JPS60200112A - 光学的形状誤差検出法 - Google Patents
光学的形状誤差検出法Info
- Publication number
- JPS60200112A JPS60200112A JP59055750A JP5575084A JPS60200112A JP S60200112 A JPS60200112 A JP S60200112A JP 59055750 A JP59055750 A JP 59055750A JP 5575084 A JP5575084 A JP 5575084A JP S60200112 A JPS60200112 A JP S60200112A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野）
本発明（Ｊ、レーリ゛−光を用いて被検物体表面の形状
誤差を３次元的に測定づ−る光学的形状誤差検出？大に
関するものである。
誤差を３次元的に測定づ−る光学的形状誤差検出？大に
関するものである。
・近年は、機械加」ニ部品の高い形状精度が要求される
ことが多く、また加工精度も向上している。
ことが多く、また加工精度も向上している。
−普通、このよ−）な部品の形状ｈ１測は３次元座標測
定機を用いておこなわれるが、この測定ＲにＪ、る測定
は、時間と手間がかかり、大量生産品の品質管理のため
の検査にはあまり適しノていない。
定機を用いておこなわれるが、この測定ＲにＪ、る測定
は、時間と手間がかかり、大量生産品の品質管理のため
の検査にはあまり適しノていない。
（発明の目的）
本発明は、シー１ｆ−光を用いて被検物体表面の形状誤
差を直感度かつ高速に３次元測定ぐぎる光学的形状誤差
検出法を提供しようとづるものである。
差を直感度かつ高速に３次元測定ぐぎる光学的形状誤差
検出法を提供しようとづるものである。
（発明の概要）
本発明の光学的形状誤差検出法は、レーリ゛−光により
大きい入射角で被検物体表面を照射し、その正反射光波
面を収束させやすい光波面に変換覆る特殊光学素子を用
いて収束させやすい光波面に変換し、この変換された光
波面を収束さけ、その収束状況を光電検出素子にＪ：り
検出し、この光電検出素子の出力信号を処理づることに
より、被検物体表面の形状誤差を検査、測定Ｊることを
特徴とする構成のものである。
大きい入射角で被検物体表面を照射し、その正反射光波
面を収束させやすい光波面に変換覆る特殊光学素子を用
いて収束させやすい光波面に変換し、この変換された光
波面を収束さけ、その収束状況を光電検出素子にＪ：り
検出し、この光電検出素子の出力信号を処理づることに
より、被検物体表面の形状誤差を検査、測定Ｊることを
特徴とする構成のものである。
以下：本発明を図面に承り実施例を参照して詳細に説明
覆る。
覆る。
第１図に示りＪ、うに、微小凹凸表面において同一方向
に正反ＣＪりる光１と２の光路差Δは、Ａ−〇［３・−
ΔＢ＝２δＣＯＳθであり、この光路差Ａが照ＤＩする
光の波長の数分の１以下の場合【よ正反射成分が増加し
、鏡面とみなすことができる。
に正反ＣＪりる光１と２の光路差Δは、Ａ−〇［３・−
ΔＢ＝２δＣＯＳθであり、この光路差Ａが照ＤＩする
光の波長の数分の１以下の場合【よ正反射成分が増加し
、鏡面とみなすことができる。
光路差Ａを小さくりるには上記式から入射角θを人きく
りればよい。
りればよい。
したがって、一般的には第２図に承りように、金屈加■
面３は、金属鏡のにうに特別な表面仕にげをしなりれば
、光学的には散乱面どしてｆｆ’ｌｌ ＜が、（〕かし
、第３図に承りように、入射角θを大ぎくしでゆくと、
十記狸由により、反射に伴う光１ど２の光路差が小さく
なり、その結果、正反口・１完成分４が強くなり、光り
γ・的鏡面どみなＵるようになる。この現象はシーン（
ｓｈｅｅｎｊとＩｌｆばれている。
面３は、金属鏡のにうに特別な表面仕にげをしなりれば
、光学的には散乱面どしてｆｆ’ｌｌ ＜が、（〕かし
、第３図に承りように、入射角θを大ぎくしでゆくと、
十記狸由により、反射に伴う光１ど２の光路差が小さく
なり、その結果、正反口・１完成分４が強くなり、光り
γ・的鏡面どみなＵるようになる。この現象はシーン（
ｓｈｅｅｎｊとＩｌｆばれている。
第４図おＪ：び第５図は、上記シーン現象を利用して鏡
面反１ｉＪを実現づるように、多きな入射角の方向から
、段Ｓ１どおりの理想形状の金属加工表面（これを基準
表面ど叶ぶ）１１をシー１ｆ−光１２で照射し、そして
その基準表面１１からの正反ＱＪ光１３を特殊光学素子
１４あるいは１５に導く状態を示づ。
面反１ｉＪを実現づるように、多きな入射角の方向から
、段Ｓ１どおりの理想形状の金属加工表面（これを基準
表面ど叶ぶ）１１をシー１ｆ−光１２で照射し、そして
その基準表面１１からの正反ＱＪ光１３を特殊光学素子
１４あるいは１５に導く状態を示づ。
この特殊光学素子１４あるいは１５の働きは、この素子
１４あるいは１５への正反射光１３を第４図に示づ平面
波１６あるいは第５図に示り球面波１７に光波面変換づ
ることである。上記平面波１６はレンズ１８等により、
微小な一点に向かって収束さＵることができる。また球
面波１７はそのままで微小な−・貞に収束り°る。１９
はその収束点である。
１４あるいは１５への正反射光１３を第４図に示づ平面
波１６あるいは第５図に示り球面波１７に光波面変換づ
ることである。上記平面波１６はレンズ１８等により、
微小な一点に向かって収束さＵることができる。また球
面波１７はそのままで微小な−・貞に収束り°る。１９
はその収束点である。
そこで第７図に示１ように、上記平面波または球面波の
収束光２４の収束点１９に小間口のピンホール２０を買
す、その収束光２４をづべて通過さけるようにする。ぞ
してそのピンホール２０を通過づる光の強度を光電検出
素子２１によっ°Ｃ検出する。
収束光２４の収束点１９に小間口のピンホール２０を買
す、その収束光２４をづべて通過さけるようにする。ぞ
してそのピンホール２０を通過づる光の強度を光電検出
素子２１によっ°Ｃ検出する。
一方、第６図に示すように、実際の被検物体表面（以下
被検表面と呼ぶ）２２がｌｅｔ％＋表面１１からす゛れ
ていて形状誤差がある場合には、その被検表面２２から
の正反射光２３は基準表面１１からの正反射光１３に対
しその形状誤差に応じて変化し、それに伴って特殊光学
素子１５からの出力光２４ａも平面波あるいは球面波の
収束光２４どはＷなり、いわゆる収差をもった光波面と
なる。この出力光２４ａはレンズ等によっても上記収束
点１９には収束（集光）しない。
被検表面と呼ぶ）２２がｌｅｔ％＋表面１１からす゛れ
ていて形状誤差がある場合には、その被検表面２２から
の正反射光２３は基準表面１１からの正反射光１３に対
しその形状誤差に応じて変化し、それに伴って特殊光学
素子１５からの出力光２４ａも平面波あるいは球面波の
収束光２４どはＷなり、いわゆる収差をもった光波面と
なる。この出力光２４ａはレンズ等によっても上記収束
点１９には収束（集光）しない。
このＪ：うに、被検表面２２の形状が基準表面１１の形
状と全く同じ場合には、第７図に示りＪ：うに、特殊光
学素子１４あるいは１５からのＵ１力光は一点に集中し
てりべてピンホール２０を通過するのＣ１上記光電検出
素子２１からの出力信号は大ぎいが、第６図に示ずにう
に被検表面２２が基準表面１１からずれでいる（形状誤
差がある）場合には、第８図に示りＪ：うに、特殊光学
素子１４あるいは１５からの出力光の一部しかピンホー
ル２０を通過しないので、上記光電検出素子の出力信号
は小さくなる。その小さくなる程度は、被検表面２２の
基準表面１１からのずれ具合と敏感に対応する。
状と全く同じ場合には、第７図に示りＪ：うに、特殊光
学素子１４あるいは１５からのＵ１力光は一点に集中し
てりべてピンホール２０を通過するのＣ１上記光電検出
素子２１からの出力信号は大ぎいが、第６図に示ずにう
に被検表面２２が基準表面１１からずれでいる（形状誤
差がある）場合には、第８図に示りＪ：うに、特殊光学
素子１４あるいは１５からの出力光の一部しかピンホー
ル２０を通過しないので、上記光電検出素子の出力信号
は小さくなる。その小さくなる程度は、被検表面２２の
基準表面１１からのずれ具合と敏感に対応する。
次に、基準表面１１からの正反射光波面を平面波あるい
は球面波に変換覆るだめの上記特殊光学素子１４．１５
の一つとしてボログラ１１光学索了がある。
は球面波に変換覆るだめの上記特殊光学素子１４．１５
の一つとしてボログラ１１光学索了がある。
すなわち、第９図に示づように、基準表面１１からの正
反射光１３と平面波あるいは球面波の平行参照光２５と
でＡフ・アクシスタイプの小１］グラム２Ｇを記録、作
成りる。このホログラムはＢ１粋ホ１コグラムに置きか
えることｂ可能である。次にこの（１成したボログラム
２６を現像処理後、第１０図に示づように、記録時と全
く同じ（Ｏ同叫正確にヒツトし、このホログラム２６を
基準表面７１からのｉＥ反０４光１３の光波面２７のみ
で照明覆れば、ホ［１グラｌ＼２Ｇからの出力光である
プラス１次回折光２８ ＋、ｉホＩｌｌグラム記録時の
もう一つの光波面Ｊなわら参照光２５の平面波あるいは
球面波と同一光波面となり、レンズ１８等により一点に
収束する。ところが、記録時の基準表面１１を前記被検
表面２２に侃ぎかえ、この被検表面２２を同一のレーザ
ー光波面で照Ｑｌ シた場合、被検表面２２の形状が基
準表面１１とわずかに異なっていると、その被検表面２
２がらの１反０４光２３の光波面２７ａは基、準表面１
１からのそれとはわり゛かに異なった光波面どなり、こ
の反射光波而２７ａでホ［１グラム２６を照明すると、
その波面の違いに応じてホログラム２６からのプラス１
次回１１７光２８ａは上記平面波あるいは球面波とは少
し異なった光波面となる。この光波面はレンズ１８等に
より微小４【一点（収束点）に収束させることはできな
い。
反射光１３と平面波あるいは球面波の平行参照光２５と
でＡフ・アクシスタイプの小１］グラム２Ｇを記録、作
成りる。このホログラムはＢ１粋ホ１コグラムに置きか
えることｂ可能である。次にこの（１成したボログラム
２６を現像処理後、第１０図に示づように、記録時と全
く同じ（Ｏ同叫正確にヒツトし、このホログラム２６を
基準表面７１からのｉＥ反０４光１３の光波面２７のみ
で照明覆れば、ホ［１グラｌ＼２Ｇからの出力光である
プラス１次回折光２８ ＋、ｉホＩｌｌグラム記録時の
もう一つの光波面Ｊなわら参照光２５の平面波あるいは
球面波と同一光波面となり、レンズ１８等により一点に
収束する。ところが、記録時の基準表面１１を前記被検
表面２２に侃ぎかえ、この被検表面２２を同一のレーザ
ー光波面で照Ｑｌ シた場合、被検表面２２の形状が基
準表面１１とわずかに異なっていると、その被検表面２
２がらの１反０４光２３の光波面２７ａは基、準表面１
１からのそれとはわり゛かに異なった光波面どなり、こ
の反射光波而２７ａでホ［１グラム２６を照明すると、
その波面の違いに応じてホログラム２６からのプラス１
次回１１７光２８ａは上記平面波あるいは球面波とは少
し異なった光波面となる。この光波面はレンズ１８等に
より微小４【一点（収束点）に収束させることはできな
い。
以上の説明をまとめると、次のようになる。
まず即想形状をもつ加工表面（基準表面）１１に大ぎな
入射角でレーザー光１２を照射し、その正反射光１３ど
平面波参照光２５とでボログラム２６を記録し、現象処
理後、このホログラム２Ｇを記録時と全く同じ位だにレ
ッ１−する。そして記録時の基準表面１１を被検表面２
２に置きかえ、この被検表面２２を同一のレージ−光波
面で照射Ｊる。そし−Ｃその正反０１光波面でボログラ
ム２６を照明し、ホログラム２Ｇからのプラス１次回折
波を凸レンズ１８で受（）、後側焦」：、１面での光強
度分布を観察する。もし被検表面２２が基準表面１１と
全く同じであるどリ−ると、その光強度分布は微小な収
束点１９に集中りるが、形状誤差があると、その分布、
母に応じて光強疫分布が広がったりあるいは集光位置が
ずれたりする。したがって後側焦点面の中心にピンホー
ル２０を置き、このピンホール２０を通過する光の強庶
苓光電検出素子２１により検出りれば、この素子２１の
出力と、被検表面２２のＭ Ｑ’表面１１に対Ｊる形状
誤差に対応づる吊との相関が得られる。
入射角でレーザー光１２を照射し、その正反射光１３ど
平面波参照光２５とでボログラム２６を記録し、現象処
理後、このホログラム２Ｇを記録時と全く同じ位だにレ
ッ１−する。そして記録時の基準表面１１を被検表面２
２に置きかえ、この被検表面２２を同一のレージ−光波
面で照射Ｊる。そし−Ｃその正反０１光波面でボログラ
ム２６を照明し、ホログラム２Ｇからのプラス１次回折
波を凸レンズ１８で受（）、後側焦」：、１面での光強
度分布を観察する。もし被検表面２２が基準表面１１と
全く同じであるどリ−ると、その光強度分布は微小な収
束点１９に集中りるが、形状誤差があると、その分布、
母に応じて光強疫分布が広がったりあるいは集光位置が
ずれたりする。したがって後側焦点面の中心にピンホー
ル２０を置き、このピンホール２０を通過する光の強庶
苓光電検出素子２１により検出りれば、この素子２１の
出力と、被検表面２２のＭ Ｑ’表面１１に対Ｊる形状
誤差に対応づる吊との相関が得られる。
なお上記実施例では、形状誤差に対応する仏門の最も簡
単な検出法として、光波の収束面にビンボール２０を置
きそのピンホール２０の通過光を光電検出する方法を示
したが、この手法以外に、第１１図に示Ｊように、上記
光波の収束面に微小光電検出素子アレイ３１を配列し、
それぞれの光電検出素−Ｆ３１ａの出力をマイクロコン
ピュータで処理りることにＪ：す、被検表面２２の基準
表面１１からのずれの方向および程度を検出覆ることが
可能である。
単な検出法として、光波の収束面にビンボール２０を置
きそのピンホール２０の通過光を光電検出する方法を示
したが、この手法以外に、第１１図に示Ｊように、上記
光波の収束面に微小光電検出素子アレイ３１を配列し、
それぞれの光電検出素−Ｆ３１ａの出力をマイクロコン
ピュータで処理りることにＪ：す、被検表面２２の基準
表面１１からのずれの方向および程度を検出覆ることが
可能である。
次に、本発明検出法を歯車の「４４形の３次元形状検査
に用いた実験例を第１２図ないし第１４図に示す。づな
わら、歯車３２の各歯面の中でインボリコー１−理想形
状に近い歯面（爾ナンバー１９預）を基準表面として、
Ｈｅ−ＮｅレーＩＪ”−（波長６３３μｍ）の平行光１
２により、ビッヂ円上ｅの入射角θが約７１度となる方
向から照射し、その正反０光波而２７ど、参照光２５の
平面波とにＪ：つてガラス入４仮のホＬ１グラ１８２６
を作成１ノる。第１２図にｄ５いて３３はハーフミラ−
１３４はミラーである。次にその小ログラノ１２Ｇを記
録時と同じ位置にしツ１〜し、上記基準表面の南面（（
ＪＡプンパー１９番）からの正反射光のみでこのボ［」
グラム２６を照＋−ａる。
に用いた実験例を第１２図ないし第１４図に示す。づな
わら、歯車３２の各歯面の中でインボリコー１−理想形
状に近い歯面（爾ナンバー１９預）を基準表面として、
Ｈｅ−ＮｅレーＩＪ”−（波長６３３μｍ）の平行光１
２により、ビッヂ円上ｅの入射角θが約７１度となる方
向から照射し、その正反０光波而２７ど、参照光２５の
平面波とにＪ：つてガラス入４仮のホＬ１グラ１８２６
を作成１ノる。第１２図にｄ５いて３３はハーフミラ−
１３４はミラーである。次にその小ログラノ１２Ｇを記
録時と同じ位置にしツ１〜し、上記基準表面の南面（（
ＪＡプンパー１９番）からの正反射光のみでこのボ［」
グラム２６を照＋−ａる。
そしてこのホ１コグラム２６からのプラス１次回折光２
８を焦点距Ｍｌ ｆのレンズ１８にＪ：り集光し、基準
表面に対応づる光電検出素子２１からの出力が最大とな
るＪ：うに微小ビンボール２０の位置を調節づる。
８を焦点距Ｍｌ ｆのレンズ１８にＪ：り集光し、基準
表面に対応づる光電検出素子２１からの出力が最大とな
るＪ：うに微小ビンボール２０の位置を調節づる。
この配置で、歯車３２の回転軸３５を正確に１ピツチづ
つ回Ｑ７さけることにより、他の各歯面に対応りる光電
検出素子２１からの出力を読みとる。そして基準表面の
場合の出力に対りる他の歯面の出力の比をめれば、一定
の限界値以ｌ；の場合を不良表面どして検出Ｊることが
できる。
つ回Ｑ７さけることにより、他の各歯面に対応りる光電
検出素子２１からの出力を読みとる。そして基準表面の
場合の出力に対りる他の歯面の出力の比をめれば、一定
の限界値以ｌ；の場合を不良表面どして検出Ｊることが
できる。
４ｔお、前記特殊光学素子１４．１５は、基本的にはゆ
がんだ光波面を整った光波面（平面波、球面波）に変換
覆る作用をもった光学素子であればホログラムには限ら
れない。例えば、そのような働きを覆るガラスあるいは
プラスチック光学素子、キノフオーム等を特殊光学素子
として用いてもＪ：い。
がんだ光波面を整った光波面（平面波、球面波）に変換
覆る作用をもった光学素子であればホログラムには限ら
れない。例えば、そのような働きを覆るガラスあるいは
プラスチック光学素子、キノフオーム等を特殊光学素子
として用いてもＪ：い。
本発明は、（Ａ）被検物体表面にタＪＬ、人きい入射角
でシー１Ｆ−光を照射し、その反０・１光のうらの大き
い反射角の正反用光成分の光を用いること、（Ｂ）この
正反射光波面をホログラム等の特殊光学素子を用いて平
面波等の収束さｌや゛りい光波面に波面変換すること、
（Ｃ）この光波面を収束さけ、での収束点あるいは収束
点とその近傍とに配置された′１個あるいは複数個の微
小光電検出素子により収束光の強度分イ１１等を検出り
ること、（１））この検出された光強度分布等のデータ
を演輝処即することにより、被検物体表面の微小形状誤
差を出力することの４段階からなり、この４段階の組合
せによって高感度、高速の３次元的形状誤差４測を実現
りることができ、微小形状Ｋｌ差の分類（凹凸、傾きの
方向等）おＪ：びムイ；差吊を容易に検出覆ることがで
きる。
でシー１Ｆ−光を照射し、その反０・１光のうらの大き
い反射角の正反用光成分の光を用いること、（Ｂ）この
正反射光波面をホログラム等の特殊光学素子を用いて平
面波等の収束さｌや゛りい光波面に波面変換すること、
（Ｃ）この光波面を収束さけ、での収束点あるいは収束
点とその近傍とに配置された′１個あるいは複数個の微
小光電検出素子により収束光の強度分イ１１等を検出り
ること、（１））この検出された光強度分布等のデータ
を演輝処即することにより、被検物体表面の微小形状誤
差を出力することの４段階からなり、この４段階の組合
せによって高感度、高速の３次元的形状誤差４測を実現
りることができ、微小形状Ｋｌ差の分類（凹凸、傾きの
方向等）おＪ：びムイ；差吊を容易に検出覆ることがで
きる。
図は本発明の光学的形状誤差検出法に係るもて゛、第１
図、第２図および第３図【３１シーン現Φ示り説明図、
第４図、絹５図３３ Ｊ：び第６図は１！ｉ光学素子の
１ｌｉｌ＋ぎを示づβ１明図、第７図および第Ｎは特殊
光学素子よりの出力光をピンホールをて光電検出素子に
にり検出りる作用を示づ説明第９図はホログラム作成時
の説明図、第１０図ホログラム再生時のｉ＋２明図、￥
Ｘ１１図は上記ピホールの代替手段である〉に電検出累
了アレイおびその出力の処理系統を承り説明図、第１２
図本発明を１！ｉｉｉ中の歯形の形状に５ｔ ５５−検
出に利用覆る合の説明図、第１３図および第１／１図は
イの歯の斜視図である１゜ １２・・レーリ゛−光、２１．３１ａ ・・光電検出素
２２・・被検物体表面（被検表面）、２Ｇ・・特殊学素
子としてのホ１］ダラム。 Ｙノ３目
図、第２図および第３図【３１シーン現Φ示り説明図、
第４図、絹５図３３ Ｊ：び第６図は１！ｉ光学素子の
１ｌｉｌ＋ぎを示づβ１明図、第７図および第Ｎは特殊
光学素子よりの出力光をピンホールをて光電検出素子に
にり検出りる作用を示づ説明第９図はホログラム作成時
の説明図、第１０図ホログラム再生時のｉ＋２明図、￥
Ｘ１１図は上記ピホールの代替手段である〉に電検出累
了アレイおびその出力の処理系統を承り説明図、第１２
図本発明を１！ｉｉｉ中の歯形の形状に５ｔ ５５−検
出に利用覆る合の説明図、第１３図および第１／１図は
イの歯の斜視図である１゜ １２・・レーリ゛−光、２１．３１ａ ・・光電検出素
２２・・被検物体表面（被検表面）、２Ｇ・・特殊学素
子としてのホ１］ダラム。 Ｙノ３目
Claims (1)
- （１） レーリ゛−光により大きい入射角で被検物体表
面を照則し、その正反ａ・Ｊ光波面を収束さｌやり−い
光波面に変換り−る特殊光学素子を用いて収束させやづ
い光波面に変換し、この変換された光波面を収束させ、
その収束状況を光電検出素子により検出し、この光電検
出素子の出力信号を処理づ“ることにより、被検物体表
面の形状誤差を検査、測定りることを特徴とり°る光学
的形状誤差検出法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59055750A JPS60200112A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 光学的形状誤差検出法 |
| US06/713,531 US4657396A (en) | 1984-03-23 | 1985-03-19 | Optical method for detecting errors in shape |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59055750A JPS60200112A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 光学的形状誤差検出法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200112A true JPS60200112A (ja) | 1985-10-09 |
| JPH0217044B2 JPH0217044B2 (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=13007527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59055750A Granted JPS60200112A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 光学的形状誤差検出法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4657396A (ja) |
| JP (1) | JPS60200112A (ja) |
Cited By (2)
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| US4657396A (en) | 1987-04-14 |
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