JPS60149855A - クライオポンプ制御法 - Google Patents
クライオポンプ制御法Info
- Publication number
- JPS60149855A JPS60149855A JP578484A JP578484A JPS60149855A JP S60149855 A JPS60149855 A JP S60149855A JP 578484 A JP578484 A JP 578484A JP 578484 A JP578484 A JP 578484A JP S60149855 A JPS60149855 A JP S60149855A
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- helium
- pressure
- line
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクライオポンプ制御法に関する。詳しくは、本
発明はクライオポンプ再生等に伴うクライオポンプ内の
圧力上昇時において安全且つすＪ率良くヘリウムガスを
回収するだめのクラ・ｒオボンブ制御法に関する。
発明はクライオポンプ再生等に伴うクライオポンプ内の
圧力上昇時において安全且つすＪ率良くヘリウムガスを
回収するだめのクラ・ｒオボンブ制御法に関する。
第１図ばクライオポンプ２０を冷却ず・、５ためのヘリ
ウム冷凍装置の１例を示す系統図である。第１図により
ヘリウム冷凍装置の概略を以下に説明する。圧縮機２で
圧縮された高圧ヘリウムガスはヘリウム冷凍ｔｉｌｌに
導かれ熱交換機４で冷却された後一部のヘリウムガスは
膨張タービン５て冷却され再び圧縮機に戻る。また、熱
交換機４で冷却されノこ残りのヘリウムガスは熱交換機
６でさらに冷却され、膨張弁７でほぼ大気圧まで断ｆ％
膨張した後、一部のヘリウムガスはｌ＆化して液体ヘリ
ウムデユワ−８に貯えられる。液化しなかった極低温ヘ
リウムガスは熱交換機６と４で寒冷が回収され常温とな
り圧縮機２に戻る。液体ヘリウムデユワ−内で液化した
液体ヘリウムは真空に断熱された供給ライン９を経由し
て真空容器１０内に供給され、高真空域でのクライオポ
ンプ２０の排気速度を安定に保つために減圧ライン１と
予冷弁１１またば定當弁１２によって大気圧以下の所定
の圧力まで減圧された後、クライオポンプ２０内に導か
れ、クライオポンプを４．２に以下に冷却する。
ウム冷凍装置の１例を示す系統図である。第１図により
ヘリウム冷凍装置の概略を以下に説明する。圧縮機２で
圧縮された高圧ヘリウムガスはヘリウム冷凍ｔｉｌｌに
導かれ熱交換機４で冷却された後一部のヘリウムガスは
膨張タービン５て冷却され再び圧縮機に戻る。また、熱
交換機４で冷却されノこ残りのヘリウムガスは熱交換機
６でさらに冷却され、膨張弁７でほぼ大気圧まで断ｆ％
膨張した後、一部のヘリウムガスはｌ＆化して液体ヘリ
ウムデユワ−８に貯えられる。液化しなかった極低温ヘ
リウムガスは熱交換機６と４で寒冷が回収され常温とな
り圧縮機２に戻る。液体ヘリウムデユワ−内で液化した
液体ヘリウムは真空に断熱された供給ライン９を経由し
て真空容器１０内に供給され、高真空域でのクライオポ
ンプ２０の排気速度を安定に保つために減圧ライン１と
予冷弁１１またば定當弁１２によって大気圧以下の所定
の圧力まで減圧された後、クライオポンプ２０内に導か
れ、クライオポンプを４．２に以下に冷却する。
気液分離機１３内で気液が分離することによって発η−
した極低温のヘリウムガスは、減圧ライン弁１４を介し
て真空に断熱された減圧ライン１５を通りヘリウム冷凍
機３に導かれ、熱交換機６と４にて寒冷を回収された後
圧縮機に戻る。
した極低温のヘリウムガスは、減圧ライン弁１４を介し
て真空に断熱された減圧ライン１５を通りヘリウム冷凍
機３に導かれ、熱交換機６と４にて寒冷を回収された後
圧縮機に戻る。
Ｊ操上はクライオポンプの予冷又は定常運転におりるヘ
リウム冷凍装置全体の運転様式の説明であるが、この運
転様式の他にヘリウム冷凍機の運転とは独立にクライオ
ポンプの運転様式はクライオポンプ２０の定常運転から
クラ・ｆオボンブを昇温さ廿ることによって、クライオ
ポンプ表面に凝縮されていたガスを蒸発させ、このガス
を真空ポンプ２１にて１ノ１気するクライオポンプ２０
の再生運転と再生運転完了後のクライオポンプ２０から
のヘリウムガスを回収するための停止−運転とがある、
クライオポンプの停止運転はクライオポンプの再生運転
後のクライオポンプ２０の昇温中にクライオポンプ２０
内に残留しているヘリウムガスを回収ライン弁１７、回
収ライン１８を介して回収設備１９で回収する運転であ
り、クライオポンプ２０からのヘリウムガスはほぼ大気
圧の状態で回収される。また、クライオポンプ２０の再
生運転は、−例を挙げれば、クラ身オポンプ２０内へ液
体ヘリウムを供給するための予冷弁１１と定當弁１２と
を全開にし、クライオポンプが定常的に受りる熱負荷等
を利用してクライオポンプ２０内の液体ヘリウムを蒸発
昇温させ、クライオポンプ２０に凝縮されていたガスを
気化させることによって行われる。ここで、クライオポ
ンプ２ｏがら気化したガスはクライオポンプ２０内の液
体ヘリウムによって未だ極低温に保たれている他の表面
に凝縮される。これらのガスの気化と凝縮がクライオポ
ンプ２０の表面１８１で繰り返し行われる間に、徐々に
クライオポンプ２０内の液体ヘリウムの量は減少する一
方、クライオポンプ２０から気化するガスの量は増大し
、これらの増大したガスが凝縮する際にクライオポンプ
２０内の液体ヘリウムは急激な沸１１屯を起こし、クラ
イオポンプ２０内の圧力は不規則的に上昇する。この時
、クライオポンプ２０内は減圧ポンプ１により大気圧以
下に減圧されているが、クライオポンプ２０内の液体ヘ
リウムの２（激な沸騰によってクライオポンプ２０内の
圧力は大気圧以上の正圧となり、時にはクライオポンプ
２０に取りつりられている安全弁１６が作動するまで上
昇し、クライオポンプ２０内のヘリウムガスを人気中に
放出することになる。また、クライオポンプ２０内の圧
力上昇は減圧ライン１５内の極低温ヘリウムガスの流量
が増加しているためで、８ブリ、これはクライオポンプ
２０の再生運転１１．５−に定常状態で運転されている
ヘリウム冷凍機３の熱及び流量バランスを崩す要因とな
る。
リウム冷凍装置全体の運転様式の説明であるが、この運
転様式の他にヘリウム冷凍機の運転とは独立にクライオ
ポンプの運転様式はクライオポンプ２０の定常運転から
クラ・ｆオボンブを昇温さ廿ることによって、クライオ
ポンプ表面に凝縮されていたガスを蒸発させ、このガス
を真空ポンプ２１にて１ノ１気するクライオポンプ２０
の再生運転と再生運転完了後のクライオポンプ２０から
のヘリウムガスを回収するための停止−運転とがある、
クライオポンプの停止運転はクライオポンプの再生運転
後のクライオポンプ２０の昇温中にクライオポンプ２０
内に残留しているヘリウムガスを回収ライン弁１７、回
収ライン１８を介して回収設備１９で回収する運転であ
り、クライオポンプ２０からのヘリウムガスはほぼ大気
圧の状態で回収される。また、クライオポンプ２０の再
生運転は、−例を挙げれば、クラ身オポンプ２０内へ液
体ヘリウムを供給するための予冷弁１１と定當弁１２と
を全開にし、クライオポンプが定常的に受りる熱負荷等
を利用してクライオポンプ２０内の液体ヘリウムを蒸発
昇温させ、クライオポンプ２０に凝縮されていたガスを
気化させることによって行われる。ここで、クライオポ
ンプ２ｏがら気化したガスはクライオポンプ２０内の液
体ヘリウムによって未だ極低温に保たれている他の表面
に凝縮される。これらのガスの気化と凝縮がクライオポ
ンプ２０の表面１８１で繰り返し行われる間に、徐々に
クライオポンプ２０内の液体ヘリウムの量は減少する一
方、クライオポンプ２０から気化するガスの量は増大し
、これらの増大したガスが凝縮する際にクライオポンプ
２０内の液体ヘリウムは急激な沸１１屯を起こし、クラ
イオポンプ２０内の圧力は不規則的に上昇する。この時
、クライオポンプ２０内は減圧ポンプ１により大気圧以
下に減圧されているが、クライオポンプ２０内の液体ヘ
リウムの２（激な沸騰によってクライオポンプ２０内の
圧力は大気圧以上の正圧となり、時にはクライオポンプ
２０に取りつりられている安全弁１６が作動するまで上
昇し、クライオポンプ２０内のヘリウムガスを人気中に
放出することになる。また、クライオポンプ２０内の圧
力上昇は減圧ライン１５内の極低温ヘリウムガスの流量
が増加しているためで、８ブリ、これはクライオポンプ
２０の再生運転１１．５−に定常状態で運転されている
ヘリウム冷凍機３の熱及び流量バランスを崩す要因とな
る。
このアンバランスはヘリウム冷凍機３内に設置されてい
る膨張タービン５に流入するヘリウムガスの温度低下や
減圧ポンプ１又は圧縮機２に導入されるヘリウムガスの
流量増大を引き起こす。ヘリウムガスの温度又は流量が
ある設定値以」〕の場合には、膨張タービン５が過冷却
となったり、減圧ポンプ１又は圧縮機２が過負荷となり
ヘリウム冷凍機３は停止する。
る膨張タービン５に流入するヘリウムガスの温度低下や
減圧ポンプ１又は圧縮機２に導入されるヘリウムガスの
流量増大を引き起こす。ヘリウムガスの温度又は流量が
ある設定値以」〕の場合には、膨張タービン５が過冷却
となったり、減圧ポンプ１又は圧縮機２が過負荷となり
ヘリウム冷凍機３は停止する。
本発明の目的は、クライオポンプ２ｏの再生時等に伴う
クライオポンプ２０内の圧力上昇による安全弁１６の作
動を出来るだ＆−１防止し、同時にヘリウム冷凍機３の
熱及び流量バランスを大きく崩さない範囲でクライオポ
ンプ２ｏがらの極低温ヘリウムガスの寒冷をヘリウム冷
凍機３内でできるだけ回収し得るごときクラ１′オポン
プ制御３１１法を提供することである。
クライオポンプ２０内の圧力上昇による安全弁１６の作
動を出来るだ＆−１防止し、同時にヘリウム冷凍機３の
熱及び流量バランスを大きく崩さない範囲でクライオポ
ンプ２ｏがらの極低温ヘリウムガスの寒冷をヘリウム冷
凍機３内でできるだけ回収し得るごときクラ１′オポン
プ制御３１１法を提供することである。
本発明の具体的な実施例を第２図に示す。クライオポン
プ２０から蒸発したヘリウムガスは減圧ライン弁１４又
は回収ライン弁Ｊ７を介してそれぞれ減圧ライン１５又
は回収ライン１８に導かれる。減圧ライン弁■４と回収
ライン弁Ｉ７の開閉はクライオポンプ２０に取りつけら
れた圧力ｇｌｒｌ ｆｉｒｌ器２２器上２それぞれ独立
に制御される。クラ・イオボンプ２０内圧力による減圧
ライン弁１４と回収ライン弁１７の開閉制御の１具体例
を第３図に示す。Ｏは大気圧、Ａば回収ライン弁１７の
開閉設定圧力、Ｂは減圧ライン弁１４の開閉設定圧力、
Ｃはクライオポンプ２０に設置されている安全弁１６の
作動圧力を示す。Ａの設定圧力は大気圧より少し高い値
とし、Ｂの設定値はへの設定値より高く減圧ライン１５
と接続しているヘリウム冷凍機３の熟及び流量バランス
を大きく崩さない最大値とする。以下にクライオポンプ
２０の再生時におりる減圧ライン弁１４とＵ収うイン弁
１７の具体的な制御法を第３図に従、って説明する。初
めのクライオポンプ２０の百件開始時にばクライオポン
プ２０内の圧力は大気圧以下に減圧されており、ｆｙ、
ｌ圧うイン弁１４ば開、回収ライン弁１７は閉となって
いる。クライオポンプ２０が昇温するにつれてクラ１′
オボンプ２０内の圧力が上昇し、圧力値か設定１１＾八
以上に達する。この時クライオポンプ２０に取りつけら
れた圧力調節器２２により、減圧ジイン弁１４を開の状
態としたまま回収ライン弁１７のめを開とすることによ
って、クライオポンプ２０内のヘリウムガスを回収設備
１９に回収し、クライオポンプ２０内の圧力を低下させ
る。
プ２０から蒸発したヘリウムガスは減圧ライン弁１４又
は回収ライン弁Ｊ７を介してそれぞれ減圧ライン１５又
は回収ライン１８に導かれる。減圧ライン弁■４と回収
ライン弁Ｉ７の開閉はクライオポンプ２０に取りつけら
れた圧力ｇｌｒｌ ｆｉｒｌ器２２器上２それぞれ独立
に制御される。クラ・イオボンプ２０内圧力による減圧
ライン弁１４と回収ライン弁１７の開閉制御の１具体例
を第３図に示す。Ｏは大気圧、Ａば回収ライン弁１７の
開閉設定圧力、Ｂは減圧ライン弁１４の開閉設定圧力、
Ｃはクライオポンプ２０に設置されている安全弁１６の
作動圧力を示す。Ａの設定圧力は大気圧より少し高い値
とし、Ｂの設定値はへの設定値より高く減圧ライン１５
と接続しているヘリウム冷凍機３の熟及び流量バランス
を大きく崩さない最大値とする。以下にクライオポンプ
２０の再生時におりる減圧ライン弁１４とＵ収うイン弁
１７の具体的な制御法を第３図に従、って説明する。初
めのクライオポンプ２０の百件開始時にばクライオポン
プ２０内の圧力は大気圧以下に減圧されており、ｆｙ、
ｌ圧うイン弁１４ば開、回収ライン弁１７は閉となって
いる。クライオポンプ２０が昇温するにつれてクラ１′
オボンプ２０内の圧力が上昇し、圧力値か設定１１＾八
以上に達する。この時クライオポンプ２０に取りつけら
れた圧力調節器２２により、減圧ジイン弁１４を開の状
態としたまま回収ライン弁１７のめを開とすることによ
って、クライオポンプ２０内のヘリウムガスを回収設備
１９に回収し、クライオポンプ２０内の圧力を低下させ
る。
クライオポンプ２０からのヘリウムガスを回収設備で回
収しても、クライオポンプ２ｏ内での液体ヘリウムの／
１ｌＩｉ騰が激しく、クライオポンプ２ｏ内の圧力が設
定値３以上にさらに上昇する場合は、圧力調節器２２に
より回収ライン弁１７を開の状態のままとし減圧ライン
弁１４のめを閉とする。
収しても、クライオポンプ２ｏ内での液体ヘリウムの／
１ｌＩｉ騰が激しく、クライオポンプ２ｏ内の圧力が設
定値３以上にさらに上昇する場合は、圧力調節器２２に
より回収ライン弁１７を開の状態のままとし減圧ライン
弁１４のめを閉とする。
減圧ライン弁１４が閑となることにより クライオポン
プ２０とヘリウム冷凍機３は隔蘭され、最早クライオポ
ンプ２０からの一＼リウムカスによるヘリウム冷凍機３
への影響はなくなる。ここで、クライオポンプ２０から
のヘリウノ、ガスは回収設備１９に回収されるだＬＪと
なり、クライオポンプ２０内の圧力が設定４１へＢ以下
に下がらない１；Ｒす、減圧ライン弁１４は閉、回収ジ
イン弁１７は開を維持する。以上のように、減圧ライン
弁１４と回収ライン弁１７を圧力調節器２２により開閉
さ−Ｕて、クライオポンプ２０内の圧力を軽減さ−υる
制御を行ってもクライオポンプ２０に取りっｉＪられて
いる安全弁１Ｇの作動圧力０以七にクライオポンプ２０
内の圧力が」昇する場合は、安全弁１６が作動してクラ
イオポンプ２０内のヘリウムガスは人気中に放出される
。
プ２０とヘリウム冷凍機３は隔蘭され、最早クライオポ
ンプ２０からの一＼リウムカスによるヘリウム冷凍機３
への影響はなくなる。ここで、クライオポンプ２０から
のヘリウノ、ガスは回収設備１９に回収されるだＬＪと
なり、クライオポンプ２０内の圧力が設定４１へＢ以下
に下がらない１；Ｒす、減圧ライン弁１４は閉、回収ジ
イン弁１７は開を維持する。以上のように、減圧ライン
弁１４と回収ライン弁１７を圧力調節器２２により開閉
さ−Ｕて、クライオポンプ２０内の圧力を軽減さ−υる
制御を行ってもクライオポンプ２０に取りっｉＪられて
いる安全弁１Ｇの作動圧力０以七にクライオポンプ２０
内の圧力が」昇する場合は、安全弁１６が作動してクラ
イオポンプ２０内のヘリウムガスは人気中に放出される
。
以１のクライオポンプ制御法により、クライオポンプ２
０の再生によるクラ・イオボンプ２０内の圧力−１−シ
フＩろにおいてもヘリウム冷凍（幾３の熱及びｉ％ｔ
ｆｌ（バランスを大きく崩すことなく、クライオポンプ
２０からの極低温ヘリウムガスの寒冷を最大限に・＼リ
ウノ・冷凍殿３内で回収することができ、同１１、−に
クツ１′オボンプ２０に取りつりられた安全弁１Ｇから
の・＼リウムガスの人気放出を最終段階まで防１１−す
るごとにより、ヘリウムカスを減することなしに回収す
ることができる。また、このタライメボンブ制ｉ卸ｌ去
は、クライオポンプ２０の四へＬ運転の場合だレノでな
く、クライオポンプ２０の予冷運転等におりるクライオ
ポンプ２０内の圧力−１１）−Ｉ′時にも適用でき、複
数のクライオポンプ２０を同Ｏｈに運転するようなヘリ
ウム冷凍装置のクライオポンプ制御には特に￥４効であ
る。
０の再生によるクラ・イオボンプ２０内の圧力−１−シ
フＩろにおいてもヘリウム冷凍（幾３の熱及びｉ％ｔ
ｆｌ（バランスを大きく崩すことなく、クライオポンプ
２０からの極低温ヘリウムガスの寒冷を最大限に・＼リ
ウノ・冷凍殿３内で回収することができ、同１１、−に
クツ１′オボンプ２０に取りつりられた安全弁１Ｇから
の・＼リウムガスの人気放出を最終段階まで防１１−す
るごとにより、ヘリウムカスを減することなしに回収す
ることができる。また、このタライメボンブ制ｉ卸ｌ去
は、クライオポンプ２０の四へＬ運転の場合だレノでな
く、クライオポンプ２０の予冷運転等におりるクライオ
ポンプ２０内の圧力−１１）−Ｉ′時にも適用でき、複
数のクライオポンプ２０を同Ｏｈに運転するようなヘリ
ウム冷凍装置のクライオポンプ制御には特に￥４効であ
る。
第１図はクライオポンプを冷却するための−・リウム冷
凍装置の系統図である。 第２図は本発明のクライオポンプ−１，制御法の１実施
例を示す。 第３図は本発明による弁の開閉制御の１具体例を示す。 図において、 １ 減圧ポンプ ２ 圧縮機 ３ ヘリウム冷凍機 ４ 熱交換機 ５ 膨張タービン ６ 熱交換機 ７ 膨張弁 ８ ｌｌ’ｊ体ヘリ・しムデュワ− ９供給ライン １０ 直空容器 １１ 予冷弁 １２ 定常弁 １３ 気液分離器 １４ 減圧ライン弁１５ 減圧ライ
ン １６ 安全弁 １７ 回収ライン弁 １８ 回収ライン１９ 回収設備
２０ クライオポンプ２１ 真空ポンプ ２２ 圧力
調節器 奉１図 奉２ 図 手続主甫正書（自発） 昭和５９年６月１日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第００５７８４号 ２、発明の名称 タライオボンプ制御法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区内幸町二丁目２番２号名称（４０
７）日本原子力研究所 ４、代理人 住所 ■１０４東京都中央区銀座８丁目１５番１０号銀
座ダイヤハイツ４１０号 ５、補正の対象 明細書の〔発明の詳細な説明〕の欄 ６、補正の内容 （１１明細書の下記の個所の「熱交換機」を「熱交換器
Ｊに訂正する。 一二日二−′テ ２ １０．１２．１３．１７ ９ １０ １０．１１ （２）第３頁６行の１気液分離機」を ｒ気液分離器ｊに訂正する。 （３）第４頁１０行の「全開」を「全閉」に訂正する。
凍装置の系統図である。 第２図は本発明のクライオポンプ−１，制御法の１実施
例を示す。 第３図は本発明による弁の開閉制御の１具体例を示す。 図において、 １ 減圧ポンプ ２ 圧縮機 ３ ヘリウム冷凍機 ４ 熱交換機 ５ 膨張タービン ６ 熱交換機 ７ 膨張弁 ８ ｌｌ’ｊ体ヘリ・しムデュワ− ９供給ライン １０ 直空容器 １１ 予冷弁 １２ 定常弁 １３ 気液分離器 １４ 減圧ライン弁１５ 減圧ライ
ン １６ 安全弁 １７ 回収ライン弁 １８ 回収ライン１９ 回収設備
２０ クライオポンプ２１ 真空ポンプ ２２ 圧力
調節器 奉１図 奉２ 図 手続主甫正書（自発） 昭和５９年６月１日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第００５７８４号 ２、発明の名称 タライオボンプ制御法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区内幸町二丁目２番２号名称（４０
７）日本原子力研究所 ４、代理人 住所 ■１０４東京都中央区銀座８丁目１５番１０号銀
座ダイヤハイツ４１０号 ５、補正の対象 明細書の〔発明の詳細な説明〕の欄 ６、補正の内容 （１１明細書の下記の個所の「熱交換機」を「熱交換器
Ｊに訂正する。 一二日二−′テ ２ １０．１２．１３．１７ ９ １０ １０．１１ （２）第３頁６行の１気液分離機」を ｒ気液分離器ｊに訂正する。 （３）第４頁１０行の「全開」を「全閉」に訂正する。
Claims (1)
- 大気圧以下に減圧されたｌ＆体ヘリウムによって冷却さ
れたクライオポンプとクライオポンプで発η；した極低
温ヘリウムガスの寒冷を回収するためのヘリウム冷凍機
とが減圧ラインによって接続され、クライオポンプとク
ライオポンプからのヘリウムガスをほぼ大気圧状態で回
収することのできる回収段（＋ｉｉｉとが回収ラインに
よって接続されているヘリウム冷凍装置において、減圧
ライン及び回収ラインにそれぞれ取りつりられた減圧ラ
イン弁と回収ライン弁とをクライオポンプ内の圧力の程
度に応して独立に制御させることにより、クライオポン
プ内の圧力の−Ｌ昇を軽減させ、又は減圧ラインを経て
ヘリウム冷凍機内に送り込まれるヘリウムガス量を制限
させることを特徴とするクライオポンプ制御法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP578484A JPS60149855A (ja) | 1984-01-18 | 1984-01-18 | クライオポンプ制御法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP578484A JPS60149855A (ja) | 1984-01-18 | 1984-01-18 | クライオポンプ制御法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60149855A true JPS60149855A (ja) | 1985-08-07 |
Family
ID=11620729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP578484A Pending JPS60149855A (ja) | 1984-01-18 | 1984-01-18 | クライオポンプ制御法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60149855A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013057495A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Linde Ag | 冷熱設備 |
-
1984
- 1984-01-18 JP JP578484A patent/JPS60149855A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013057495A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Linde Ag | 冷熱設備 |
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