JPS6014757Y2 - 蒸着装置 - Google Patents

蒸着装置

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JPS6014757Y2
JPS6014757Y2 JP186579U JP186579U JPS6014757Y2 JP S6014757 Y2 JPS6014757 Y2 JP S6014757Y2 JP 186579 U JP186579 U JP 186579U JP 186579 U JP186579 U JP 186579U JP S6014757 Y2 JPS6014757 Y2 JP S6014757Y2
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JP
Japan
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vapor deposition
nozzle
exhaust
box
heat insulating
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JP186579U
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JPS55103262U (ja
Inventor
延孝 大場
Original Assignee
日本電気株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、蒸着装置の構造の改良に関する。
ガラス板表面に金属酸化皮膜を蒸着する方法は、従来か
ら色々な方法が考えられているが、例えはガラス板表面
に半導体皮膜を形成させるのに二塩化ジメチル錫（以下
処理剤と呼ぶ）を利用しているものを例にとり従来の方
法を説明する。
第１図は、従来の蒸着装置の正面より見た蒸着ノズル部
の断面概略構造であり、又第２図はノズル吹出部より見
た概略構造である。
図において、処理剤は、蒸気圧が高く容易に気する性質
を有しているので加熱空気を処理剤に吹きつけ発生する
処理剤蒸気と加熱空気の混合気体１をノズル２より、発
熱体３に依りあらかじめ約６００℃に加熱しである蒸着
室４内の送りベルト５上に積載されたガラス等からなる
試料６に連続噴射し、試料６上で混合気体１中の処理剤
蒸気を熱分解させ、試料上に蒸着膜を得ている。
ノズル２の周囲には、ノズル２内を通過する混合気体を
一定温度に保つための保温材７及び水冷箱８が設けられ
ている。
試料６に蒸着されない残存混合気体はノズル２を挾む両
側に設けられた水冷箱８の側面８ａと炉芯管９の一面９
ａより構成される排気部１０より装置外部へ導かれるが
混合気体中の処理剤蒸気は、約１０８℃以下の温度とな
ると凝固する性質を有しているので、水冷箱８の影響を
受ける排気部１０を構成する８ａ、９ａ面に処理剤が凝
固し排気部１０が詰り、排気能力の変動を来す恐れがあ
る。
膜厚が均一で安定した精度の高い蒸着膜を得るためには
、ノズル２よりベルト５の進行方向に対し直角方向に常
時一定量の混合気体が供給されなければならないことは
無論であるが、排気部１０に詰りか発生すると排気バラ
ンスがくずれ、蒸着膜厚がいちぢるしく不均一となる。
このようなことを避けるためには排気バランスをとる事
が必要であるが、排気部１０は、ベルト進行方向に対す
る直角方向が一つの矩形箱として構成されているので直
角方向の排気バランスを制御することは不可能であった
。
本考案はかかる欠点を除去し、均一な厚さの蒸着膜が得
られる蒸着装置を提供することである。
本考案によれば、原料ガスを噴出するノズルと、このノ
ズルを周囲より冷却する水冷箱を有し、加熱された試料
に原料ガスを吹きつけて、試料上に所望の蒸着膜をうる
蒸着装置において、水冷箱の外周に断熱材を設け、その
外側に複数個に分割され、分割部側壁に発熱体を備えた
排気箱を設けた蒸着装置が得られる。
以下図面に依って本考案を詳細に説明する。
第３図は本考案による蒸着装置の正面より見た蒸着部断
面概略構造であり、第４図は本考案による排気箱の斜視
図である。
従来装置同様、処理剤蒸気と加熱空気の混合気体１をノ
ズル２より発熱体３に依り、あらかじめ約６００℃に加
熱しである蒸着室４内の送りベルト５に積載された試料
６に連続噴射し試料６上に蒸着膜を形成する。
残存混合気体は排気箱１１を通って排気される。
本考案では排気箱１１はノズル２を挾み、ベルト進行方
向に対して設けられた水冷箱８の外壁８′に密着した断
熱材１２を介して設けられ水冷による影響がないように
考慮されている。
さらに排気箱１１は、例えばｌｌａ”−ｃ。１１ｄ−ｆ
とベルト５の進行方向に対し、直角方向に複数個に分割
された排気量制御可能な独立した排気部が設けられてお
り、かつ、それぞれの排気部１１ａ”ｆはその内壁に平
板状の発熱体１３が取付けられており排気部内の温度制
御が可能な構造となっている。
かかる構造を有しているためベルト５の進行方向に対す
る直角方向の排気量制御は容易となり、かつ、排気箱１
１ａ〜ｆ内で処理蒸気が凝固することなく安定した精度
の高い蒸着膜を容易に得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の蒸着装置の正面より見た蒸着部断面概略
図、第２図は、従来装置のノズル吹出部より見た蒸着部
概略図、第３゛図は、本考案の正面より見た蒸着部断面
概略図、第４図は本考案による排気箱の斜視図である。 図において、２・・・・・・ノズル、３・・・・・・試
料昇温用発熱体、４・・・・・・蒸着室、５・・・・・
・送りベルト、６・・・・・・試料、８・・・・・・水
冷箱、１１・・・・・・排気箱、１２・・・・・・断熱
材、１３・・・・・・平板状発熱体、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 原料ガスを噴出するノズルと、該ノズルを周囲より冷却
    する水冷箱を有し、ノズルから噴出させた原料ガスを試
    料に当て所望の蒸着膜を形成する蒸着装置において、前
    記水冷箱の外周に断熱材を密着させ、さらに断熱材の外
    側に内部が複数個に分割され、かつ分割部側壁に平板状
    の発熱体を具備した排気箱を設けたことを特徴とする蒸
    着装置。
JP186579U 1979-01-09 1979-01-09 蒸着装置 Expired JPS6014757Y2 (ja)

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JP186579U JPS6014757Y2 (ja) 1979-01-09 1979-01-09 蒸着装置

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JPS55103262U JPS55103262U (ja) 1980-07-18
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0714362Y2 (ja) * 1985-07-27 1995-04-05 日電アネルバ株式会社 薄膜形成装置
FR2856057B1 (fr) * 2003-06-13 2007-03-30 Saint Gobain Traitement par projection de panneaux poses sur un support barriere

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JPS55103262U (ja) 1980-07-18

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