JPS60159195A - 酸化アルミニウム薄膜体 - Google Patents
酸化アルミニウム薄膜体Info
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- JPS60159195A JPS60159195A JP59014969A JP1496984A JPS60159195A JP S60159195 A JPS60159195 A JP S60159195A JP 59014969 A JP59014969 A JP 59014969A JP 1496984 A JP1496984 A JP 1496984A JP S60159195 A JPS60159195 A JP S60159195A
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- JP
- Japan
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- aluminum
- thin film
- layer
- aluminum oxide
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はアルミニウムまたはアルミニウム合金を陽極酸
化することによって得られる新規な酸化アルミニウム薄
膜体に関し′、更に詳しくは優れた吸着活性を有すると
共に、耐熱性、耐食性を極力良好となし、薄層、ガス、
ＧＬ体などのクロマトグラフィーにおける固定相に用う
るに好適な酸化アルミニウム薄膜体に関する。
化することによって得られる新規な酸化アルミニウム薄
膜体に関し′、更に詳しくは優れた吸着活性を有すると
共に、耐熱性、耐食性を極力良好となし、薄層、ガス、
ＧＬ体などのクロマトグラフィーにおける固定相に用う
るに好適な酸化アルミニウム薄膜体に関する。
従来より、硫酸、シュウ酸、クロム酸などの酸性液、或
いは水酸化ナトリウム、炭酸ナトｌ）ラムなどのアルカ
リ性液における陽極酸化によって得られる酸化皮膜を有
するアルミニウムまたはアルミニウム合金基体は公知で
あるが、これらの酸化皮膜は平滑且つ緻密なものであり
。
いは水酸化ナトリウム、炭酸ナトｌ）ラムなどのアルカ
リ性液における陽極酸化によって得られる酸化皮膜を有
するアルミニウムまたはアルミニウム合金基体は公知で
あるが、これらの酸化皮膜は平滑且つ緻密なものであり
。
染料等に対してはある程度吸着活性は示すものの、良好
な吸着活性が要求される７例えば薄層。
な吸着活性が要求される７例えば薄層。
ガス、液体などのクロマトグラフィーにおける固定相と
して用うるには不適当なものであった。
して用うるには不適当なものであった。
またアルミニウムまたはアルミニウム合金基体を化学的
酸化法によってその表面に酸化皮膜を形成することも知
られているが、このものは酸化皮膜の厚さが非常に薄い
ものであり、吸着等に対しては不活性なものであるため
、やはり各種クロマトグラフィーにおける固定相として
は利用できるものでなかった。
酸化法によってその表面に酸化皮膜を形成することも知
られているが、このものは酸化皮膜の厚さが非常に薄い
ものであり、吸着等に対しては不活性なものであるため
、やはり各種クロマトグラフィーにおける固定相として
は利用できるものでなかった。
これらの問題を解消せんとしたものとしては。
特開昭４８−８５０４２号公報記載の酸化皮膜を有する
アルミニウムま／こはアルミニウム合金基体が知られて
いるが、このものは基本的にアルεニウム−まだはアル
ミニウム合金基体表面に形成された酸化皮膜が結晶性も
しくは結晶化がかなり進んでいるものでありその比表面
積も小さいものであるため、またその酸化皮膜の厚さも
薄いものであるだめ、↓Ｌ体的には４〜２０／ｚｍ程度
であるか、め１例えば薄層りＯ−７トグラフイーの固定
相として用いた場合にはその結晶ヤ１゛に起因して吸着
活性が非常に低いことから試料の分離特性の点で満足な
ものとは６えず、試料によっては固定相たる前記酸化皮
膜に適鼠ヌボノトして展開し１分離しても試料が四方に
拡欣してし捷うというテーリ／グ現象が生じ易くなり正
確１」つ迅速なりＩ２−マドグラフィーを行なう上で決
して好ましいものとは看えなかった。
アルミニウムま／こはアルミニウム合金基体が知られて
いるが、このものは基本的にアルεニウム−まだはアル
ミニウム合金基体表面に形成された酸化皮膜が結晶性も
しくは結晶化がかなり進んでいるものでありその比表面
積も小さいものであるため、またその酸化皮膜の厚さも
薄いものであるだめ、↓Ｌ体的には４〜２０／ｚｍ程度
であるか、め１例えば薄層りＯ−７トグラフイーの固定
相として用いた場合にはその結晶ヤ１゛に起因して吸着
活性が非常に低いことから試料の分離特性の点で満足な
ものとは６えず、試料によっては固定相たる前記酸化皮
膜に適鼠ヌボノトして展開し１分離しても試料が四方に
拡欣してし捷うというテーリ／グ現象が生じ易くなり正
確１」つ迅速なりＩ２−マドグラフィーを行なう上で決
して好ましいものとは看えなかった。
ところで、一般にアルミニウムを陽極酸化することによ
って得られる酸化皮膜はその下部層にアルミニウムまだ
はアルミニウム合金からなる未酸化の層を有しているが
、この未酸化の層は、高熱下においては熱膨張係数の違
いによりクラックを発生したり、アルミニウム金属を溶
出したりすることがあるため、これによって酸化皮膜自
体の機能並びに構成を同時に損なう恐れがあり１寸だ腐
食性の高い環境下においても。
って得られる酸化皮膜はその下部層にアルミニウムまだ
はアルミニウム合金からなる未酸化の層を有しているが
、この未酸化の層は、高熱下においては熱膨張係数の違
いによりクラックを発生したり、アルミニウム金属を溶
出したりすることがあるため、これによって酸化皮膜自
体の機能並びに構成を同時に損なう恐れがあり１寸だ腐
食性の高い環境下においても。
未酸化層の腐食劣化にイ手ない、前記同様酸化皮膜が損
なわれるという不都合があり、アルミニウムまたはアル
ミニウム合金層を有することによって（幾械的強度等に
優れるという長所もある反面、いくら優れた吸着活性等
の特性を有する酸化皮膜が得られても前述したことから
耐熱性。
なわれるという不都合があり、アルミニウムまたはアル
ミニウム合金層を有することによって（幾械的強度等に
優れるという長所もある反面、いくら優れた吸着活性等
の特性を有する酸化皮膜が得られても前述したことから
耐熱性。
耐食性に劣るだめ酸化皮膜の特性を十分に生かしきれな
いという具合に種々の面で制約を受ける恐れがあった。
いという具合に種々の面で制約を受ける恐れがあった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、優
れた吸着活性を有し、しかも高熱下或いは腐食性の高い
環境−トにｊ？（０ても十分にイ吏用可能なもので、薄
層、ガス、ＯＬ体などのクロマトグラフィーにおける固
定相として用いた場合、特に優れた効果が期待できる酸
イヒアルミニウム薄膜体の具体的構造を提供することを
目的としたもので、その要旨を、アルミニウムまたはア
ルミニウム合金を陽極酸化することによって得らり、る
酸化アルミニウノＡ薄膜体であって。
れた吸着活性を有し、しかも高熱下或いは腐食性の高い
環境−トにｊ？（０ても十分にイ吏用可能なもので、薄
層、ガス、ＯＬ体などのクロマトグラフィーにおける固
定相として用いた場合、特に優れた効果が期待できる酸
イヒアルミニウム薄膜体の具体的構造を提供することを
目的としたもので、その要旨を、アルミニウムまたはア
ルミニウム合金を陽極酸化することによって得らり、る
酸化アルミニウノＡ薄膜体であって。
該酸化アルミニウム薄膜体はアルミニ・クム丑たはアル
ミニウム、合金層を有さす、少なくとも全１状組織層と
ポーラス層とからなり、該」Ｚ−ラス層における孔が全
１状組織層の孔を通じて夕Ｖ名昏と連通してなることを
特徴とする酸化アルミニウム薄膜体とするものである。
ミニウム、合金層を有さす、少なくとも全１状組織層と
ポーラス層とからなり、該」Ｚ−ラス層における孔が全
１状組織層の孔を通じて夕Ｖ名昏と連通してなることを
特徴とする酸化アルミニウム薄膜体とするものである。
本発明における酸化アルシミニウム薄１摸イ本力；。
何故吸着活性に優れているのかは定かではないが以下の
様に推察せ−られ石。
様に推察せ−られ石。
即ち、従来の陽極酸化による酸化皮膜構造はその表面が
平滑且つ緻密なものとなっているためその表面積も比較
的小さいものとなり、これに起因して各種溶液などに対
しては毛管性、浸透性が悪く、且つ、その比表面積も小
さいため吸着活性の点で良好な性能を示さなかったので
ある力戦本発明における酸化アルミニウム薄膜体構造は
、アルミニウム゛まだはアルミニウム合金層を有さす、
少なくともポーラス層、針状組織層の２層からなってお
りこの剣状組織層はその表面が凹凸状を有していること
によってマクロ的な孔が形成されていると共に、この層
全体に及んで外部と連通せる無数のミクロ的な孔力；縦
横無尽に複数に入り組んで形成されているといつ従来に
は見られなかった新規な構造が表出されているため、こ
れによって毛管性、浸透性が良好となり、吸着活性も著
しく向上できるものと思われるが、更にひとつのこれら
の要因として考えられることは、針状組織層にあ・ける
ミクロ的な無数の孔がその下部層であるポーラス層にお
けるミクロ的な孔と連通しており、酸イヒアルミニウム
薄膜体の奥深くに１でわたって孔が形成されているため
、結果的に本発明による酸化皮膜の比表面積は著しく増
大しく約倍以上）。
平滑且つ緻密なものとなっているためその表面積も比較
的小さいものとなり、これに起因して各種溶液などに対
しては毛管性、浸透性が悪く、且つ、その比表面積も小
さいため吸着活性の点で良好な性能を示さなかったので
ある力戦本発明における酸化アルミニウム薄膜体構造は
、アルミニウム゛まだはアルミニウム合金層を有さす、
少なくともポーラス層、針状組織層の２層からなってお
りこの剣状組織層はその表面が凹凸状を有していること
によってマクロ的な孔が形成されていると共に、この層
全体に及んで外部と連通せる無数のミクロ的な孔力；縦
横無尽に複数に入り組んで形成されているといつ従来に
は見られなかった新規な構造が表出されているため、こ
れによって毛管性、浸透性が良好となり、吸着活性も著
しく向上できるものと思われるが、更にひとつのこれら
の要因として考えられることは、針状組織層にあ・ける
ミクロ的な無数の孔がその下部層であるポーラス層にお
けるミクロ的な孔と連通しており、酸イヒアルミニウム
薄膜体の奥深くに１でわたって孔が形成されているため
、結果的に本発明による酸化皮膜の比表面積は著しく増
大しく約倍以上）。
もって毛管性、浸透性が良好となり優れた吸着活性が得
られるものと思われる。尚、これら物理的構造による要
因もさることながら７分子間引力やイオン交換能による
化学的要因も優れた吸着活性が得られる一要因として（
Ｊｌせて考えておく必要がある。
られるものと思われる。尚、これら物理的構造による要
因もさることながら７分子間引力やイオン交換能による
化学的要因も優れた吸着活性が得られる一要因として（
Ｊｌせて考えておく必要がある。
以下１本発明を添付図面に基いて説明する。
図面において、参照符号１は酸化アルミニウム薄膜体を
示すものであって、該酸化アルミニウム薄膜体１は針状
組織層２と、ポーラス層６とバリヤ層４とからなってい
る。針状組織層２ばその表面の凹凸によってマクロ的な
孔２ａを有すると共に核化２ａに連通せる無数のミクロ
的な孔２ｂが縦横無尽に複雑ｌ形成されており。
示すものであって、該酸化アルミニウム薄膜体１は針状
組織層２と、ポーラス層６とバリヤ層４とからなってい
る。針状組織層２ばその表面の凹凸によってマクロ的な
孔２ａを有すると共に核化２ａに連通せる無数のミクロ
的な孔２ｂが縦横無尽に複雑ｌ形成されており。
核化２１）は隣接するポーラス層ろのミクロ的な孔５ａ
に連通１−ている。（第６図参照）このような酸化アル
ミニウム薄膜体を得るに際シては、アルミニウム捷たは
アルミニウム合金表面に多孔質陽極酸化皮膜を形成し得
る２゜′Ｃ〜６０°Ｃの溶液中で、アルミニウムまたは
アルミニウム合金と前記溶液との間で放電が発生しない
５ Ａ ／ ｄ ｍ” −６０Ａ ／ ｄ ｎｉの高電
流密度によりアルミニウムまたはアルミニウム合金を陽
極酸化すれば良い。この後、従来より知られている種々
の方法によって、アルミニウムまたはアルミニウム台金
層を除去すれば所望の酸化アルミニウム薄膜体が容易に
得られるっ、そのアルミニウム捷だはアルミニウム合金
層を除去する方法としては、特公昭５３−５１８８５号
公報にみられるように陽極酸化処理後、これを陰極とし
て同一処理浴中で電気分解することにより水素ガスを発
生させ、アルミニウムまたはアルミニウム合金層を剥離
する方法、壕だ特公昭５６−３３１３８号公報にみられ
るように上記方法によって陽極酸化処理したものを熱雰
囲気下に配置してアルミニウムまたはアルミニウム合金
層を溶融除去する方法、更にはアルミニウム捷たはアル
ミニウム合金層を選択的に溶解し得るような昇汞、ヨウ
素飽和メタノール溶液等に、Ｌ記方法によって陽極酸化
処理したものを浸漬し、アルミニウム捷たはアルミニウ
ム合金層を溶出せしめる方法などが挙げられる。これら
の方法以外には、上記した方法によって陽極酸化処理後
、従来より知られている通′帛の陽極酸化条件によって
継続的に処理を行ない、アルミニウムまだはアルミニウ
ム合金層を残きず全てを陽極酸化することにより酸化ア
ルミニウム薄膜体を得る方法がある。
に連通１−ている。（第６図参照）このような酸化アル
ミニウム薄膜体を得るに際シては、アルミニウム捷たは
アルミニウム合金表面に多孔質陽極酸化皮膜を形成し得
る２゜′Ｃ〜６０°Ｃの溶液中で、アルミニウムまたは
アルミニウム合金と前記溶液との間で放電が発生しない
５ Ａ ／ ｄ ｍ” −６０Ａ ／ ｄ ｎｉの高電
流密度によりアルミニウムまたはアルミニウム合金を陽
極酸化すれば良い。この後、従来より知られている種々
の方法によって、アルミニウムまたはアルミニウム台金
層を除去すれば所望の酸化アルミニウム薄膜体が容易に
得られるっ、そのアルミニウム捷だはアルミニウム合金
層を除去する方法としては、特公昭５３−５１８８５号
公報にみられるように陽極酸化処理後、これを陰極とし
て同一処理浴中で電気分解することにより水素ガスを発
生させ、アルミニウムまたはアルミニウム合金層を剥離
する方法、壕だ特公昭５６−３３１３８号公報にみられ
るように上記方法によって陽極酸化処理したものを熱雰
囲気下に配置してアルミニウムまたはアルミニウム合金
層を溶融除去する方法、更にはアルミニウム捷たはアル
ミニウム合金層を選択的に溶解し得るような昇汞、ヨウ
素飽和メタノール溶液等に、Ｌ記方法によって陽極酸化
処理したものを浸漬し、アルミニウム捷たはアルミニウ
ム合金層を溶出せしめる方法などが挙げられる。これら
の方法以外には、上記した方法によって陽極酸化処理後
、従来より知られている通′帛の陽極酸化条件によって
継続的に処理を行ない、アルミニウムまだはアルミニウ
ム合金層を残きず全てを陽極酸化することにより酸化ア
ルミニウム薄膜体を得る方法がある。
尚、このような種々の方法を採用することによって得ら
れる酸化アルミニウム薄膜体にはバリヤ層を有するもの
と有さないものとがある。
れる酸化アルミニウム薄膜体にはバリヤ層を有するもの
と有さないものとがある。
本発明に使用されるヱルーミニウムまたはアルミニウム
合金表面に多孔質陽極酸化皮膜を形成し得る溶液として
は、硫酸、クロム酸、リン酸。
合金表面に多孔質陽極酸化皮膜を形成し得る溶液として
は、硫酸、クロム酸、リン酸。
／ユウ酸等による酸性液、水酸化ナトリウム。
炭酸ナトリウム、リン酸ナトリウム等によるアルカリ性
液が挙げられるが、これらの濃度は通常行なわれている
陽極酸化の際の溶ｉ濃度よりも１５〜５倍程度に調整し
ておくことが酸化皮膜生成の点から特に好ましい。また
電源波形としては直流、交流、パルス、不完全整流など
が使用できる。
液が挙げられるが、これらの濃度は通常行なわれている
陽極酸化の際の溶ｉ濃度よりも１５〜５倍程度に調整し
ておくことが酸化皮膜生成の点から特に好ましい。また
電源波形としては直流、交流、パルス、不完全整流など
が使用できる。
以下１本発明による酸化アルミニウム薄膜体を得るだめ
の具体例を述べると、、５０Ｘｉ００×０５（則）のア
ルミニウム板（Ａｉ０７０−ｐ １７２ Ｈ、純度９７
％）を１０％、７０°Ｃ水酸化ナトリウム水溶液に１０
秒浸漬し、水洗後６Ｕ ’％硝硝酸水液液ジ清し中和後
、水洗し、これを温度５５℃、ａ度２５０ ｇ／ｌの硫
酸溶液に浸漬して、直流電源波形を使用し、電流密度ｉ
ｓＡ／ｄｍ”、時間３０分の条件下で陽極酸化を行なう
。次いで陽極酸化処理が施されたアルミニウム板にカッ
ターにて機械的に傷をつけたものを昇汞の飽和水溶液に
浸漬し１選択的にアルミニウムを溶出させることにより
厚さ８６μｍの乳白色の酸化アルミニウム薄膜体が得ら
れる。このようにして得られた酸化アルミニウム薄膜体
における針状組織層、ポーラス層の厚さはそ扛ぞれ５１
μｒｎ 、 ５５ ｔｚ ｍでおり、針状組織層におい
てはマクロ的な孔およびミクロ的な孔、ポーラス層にお
いてはミクロ的な孔がそれぞれ確認された。
の具体例を述べると、、５０Ｘｉ００×０５（則）のア
ルミニウム板（Ａｉ０７０−ｐ １７２ Ｈ、純度９７
％）を１０％、７０°Ｃ水酸化ナトリウム水溶液に１０
秒浸漬し、水洗後６Ｕ ’％硝硝酸水液液ジ清し中和後
、水洗し、これを温度５５℃、ａ度２５０ ｇ／ｌの硫
酸溶液に浸漬して、直流電源波形を使用し、電流密度ｉ
ｓＡ／ｄｍ”、時間３０分の条件下で陽極酸化を行なう
。次いで陽極酸化処理が施されたアルミニウム板にカッ
ターにて機械的に傷をつけたものを昇汞の飽和水溶液に
浸漬し１選択的にアルミニウムを溶出させることにより
厚さ８６μｍの乳白色の酸化アルミニウム薄膜体が得ら
れる。このようにして得られた酸化アルミニウム薄膜体
における針状組織層、ポーラス層の厚さはそ扛ぞれ５１
μｒｎ 、 ５５ ｔｚ ｍでおり、針状組織層におい
てはマクロ的な孔およびミクロ的な孔、ポーラス層にお
いてはミクロ的な孔がそれぞれ確認された。
以上で得られた酸化アルミニウム薄膜体の吸着（′ｌ！
ｉ性の性能を調べるため１前記酸化アルミニウム薄膜体
を薄層クロマトグラフィーの固定相として用い、下記の
条件で試験を行なったが。
ｉ性の性能を調べるため１前記酸化アルミニウム薄膜体
を薄層クロマトグラフィーの固定相として用い、下記の
条件で試験を行なったが。
その結果は次の通りである。
〈条件〉
標準混合色素として和光紬薬■製のアルミナＢテスター
を使用し、マイクロ／−νンジで酸化アルミニウム薄膜
体の末端より１５順の中央位置に０１μｔスポツトし５
次いでこれを５００ｍｔビーカーに入れ常法で展開させ
た。、尚、展開剤としては四塩化炭素を用いた。
を使用し、マイクロ／−νンジで酸化アルミニウム薄膜
体の末端より１５順の中央位置に０１μｔスポツトし５
次いでこれを５００ｍｔビーカーに入れ常法で展開させ
た。、尚、展開剤としては四塩化炭素を用いた。
く結果〉
アゾベンゼン、スダンイエロー、Ｐ−７ミノアゾペンゼ
／の５成分は完全に分離し、各々のＲｆ値（ｘｉｏｏ）
は３８，１８．０でありた。
／の５成分は完全に分離し、各々のＲｆ値（ｘｉｏｏ）
は３８，１８．０でありた。
以上述べた如く１本発明による酸化アルミニ崩していな
いだめ耐熱性、耐食性が極力良好となり、使用環境に対
する制約も受けず、その利用範囲も大幅に改善でき、汎
用性が出てくるもので、更にはその形状を球状、棒状と
するなど任意の形状が採用できるもので、これ−七例え
ば薄層、カス、液体などのクロマトグラフィーにおける
固定相として用いた場合には特に良好な結果が得られる
ものである。
いだめ耐熱性、耐食性が極力良好となり、使用環境に対
する制約も受けず、その利用範囲も大幅に改善でき、汎
用性が出てくるもので、更にはその形状を球状、棒状と
するなど任意の形状が採用できるもので、これ−七例え
ば薄層、カス、液体などのクロマトグラフィーにおける
固定相として用いた場合には特に良好な結果が得られる
ものである。
尚２本発明においては酸化アルミニウム薄膜体中にタン
グステ／、モリブデン、ジルコニウム、ルテニウム、マ
グネシウム、白金、金、銀ロジウム、パラジウム、鉄、
ニッケル、コノ（ルト、スズ、クロム、マノガン、銅な
どの金属を１１！！もしくは２種以上沈着せしめること
ができ本発明による優れた吸着活性性能を利用すること
により触媒担体なと各種工業林料として種々の分野にわ
たって利用できるものである。
グステ／、モリブデン、ジルコニウム、ルテニウム、マ
グネシウム、白金、金、銀ロジウム、パラジウム、鉄、
ニッケル、コノ（ルト、スズ、クロム、マノガン、銅な
どの金属を１１！！もしくは２種以上沈着せしめること
ができ本発明による優れた吸着活性性能を利用すること
により触媒担体なと各種工業林料として種々の分野にわ
たって利用できるものである。
第１図は酸化アルミニウム薄膜体の断面図。
第２図は他の例を示す酸化アルミニウム薄膜体の断面図
、第６図は第２図におけるＡ都の拡大模式図である。 １・・酸化アルミニウム薄膜体。 ２ 針状組織層、２ａ、２ｂ・・孔 ６・ポーラス層、３ａ・孔 特許出願人 ぺんてる株式会社
、第６図は第２図におけるＡ都の拡大模式図である。 １・・酸化アルミニウム薄膜体。 ２ 針状組織層、２ａ、２ｂ・・孔 ６・ポーラス層、３ａ・孔 特許出願人 ぺんてる株式会社
Claims (1)
- アルミニウムまたはアルミニウム合金を陽極酸化するこ
とによって得られる酸化アルミニウム薄膜体であって、
該酸化アルミニウム薄膜体はアルミニウム甘たはアルミ
ニウム合金層を有さす、少なくとも針状組織層とポーラ
ス層とからなり、該ポーラス層における孔が釧状組織層
の孔を通じて外部と連通してなることを特徴とする酸化
アルミニウム薄膜体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014969A JPS60159195A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 酸化アルミニウム薄膜体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014969A JPS60159195A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 酸化アルミニウム薄膜体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60159195A true JPS60159195A (ja) | 1985-08-20 |
| JPH0421755B2 JPH0421755B2 (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=11875802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59014969A Granted JPS60159195A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 酸化アルミニウム薄膜体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60159195A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62153161A (ja) * | 1985-11-29 | 1987-07-08 | ベルンハルト テイ−ル | セラミツクスからなる薄い成形品の製造方法および該方法によつて得られる音響変成器用薄膜 |
| JP2011026179A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-10 | Hitachi Aic Inc | 水素触媒部材またはその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4883042A (ja) * | 1972-01-25 | 1973-11-06 |
-
1984
- 1984-01-30 JP JP59014969A patent/JPS60159195A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4883042A (ja) * | 1972-01-25 | 1973-11-06 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62153161A (ja) * | 1985-11-29 | 1987-07-08 | ベルンハルト テイ−ル | セラミツクスからなる薄い成形品の製造方法および該方法によつて得られる音響変成器用薄膜 |
| JP2011026179A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-10 | Hitachi Aic Inc | 水素触媒部材またはその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0421755B2 (ja) | 1992-04-13 |
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