JPH0727536A - 形状測定方法及び装置 - Google Patents
形状測定方法及び装置Info
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- JPH0727536A JPH0727536A JP16793993A JP16793993A JPH0727536A JP H0727536 A JPH0727536 A JP H0727536A JP 16793993 A JP16793993 A JP 16793993A JP 16793993 A JP16793993 A JP 16793993A JP H0727536 A JPH0727536 A JP H0727536A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザー変位計から得られる信号に処理を加
えることによって、変位計に格別の変更を加えずに、透
明被測定物等の表面形状を正確、迅速に測定。 【構成】 走査位置Ｘ1 〜Ｘn に対して得られた表面変
位データＹ1 〜Ｙm 全てを最小二乗法で直線近似して
（ＳＴ２）その傾き成分を除去し（ＳＴ３）、次いで、
傾き成分を除去した表面変位データをメジアンフィルタ
ー（ＳＴ４〜ＳＴ７）で処理して、表面形状のうねり成
分を求める。
えることによって、変位計に格別の変更を加えずに、透
明被測定物等の表面形状を正確、迅速に測定。 【構成】 走査位置Ｘ1 〜Ｘn に対して得られた表面変
位データＹ1 〜Ｙm 全てを最小二乗法で直線近似して
（ＳＴ２）その傾き成分を除去し（ＳＴ３）、次いで、
傾き成分を除去した表面変位データをメジアンフィルタ
ー（ＳＴ４〜ＳＴ７）で処理して、表面形状のうねり成
分を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、形状測定方法及び装置
に関し、特に、透明な被測定物体のレーザー変位計を用
いた形状測定に適した方法及び装置に関するものであ
る。
に関し、特に、透明な被測定物体のレーザー変位計を用
いた形状測定に適した方法及び装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、三角測量方式を用いたレーザ
ー変位計が形状測定に用いられている。その原理を図８
に示す。レーザー変位計１の基本原理は、その中に内蔵
されたレーザー光源２からレーザー光３を被測定物Ｓの
表面に対して斜めに照射し、被測定物Ｓの表面から反射
されたレーザー光４をレーザー変位計１中の受光部５へ
入射させ、その受光部５に内蔵されたポジションセンサ
ーで反射光４の受光位置を読み取ることによって、変位
計１と被測定物Ｓの表面との距離を三角測量方式で算出
するものである。
ー変位計が形状測定に用いられている。その原理を図８
に示す。レーザー変位計１の基本原理は、その中に内蔵
されたレーザー光源２からレーザー光３を被測定物Ｓの
表面に対して斜めに照射し、被測定物Ｓの表面から反射
されたレーザー光４をレーザー変位計１中の受光部５へ
入射させ、その受光部５に内蔵されたポジションセンサ
ーで反射光４の受光位置を読み取ることによって、変位
計１と被測定物Ｓの表面との距離を三角測量方式で算出
するものである。
【０００３】このレーザー変位計を用いて透明体の表面
形状を測定する場合、大部分のレーザー光線が透明体の
表面で反射せずに透過してしまうため、透明体表面での
反射光以外の裏面反射光等も受光してしまい、測定誤差
を生じることがあった。
形状を測定する場合、大部分のレーザー光線が透明体の
表面で反射せずに透過してしまうため、透明体表面での
反射光以外の裏面反射光等も受光してしまい、測定誤差
を生じることがあった。
【０００４】このようなレーザー変位計を２台対向配置
してその間に置かれた透明体の厚みを測定する際に、互
いに相手側から出力されるレーザー光を受光用ポジショ
ンセンサーに入射させないようにして、測定誤差を防止
しているものが、例えば特開平３−１１５９１１号にお
いて提案されている。
してその間に置かれた透明体の厚みを測定する際に、互
いに相手側から出力されるレーザー光を受光用ポジショ
ンセンサーに入射させないようにして、測定誤差を防止
しているものが、例えば特開平３−１１５９１１号にお
いて提案されている。
【０００５】ところが、透明な被測定物Ｓの裏面形状あ
るいは屈折率分布によっては、図９に示すように、その
内部でレーザー変位計１からのレーザー光３が乱反射
し、その乱反射光６が変位計１の受光部５に入射するこ
とがある。この場合では、透明体Ｓ表面で反射したレー
ザー光４と乱反射光６の区別を偏光方向の差によって区
別することはできない。
るいは屈折率分布によっては、図９に示すように、その
内部でレーザー変位計１からのレーザー光３が乱反射
し、その乱反射光６が変位計１の受光部５に入射するこ
とがある。この場合では、透明体Ｓ表面で反射したレー
ザー光４と乱反射光６の区別を偏光方向の差によって区
別することはできない。
【０００６】そこで、本発明者は、被測定面から近接し
た一定の距離を保つように動作する小穴に、被測定面か
ら反射したレーザー光４のみが通るような構成にして、
乱反射光６が入射するのを防止したレーザー変位計を提
案した（特願平４−３０７４７号）。すなわち、図１０
に模式的に示すように、レーザー変位計１から出力され
る変位測定値をシーケンシャルにフィードバックして、
レーザー変位計１から発信されるレーザー光３と平行な
方向に小穴７の開いた遮光板８を移動させ、被測定物Ｓ
に当たるレーザースポットが常に小穴７の中心にくるよ
うな機構９を設けることによって、正反射光４のみが受
光部５に到達し、透明体Ｓ内部で乱反射した乱反射光６
はほとんど全てが遮光板８によって遮られるようにして
いる。
た一定の距離を保つように動作する小穴に、被測定面か
ら反射したレーザー光４のみが通るような構成にして、
乱反射光６が入射するのを防止したレーザー変位計を提
案した（特願平４−３０７４７号）。すなわち、図１０
に模式的に示すように、レーザー変位計１から出力され
る変位測定値をシーケンシャルにフィードバックして、
レーザー変位計１から発信されるレーザー光３と平行な
方向に小穴７の開いた遮光板８を移動させ、被測定物Ｓ
に当たるレーザースポットが常に小穴７の中心にくるよ
うな機構９を設けることによって、正反射光４のみが受
光部５に到達し、透明体Ｓ内部で乱反射した乱反射光６
はほとんど全てが遮光板８によって遮られるようにして
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記の本発明者による
レーザー変位計１では、小穴７を被測定面から近接した
一定の距離を保つように動作させる機構９を設ける必要
があり、このような機構が複雑で高価になる問題点があ
った。また、この構成を持つレーザー変位計１を被測定
物Ｓに沿って走査させる場合、レーザー変位計１の走査
速度が小穴７を移動させる制御時間によって制限されて
しまう問題点もあった。
レーザー変位計１では、小穴７を被測定面から近接した
一定の距離を保つように動作させる機構９を設ける必要
があり、このような機構が複雑で高価になる問題点があ
った。また、この構成を持つレーザー変位計１を被測定
物Ｓに沿って走査させる場合、レーザー変位計１の走査
速度が小穴７を移動させる制御時間によって制限されて
しまう問題点もあった。
【０００８】本発明はこのような従来技術の問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、レーザー変位計
を用いて形状測定をする場合に、レーザー変位計から得
られる信号に処理を加えることによって、従来のような
小穴移動機構を用いずに、透明被測定物等の表面形状を
正確にかつ迅速に測定することができる方法と装置を提
供することである。
みてなされたものであり、その目的は、レーザー変位計
を用いて形状測定をする場合に、レーザー変位計から得
られる信号に処理を加えることによって、従来のような
小穴移動機構を用いずに、透明被測定物等の表面形状を
正確にかつ迅速に測定することができる方法と装置を提
供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の形状測定方法は、被測定物の表面を走査してその表
面形状を測定する形状測定方法において、走査位置に対
して得られた表面変位データ全てを最小二乗法で直線近
似してその傾き成分を除去し、次いで、傾き成分を除去
した表面変位データをメジアンフィルターで処理して、
表面形状のうねり成分を求めることを特徴とする方法で
ある。
明の形状測定方法は、被測定物の表面を走査してその表
面形状を測定する形状測定方法において、走査位置に対
して得られた表面変位データ全てを最小二乗法で直線近
似してその傾き成分を除去し、次いで、傾き成分を除去
した表面変位データをメジアンフィルターで処理して、
表面形状のうねり成分を求めることを特徴とする方法で
ある。
【００１０】また、上記方法を実施する本発明の形状測
定装置は、レーザー光源からのレーザー光を透明な被測
定物の表面に対して斜めに照射し、被測定物の表面から
反射された光を受光部に入射させ、該受光部に入射する
反射光の位置を検出することにより被測定物の表面の変
位を検出するレーザー変位計と、該レーザー変位計を被
測定物の表面に沿って走査させる走査手段と、得られた
走査位置と表面変位データから被測定物の表面形状を算
出する算出手段とからからなり、前記算出手段は、走査
位置に対して得られた表面変位データ全てを最小二乗法
で直線近似する手段と、得られた直線を前記表面変位デ
ータから減算除去する手段と、この減算除去されたデー
タを処理するメジアンフィルターとを備えていることを
特徴とするものである。
定装置は、レーザー光源からのレーザー光を透明な被測
定物の表面に対して斜めに照射し、被測定物の表面から
反射された光を受光部に入射させ、該受光部に入射する
反射光の位置を検出することにより被測定物の表面の変
位を検出するレーザー変位計と、該レーザー変位計を被
測定物の表面に沿って走査させる走査手段と、得られた
走査位置と表面変位データから被測定物の表面形状を算
出する算出手段とからからなり、前記算出手段は、走査
位置に対して得られた表面変位データ全てを最小二乗法
で直線近似する手段と、得られた直線を前記表面変位デ
ータから減算除去する手段と、この減算除去されたデー
タを処理するメジアンフィルターとを備えていることを
特徴とするものである。
【００１１】
【作用】本発明においては、走査位置に対して得られた
表面変位データ全てを最小二乗法で直線近似してその傾
き成分を除去し、次いで、傾き成分を除去した表面変位
データをメジアンフィルターで処理して、表面形状のう
ねり成分を求めるので、変位計の構成を変更することな
く、単に信号処理により、被測定物からの例えば乱反射
を除去できるため、簡便な装置で透明被測定物等の表面
形状を正確に測定でき、測定装置のコストが軽減でき
る。また、レーザー変位計を用いる場合、その走査速度
を上げることができるため、短時間で表面形状を正確に
測定することができる。さらに、表面に微小な傷、塵等
がある場合でも、その影響を除去した形状測定ができ
る。
表面変位データ全てを最小二乗法で直線近似してその傾
き成分を除去し、次いで、傾き成分を除去した表面変位
データをメジアンフィルターで処理して、表面形状のう
ねり成分を求めるので、変位計の構成を変更することな
く、単に信号処理により、被測定物からの例えば乱反射
を除去できるため、簡便な装置で透明被測定物等の表面
形状を正確に測定でき、測定装置のコストが軽減でき
る。また、レーザー変位計を用いる場合、その走査速度
を上げることができるため、短時間で表面形状を正確に
測定することができる。さらに、表面に微小な傷、塵等
がある場合でも、その影響を除去した形状測定ができ
る。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照にして本発明の１実施例の
形状測定方法と装置について説明する。図１は、本発明
による形状測定装置の全体の概略の構成を示す図であ
り、レーザー変位計１自体は、図８で説明した三角測量
方式を用いたレーザー変位計と同様のものであり、その
中に内蔵されたレーザー光源２からレーザー光３を被測
定物Ｓの表面に対して斜めに照射し、被測定物Ｓの表面
から反射されたレーザー光４をレーザー変位計１中の受
光部５へ入射させ、その受光部５に内蔵されたポジショ
ンセンサーで反射光４の受光位置を読み取ることによっ
て、変位計１と被測定物Ｓの表面との距離を三角測量方
式で算出するものである。
形状測定方法と装置について説明する。図１は、本発明
による形状測定装置の全体の概略の構成を示す図であ
り、レーザー変位計１自体は、図８で説明した三角測量
方式を用いたレーザー変位計と同様のものであり、その
中に内蔵されたレーザー光源２からレーザー光３を被測
定物Ｓの表面に対して斜めに照射し、被測定物Ｓの表面
から反射されたレーザー光４をレーザー変位計１中の受
光部５へ入射させ、その受光部５に内蔵されたポジショ
ンセンサーで反射光４の受光位置を読み取ることによっ
て、変位計１と被測定物Ｓの表面との距離を三角測量方
式で算出するものである。
【００１３】このようなレーザー変位計１を被測定物Ｓ
の表面に沿って一定の方向に直線走査するように、レー
ザー変位計１は直動ステージ１０上に載置されており、
この直動ステージ１０に対する被測定物Ｓ表面の変位が
レーザー変位計１により検出され、測定データとしてコ
ンピューター１１に入力され、また、直動ステージ１０
側からレーザー変位計１の走査位置がコンピューター１
１に入力される。
の表面に沿って一定の方向に直線走査するように、レー
ザー変位計１は直動ステージ１０上に載置されており、
この直動ステージ１０に対する被測定物Ｓ表面の変位が
レーザー変位計１により検出され、測定データとしてコ
ンピューター１１に入力され、また、直動ステージ１０
側からレーザー変位計１の走査位置がコンピューター１
１に入力される。
【００１４】このような装置を用いて、コンピューター
１１に入力される２つのデータから、図２に示すような
関係が得られる。この例は、被測定物Ｓが透明体で、そ
の内部の乱反射光がレーザー変位計１の受光部５に入っ
てしまった場合であり、図２の矢印で示す部分が透明体
内部の乱反射による測定誤差である。
１１に入力される２つのデータから、図２に示すような
関係が得られる。この例は、被測定物Ｓが透明体で、そ
の内部の乱反射光がレーザー変位計１の受光部５に入っ
てしまった場合であり、図２の矢印で示す部分が透明体
内部の乱反射による測定誤差である。
【００１５】この測定誤差の部分（図２の丸で囲んだ部
分）を拡大した図を図３に示す。黒点は測定の際、サン
プリングした点を示す。このような誤差は、乱反射光が
レーザー変位計１の受光部５に到達できる条件から少し
でも外れた場合は、測定誤差を生じないため、１カ所で
発生する異常値は、通常、１点もしくは２点程度とな
る。
分）を拡大した図を図３に示す。黒点は測定の際、サン
プリングした点を示す。このような誤差は、乱反射光が
レーザー変位計１の受光部５に到達できる条件から少し
でも外れた場合は、測定誤差を生じないため、１カ所で
発生する異常値は、通常、１点もしくは２点程度とな
る。
【００１６】このようにして得られたデータを処理する
フローチャートを図４に示す。まず、ＳＴ１で、上記の
ようにして、直動ステージ１０からレーザー変位計１の
走査位置Ｘ1 〜Ｘn を、また、レーザー変位計１から被
測定物Ｓ表面の変位を変位計データＹ1 〜Ｙm として取
り込み、次のＳＴ２、ＳＴ３で、変位計データの傾きを
除去する。具体的には、図５（ａ）示すように、ＳＴ２
で、全てのデータＸ1〜Ｘn ，Ｙ1 〜Ｙm を用いて最小
二乗法により直線近似を行い、次いで、ＳＴ３で、Ｙ1
〜Ｙm から近似直線の傾き成分を減算除去する。この減
算後のデータを、図５（ｂ）示すように、ｙ1 〜ｙm と
する。次いで、ＳＴ４〜ＳＴ７で、このｙ1 〜ｙm にメ
ジアンフィルターを適用する。具体的手段は、ＳＴ４に
おいて、図６（ａ）に示すように、対象とするデータｙ
i を中心として、ｎ点例えば前後２点ずつ合計２ｎ＋１
この場合５点のデータを選択し、次いで、ＳＴ５におい
て、選択された２ｎ＋１のデータの中央値を選び、ＳＴ
６において、図６（ｂ）に示すように、対象のデータｙ
i と置換して、新しいデータｙi ’とする。ＳＴ７にお
いて、対象とするデータｙi を次のものｙi+1 に移動し
て、上記のＳＴ４〜ＳＴ７を繰り返すことにより、全て
の点につきｙ1 ’〜ｙm ’を求め、次いで、ＳＴ８にお
いて、このｙ1 ’〜ｙm ’にＳＴ２で近似して求めた直
線の値を加算することにより、図２の矢印で示したよう
な乱反射光等に原因する測定誤差が除かれた変位データ
Ｙ1 ’〜Ｙn ’が得られ、透明被測定物の表面形状が正
確にかつ迅速に測定することができる。
フローチャートを図４に示す。まず、ＳＴ１で、上記の
ようにして、直動ステージ１０からレーザー変位計１の
走査位置Ｘ1 〜Ｘn を、また、レーザー変位計１から被
測定物Ｓ表面の変位を変位計データＹ1 〜Ｙm として取
り込み、次のＳＴ２、ＳＴ３で、変位計データの傾きを
除去する。具体的には、図５（ａ）示すように、ＳＴ２
で、全てのデータＸ1〜Ｘn ，Ｙ1 〜Ｙm を用いて最小
二乗法により直線近似を行い、次いで、ＳＴ３で、Ｙ1
〜Ｙm から近似直線の傾き成分を減算除去する。この減
算後のデータを、図５（ｂ）示すように、ｙ1 〜ｙm と
する。次いで、ＳＴ４〜ＳＴ７で、このｙ1 〜ｙm にメ
ジアンフィルターを適用する。具体的手段は、ＳＴ４に
おいて、図６（ａ）に示すように、対象とするデータｙ
i を中心として、ｎ点例えば前後２点ずつ合計２ｎ＋１
この場合５点のデータを選択し、次いで、ＳＴ５におい
て、選択された２ｎ＋１のデータの中央値を選び、ＳＴ
６において、図６（ｂ）に示すように、対象のデータｙ
i と置換して、新しいデータｙi ’とする。ＳＴ７にお
いて、対象とするデータｙi を次のものｙi+1 に移動し
て、上記のＳＴ４〜ＳＴ７を繰り返すことにより、全て
の点につきｙ1 ’〜ｙm ’を求め、次いで、ＳＴ８にお
いて、このｙ1 ’〜ｙm ’にＳＴ２で近似して求めた直
線の値を加算することにより、図２の矢印で示したよう
な乱反射光等に原因する測定誤差が除かれた変位データ
Ｙ1 ’〜Ｙn ’が得られ、透明被測定物の表面形状が正
確にかつ迅速に測定することができる。
【００１７】この方法は、例えば移動平均化処理を行う
方法と異なり、誤差データが近接データに影響を及ぼす
ことがない利点がある。また、誤差データ以外の波形を
壊すことなく、誤差データのみを除去できる特長があ
る。
方法と異なり、誤差データが近接データに影響を及ぼす
ことがない利点がある。また、誤差データ以外の波形を
壊すことなく、誤差データのみを除去できる特長があ
る。
【００１８】ところで、上記において、ＳＴ２、ＳＴ３
の傾きを除去する処理をしないで、メジアンフィルター
処理をしようとすると、例えば図７に示すように傾き成
分が大きすぎる場合、異常値Ａが隣接する正常値Ｎとほ
ぼ同じ大きさになってしまい、異常値Ａを判別すること
ができなくなる。図１に示したような真直度測定装置で
は、被測定物Ｓがレーザー変位計１の走査直線と極力平
行になるように、被測定面の位置を調整するが、人間の
調整では１μｍ単位での調整は難しい。そのため、形状
測定データにＳＴ４〜ＳＴ７のメジアンフィルターを適
用する前に、必ずデータの傾き補正処理（ＳＴ２、ＳＴ
３）を行う必要がある。このとき、両端のデータは被測
定面の端部の急激な形状変化の影響を受けやすく、両端
のデータを結ぶ近似直線算出法では、誤差が生じやす
い。そのため、ＳＴ２のように、全データを最小二乗法
で処理して、近似直線の傾き成分を算出することが必要
である。
の傾きを除去する処理をしないで、メジアンフィルター
処理をしようとすると、例えば図７に示すように傾き成
分が大きすぎる場合、異常値Ａが隣接する正常値Ｎとほ
ぼ同じ大きさになってしまい、異常値Ａを判別すること
ができなくなる。図１に示したような真直度測定装置で
は、被測定物Ｓがレーザー変位計１の走査直線と極力平
行になるように、被測定面の位置を調整するが、人間の
調整では１μｍ単位での調整は難しい。そのため、形状
測定データにＳＴ４〜ＳＴ７のメジアンフィルターを適
用する前に、必ずデータの傾き補正処理（ＳＴ２、ＳＴ
３）を行う必要がある。このとき、両端のデータは被測
定面の端部の急激な形状変化の影響を受けやすく、両端
のデータを結ぶ近似直線算出法では、誤差が生じやす
い。そのため、ＳＴ２のように、全データを最小二乗法
で処理して、近似直線の傾き成分を算出することが必要
である。
【００１９】本発明の測定方法を適用することによっ
て、表面に微小な傷、塵等がある場合でも、その影響を
除去して、被測定面のうねりだけを測定することができ
る。本発明の測定方法は、レーザー変位計を回転ステー
ジによって走査させることにより、透明な被測定物表面
の曲率半径を測定する方法及び装置にも応用できる。ま
た、接触式の変位計を用いた場合でも、微小な傷、塵等
の影響を取り除くことができる。
て、表面に微小な傷、塵等がある場合でも、その影響を
除去して、被測定面のうねりだけを測定することができ
る。本発明の測定方法は、レーザー変位計を回転ステー
ジによって走査させることにより、透明な被測定物表面
の曲率半径を測定する方法及び装置にも応用できる。ま
た、接触式の変位計を用いた場合でも、微小な傷、塵等
の影響を取り除くことができる。
【００２０】以上、本発明の形状測定方法及び装置を実
施例に基づいて説明してきたが、これら実施例に限定さ
れず種々の変形が可能である。
施例に基づいて説明してきたが、これら実施例に限定さ
れず種々の変形が可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の形状測定方法及び装置によると、走査位置に対して得
られた表面変位データ全てを最小二乗法で直線近似して
その傾き成分を除去し、次いで、傾き成分を除去した表
面変位データをメジアンフィルターで処理して、表面形
状のうねり成分を求めるので、変位計の構成を変更する
ことなく、単に信号処理により、被測定物からの例えば
乱反射を除去できるため、簡便な装置で透明被測定物等
の表面形状を正確に測定でき、測定装置のコストが軽減
できる。また、レーザー変位計を用いる場合、その走査
速度を上げることができるため、短時間で表面形状を正
確に測定することができる。さらに、表面に微小な傷、
塵等がある場合でも、その影響を除去した形状測定がで
きる。
の形状測定方法及び装置によると、走査位置に対して得
られた表面変位データ全てを最小二乗法で直線近似して
その傾き成分を除去し、次いで、傾き成分を除去した表
面変位データをメジアンフィルターで処理して、表面形
状のうねり成分を求めるので、変位計の構成を変更する
ことなく、単に信号処理により、被測定物からの例えば
乱反射を除去できるため、簡便な装置で透明被測定物等
の表面形状を正確に測定でき、測定装置のコストが軽減
できる。また、レーザー変位計を用いる場合、その走査
速度を上げることができるため、短時間で表面形状を正
確に測定することができる。さらに、表面に微小な傷、
塵等がある場合でも、その影響を除去した形状測定がで
きる。
【図１】 本発明による形状測定装置の全体の概略の構
成を示す図。
成を示す図。
【図２】 誤差を生じた形状測定結果の一例を示す図。
【図３】 図２の部分拡大図。
【図４】 本発明による処理のフローチャート。
【図５】 傾き除去の方法を示す図。
【図６】 メジアンフィルターの方法を説明するための
図。
図。
【図７】 傾き除去を行わない場合の問題を説明するた
めの図。
めの図。
【図８】 三角測量式レーザー変位計の原理を説明する
ための図。
ための図。
【図９】 乱反射によって測定誤差が生じることを説明
するための図。
するための図。
【図１０】 小穴移動機構を用いた測定誤差防止機構を
説明するための図。
説明するための図。
Ｓ…被測定物、１…レーザー変位計、２…レーザー光
源、３…レーザー光、４…反射光、５…受光部、１０…
直動ステージ、１１…コンピューター
源、３…レーザー光、４…反射光、５…受光部、１０…
直動ステージ、１１…コンピューター
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物の表面を走査してその表面形状
を測定する形状測定方法において、走査位置に対して得
られた表面変位データ全てを最小二乗法で直線近似して
その傾き成分を除去し、次いで、傾き成分を除去した表
面変位データをメジアンフィルターで処理して、表面形
状のうねり成分を求めることを特徴とする形状測定方
法。 - 【請求項２】 レーザー光源からのレーザー光を透明な
被測定物の表面に対して斜めに照射し、被測定物の表面
から反射された光を受光部に入射させ、該受光部に入射
する反射光の位置を検出することにより被測定物の表面
の変位を検出するレーザー変位計と、該レーザー変位計
を被測定物の表面に沿って走査させる走査手段と、得ら
れた走査位置と表面変位データから被測定物の表面形状
を算出する算出手段とからからなり、前記算出手段は、
走査位置に対して得られた表面変位データ全てを最小二
乗法で直線近似する手段と、得られた直線を前記表面変
位データから減算除去する手段と、この減算除去された
データを処理するメジアンフィルターとを備えているこ
とを特徴とする形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16793993A JPH0727536A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 形状測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16793993A JPH0727536A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 形状測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727536A true JPH0727536A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=15858859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16793993A Pending JPH0727536A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 形状測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727536A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011106896A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Mitsutoyo Corp | 非接触プローブ、及び測定機 |
| US11094094B2 (en) | 2017-08-28 | 2021-08-17 | Shanghai United Imaging Healthcare Co., Ltd | System and method for removing hard tissue in CT image |
-
1993
- 1993-07-07 JP JP16793993A patent/JPH0727536A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011106896A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Mitsutoyo Corp | 非接触プローブ、及び測定機 |
| US8704154B2 (en) | 2009-11-16 | 2014-04-22 | Mitutoyo Corporation | Non-contact probe with an optical filter and measuring machine including the same |
| US11094094B2 (en) | 2017-08-28 | 2021-08-17 | Shanghai United Imaging Healthcare Co., Ltd | System and method for removing hard tissue in CT image |
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