JPS621870A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPS621870A JPS621870A JP13816585A JP13816585A JPS621870A JP S621870 A JPS621870 A JP S621870A JP 13816585 A JP13816585 A JP 13816585A JP 13816585 A JP13816585 A JP 13816585A JP S621870 A JPS621870 A JP S621870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- box
- heat
- vapor deposition
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は蒸着装置の構造の改良に関し、特に原料ガスを
噴出するノズルの冷却構造の改良に関する。
噴出するノズルの冷却構造の改良に関する。
ガラス板表面に金属酸化皮膜を蒸着する方法は従来から
色々な方法が考えられているが、例えばガラス板表面に
半導体皮膜を形成させるのに二塩化ジメチル錫（以下処
理剤と呼ぶ）を利用しているものを例にとシ従来の方法
を説明する。
色々な方法が考えられているが、例えばガラス板表面に
半導体皮膜を形成させるのに二塩化ジメチル錫（以下処
理剤と呼ぶ）を利用しているものを例にとシ従来の方法
を説明する。
第３図は従来の蒸着装置の正面から見た蒸着ノズル部の
断面概略構造であシ、又第４図はノズル吹出部から見た
概略構造である。第３図、第４図において、処理剤は蒸
気圧が高く容易に気化する性質を有しているので、加熱
空気を処理剤に吹きつけ発生する処理剤蒸気と加熱空気
の混合気体１をノズル２に通して、発熱体３であらかじ
め約６４０℃に加熱しである蒸着室４内の送シベルト５
上に積載されたガラス等からなる試料６に連続噴射し、
試料Ｇ上で混合気体ｌ中の処理剤蒸気を熱分解させ、試
料上に蒸着膜を得ている。ノズル２の周囲にはノズル２
内を通過する混合気体を一定温度に保つための保温材７
及び水冷箱８が設けられている。試料６に蒸着されない
残存混合気体はノズル２を挾む両側に設けられた排気箱
９により装置外部へ導かれるが、混合気体１中の処理剤
蒸気は約１０８℃以下の温度となると凝固する性質を有
しているので、水冷箱８の影響を受ける排気部１０を構
成する排気箱９のノズル側側面９ａに処理剤蒸気の凝固
を防ぐためヒーター１１が設けである。
断面概略構造であシ、又第４図はノズル吹出部から見た
概略構造である。第３図、第４図において、処理剤は蒸
気圧が高く容易に気化する性質を有しているので、加熱
空気を処理剤に吹きつけ発生する処理剤蒸気と加熱空気
の混合気体１をノズル２に通して、発熱体３であらかじ
め約６４０℃に加熱しである蒸着室４内の送シベルト５
上に積載されたガラス等からなる試料６に連続噴射し、
試料Ｇ上で混合気体ｌ中の処理剤蒸気を熱分解させ、試
料上に蒸着膜を得ている。ノズル２の周囲にはノズル２
内を通過する混合気体を一定温度に保つための保温材７
及び水冷箱８が設けられている。試料６に蒸着されない
残存混合気体はノズル２を挾む両側に設けられた排気箱
９により装置外部へ導かれるが、混合気体１中の処理剤
蒸気は約１０８℃以下の温度となると凝固する性質を有
しているので、水冷箱８の影響を受ける排気部１０を構
成する排気箱９のノズル側側面９ａに処理剤蒸気の凝固
を防ぐためヒーター１１が設けである。
〔発明が解決しようとする問題点３
以上のごとく蒸着ノズル部が構成されているため、蒸着
室４の約６４０℃の温度影響を受はノズル゛２が加熱さ
れると共に水冷箱８はヒーター１１の影響を受け、冷却
水工２の温度が上昇してしまうため、ノズル２の加熱放
熱（冷却）のバランスを取り適正温度約１７０℃にコン
トロールすることは困難であった。
室４の約６４０℃の温度影響を受はノズル゛２が加熱さ
れると共に水冷箱８はヒーター１１の影響を受け、冷却
水工２の温度が上昇してしまうため、ノズル２の加熱放
熱（冷却）のバランスを取り適正温度約１７０℃にコン
トロールすることは困難であった。
又ノズル２の冷却効果を高める手段において水冷箱８と
ノズル２の距離を縮めることが考えられるが、水冷箱８
が固定されているから、温度調整のために水冷箱８を動
かすことが出来ない。ざらに又冷却効果を高める点で断
熱材７を取り除くことが考えられるが、効果が小さい。
ノズル２の距離を縮めることが考えられるが、水冷箱８
が固定されているから、温度調整のために水冷箱８を動
かすことが出来ない。ざらに又冷却効果を高める点で断
熱材７を取り除くことが考えられるが、効果が小さい。
次に冷却水温の上昇を防ぐためにヒーター１１の電源を
切ることも可能であるが、構造上排気箱９のノズル側側
面９ａは水冷箱８の影響を受けて温度が下がシ、残存混
合気体は凝固し排気部１０が詰まシ排気能力に変動を来
たすという欠点があった。
切ることも可能であるが、構造上排気箱９のノズル側側
面９ａは水冷箱８の影響を受けて温度が下がシ、残存混
合気体は凝固し排気部１０が詰まシ排気能力に変動を来
たすという欠点があった。
本発明はかかる欠点を除去し、ノズルを適正温度にコン
トロールし、かつ排気部の詰シを解消させる蒸着装置を
提供することである。
トロールし、かつ排気部の詰シを解消させる蒸着装置を
提供することである。
本発明は原料ガスを噴出するノズルと、このノズルを周
囲より冷却する水冷箱を有し且つ加熱された試料に原料
ガスを吹付けて試料上に所望の蒸着膜をうる蒸着装置に
おいて、前記水冷箱とノズルとの間に金属テープを螺旋
状にして絡ませた熱伝導体を充填させ、かつ前記ノズル
と該ノズルを挾む両側に設けた排気箱間に断熱材を挾み
込み、さらにノズルと排気箱との間に配置する水冷箱を
独立させたことを特徴とする蒸着装置である。
囲より冷却する水冷箱を有し且つ加熱された試料に原料
ガスを吹付けて試料上に所望の蒸着膜をうる蒸着装置に
おいて、前記水冷箱とノズルとの間に金属テープを螺旋
状にして絡ませた熱伝導体を充填させ、かつ前記ノズル
と該ノズルを挾む両側に設けた排気箱間に断熱材を挾み
込み、さらにノズルと排気箱との間に配置する水冷箱を
独立させたことを特徴とする蒸着装置である。
以下図面に依って本発明の一実施例を説明する。
第１図は本発明による蒸着装置の正面から見た蒸着部断
面概略構造でアリ、第２図は本発明によるノズル吹出部
から見た概略構造である。
面概略構造でアリ、第２図は本発明によるノズル吹出部
から見た概略構造である。
第１，２図において、従来装置同様、処理剤蒸気と加熱
空気の混合気体１をノズル２に通して、発熱体３であら
かじめ約６００℃に加熱しである蒸着室４内の送りベル
ト５に積載された試料６に連続噴射し試料６上に蒸着膜
を形成する。残存混合気体１は排気箱９を通って排気さ
れる。本発明では水冷箱８を独立構造とし、ノズル２と
排気箱９０間の任意の位置に設置可能とし、又水冷箱８
はノズル２を挾み２箇所に配置されている。ノズル２と
水冷箱８との間には金属テープ（例えばステンレステー
プ）を螺旋状にして絡ませた熱伝導体７ａが充填されて
いる。又水冷箱８と排気箱９の間には断熱材７（例えば
カオウール、石綿、砂）が挾まれている。
空気の混合気体１をノズル２に通して、発熱体３であら
かじめ約６００℃に加熱しである蒸着室４内の送りベル
ト５に積載された試料６に連続噴射し試料６上に蒸着膜
を形成する。残存混合気体１は排気箱９を通って排気さ
れる。本発明では水冷箱８を独立構造とし、ノズル２と
排気箱９０間の任意の位置に設置可能とし、又水冷箱８
はノズル２を挾み２箇所に配置されている。ノズル２と
水冷箱８との間には金属テープ（例えばステンレステー
プ）を螺旋状にして絡ませた熱伝導体７ａが充填されて
いる。又水冷箱８と排気箱９の間には断熱材７（例えば
カオウール、石綿、砂）が挾まれている。
以上説明したように本発明はノズル２の温度を、熱伝導
体７ａの材質及び水冷箱８の位置を変えることによりコ
ントロールすることができ、又排気箱９の保温も断熱材
７の材料変更することによりコントロールすることがで
きる。また蒸着部の分解掃除時における取扱いは水冷箱
８を独立させたことによυ重量物取扱い上糸になシ、従
来より形状もコン・ぐクトにでき、また従来のヒーター
１１を無くすことにより省エネに効果がある。
体７ａの材質及び水冷箱８の位置を変えることによりコ
ントロールすることができ、又排気箱９の保温も断熱材
７の材料変更することによりコントロールすることがで
きる。また蒸着部の分解掃除時における取扱いは水冷箱
８を独立させたことによυ重量物取扱い上糸になシ、従
来より形状もコン・ぐクトにでき、また従来のヒーター
１１を無くすことにより省エネに効果がある。
第１図は本発明の蒸着部を示す概略図、第２図は本発明
のノズル吹出部から見た蒸着部の概略図、 第３図は従来の蒸着部の概略図、 第４図は従来のノズル吹出部から見た蒸着部概略図であ
る。 １・・・混合気体、２・・・ノズル、３・・・発熱体、
４・・・蒸着室、５・・・ベルト、６・・・試料、７・
・・断熱材、７ａ・・・熱伝導体、８・・・水冷箱、９
・・・排気箱、９ａ・・・排気箱ノズル側側面、１０・
・・排気部、１１・・・ヒーター、１２・・・冷却水 第１図 第２図
のノズル吹出部から見た蒸着部の概略図、 第３図は従来の蒸着部の概略図、 第４図は従来のノズル吹出部から見た蒸着部概略図であ
る。 １・・・混合気体、２・・・ノズル、３・・・発熱体、
４・・・蒸着室、５・・・ベルト、６・・・試料、７・
・・断熱材、７ａ・・・熱伝導体、８・・・水冷箱、９
・・・排気箱、９ａ・・・排気箱ノズル側側面、１０・
・・排気部、１１・・・ヒーター、１２・・・冷却水 第１図 第２図
Claims (1)
- （１）原料ガスを噴出するノズルと、該ノズルを周囲よ
り冷却する水冷箱を有し、前記ノズルから噴出させた前
記原料ガスを試料に当て熱分解して所望の蒸着膜を形成
する蒸着装置において、前記水冷箱とノズルとの間に金
属テープを螺旋状にして絡ませた熱伝導体を充填させ、
かつ前記ノズルと該ノズルを挾む両側に設けた排気箱と
の間に断熱材を挾み込み、さらにノズルと排気箱との間
に配置する水冷箱を独立させたことを特徴とする蒸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13816585A JPS621870A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13816585A JPS621870A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621870A true JPS621870A (ja) | 1987-01-07 |
Family
ID=15215543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13816585A Pending JPS621870A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS621870A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6479374A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-24 | Nec Corp | Laser beam cvd device |
| EP1038988A2 (en) * | 1999-03-25 | 2000-09-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Vaporizing device for CVD apparatus |
| US20110097495A1 (en) * | 2009-09-03 | 2011-04-28 | Universal Display Corporation | Organic vapor jet printing with chiller plate |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP13816585A patent/JPS621870A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6479374A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-24 | Nec Corp | Laser beam cvd device |
| JPH0678586B2 (ja) * | 1987-09-22 | 1994-10-05 | 日本電気株式会社 | レーザｃｖｄ装置 |
| EP1038988A2 (en) * | 1999-03-25 | 2000-09-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Vaporizing device for CVD apparatus |
| EP1038988A3 (en) * | 1999-03-25 | 2003-01-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Vaporizing device for CVD apparatus |
| US20110097495A1 (en) * | 2009-09-03 | 2011-04-28 | Universal Display Corporation | Organic vapor jet printing with chiller plate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0243003B1 (en) | Sterilization method and apparatus therefor | |
| JPH02303675A (ja) | はんだ付け装置 | |
| US4075869A (en) | Cooling or freezing articles | |
| US2317173A (en) | Apparatus for melting powdered materials | |
| JPS621870A (ja) | 蒸着装置 | |
| CN100543935C (zh) | 成膜和清洁方法 | |
| KR20170131458A (ko) | 복사식 버너 | |
| US3964430A (en) | Semi-conductor manufacturing reactor instrument with improved reactor tube cooling | |
| GB1125444A (en) | Method and apparatus for the preparation of thin layers | |
| JPH04186852A (ja) | ボンデイング装置 | |
| JPS56102567A (en) | Hardening method for aluminum strip | |
| WO2003018276B1 (en) | Method of processing brittle material and processing device | |
| JPH04168278A (ja) | 蒸着装置 | |
| JPH04330388A (ja) | 真空ポンプ装置 | |
| JP3089684B2 (ja) | 常圧ｃｖｄ装置 | |
| JP2004107686A (ja) | 大気開放型ｃｖｄ装置 | |
| JPS5557376A (en) | Electric welding method | |
| JP5921400B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造装置 | |
| JPH0873207A (ja) | 活性炭の製造装置 | |
| JP2641463B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
| JPS57118635A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| JP2005302525A (ja) | 放電プラズマ処理装置及びその処理方法 | |
| SU656669A1 (ru) | Сопло дл плазменной горелки | |
| JPH0518885B2 (ja) | ||
| DE2363254A1 (de) | Reaktionsgefaess zum abscheiden von halbleitermaterial auf erhitzte traegerkoerper |