JPS60139007A - 電子線描画装置 - Google Patents
電子線描画装置Info
- Publication number
- JPS60139007A JPS60139007A JP24449683A JP24449683A JPS60139007A JP S60139007 A JPS60139007 A JP S60139007A JP 24449683 A JP24449683 A JP 24449683A JP 24449683 A JP24449683 A JP 24449683A JP S60139007 A JPS60139007 A JP S60139007A
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- Japan
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- amplifier
- current
- deflection
- switch
- deflecting
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は偏向増幅器に係り、特に、信号対雑音５比のす
ぐれた偏向電流とすることのできる偏向増幅器に関する
もので２例えば電子ビーム描画装置において電子ビーム
の位置制御を行うビーム偏向回路に用いられる。
ぐれた偏向電流とすることのできる偏向増幅器に関する
もので２例えば電子ビーム描画装置において電子ビーム
の位置制御を行うビーム偏向回路に用いられる。
電子ビーム描画装置に使用されるビーム偏向器をはしめ
、テレビジョン受像機で使われているＣＩｔＴ（陰極線
管）のように、偏向コイルに対し偏向信号電圧に比例し
た偏向電流を流してやる必要があるものは多い。この目
的のため、一般には一種の電圧−電流変換器である偏向
増幅器が使われる。第１図に偏向増幅器の基本構成図を
示す。第１図において、１は偏向信号の入力端、２はオ
ープン・ループ・ゲインが十分大きい増幅器、３は偏向
コイル、Ｒは電流検出抵抗である。偏向コイル電流ＩＩ
、は、入力端１の偏向信号電圧をｅｉとする時、増幅器
２のオープン・ループ・ゲインが大きければ電流検出抵
抗孔の両端電圧はほぼｅｉに等しいから ＩＬ−５（１） としてめることができる。
、テレビジョン受像機で使われているＣＩｔＴ（陰極線
管）のように、偏向コイルに対し偏向信号電圧に比例し
た偏向電流を流してやる必要があるものは多い。この目
的のため、一般には一種の電圧−電流変換器である偏向
増幅器が使われる。第１図に偏向増幅器の基本構成図を
示す。第１図において、１は偏向信号の入力端、２はオ
ープン・ループ・ゲインが十分大きい増幅器、３は偏向
コイル、Ｒは電流検出抵抗である。偏向コイル電流ＩＩ
、は、入力端１の偏向信号電圧をｅｉとする時、増幅器
２のオープン・ループ・ゲインが大きければ電流検出抵
抗孔の両端電圧はほぼｅｉに等しいから ＩＬ−５（１） としてめることができる。
かかる構成にて１例えば■Ｌ−１人（アンペア）とした
りＩＬ：２Ａとしたりしようとする場合、■偏向信号電
圧ｅｉの大きさを変える。■電流検出抵抗Ｒの粁抗循を
壷りスーのいイｈ≠五のす沙冬淫ｈば良いことになる。
りＩＬ：２Ａとしたりしようとする場合、■偏向信号電
圧ｅｉの大きさを変える。■電流検出抵抗Ｒの粁抗循を
壷りスーのいイｈ≠五のす沙冬淫ｈば良いことになる。
ところで、増幅器には雑音があるので、この雑音をｅｎ
とすると、たとえ入力が零であっても出力にはｅｎ／Ｒ
なる雑音電流が流れることは明らかである。
とすると、たとえ入力が零であっても出力にはｅｎ／Ｒ
なる雑音電流が流れることは明らかである。
従って、上記■の方法、即ち電流検出抵抗Ｒは固定して
おいて偏向信号電圧ｅｉの大きさを変える方法を採る場
合、偏向コイルに流れる電流が小さくなるほど信号対雑
音比が悪化するという問題が生じ、偏向電流が小さい時
もその信号対雑音比を悪化させないためには、電流検出
抵抗孔の値を切替えてやる上記■の方法が適している。
おいて偏向信号電圧ｅｉの大きさを変える方法を採る場
合、偏向コイルに流れる電流が小さくなるほど信号対雑
音比が悪化するという問題が生じ、偏向電流が小さい時
もその信号対雑音比を悪化させないためには、電流検出
抵抗孔の値を切替えてやる上記■の方法が適している。
具体的には第２図に示すようにスイッチＳとか、あるい
ｉリレーを使って、異なる大きさの電流検出抵抗Ｒ＋
、 Ｒ２を選択して回路中に挿入する構成とすれば良い
。しかし、スイッチやリレーの接点間抵抗は零〇ではな
く、実際には数十〜数百ｍΩの抵抗値を持ち、かつ、接
点切替えに伴なう抵抗値変化が１ｍΩ程度ある。さらに
、この接点間抵抗値は、接点に電流を流すことによって
生じる温度や２周囲の温度変化により、変化したり、熱
起電力が生じたりすることは良く知られている。具体例
として。
ｉリレーを使って、異なる大きさの電流検出抵抗Ｒ＋
、 Ｒ２を選択して回路中に挿入する構成とすれば良い
。しかし、スイッチやリレーの接点間抵抗は零〇ではな
く、実際には数十〜数百ｍΩの抵抗値を持ち、かつ、接
点切替えに伴なう抵抗値変化が１ｍΩ程度ある。さらに
、この接点間抵抗値は、接点に電流を流すことによって
生じる温度や２周囲の温度変化により、変化したり、熱
起電力が生じたりすることは良く知られている。具体例
として。
接点間抵抗の不安定性が１ｍΩあるとし、電流検出抵抗
孔の抵抗値を１０Ωとすると、凡の安定性がいかに良く
ても偏向電流の安定性はｉｏｏ’ｐｐｍとなってしまう
。
孔の抵抗値を１０Ωとすると、凡の安定性がいかに良く
ても偏向電流の安定性はｉｏｏ’ｐｐｍとなってしまう
。
上記理由によって、偏向電流を切替える方式の従来の偏
向増幅器にあっては、前記した入力偏向信号電圧の大き
さを切替える方法しか採用できず。
向増幅器にあっては、前記した入力偏向信号電圧の大き
さを切替える方法しか採用できず。
この結果、偏向電流を小さくするほど、電流の信号対雑
音比が顕著に悪化するという問題点があった。
音比が顕著に悪化するという問題点があった。
本発明の目的は、従来技術での上記した問題点を解消し
、信号対雑音比がすぐれ、かつ、安定度の良い偏向増幅
器を提供することにある。
、信号対雑音比がすぐれ、かつ、安定度の良い偏向増幅
器を提供することにある。
本発明の特徴は、上記目的を達成するために。
増幅器と偏向コイルと抵抗切替スイッチと電流検出抵抗
とが直列に接続されて電流検出抵抗を切替えることによ
シ偏向コイルに流れる電流を切替える方式の偏向増幅器
において、上記抵抗切替スイッチを上記増幅器の負帰還
ループ中に配置して電流検出抵抗端に生じた電圧のみを
増幅器の入力側に負帰還する構成とするにある。
とが直列に接続されて電流検出抵抗を切替えることによ
シ偏向コイルに流れる電流を切替える方式の偏向増幅器
において、上記抵抗切替スイッチを上記増幅器の負帰還
ループ中に配置して電流検出抵抗端に生じた電圧のみを
増幅器の入力側に負帰還する構成とするにある。
上記構成としたことによる雑音除去の原理動作を第３図
によシ説明する。第３図において、偏向コイル３と電流
検出抵抗Ｒとの間に雑音ｅｎが存介、している場合、偏
向コイル３に流れる電流工ＬＬ増幅器のゲインをＧとす
ると となり、右辺の第２項が雑音に依存する項となネが２通
常、増幅器のゲインＧはＧ＞１であるか蜘となり、雑音
ｅ。は除去される。
によシ説明する。第３図において、偏向コイル３と電流
検出抵抗Ｒとの間に雑音ｅｎが存介、している場合、偏
向コイル３に流れる電流工ＬＬ増幅器のゲインをＧとす
ると となり、右辺の第２項が雑音に依存する項となネが２通
常、増幅器のゲインＧはＧ＞１であるか蜘となり、雑音
ｅ。は除去される。
従って、スイッチの接点間抵抗変化を雑音ｅｎ１に含め
てしまい、これらを偏向コイル３と直列←増幅器の負帰
還ループ中に配置して、電流検出抵抗Ｒの１６Ｍに后ｌ
−奔雷Ｔのλか僧鋺競のλ上側−負帰還する第３図構成
とすれば、スイッチの接点間抵抗変化等に伴なう偏向電
流の不安定性を無くし、かつ、信号対雑音比を改良する
ことができる。
てしまい、これらを偏向コイル３と直列←増幅器の負帰
還ループ中に配置して、電流検出抵抗Ｒの１６Ｍに后ｌ
−奔雷Ｔのλか僧鋺競のλ上側−負帰還する第３図構成
とすれば、スイッチの接点間抵抗変化等に伴なう偏向電
流の不安定性を無くし、かつ、信号対雑音比を改良する
ことができる。
以下１本発明の一実施例を第４図により説明する。第４
図にて、１は偏向信号ｅｉの入力端、２は増幅器、３は
偏向コイル、ＲＩ及び鴇は偏向コイル３に流れる電流を
検出する電流検出抵抗＋ＳＩは抵抗を切替えるスイッチ
＋８２はＳｌと連動して動作するスイッチである。抵抗
Ｒ１又はＲ２に生じる電圧が。
図にて、１は偏向信号ｅｉの入力端、２は増幅器、３は
偏向コイル、ＲＩ及び鴇は偏向コイル３に流れる電流を
検出する電流検出抵抗＋ＳＩは抵抗を切替えるスイッチ
＋８２はＳｌと連動して動作するスイッチである。抵抗
Ｒ１又はＲ２に生じる電圧が。
スイッチＳ２を介して増幅器２の入力側に負帰還されて
いる。
いる。
かかる構成にて、電流検出抵抗Ｒ１の両端電圧をＥＲｌ
、スイッチＳｌの接点間で発生する雑音電圧を６６１と
するとき、入力端１にｅｉ（Ｖ）の偏向信号が加えられ
ると偏向コイル３に流れる電流ＩＬは、増幅器のゲイン
をＧとして となり、Ｇ〉１とすると ＩＬ−五１ となる。即ち、スイッチＳ、の影響は完全に取り除かれ
る。しかし、スイッチＳ２が増幅器２の負の入力側に直
列接続されているため、増幅器２の入力インピーダンス
がスイッチＳ２の接点抵抗値に比べて十分大きくないと
、偏向電流の不安定性の要因となる。が９通常上記増幅
器の入力インピーダンスは数百にΩ以上あるので、スイ
ッチＳ２の接点抵抗値の変動は無視し得る。さらに、ス
イッチＳ２には。
、スイッチＳｌの接点間で発生する雑音電圧を６６１と
するとき、入力端１にｅｉ（Ｖ）の偏向信号が加えられ
ると偏向コイル３に流れる電流ＩＬは、増幅器のゲイン
をＧとして となり、Ｇ〉１とすると ＩＬ−五１ となる。即ち、スイッチＳ、の影響は完全に取り除かれ
る。しかし、スイッチＳ２が増幅器２の負の入力側に直
列接続されているため、増幅器２の入力インピーダンス
がスイッチＳ２の接点抵抗値に比べて十分大きくないと
、偏向電流の不安定性の要因となる。が９通常上記増幅
器の入力インピーダンスは数百にΩ以上あるので、スイ
ッチＳ２の接点抵抗値の変動は無視し得る。さらに、ス
イッチＳ２には。
スイッチＳ１と同様、熱起電力が生じる。熱起電力は偏
向電流の不安定性となるが、〜増幅器の入力インピーダ
ンスは上記したように高く、増幅器入力に流れる電流は
極めて小さい。故に低熱起電力（１〜２μＶ）のリレー
を使うことが可能である。
向電流の不安定性となるが、〜増幅器の入力インピーダ
ンスは上記したように高く、増幅器入力に流れる電流は
極めて小さい。故に低熱起電力（１〜２μＶ）のリレー
を使うことが可能である。
第４図の構成にて１例えば電流検出抵抗Ｒ，を１Ω、Ｉ
Ｌ２を２Ωとし、入力端に１■を印加したとすると、ス
イッチＳｌ及びＳ２を■側に接続すると偏向コイル３に
流れる電流は１人に、■側に接続すると０． Ｓ Ａと
することができる□そして、いずれの場合でも偏向電流
中の雑音電流は最小に抑えることができる。
Ｌ２を２Ωとし、入力端に１■を印加したとすると、ス
イッチＳｌ及びＳ２を■側に接続すると偏向コイル３に
流れる電流は１人に、■側に接続すると０． Ｓ Ａと
することができる□そして、いずれの場合でも偏向電流
中の雑音電流は最小に抑えることができる。
第５図は本発明の他の実施例を示す構成図で。
これは、極性反転形電流増幅器に本発明を適用した場合
である。動作は第４図実施例と同様であるので回連は省
略する。
である。動作は第４図実施例と同様であるので回連は省
略する。
以上説明したように９本発明によれば、切替スイッチを
増幅器の負帰還ループ中に配置する構成とすることで、
接点抵抗の不安定性に起因する偏向電流の変動を大幅に
低減することが可能となり偏向電流値を変えた場合にも
常に信号対雑音比のすぐれた。安定度のよい偏向増幅器
とすることができる。
増幅器の負帰還ループ中に配置する構成とすることで、
接点抵抗の不安定性に起因する偏向電流の変動を大幅に
低減することが可能となり偏向電流値を変えた場合にも
常に信号対雑音比のすぐれた。安定度のよい偏向増幅器
とすることができる。
第１図は従来の偏向増幅器の構成図、第２図は従来技術
の問題点説明用の回路図、第３図は本発明の詳細な説明
図、第４図、第５図はそれぞれ本発明の実施例回路図で
ある。 く符号の説明〉 １・・・偏向信号の入力端 ２・・・増幅器３・・・偏
向コイル −Ｓ、 Ｓ、、 Ｓ、・・・切替スイッチＲ，，Ｒ，，
，馬・・・電流検出抵抗 代理人弁理士 中 村 純之助 第１図 ９ ′５ｊＰ２図 第３図 １’４図
の問題点説明用の回路図、第３図は本発明の詳細な説明
図、第４図、第５図はそれぞれ本発明の実施例回路図で
ある。 く符号の説明〉 １・・・偏向信号の入力端 ２・・・増幅器３・・・偏
向コイル −Ｓ、 Ｓ、、 Ｓ、・・・切替スイッチＲ，，Ｒ，，
，馬・・・電流検出抵抗 代理人弁理士 中 村 純之助 第１図 ９ ′５ｊＰ２図 第３図 １’４図
Claims (1)
- 増幅器と、その出力電圧が印加される偏向コイルと、ス
イッチの切替えで選択される複数の抵抗器とが直列に接
続され、上記切替スイッチによって任意の抵抗器を選択
することによシ偏向コイルに流れる電流の大きさを切替
える偏向増幅器において、上記切替スイッチを上記増幅
器の負帰還ループ中に配置したことを特徴とする偏向増
幅器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24449683A JPS60139007A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 電子線描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24449683A JPS60139007A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 電子線描画装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60139007A true JPS60139007A (ja) | 1985-07-23 |
| JPH0576204B2 JPH0576204B2 (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=17119527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24449683A Granted JPS60139007A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 電子線描画装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60139007A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007141781A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 電磁偏向回路を有する走査電子線装置 |
| US7248254B2 (en) | 2002-09-19 | 2007-07-24 | Nec Electronics Corporation | Gamma correcting circuit and panel drive apparatus equipped with gamma correcting circuit |
| JP2014093211A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームの偏向装置及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52109436U (ja) * | 1976-02-17 | 1977-08-19 | ||
| JPS5769322U (ja) * | 1980-10-15 | 1982-04-26 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP24449683A patent/JPS60139007A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52109436U (ja) * | 1976-02-17 | 1977-08-19 | ||
| JPS5769322U (ja) * | 1980-10-15 | 1982-04-26 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7248254B2 (en) | 2002-09-19 | 2007-07-24 | Nec Electronics Corporation | Gamma correcting circuit and panel drive apparatus equipped with gamma correcting circuit |
| JP2007141781A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 電磁偏向回路を有する走査電子線装置 |
| JP2014093211A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームの偏向装置及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0576204B2 (ja) | 1993-10-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |