JPS6013247A - レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 - Google Patents
レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法Info
- Publication number
- JPS6013247A JPS6013247A JP12021483A JP12021483A JPS6013247A JP S6013247 A JPS6013247 A JP S6013247A JP 12021483 A JP12021483 A JP 12021483A JP 12021483 A JP12021483 A JP 12021483A JP S6013247 A JPS6013247 A JP S6013247A
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- JP
- Japan
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- dust
- reflected
- defective part
- checked
- lens
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はレーザ光を被検査物表面に照射し欠陥部か表面
に付着した塵埃かを判別する方法に関するものである。
に付着した塵埃かを判別する方法に関するものである。
（従来技術）
従来レーザ光を被検査物表面に照射して欠陥部を検査す
る場合、第１図の様に被検査物表面ｌにレーザ光源２よ
りレーザ光８を照射し、所定方向の反射光３′の光量を
検知するようになっていた。被検査物表面１が良品の場
合その反射光３′は所定方向に集中するので反射光量が
最も多いが第２図の如く被検査物表面ｌに欠陥部４があ
ると反射光が散乱するので所定方向の反射光３“は光量
が小となるが、第８図の如く被検査物表面ｌに塵埃５が
付着していても反射光は散乱し、所定方向の反射光８″
は光量が小となるので、被検査物１表面の欠陥部と塵埃
を判別することができなかった。
る場合、第１図の様に被検査物表面ｌにレーザ光源２よ
りレーザ光８を照射し、所定方向の反射光３′の光量を
検知するようになっていた。被検査物表面１が良品の場
合その反射光３′は所定方向に集中するので反射光量が
最も多いが第２図の如く被検査物表面ｌに欠陥部４があ
ると反射光が散乱するので所定方向の反射光３“は光量
が小となるが、第８図の如く被検査物表面ｌに塵埃５が
付着していても反射光は散乱し、所定方向の反射光８″
は光量が小となるので、被検査物１表面の欠陥部と塵埃
を判別することができなかった。
（目的）
本発明は反射光量の大小によらず欠陥部と塵埃の反射光
結像位置を異らせることにより欠陥部か塵埃かを正確に
判別できるようにすることを目的としている。
結像位置を異らせることにより欠陥部か塵埃かを正確に
判別できるようにすることを目的としている。
（実施例）
次に冷付図面に示した実施例により本発明方法を説明す
る。第４図は本発明方法を実施する構成の第１実施例で
ある。レーザ光源１０より発光した所定巾のレーザ光１
１をレンズ１２で被検査物表面１８に収れん照射する。
る。第４図は本発明方法を実施する構成の第１実施例で
ある。レーザ光源１０より発光した所定巾のレーザ光１
１をレンズ１２で被検査物表面１８に収れん照射する。
その反射光路中にハーフミラ−１４を斜に配設し、該ハ
ーフミラ−１４により反射された反射光をレンズ１５に
よりポジションセンサー１６上に結像させる。
ーフミラ−１４により反射された反射光をレンズ１５に
よりポジションセンサー１６上に結像させる。
次に本発明方法について説明する。被検査物表面１８に
第５図のような欠陥部１７又は塵埃１８がない時はレー
ザ光は被検査物表面１８の良品面で反射され、更にハー
フミラ−１４で反射されレンズ１５によりポジションセ
ンサー１６０Ｐ１に結像される。被検査物表面１３に欠
陥部１７があると該欠陥部の底面で反射光を生じ、更に
ハーフミラ−１４で反射されレンズ１５によりポジショ
ンセンサー１６のＰ２Ｋ 結像される。被検査物表面１
３に塵埃１８が付着していると該塵埃１８の表面で反射
光を生じ、更にハーフミラ−１４で反射されレンズ１５
によりポジションセンサー１６のＰ３に結像される。
第５図のような欠陥部１７又は塵埃１８がない時はレー
ザ光は被検査物表面１８の良品面で反射され、更にハー
フミラ−１４で反射されレンズ１５によりポジションセ
ンサー１６０Ｐ１に結像される。被検査物表面１３に欠
陥部１７があると該欠陥部の底面で反射光を生じ、更に
ハーフミラ−１４で反射されレンズ１５によりポジショ
ンセンサー１６のＰ２Ｋ 結像される。被検査物表面１
３に塵埃１８が付着していると該塵埃１８の表面で反射
光を生じ、更にハーフミラ−１４で反射されレンズ１５
によりポジションセンサー１６のＰ３に結像される。
即ち良品面より下方又は上方で反射されると、ポジショ
ンセンサー１６での結像位置は良品面での反射光結像位
置Ｐ、の上方又は下方となるにれを第６図の如く電気量
を変換し、良品面をＯｖと調整すると欠陥部は＋Ｖの変
化で塵埃は−Ｖの変化で検出できる。
ンセンサー１６での結像位置は良品面での反射光結像位
置Ｐ、の上方又は下方となるにれを第６図の如く電気量
を変換し、良品面をＯｖと調整すると欠陥部は＋Ｖの変
化で塵埃は−Ｖの変化で検出できる。
第７図は本発明方法を実施する構成の第２実施例である
。レーザ光源２０より発光した１本の直線状のレーザ光
２１をレンズ２２で屈折し被検査物表面２８に照射する
。その反射光路中にハーフミラ−２４を斜に配設し、該
ハーフミラ−２４により反射された反射光をポジション
センサー２６上に結像する。第１実施例と同様良品面で
反射された反射光はポジションセンサー２６０Ｐ１に結
像される。欠陥部２７の底面で反射された反射光はポジ
ションセンサー２６のＰ２に結像される。塵埃２８の表
面で反射された反射光はポジションセンサー２６のＰ３
に結像され、第１゛実施例と同様、良品面をＯＶと調整
すると、欠陥部は＋Ｖの変化で塵埃は一■の変化で検出
できる。
。レーザ光源２０より発光した１本の直線状のレーザ光
２１をレンズ２２で屈折し被検査物表面２８に照射する
。その反射光路中にハーフミラ−２４を斜に配設し、該
ハーフミラ−２４により反射された反射光をポジション
センサー２６上に結像する。第１実施例と同様良品面で
反射された反射光はポジションセンサー２６０Ｐ１に結
像される。欠陥部２７の底面で反射された反射光はポジ
ションセンサー２６のＰ２に結像される。塵埃２８の表
面で反射された反射光はポジションセンサー２６のＰ３
に結像され、第１゛実施例と同様、良品面をＯＶと調整
すると、欠陥部は＋Ｖの変化で塵埃は一■の変化で検出
できる。
（効果）
本発明によるとレーザ光源よりのレーザ光をレンズによ
り被検査物表面に斜方向より照射し、その反射光路中に
ハーフミラ−を斜に配設して良品面とそれより下方の欠
陥部底面とそれより上方の塵埃表面よりの反射光をハー
フミラ−により反射してポジションセンサーの異る位ｆ
Ｋ結像させ、電気量の変化としで検出するようにしたの
で、被検査物表面の欠陥部と塵埃を確実に判別すること
ができる。
り被検査物表面に斜方向より照射し、その反射光路中に
ハーフミラ−を斜に配設して良品面とそれより下方の欠
陥部底面とそれより上方の塵埃表面よりの反射光をハー
フミラ−により反射してポジションセンサーの異る位ｆ
Ｋ結像させ、電気量の変化としで検出するようにしたの
で、被検査物表面の欠陥部と塵埃を確実に判別すること
ができる。
第１図乃至第８図は従来方法の説明図、第４図は本発明
方法を実施する構成の第１実施例、第５図は被検査物表
面の説明用正断面図、第６図は第５図に対応したポジシ
ョンセンサーよりの信号波形図である。第７図は本発明
方法を実施する構成の第２実施例である。 １０．２０・・・レーザ光源、ｌ’ｌ、２１・・・レー
ザ光、１２，２．２・・・レンズ、１３．．２Ｂ・・・
被検査物表面、１４．２４・・・ノ・−フミラー、１６
゜２６・・・ポジションセンサー。 特許出願人 光洋自動機株式会社
方法を実施する構成の第１実施例、第５図は被検査物表
面の説明用正断面図、第６図は第５図に対応したポジシ
ョンセンサーよりの信号波形図である。第７図は本発明
方法を実施する構成の第２実施例である。 １０．２０・・・レーザ光源、ｌ’ｌ、２１・・・レー
ザ光、１２，２．２・・・レンズ、１３．．２Ｂ・・・
被検査物表面、１４．２４・・・ノ・−フミラー、１６
゜２６・・・ポジションセンサー。 特許出願人 光洋自動機株式会社
Claims (1)
- レーザ光源よりのレーザ光をレンズにより被検査物表面
に斜方向より照射し、その反射光光路中にハーフミラ−
を斜に配設して良品表面と、それより上方の塵埃表面と
それより下方の欠陥部底面にて反射した反射光を・・−
フミラーで反射させ、ポジションセンサーの異る位置に
結像させ、該位置を電気量に変換して被検査物表面のき
すと塵埃の判別方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12021483A JPS6013247A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12021483A JPS6013247A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013247A true JPS6013247A (ja) | 1985-01-23 |
Family
ID=14780713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12021483A Pending JPS6013247A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013247A (ja) |
-
1983
- 1983-07-04 JP JP12021483A patent/JPS6013247A/ja active Pending
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