来
の表面粗さ検出装置に対して、具体的な中心線平
均粗さを検出することができるという優れた効果
を有する。
学系からの出力の比によつて表面粗さを検出する
ことができ、従つて、光学系の投光および受光角
度、光学系と検査面との距離、検査面との角度等
の変動があつて、二つの光学系からの出力信号が
微細となつても、感度よく表面粗さを検出するこ
とができ、又、前記条件の変化に対する適用範囲
を拡大することができるとともに、単に表面粗さ
に関連する抽象的な出力を得るようにされた従来
の表面粗さ検出装置に対して、具体的な中心線平
均粗さを検出することができるという優れた効果
を有する。
第１図は本発明に係る表面粗さ検出装置の実施
例を示すブロツク図、第２図は研削面における断
面曲線の表面傾斜角分布を示すヒストグラム、第
３図は測定面の断面曲線における表面傾斜角と該
傾斜表面における光の反射角との関係を示す光学
図、第４図は測定面の断面曲線における表面傾斜
角の分布を示す線図、第５図は２系統の光フアイ
バにおける検出確率およびこれらの検出確率の比
の理論計算値を示す線図、第６図は２系統の光フ
アイバの出力値およびこれらの比の実測値を示す
線図、第７図は不特定面の表面傾斜角分布の標準
偏差と該表面の中心線平均粗さとの関係を実験的
に求めた結果を示す線図、第８図は２系統の光フ
アイバ出力の比と中心線平均粗さとの関係を実験
的に求めた結果を示す線図、第９図は本発明に係
る表面粗さ検出装置による測定結果と実際の表面
粗さとの関係を示す線図である。 １１……第１光学系、１２……第２光学系、１
３……検査面、１４……光源装置、１５……第１
受光器、１６……第２受光器、１７……割算器、
１８……演算装置、θ……交差角度。
例を示すブロツク図、第２図は研削面における断
面曲線の表面傾斜角分布を示すヒストグラム、第
３図は測定面の断面曲線における表面傾斜角と該
傾斜表面における光の反射角との関係を示す光学
図、第４図は測定面の断面曲線における表面傾斜
角の分布を示す線図、第５図は２系統の光フアイ
バにおける検出確率およびこれらの検出確率の比
の理論計算値を示す線図、第６図は２系統の光フ
アイバの出力値およびこれらの比の実測値を示す
線図、第７図は不特定面の表面傾斜角分布の標準
偏差と該表面の中心線平均粗さとの関係を実験的
に求めた結果を示す線図、第８図は２系統の光フ
アイバ出力の比と中心線平均粗さとの関係を実験
的に求めた結果を示す線図、第９図は本発明に係
る表面粗さ検出装置による測定結果と実際の表面
粗さとの関係を示す線図である。 １１……第１光学系、１２……第２光学系、１
３……検査面、１４……光源装置、１５……第１
受光器、１６……第２受光器、１７……割算器、
１８……演算装置、θ……交差角度。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光軸が相互に交差する第１光学系および第２
光学系と、前記第１光学系および第２光学系の少
なくとも一方を介して検査面に投光する光源装置
と、前記検査面からの反射光を前記第１光学系を
介して受光する第１受光器と、前記検査面からの
反射光を前記第２光学系を介して受光する第２受
光器と、を有してなる表面粗さ検出装置におい
て、前記第１受光器および第２受光器の出力の比
FD＝Fe／Foを求める割算器と、この割算器によ
る割算器出力FDと測定物の材質、加工条件等に
より異なる定数Ｍ，Ｋを用いてRa＝10（FD−Ｍ／Ｋ） を逆対数演算するための演算装置と、を有してな
る表面粗さ検出装置。 ２ 前記第１光学系および第２光学系の両方を、
往路及び復路を備えた光フアイバーから構成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表
面粗さ検出装置。 ３ 前記第１光学系および第２光学系の一方を、
往路および復路を備えた光フアイバーから構成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
表面粗さ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1867983A JPS59143908A (ja) | 1983-02-07 | 1983-02-07 | 表面粗さ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1867983A JPS59143908A (ja) | 1983-02-07 | 1983-02-07 | 表面粗さ検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59143908A JPS59143908A (ja) | 1984-08-17 |
| JPH0151124B2 true JPH0151124B2 (ja) | 1989-11-01 |
Family
ID=11978291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1867983A Granted JPS59143908A (ja) | 1983-02-07 | 1983-02-07 | 表面粗さ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59143908A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4892406A (en) * | 1988-01-11 | 1990-01-09 | United Technologies Corporation | Method of and arrangement for measuring vibrations |
| JPH0660813B2 (ja) * | 1990-01-16 | 1994-08-10 | 政則 栗田 | 表面粗さ測定装置および表面粗さ測定方法 |
| CN104121872B (zh) * | 2013-04-26 | 2018-04-13 | 通用电气公司 | 表面粗糙度测量装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57163851A (en) * | 1981-04-01 | 1982-10-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Optical fiber |
-
1983
- 1983-02-07 JP JP1867983A patent/JPS59143908A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57163851A (en) * | 1981-04-01 | 1982-10-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Optical fiber |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59143908A (ja) | 1984-08-17 |
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