JPS6014757Y2 - 蒸着装置 - Google Patents

蒸着装置

Info

Publication number
JPS6014757Y2
JPS6014757Y2 JP186579U JP186579U JPS6014757Y2 JP S6014757 Y2 JPS6014757 Y2 JP S6014757Y2 JP 186579 U JP186579 U JP 186579U JP 186579 U JP186579 U JP 186579U JP S6014757 Y2 JPS6014757 Y2 JP S6014757Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
nozzle
exhaust
box
heat insulating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP186579U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS55103262U (ja
Inventor
延孝 大場
Original Assignee
日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP186579U priority Critical patent/JPS6014757Y2/ja
Publication of JPS55103262U publication Critical patent/JPS55103262U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6014757Y2 publication Critical patent/JPS6014757Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、蒸着装置の構造の改良に関する。
ガラス板表面に金属酸化皮膜を蒸着する方法は、従来か
ら色々な方法が考えられているが、例えはガラス板表面
に半導体皮膜を形成させるのに二塩化ジメチル錫（以下
処理剤と呼ぶ）を利用しているものを例にとり従来の方
法を説明する。
第１図は、従来の蒸着装置の正面より見た蒸着ノズル部
の断面概略構造であり、又第２図はノズル吹出部より見
た概略構造である。
図において、処理剤は、蒸気圧が高く容易に気する性質
を有しているので加熱空気を処理剤に吹きつけ発生する
処理剤蒸気と加熱空気の混合気体１をノズル２より、発
熱体３に依りあらかじめ約６００℃に加熱しである蒸着
室４内の送りベルト５上に積載されたガラス等からなる
試料６に連続噴射し、試料６上で混合気体１中の処理剤
蒸気を熱分解させ、試料上に蒸着膜を得ている。
ノズル２の周囲には、ノズル２内を通過する混合気体を
一定温度に保つための保温材７及び水冷箱８が設けられ
ている。
試料６に蒸着されない残存混合気体はノズル２を挾む両
側に設けられた水冷箱８の側面８ａと炉芯管９の一面９
ａより構成される排気部１０より装置外部へ導かれるが
混合気体中の処理剤蒸気は、約１０８℃以下の温度とな
ると凝固する性質を有しているので、水冷箱８の影響を
受ける排気部１０を構成する８ａ、９ａ面に処理剤が凝
固し排気部１０が詰り、排気能力の変動を来す恐れがあ
る。
膜厚が均一で安定した精度の高い蒸着膜を得るためには
、ノズル２よりベルト５の進行方向に対し直角方向に常
時一定量の混合気体が供給されなければならないことは
無論であるが、排気部１０に詰りか発生すると排気バラ
ンスがくずれ、蒸着膜厚がいちぢるしく不均一となる。
このようなことを避けるためには排気バランスをとる事
が必要であるが、排気部１０は、ベルト進行方向に対す
る直角方向が一つの矩形箱として構成されているので直
角方向の排気バランスを制御することは不可能であった
。
本考案はかかる欠点を除去し、均一な厚さの蒸着膜が得
られる蒸着装置を提供することである。
本考案によれば、原料ガスを噴出するノズルと、このノ
ズルを周囲より冷却する水冷箱を有し、加熱された試料
に原料ガスを吹きつけて、試料上に所望の蒸着膜をうる
蒸着装置において、水冷箱の外周に断熱材を設け、その
外側に複数個に分割され、分割部側壁に発熱体を備えた
排気箱を設けた蒸着装置が得られる。
以下図面に依って本考案を詳細に説明する。
第３図は本考案による蒸着装置の正面より見た蒸着部断
面概略構造であり、第４図は本考案による排気箱の斜視
図である。
従来装置同様、処理剤蒸気と加熱空気の混合気体１をノ
ズル２より発熱体３に依り、あらかじめ約６００℃に加
熱しである蒸着室４内の送りベルト５に積載された試料
６に連続噴射し試料６上に蒸着膜を形成する。
残存混合気体は排気箱１１を通って排気される。
本考案では排気箱１１はノズル２を挾み、ベルト進行方
向に対して設けられた水冷箱８の外壁８′に密着した断
熱材１２を介して設けられ水冷による影響がないように
考慮されている。
さらに排気箱１１は、例えばｌｌａ”−ｃ。１１ｄ−ｆ
とベルト５の進行方向に対し、直角方向に複数個に分割
された排気量制御可能な独立した排気部が設けられてお
り、かつ、それぞれの排気部１１ａ”ｆはその内壁に平
板状の発熱体１３が取付けられており排気部内の温度制
御が可能な構造となっている。
かかる構造を有しているためベルト５の進行方向に対す
る直角方向の排気量制御は容易となり、かつ、排気箱１
１ａ〜ｆ内で処理蒸気が凝固することなく安定した精度
の高い蒸着膜を容易に得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の蒸着装置の正面より見た蒸着部断面概略
図、第２図は、従来装置のノズル吹出部より見た蒸着部
概略図、第３゛図は、本考案の正面より見た蒸着部断面
概略図、第４図は本考案による排気箱の斜視図である。 図において、２・・・・・・ノズル、３・・・・・・試
料昇温用発熱体、４・・・・・・蒸着室、５・・・・・
・送りベルト、６・・・・・・試料、８・・・・・・水
冷箱、１１・・・・・・排気箱、１２・・・・・・断熱
材、１３・・・・・・平板状発熱体、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 原料ガスを噴出するノズルと、該ノズルを周囲より冷却
    する水冷箱を有し、ノズルから噴出させた原料ガスを試
    料に当て所望の蒸着膜を形成する蒸着装置において、前
    記水冷箱の外周に断熱材を密着させ、さらに断熱材の外
    側に内部が複数個に分割され、かつ分割部側壁に平板状
    の発熱体を具備した排気箱を設けたことを特徴とする蒸
    着装置。
JP186579U 1979-01-09 1979-01-09 蒸着装置 Expired JPS6014757Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP186579U JPS6014757Y2 (ja) 1979-01-09 1979-01-09 蒸着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP186579U JPS6014757Y2 (ja) 1979-01-09 1979-01-09 蒸着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS55103262U JPS55103262U (ja) 1980-07-18
JPS6014757Y2 true JPS6014757Y2 (ja) 1985-05-10

Family

ID=28804396

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP186579U Expired JPS6014757Y2 (ja) 1979-01-09 1979-01-09 蒸着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6014757Y2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0714362Y2 (ja) * 1985-07-27 1995-04-05 日電アネルバ株式会社 薄膜形成装置
FR2856057B1 (fr) * 2003-06-13 2007-03-30 Saint Gobain Traitement par projection de panneaux poses sur un support barriere

Also Published As

Publication number Publication date
JPS55103262U (ja) 1980-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2224769A1 (en) Article made by layer deposition of metal
GB2111831A (en) Sterilizing packaging material in particular packaging containers
CA2027761A1 (en) Method for preparing vaporized reactants for chemical vapor deposition
GB1247585A (en) Improvements in or relating to the deposition of layers of inorganic materials on the surfaces of semiconductor bodies
US2233622A (en) Decorative glass and method of producing the same
JPS6014757Y2 (ja) 蒸着装置
US3088850A (en) Process and apparatus for obtaining electrically conductive coatings on the surface of objects consisting of glass or ceramic materials
US3182361A (en) Spraying apparatus and method
US4649857A (en) Thin-film forming device
JP3741860B2 (ja) 酸化物超電導導体の製造装置および製造方法
JPH05253469A (ja) セラミックス粉体の製造方法および装置
JP2019099887A (ja) 蒸着装置及び蒸着方法
JPS621870A (ja) 蒸着装置
JPS60257957A (ja) 連続鋳造装置の二次冷却帯域装置
JPH0331671B2 (ja)
JPH0339994B2 (ja)
JPS55136552A (en) Production of broad amorphous metal tape and producing apparatus thereof
JP2004107686A (ja) 大気開放型ｃｖｄ装置
JPH06296901A (ja) 基材表面に粉末固体を分配するための装置
JPH04228458A (ja) 熱分解により複合層を形成するためのエーロゾル注入システム
JPS6141229Y2 (ja)
JPH0390578A (ja) 薄膜形成装置
JPS6328326B2 (ja)
JPS5651519A (en) Subzero treating apparatus
SU1479125A1 (ru) Устройство дл напылени полимерных материалов