JP2008138910A - ヘリウム液化機 - Google Patents
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Abstract
【課題】He液化機が運転停止になり内部がHeガス封止状態となり、侵入熱などにより装置内のHeガス圧が設計圧力以上となった場合に、液化機内のHeを外部に逃がすことなく、装置内を所定の圧力に保持する。
【解決手段】He圧縮機1と、圧縮機1で加圧されたガスを導く高圧系配管12と、高圧系配管12を流れるガスを冷却する熱交換器群5と、熱交換器群5で冷却されたガスを液化するJT弁8と、JT弁8で液化された液化Heを貯留する貯槽11と、貯槽11からのガスを熱交換器群5に導き、さらに圧縮機1に送る低圧系配管13と、バッファータンク19と、バッファータンク19からのガスを圧縮機1に送る原料He供給管21を備えたHe液化機において、高圧系配管12または低圧系配管13と原料He供給管21とをつなぐ圧力調整用配管25を設け、この圧力調整用配管25に一次圧力調整弁26、27を設ける。
【選択図】図1
【解決手段】He圧縮機1と、圧縮機1で加圧されたガスを導く高圧系配管12と、高圧系配管12を流れるガスを冷却する熱交換器群5と、熱交換器群5で冷却されたガスを液化するJT弁8と、JT弁8で液化された液化Heを貯留する貯槽11と、貯槽11からのガスを熱交換器群5に導き、さらに圧縮機1に送る低圧系配管13と、バッファータンク19と、バッファータンク19からのガスを圧縮機1に送る原料He供給管21を備えたHe液化機において、高圧系配管12または低圧系配管13と原料He供給管21とをつなぐ圧力調整用配管25を設け、この圧力調整用配管25に一次圧力調整弁26、27を設ける。
【選択図】図1
Description
この発明は、ヘリウム液化機に関し、ヘリウム液化機の運転停止時などの際に、ヘリウム液化機内部の配管内のヘリウムガス圧力が過度に上昇することを防止するとともに、ヘリウムガスの損失を防止することができるようにしたものである。
図3は、従来のヘリウム液化機を示すものである。図3において、符号1は、ヘリウム圧縮機を示す。
ヘリウム圧縮機1で1MPaG程度に加圧されたヘリウムガスは、高圧系配管12を通り弁2を経て、熱交換器群5に送られ、ここで約5〜7K程度に冷却されたのち、JT(ジュールトムソン)弁8に送られ、ここで0.01MPaG程度に減圧される。
ヘリウム圧縮機1で1MPaG程度に加圧されたヘリウムガスは、高圧系配管12を通り弁2を経て、熱交換器群5に送られ、ここで約5〜7K程度に冷却されたのち、JT(ジュールトムソン)弁8に送られ、ここで0.01MPaG程度に減圧される。
このJT弁8での減圧により、ヘリウムガスの一部は液化して液化ヘリウムとなり、ヘリウム貯槽11に貯えられる。残部のヘリウムガスおよびヘリウム貯槽11で気化したヘリウムガスは、低圧系配管13を通り、ヘリウムガス戻り弁9を経由して前記熱交換器群5を逆行して高圧系配管12を流れるヘリウムガスを冷却し、自らは常温まで加熱され、弁3を経由してヘリウム圧縮機1に戻り、サイクルを構成する。
また、高圧系配管12を流れるヘリウムガスの一部は弁7を通り、膨張タービン6、6に送られ、ここで発生した低温ガスは、その後低圧系配管13に合流して熱交換器群5を介して高圧系配管12を流れるヘリウムガスを冷却する。
符号19は、ヘリウムガスを貯えるヘリウムバッファータンクを示し、このヘリウムバッファータンク19からのヘリウムガスが必要に応じて弁20、原料ヘリウム供給管21、ロード弁15を通り、ヘリウム圧縮機1に送られ、上述のようにして液化に供されるようになっている。
符号19は、ヘリウムガスを貯えるヘリウムバッファータンクを示し、このヘリウムバッファータンク19からのヘリウムガスが必要に応じて弁20、原料ヘリウム供給管21、ロード弁15を通り、ヘリウム圧縮機1に送られ、上述のようにして液化に供されるようになっている。
また、純ガスボンベ24には、高純度ヘリウムガスが充填されており、液化に必要なヘリウムガスが不足した際には、このボンベ24からヘリウムガスが弁23、減圧弁22を経てヘリウムバッファータンク19に補充されるように構成されている。
さらに、ロード弁15およびアンロード弁14は、ヘリウム圧縮機1の吐出圧力を制御し、高圧系配管12内のヘリウムガスの圧力が過大となると、アンロード弁14が開となってヘリウムバッファータンク19にヘリウムガスを逃がし、低圧系配管13内の圧力が過小になると、ロード弁15が開となってヘリウムバッファータンク19からヘリウムガスを供給するようになっている。
バイパス弁16は、ヘリウム圧縮機1の吸入圧力を制御するもので、低圧系配管13内の圧力が過小となると、開となって高圧系配管12からの高圧のヘリウムが低圧系配管13を経てヘリウム圧縮機1に送られるようになっている。
符号4は、コールドボックスであり、このコールドボックス4内に熱交換器群5、膨張タービン6、6、JT弁8、ヘリウムガス戻り弁9などが外部から断熱状態で収容されている。
バイパス弁16は、ヘリウム圧縮機1の吸入圧力を制御するもので、低圧系配管13内の圧力が過小となると、開となって高圧系配管12からの高圧のヘリウムが低圧系配管13を経てヘリウム圧縮機1に送られるようになっている。
符号4は、コールドボックスであり、このコールドボックス4内に熱交換器群5、膨張タービン6、6、JT弁8、ヘリウムガス戻り弁9などが外部から断熱状態で収容されている。
このようなヘリウム液化機では、定常運転状態から停止状態となると、ヘリウム貯槽11の保護のため、JT弁8、ヘリウムガス戻り弁9、弁2、弁3、弁23が閉とされ、高圧系配管12、低圧系配管13の一部にヘリウムガスが封じ込められた封止状態となる。
この状態で長時間放置しておくと、外部からの侵入熱により配管内部のガスが膨張して、圧力が上昇する。この圧力が装置の設計圧力よりも高くなると、装置の破損防止のため、安全弁17、18が開となって装置内部のヘリウムガスが大気中に放散されるようになっている。
この状態で長時間放置しておくと、外部からの侵入熱により配管内部のガスが膨張して、圧力が上昇する。この圧力が装置の設計圧力よりも高くなると、装置の破損防止のため、安全弁17、18が開となって装置内部のヘリウムガスが大気中に放散されるようになっている。
しかしながら、ヘリウムを大気中に放散することは、稀少で高価なヘリウムを無駄にすることになるので、避けることが望ましい。
特開平6−337191号公報
特開平10−160264号公報
特開2002−31475号公報
よって、本発明における課題は、ヘリウム液化機が運転停止などとなって、内部にヘリウムガスが封入された状態となり、外部からの侵入熱などの原因により装置内部のヘリウムガスの圧力が設計圧力以上となった場合に、ヘリウム液化機内の貴重なヘリウムを外部に逃がすことなく、装置内の圧力を所定の圧力以下に保持できるようにすることにある。
かかる課題を解決するため、
請求項1にかかる発明は、ヘリウムガスを圧縮するヘリウム圧縮機と、このヘリウム圧縮機で加圧されたヘリウムガスを導く高圧系配管と、この高圧系配管を流れるヘリウムガスを冷却する熱交換器群と、この熱交換器群で冷却されたヘリウムガスを液化するJT弁と、このJT弁で液化された液化ヘリウムを貯留するヘリウム貯槽と、このヘリウム貯槽からの低温のヘリウムガスを前記熱交換器群に導き、さらに前記ヘリウム圧縮機へと送る低圧系配管と、ヘリウムガスを貯めるヘリウムバッファータンクと、このヘリウムバッファータンクからのヘリウムガスを前記ヘリウム圧縮機に送る原料ヘリウム供給管を備えたヘリウム液化機において、
前記高圧系配管または低圧系配管のいずれか一方もしくは両方と前記原料ヘリウム供給管とをつなぐ圧力調整用配管を設け、この圧力調整用配管に一次圧力調整弁を設けたことを特徴とするヘリウム液化機である。
請求項1にかかる発明は、ヘリウムガスを圧縮するヘリウム圧縮機と、このヘリウム圧縮機で加圧されたヘリウムガスを導く高圧系配管と、この高圧系配管を流れるヘリウムガスを冷却する熱交換器群と、この熱交換器群で冷却されたヘリウムガスを液化するJT弁と、このJT弁で液化された液化ヘリウムを貯留するヘリウム貯槽と、このヘリウム貯槽からの低温のヘリウムガスを前記熱交換器群に導き、さらに前記ヘリウム圧縮機へと送る低圧系配管と、ヘリウムガスを貯めるヘリウムバッファータンクと、このヘリウムバッファータンクからのヘリウムガスを前記ヘリウム圧縮機に送る原料ヘリウム供給管を備えたヘリウム液化機において、
前記高圧系配管または低圧系配管のいずれか一方もしくは両方と前記原料ヘリウム供給管とをつなぐ圧力調整用配管を設け、この圧力調整用配管に一次圧力調整弁を設けたことを特徴とするヘリウム液化機である。
請求項2にかかる発明は、ヘリウムガスを圧縮するヘリウム圧縮機と、このヘリウム圧縮機で加圧されたヘリウムガスを導く高圧系配管と、この高圧系配管を流れるヘリウムガスを冷却する熱交換器群と、この熱交換器群で冷却されたヘリウムガスを液化するJT弁と、このJT弁で液化された液化ヘリウムを貯留するヘリウム貯槽と、このヘリウム貯槽からの低温のヘリウムガスを前記熱交換器群に導き、さらに前記ヘリウム圧縮機へと送る低圧系配管と、ヘリウムガスを貯めるヘリウムバッファータンクと、このヘリウムバッファータンクからのヘリウムガスを前記ヘリウム圧縮機に送る原料ヘリウム供給管を備えたヘリウム液化機において、
前記高圧系配管と前記原料ヘリウム供給管とをつなぐ圧力調整用配管を設け、この圧力調整用配管に一次圧力調整弁を設け、
前記低圧系配管と前記圧力調整用配管とをつなぐ管を設け、この管に前記低圧系配管から前記圧力調整用配管へのガスの流れを許容する逆止弁を設けたことを特徴とするヘリウム液化機である。
前記高圧系配管と前記原料ヘリウム供給管とをつなぐ圧力調整用配管を設け、この圧力調整用配管に一次圧力調整弁を設け、
前記低圧系配管と前記圧力調整用配管とをつなぐ管を設け、この管に前記低圧系配管から前記圧力調整用配管へのガスの流れを許容する逆止弁を設けたことを特徴とするヘリウム液化機である。
請求項3にかかる発明は、前記一次圧力調整弁が自力式一次圧力調整弁であることを特徴とする請求項1または2記載のヘリウム液化機である。
本発明によれば、高圧系配管または低圧系配管のいずれか一方もしくは両方と前記原料ヘリウム供給管とをつなぐ圧力調整用配管を設け、この圧力調整用配管に一次圧力調整弁を設けたので、ヘリウム液化機の配管内の圧力が装置の設計圧力を越える前に、一次圧力調整弁を開くようにすることができ、配管内のヘリウムガスをヘリウムバッファータンク内に逃がすことができる。
このため、貴重なヘリウムガスを無駄にすることなく、装置の破損を防止できる。
さらに、一次圧力調整弁として、自力式のものを用いれば、これの開閉操作に電力等の動力源が不要となって、メンテナンスに有利となる。
このため、貴重なヘリウムガスを無駄にすることなく、装置の破損を防止できる。
さらに、一次圧力調整弁として、自力式のものを用いれば、これの開閉操作に電力等の動力源が不要となって、メンテナンスに有利となる。
図1は、本発明のヘリウム液化機の一例を示すもので、図3に示した従来のヘリウム液化機と同一構成部分には同一符号を付してその説明を省略する。
この例のヘリウム液化機にあっては、高圧系配管12と原料ヘリウム供給管21との間、および低圧系配管13と原料ヘリウム供給管21との間をつなぐ圧力調整用配管25、25が設けられており、これら2本の圧力調整用配管25、25にそれぞれ高圧系自力式一次圧力調整弁26、低圧系自力式一次圧力調整弁27が設けられている点が図3に示した従来のヘリウム液化機と異なるところである。
この例のヘリウム液化機にあっては、高圧系配管12と原料ヘリウム供給管21との間、および低圧系配管13と原料ヘリウム供給管21との間をつなぐ圧力調整用配管25、25が設けられており、これら2本の圧力調整用配管25、25にそれぞれ高圧系自力式一次圧力調整弁26、低圧系自力式一次圧力調整弁27が設けられている点が図3に示した従来のヘリウム液化機と異なるところである。
前記圧力調整用配管25、25は、コールドボックス4の外側の高圧系配管12および低圧系配管13のそれぞれの安全弁17、18の近くに接続されている。
自力式一次圧力調整弁とは、その開閉操作に外部からの動力(電力、加圧空気など)を要しないタイプの圧力調整弁である。
自力式一次圧力調整弁とは、その開閉操作に外部からの動力(電力、加圧空気など)を要しないタイプの圧力調整弁である。
また、高圧系配管12につながる圧力調整用配管25に設けられた高圧系自力式一次圧力調整弁26の設定圧力は、高圧系配管12に設けられた安全弁17の設定圧力よりも低くされ、低圧系配管13につながる圧力調整用配管25に設けられた低圧系自力式一次圧力調整弁27の設定圧力は、低圧系配管13に設けられた安全弁18の設定圧力よりも低くされている。
また、ヘリウムバッファータンク19の内容積は、従来のヘリウム液化機でのヘリウムバッファータンクの内容積よりも大きくなっており、高圧系自力式一次圧力調整弁26、低圧系自力式一次圧力調整弁27が開となってヘリウムガスがヘリウム原料供給管21を経てヘリウムバッファータンク19に流入しても、設計圧力を越えないように構成されている。
このようなヘリウム液化機にあっては、運転停止時などの際に、コールドボックス4内の高圧系配管12と低圧系配管13内部に残留するヘリウムガスが封じ込められた状態になって、外部からの侵入熱などによってそのヘリウムガスの圧力が上昇し、設計圧力を越える前に、高圧系自力式一次圧力調整弁26または低圧系自力式一次圧力調整弁27、もしくはその両方が開となり、高圧系配管12または低圧系配管13もしくはその両方のヘリウムガスが原料ヘリウム供給管21を通り、ヘリウムバッファータンク19に流れ、回収される。
このため、高圧系配管12および低圧系配管13内の圧力が所定の圧力以下に保持できるので、装置の安全弁17、18が作動してヘリウムが無駄に大気中に放散されることもない。
また、自力式一次圧力調整弁を用いているので、電力、加圧空気等の動力源が不要であり、メンテナンスも容易である。
さらに、JTバイパス弁10を停止時に開くことで、高圧系配管12と低圧系配管13とが均圧化するので高圧系自力式一次圧力調整弁26、低圧系自力式一次圧力調整弁27のいずれか一方が作用し、昇圧防止策の二重化にもなる。
また、自力式一次圧力調整弁を用いているので、電力、加圧空気等の動力源が不要であり、メンテナンスも容易である。
さらに、JTバイパス弁10を停止時に開くことで、高圧系配管12と低圧系配管13とが均圧化するので高圧系自力式一次圧力調整弁26、低圧系自力式一次圧力調整弁27のいずれか一方が作用し、昇圧防止策の二重化にもなる。
この図1に示した例では、高圧系配管12の常用圧力は0.858MPaGで、低圧系配管13の常用圧力は0.012MPaGとなっている。また、両方の自力式一次圧力調整弁26、27の設定圧力は0.93MPaG、安全弁17、18の設定圧力は、0.99MPaGとされている。
そして、ヘリウム液化機が運転停止などとなって、高圧系配管12と低圧系配管13との内部にヘリウムガスが封じ込められ、外部からの侵入熱などの原因によって装置内部のヘリウムガスが昇圧した際にも、自力式一次圧力調整弁26、27のいずれか一方もしくは両方が開となり、ヘリウムバッファータンク19にヘリウムガスが流れてその圧力を0.93MPaG以下に保つことが可能である。したがって、安全弁17、18が作動することがない。
図2は、本発明のヘリウム液化機の他の例を示すもので、図1に示した液化機と同一構成部分には同一符号を付してその説明を省略する。
この例のヘリウム液化機では、高圧系配管12とヘリウム原料供給管21とをつなぐ圧力調整用配管25が設けられ、この圧力調整用配管25に高圧系自力式一次圧力調整弁26が設けられている。
この例のヘリウム液化機では、高圧系配管12とヘリウム原料供給管21とをつなぐ圧力調整用配管25が設けられ、この圧力調整用配管25に高圧系自力式一次圧力調整弁26が設けられている。
また、低圧系配管13と前記圧力調整用配管25とが高圧系自力式一次圧力調整弁26の上流側において管29で接続され、この管29に逆止弁28が取り付けられている。この逆止弁28は、低圧系配管13内の圧力が高圧系配管12内の圧力を越えると、低圧系配管13内のヘリウムガスを圧力調整用配管25を経て高圧系配管12に逃がすように作動するもので、そのクラッキング圧が0.003MPaとされており、高圧系配管12の圧力と低圧系配管13の圧力との差圧がこのクラッキング圧以上になると圧力調整用配管25へ圧力を逃がすようになっている。
また、この図2に示した例でも、図1に示したものと同様の圧力が設定されている場合に、低圧系配管13内の圧力が高圧系配管12内の圧力よりも上昇すると、逆止弁28が作動して、低圧系配管13内のガスが圧力調整用配管25を介して高圧系配管12に流れて圧力を逃がす。
高圧系配管12内のヘリウムガスの圧力が0.93MPaGに上昇すれば、高圧系自力式一次圧力調整弁26が開となり、ヘリウムバッファータンク19にヘリウムガスが流れる。なお、逆止弁28のクラッキング圧が、安全弁17、18の設定圧力と自力式一次圧力調整弁26の設定圧力との差に対して十分小さいため、低圧系配管13の圧力上昇においても安全弁17、18が作動することがない。
高圧系配管12内のヘリウムガスの圧力が0.93MPaGに上昇すれば、高圧系自力式一次圧力調整弁26が開となり、ヘリウムバッファータンク19にヘリウムガスが流れる。なお、逆止弁28のクラッキング圧が、安全弁17、18の設定圧力と自力式一次圧力調整弁26の設定圧力との差に対して十分小さいため、低圧系配管13の圧力上昇においても安全弁17、18が作動することがない。
このように、前記2つの例では、例えば自力式一次圧力調整弁26、27の設定圧力を0.93MPaGとすれば、装置内部の圧力は、自律的に0.99MPaG以下に抑えることが可能であり、内部のヘリウムは、高圧ガス保安法で規定される「高圧ガス」に該当せず、許認可の点で有利となる。
1・・ヘリウム圧縮機、5・・熱交換器群、8・・JT弁、11・・ヘリウム貯槽、12・・高圧系配管、13・・低圧系配管、19・・ヘリウムバッファータンク、21・・原料ヘリウム供給管、25・・圧力調整用配管、26・・高圧系自力式一次圧力調整弁、27・・低圧系自力式一次圧力調整弁、28・・逆止弁、29・・管
Claims (3)
- ヘリウムガスを圧縮するヘリウム圧縮機と、このヘリウム圧縮機で加圧されたヘリウムガスを導く高圧系配管と、この高圧系配管を流れるヘリウムガスを冷却する熱交換器群と、この熱交換器群で冷却されたヘリウムガスを液化するJT弁と、このJT弁で液化された液化ヘリウムを貯留するヘリウム貯槽と、このヘリウム貯槽からの低温のヘリウムガスを前記熱交換器群に導き、さらに前記ヘリウム圧縮機へと送る低圧系配管と、ヘリウムガスを貯めるヘリウムバッファータンクと、このヘリウムバッファータンクからのヘリウムガスを前記ヘリウム圧縮機に送る原料ヘリウム供給管を備えたヘリウム液化機において、
前記高圧系配管または低圧系配管のいずれか一方もしくは両方と前記原料ヘリウム供給管とをつなぐ圧力調整用配管を設け、この圧力調整用配管に一次圧力調整弁を設けたことを特徴とするヘリウム液化機。 - ヘリウムガスを圧縮するヘリウム圧縮機と、このヘリウム圧縮機で加圧されたヘリウムガスを導く高圧系配管と、この高圧系配管を流れるヘリウムガスを冷却する熱交換器群と、この熱交換器群で冷却されたヘリウムガスを液化するJT弁と、このJT弁で液化された液化ヘリウムを貯留するヘリウム貯槽と、このヘリウム貯槽からの低温のヘリウムガスを前記熱交換器群に導き、さらに前記ヘリウム圧縮機へと送る低圧系配管と、ヘリウムガスを貯めるヘリウムバッファータンクと、このヘリウムバッファータンクからのヘリウムガスを前記ヘリウム圧縮機に送る原料ヘリウム供給管を備えたヘリウム液化機において、
前記高圧系配管と前記原料ヘリウム供給管とをつなぐ圧力調整用配管を設け、この圧力調整用配管に一次圧力調整弁を設け、
前記低圧系配管と前記圧力調整用配管とをつなぐ管を設け、この管に前記低圧系配管から前記圧力調整用配管へのガスの流れを許容する逆止弁を設けたことを特徴とするヘリウム液化機。 - 前記一次圧力調整弁が自力式一次圧力調整弁であることを特徴とする請求項1または2記載のヘリウム液化機。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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JP (1) | JP2008138910A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009066565A1 (ja) * | 2007-11-19 | 2009-05-28 | Ihi Corporation | 極低温冷凍装置とその制御方法 |
CN101655305B (zh) * | 2009-08-17 | 2011-07-06 | 成都黄金地真空技术开发有限公司 | 一种以涡旋式压缩机为核心的氦气压缩净化机组 |
CN104317322A (zh) * | 2014-10-24 | 2015-01-28 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种自动调压式高压氦气控制系统 |
CN104879968A (zh) * | 2015-04-17 | 2015-09-02 | 浙江大学 | 采用旁通节流的低温间壁式换热器及预冷型j-t制冷机 |
-
2006
- 2006-11-30 JP JP2006323887A patent/JP2008138910A/ja active Pending
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Legal Events
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Effective date: 20090310 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090409 |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090714 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |