JPS60132209A - 位置決め制御装置 - Google Patents
位置決め制御装置Info
- Publication number
- JPS60132209A JPS60132209A JP24021283A JP24021283A JPS60132209A JP S60132209 A JPS60132209 A JP S60132209A JP 24021283 A JP24021283 A JP 24021283A JP 24021283 A JP24021283 A JP 24021283A JP S60132209 A JPS60132209 A JP S60132209A
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- JP
- Japan
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- deceleration
- command
- acceleration
- data
- counter
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/416—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control of velocity, acceleration or deceleration
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はプランレスリニアＤＣサーボモータの特徴を生
かし高速サーボ性を達成するだめの位置決め制御装置に
関するものである。
かし高速サーボ性を達成するだめの位置決め制御装置に
関するものである。
従来例の構成とその問題点
第１図は従来例における回転形ＤＣサーボモーターを使
った位置決め制御系の構成図である。１は位置指令、加
減速時間指定、速度指定等を行なうだめのシーケンス演
算回路である。２は前記シーケンス演算回路からの指令
パルスにもとづき４のサーボモーターからのフィードバ
ックパルスを比較し３のサーボモータードライバーにア
ナログの速度指令電圧を与えるディジタル制御部である
。
った位置決め制御系の構成図である。１は位置指令、加
減速時間指定、速度指定等を行なうだめのシーケンス演
算回路である。２は前記シーケンス演算回路からの指令
パルスにもとづき４のサーボモーターからのフィードバ
ックパルスを比較し３のサーボモータードライバーにア
ナログの速度指令電圧を与えるディジタル制御部である
。
５はサーボモータ速度検出用タコジェネレータで３のサ
ーボモータドライバーにフィードバックされる。６ば４
のサーボモータ回転角に比例したパルスを発生するエン
コーダであり前記２のディジタル制御部にフィードバッ
クされる。７は４のサーボモータ回転運動を直線運動に
変換するだめのボールネジ部、８は移動テーブルである
。
ーボモータドライバーにフィードバックされる。６ば４
のサーボモータ回転角に比例したパルスを発生するエン
コーダであり前記２のディジタル制御部にフィードバッ
クされる。７は４のサーボモータ回転運動を直線運動に
変換するだめのボールネジ部、８は移動テーブルである
。
上記構成におけるポイント・ツウ・ポイントの位置決め
制御において、時間経過に対するサーボモータの速度特
性は第２図のような特性で制御される。すなわぢ１１時
間は加速領域であり、サーボモータのフルパワーまたは
フルパワーで加速すると障害がある場合（は所定の加速
特性で加速される。
制御において、時間経過に対するサーボモータの速度特
性は第２図のような特性で制御される。すなわぢ１１時
間は加速領域であり、サーボモータのフルパワーまたは
フルパワーで加速すると障害がある場合（は所定の加速
特性で加速される。
そしてｔ２の時間ばｖｌの速度で等速運転全行ない目標
位置に近づく。目標位置から所定の位置に近づくとこん
どばｔ５の時間でフル減速または所定の減速特性で減速
を行ない目標位置でサーボモータは停止し位置決め制御
を完了する。位置決め完了後は適当なサーボ剛性を持っ
た状態にサーボロックされる。以上のように移動距離が
小さい場合を除いては速度一時間特性は台形波駆動特性
となるのが一般的である。このｖｌの速度はサーボ−モ
ータの許容最高速度、丑たけ回転運動を直線運動に変換
するボールネジ部等の許容限界速度によって制限される
ものである。また前記ｔ１＋ｊ３の加減速特性は前記）
−ケンス演算回路で時間設定されるのが一般的である。
位置に近づく。目標位置から所定の位置に近づくとこん
どばｔ５の時間でフル減速または所定の減速特性で減速
を行ない目標位置でサーボモータは停止し位置決め制御
を完了する。位置決め完了後は適当なサーボ剛性を持っ
た状態にサーボロックされる。以上のように移動距離が
小さい場合を除いては速度一時間特性は台形波駆動特性
となるのが一般的である。このｖｌの速度はサーボ−モ
ータの許容最高速度、丑たけ回転運動を直線運動に変換
するボールネジ部等の許容限界速度によって制限される
ものである。また前記ｔ１＋ｊ３の加減速特性は前記）
−ケンス演算回路で時間設定されるのが一般的である。
ところが前記回転形サーボモータと回転運動を直線運動
に変換するボールネジ部を、ブラシレスリニアＤＣサー
ボモーター等で直接駆動した場合には前述のよりなり１
という最高速度の制限が除去される。また加減速時もプ
ラン付サーボモータのように整流火花等の心配もないた
め負荷への衝撃等問題がある場合を除いてフルパワーで
加減速か可能となる。したがってブラシレスリニアＤＣ
サーボモータ等で直接駆動する場合は前記回転形サーボ
モータで駆動するような、加減速時間の設定、最高速の
設定等を行ない位置決め制御を行なう制御方式ではリニ
アモーターの特性を充分引き出すことができない。
に変換するボールネジ部を、ブラシレスリニアＤＣサー
ボモーター等で直接駆動した場合には前述のよりなり１
という最高速度の制限が除去される。また加減速時もプ
ラン付サーボモータのように整流火花等の心配もないた
め負荷への衝撃等問題がある場合を除いてフルパワーで
加減速か可能となる。したがってブラシレスリニアＤＣ
サーボモータ等で直接駆動する場合は前記回転形サーボ
モータで駆動するような、加減速時間の設定、最高速の
設定等を行ない位置決め制御を行なう制御方式ではリニ
アモーターの特性を充分引き出すことができない。
発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、プランレスリニアサーボモー
タで位置決め制（財）を行なう場合上記リニアサーボモ
ータの特性を最大限に引き出し高速な位置決め制ａ１ヲ
行なう装置を提供するものである。
タで位置決め制（財）を行なう場合上記リニアサーボモ
ータの特性を最大限に引き出し高速な位置決め制ａ１ヲ
行なう装置を提供するものである。
発明の構成
本発明は目標位置指令のデータを任意に設定される定数
と乗算する演算部と、前記演算部の出力と現在位置カウ
ンタのデータとを比較する比較部と、前記比較部出力は
、現在位置カウンタデータ〈演算部出力データ、の場合
は加速指令を、また現在位置カウンタデータ〉演算部出
力データ、の場合は減速指令を出力し、それにもとづき
、パルス周波数が速度情報、パルス数が位置情報となる
パルス列を発生する発振器とからなるシーケンス演算回
路と、前記／−ケンス演算回路のパルス列信号とブラシ
レスリニアＤＣサーボモーター可動子の位置フィードバ
ックパルスの両方を入力し比較する偏差カウンタと、前
記偏差カウンタの出力をＤ／Ａ変換−ｒることにより速
度指令信号を作り、前記速度指令信号にもとづいて駆動
されるリニアＤＣサーボモータからなり、目標位置の約
１／２の距離捷で加速指令領域とし、残りの距離を減速
領域となるように前記演算部の定数を設定するよう構成
されるブラシレスリニアＤＣサーボモータの位置決め装
置に関するものであり、プランレスリニアサーボモータ
の能力を充分に引き出して高速な位置決め制御□□を達
成することができる。
と乗算する演算部と、前記演算部の出力と現在位置カウ
ンタのデータとを比較する比較部と、前記比較部出力は
、現在位置カウンタデータ〈演算部出力データ、の場合
は加速指令を、また現在位置カウンタデータ〉演算部出
力データ、の場合は減速指令を出力し、それにもとづき
、パルス周波数が速度情報、パルス数が位置情報となる
パルス列を発生する発振器とからなるシーケンス演算回
路と、前記／−ケンス演算回路のパルス列信号とブラシ
レスリニアＤＣサーボモーター可動子の位置フィードバ
ックパルスの両方を入力し比較する偏差カウンタと、前
記偏差カウンタの出力をＤ／Ａ変換−ｒることにより速
度指令信号を作り、前記速度指令信号にもとづいて駆動
されるリニアＤＣサーボモータからなり、目標位置の約
１／２の距離捷で加速指令領域とし、残りの距離を減速
領域となるように前記演算部の定数を設定するよう構成
されるブラシレスリニアＤＣサーボモータの位置決め装
置に関するものであり、プランレスリニアサーボモータ
の能力を充分に引き出して高速な位置決め制御□□を達
成することができる。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。第３図は本発明における、ブラ／レスリニアＤ
Ｃサーボモータのポイント・ノウ・ポイント位置決め制
■の時間速度特性図である。
明する。第３図は本発明における、ブラ／レスリニアＤ
Ｃサーボモータのポイント・ノウ・ポイント位置決め制
■の時間速度特性図である。
速度の時間積分値である目標位置までの距離が８１の場
合は、ｔ４の時間はフルパワー加速を行ないｖ２の最高
速度に達した後ｔ５の時間はフルパワー減速を行って位
置決めを完了し、ｔ４．Ｆｔ５の三角波駆動になってい
る。三角波駆動を用いているのはプランレスリニアサー
ボモータにおいて（ハ１駆動推力と制動推力がほぼ同等
程度しか期待出来ないことが多いためでありその場合加
速時間を減速時間より長くとると位置決め時にオーパー
ツニート等が発生し高速な位置決めができないためであ
る。もっとも小推力の可動コイルタイプのりニアモータ
において（ｄこの限りでない。次にまた目標位置１での
距離がＳ２の場合ばｔ６の時間はフルパワー加速を行な
いｖ３の最高速度に達した後、ｔ７の時間フル減速を行
ない、速度零で位置決めを完了する。
合は、ｔ４の時間はフルパワー加速を行ないｖ２の最高
速度に達した後ｔ５の時間はフルパワー減速を行って位
置決めを完了し、ｔ４．Ｆｔ５の三角波駆動になってい
る。三角波駆動を用いているのはプランレスリニアサー
ボモータにおいて（ハ１駆動推力と制動推力がほぼ同等
程度しか期待出来ないことが多いためでありその場合加
速時間を減速時間より長くとると位置決め時にオーパー
ツニート等が発生し高速な位置決めができないためであ
る。もっとも小推力の可動コイルタイプのりニアモータ
において（ｄこの限りでない。次にまた目標位置１での
距離がＳ２の場合ばｔ６の時間はフルパワー加速を行な
いｖ３の最高速度に達した後、ｔ７の時間フル減速を行
ない、速度零で位置決めを完了する。
この場合もｔ６≠ｔ７の三角波駆動になっている。
このように前半をフル加速、後半をフル減速の三角波駆
動にする事で移動距離に応じて最高速度も変化し、加速
、減速の切替点も変化することになりブラシレスリニア
ＤＣｉサーボモータの特性ｔ［人眼に引き出せ、高速な
位置決め制ｆｆｌ１］ｋ行なうことができる。
動にする事で移動距離に応じて最高速度も変化し、加速
、減速の切替点も変化することになりブラシレスリニア
ＤＣｉサーボモータの特性ｔ［人眼に引き出せ、高速な
位置決め制ｆｆｌ１］ｋ行なうことができる。
第４図は前記三角波駆動を達成するための制（財）系ブ
ロック図である。９のＰ端子に入力された目標位置指令
データは１Ｏの現在位置カウンタにディジクル量でプリ
セットされる。また前記現在値カウンタは１６のパルス
発生器からのパルスにより前記プリセットされた値を減
算していくように構成されている。１１の演算器は１２
の定数設定器の値と前記９のＰ端子に設定された目標位
置指令値データとを乗算し記憶しておくもので通学前設
置２の定数は○、５を設定する。１３の比較器は１１の
演算された値と１０の現在値カウンタの値を比較するも
ので、〔現在位置カウンタ値〉演算器出力値〕の条件の
場合は１７のスイッチ（アナログスイッチ等）全１４の
加速信号発生器に接続し、その出力は１６の電圧制御発
振器（以下ｖＣＯと称する）に入力される。１４の加速
信号発生器の出力はリニアサーボモータをフルパワー加
速スる場合はステップ状の加速指令が発せられ、またソ
フトスタートが必要な場合は所定のパターンの指令が発
せられる。そして１６のｖＣｏは加速指令にもとづきパ
ルス周波数が速度情報、パルス数が位置情報のパルス例
を１○の現在値カウンタに送出し前記プリセット値を減
算していく。またｖＣＯの出力は１８の方向判別器にも
送出されリニアサーボモータの移動方向を判別されたの
ち１９の偏差カウンタに入力される。
ロック図である。９のＰ端子に入力された目標位置指令
データは１Ｏの現在位置カウンタにディジクル量でプリ
セットされる。また前記現在値カウンタは１６のパルス
発生器からのパルスにより前記プリセットされた値を減
算していくように構成されている。１１の演算器は１２
の定数設定器の値と前記９のＰ端子に設定された目標位
置指令値データとを乗算し記憶しておくもので通学前設
置２の定数は○、５を設定する。１３の比較器は１１の
演算された値と１０の現在値カウンタの値を比較するも
ので、〔現在位置カウンタ値〉演算器出力値〕の条件の
場合は１７のスイッチ（アナログスイッチ等）全１４の
加速信号発生器に接続し、その出力は１６の電圧制御発
振器（以下ｖＣＯと称する）に入力される。１４の加速
信号発生器の出力はリニアサーボモータをフルパワー加
速スる場合はステップ状の加速指令が発せられ、またソ
フトスタートが必要な場合は所定のパターンの指令が発
せられる。そして１６のｖＣｏは加速指令にもとづきパ
ルス周波数が速度情報、パルス数が位置情報のパルス例
を１○の現在値カウンタに送出し前記プリセット値を減
算していく。またｖＣＯの出力は１８の方向判別器にも
送出されリニアサーボモータの移動方向を判別されたの
ち１９の偏差カウンタに入力される。
１９の偏差カウンタのもう一方の入力にはりニアモータ
可動子の位置情報を２３のポテンショで検出したフィー
ドバック信号が入力される。そして１９の偏差カウンタ
は、前記２つのパルスの偏差に比例したディジタル量を
２Ｑのディジタルアナログ変換器（Ｄ／Ａ変換器）に送
出しその出力は速度指令電圧として２１のりニアモータ
用ドライバーに入力される。２１のドライバーには２３
のポテンショ出力を周波数−電圧変換器（Ｆ／Ｖ変換器
）によって得られた速度信号も入力されそしてその出力
は２４のリニアサーボモータを駆動して加速する。次に
１○の現在量カウンタの値が１６のｖＣＯ出力パルス列
により減算されていきその値が、〔現在値カウンタ値〈
演算器出力値〕の条件の場合は１７のスイッチを１５の
減速信号発生器に接続し、その出力は１６のＶＣＯに入
力され、ＶＣＯは減速指令を１８の方向判別回路に送出
し２４のリニアサーボモータは減速を行なう。
可動子の位置情報を２３のポテンショで検出したフィー
ドバック信号が入力される。そして１９の偏差カウンタ
は、前記２つのパルスの偏差に比例したディジタル量を
２Ｑのディジタルアナログ変換器（Ｄ／Ａ変換器）に送
出しその出力は速度指令電圧として２１のりニアモータ
用ドライバーに入力される。２１のドライバーには２３
のポテンショ出力を周波数−電圧変換器（Ｆ／Ｖ変換器
）によって得られた速度信号も入力されそしてその出力
は２４のリニアサーボモータを駆動して加速する。次に
１○の現在量カウンタの値が１６のｖＣＯ出力パルス列
により減算されていきその値が、〔現在値カウンタ値〈
演算器出力値〕の条件の場合は１７のスイッチを１５の
減速信号発生器に接続し、その出力は１６のＶＣＯに入
力され、ＶＣＯは減速指令を１８の方向判別回路に送出
し２４のリニアサーボモータは減速を行なう。
１６のｖＣｏは加速の時と同様にフルパワー減速を行な
う場合はステップ状の減速指令が発せられる。そして２
４のリニアサーボモータが目標指令位＠に近づくと１６
のＶＣＯはパルス送出を停止しリニアサーボモータば１
９の偏差カウンタの溜りパルスが零になる丑で移動し位
置決めを完了する。
う場合はステップ状の減速指令が発せられる。そして２
４のリニアサーボモータが目標指令位＠に近づくと１６
のＶＣＯはパルス送出を停止しリニアサーボモータば１
９の偏差カウンタの溜りパルスが零になる丑で移動し位
置決めを完了する。
以上のように前記１２の定数設定を○、５にすればどの
ような移動距離の場合もほぼ加速と減速の距離が等しく
なり三角波駆動が達成できるため位置決め時のオーパー
ンニート等も発生することなく、また移動距離が大きく
なるにしたがい最高速度も高くなるため高速な位置決め
制（財）を行なうことができる等、リニアサーボモータ
の能力を最大限に引き出すことが可能となる。なお前記
１２の定数設定は０．５で三角波駆動になると説明した
が。
ような移動距離の場合もほぼ加速と減速の距離が等しく
なり三角波駆動が達成できるため位置決め時のオーパー
ンニート等も発生することなく、また移動距離が大きく
なるにしたがい最高速度も高くなるため高速な位置決め
制（財）を行なうことができる等、リニアサーボモータ
の能力を最大限に引き出すことが可能となる。なお前記
１２の定数設定は０．５で三角波駆動になると説明した
が。
厳密にはリニアサーボモータの機械摩擦等の損失がある
ために加減速特性に差が発生する場合がある。そのため
１２の定数設定器は可変に出来るようにすれば、より最
適な制■が可能である。
ために加減速特性に差が発生する場合がある。そのため
１２の定数設定器は可変に出来るようにすれば、より最
適な制■が可能である。
発明の効果
以上のように本発明は目標位置指令のデータを任意に設
定される定数と乗算する演算部と、前記演算部の出力と
現在位置カウンタのデータとを比較する比較部と、前記
比較部出力は、現在位置力ランクデータ〈演算部出力デ
ータ、の場合は加速指令を、′！！：た現在位置カウン
タデータ〉演算部出力データ、の場合は減速指令を出力
し、それにもとづき、パルス周波数が速度情報、パルス
数が位置情報となるパルス列を発生する発振器とからな
る／−ケンス演算回路と、前記シーケンス演算回路のパ
ルス列信号とリニアＤＣサーボモーター可動子の位置フ
ィードバックパルスの両方を入力し比較する偏差カウン
タと、前記偏差カウンタの出力１Ｄ／Ａ変換することに
より速度指令信号を作り、前記速度指令信号にもとづい
て駆動されるリニアＤＣサーボモータからなり、目標位
置の約１／２の距離まで加速指令領域とし、残りの距離
を減速領域となるように前記演算部の定数を設定するこ
とにより、どのような移動距離設定の場合も、はぼ加速
と減速の距離が等しい三角波、駆動が達成でき、位置決
め時のオーバーシュート等もなく、また移動距離が大き
い程最高速度も高くできるため、リニアサーボモータの
最高速の限界のない特徴音生かぜ高速の位置決め制菌が
可能となりその実用性は高い。
定される定数と乗算する演算部と、前記演算部の出力と
現在位置カウンタのデータとを比較する比較部と、前記
比較部出力は、現在位置力ランクデータ〈演算部出力デ
ータ、の場合は加速指令を、′！！：た現在位置カウン
タデータ〉演算部出力データ、の場合は減速指令を出力
し、それにもとづき、パルス周波数が速度情報、パルス
数が位置情報となるパルス列を発生する発振器とからな
る／−ケンス演算回路と、前記シーケンス演算回路のパ
ルス列信号とリニアＤＣサーボモーター可動子の位置フ
ィードバックパルスの両方を入力し比較する偏差カウン
タと、前記偏差カウンタの出力１Ｄ／Ａ変換することに
より速度指令信号を作り、前記速度指令信号にもとづい
て駆動されるリニアＤＣサーボモータからなり、目標位
置の約１／２の距離まで加速指令領域とし、残りの距離
を減速領域となるように前記演算部の定数を設定するこ
とにより、どのような移動距離設定の場合も、はぼ加速
と減速の距離が等しい三角波、駆動が達成でき、位置決
め時のオーバーシュート等もなく、また移動距離が大き
い程最高速度も高くできるため、リニアサーボモータの
最高速の限界のない特徴音生かぜ高速の位置決め制菌が
可能となりその実用性は高い。
第１図は従来例の位置決め制菌装置の構成図、第２図は
速度一時間の特性図、第３図は本発明の一実施例におけ
る速度一時間の特性図、第４図は位置決め制（財）装置
の制御系ブロック図である。 １Ｏ・・・・・・現在値カウンタ、１１・・・・・演算
器、１２・・・・・・定数設定器、１３・・・・・・比
較器、１４・・・・・・加速信号発生器、１５・・・・
・・減速信号発生器、１６・・・・・・電圧側（財）発
振器、１９・・・・・・偏差カウンタ％２１・・・・ド
ライバー、２４・・・・・・ブラシレスリニアサーボモ
ーター。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 →ノ（８） 第３図 →ン（とＳ） 第４図
速度一時間の特性図、第３図は本発明の一実施例におけ
る速度一時間の特性図、第４図は位置決め制（財）装置
の制御系ブロック図である。 １Ｏ・・・・・・現在値カウンタ、１１・・・・・演算
器、１２・・・・・・定数設定器、１３・・・・・・比
較器、１４・・・・・・加速信号発生器、１５・・・・
・・減速信号発生器、１６・・・・・・電圧側（財）発
振器、１９・・・・・・偏差カウンタ％２１・・・・ド
ライバー、２４・・・・・・ブラシレスリニアサーボモ
ーター。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 →ノ（８） 第３図 →ン（とＳ） 第４図
Claims (2)
- （１） 目標位置指令のデータを任意に設定される定数
と乗算する演算部と、前記演算部の出力と現在位置カウ
ンタのデータとを比較する比較部と、前記比較部出力は
、現在位置カウンタデータ〈演算部出力データ、の場合
は加速指令を、また現在位置カウンタデータ〉演算部出
力データ。 の場合は減速指令を出力し、それにもとづき、パルス周
波数が速度情報、パルス数が位置情報となるパルス列を
発生する発振器とからなるシーケンス演算回路と、前記
シーケンス演算回路のパルス列信号とブラシレスリニア
ＤＣサーボモーター可動子の位置フィードバックパルス
の両方を入力し比較する偏差カウンタと、前記偏差カウ
ンタの出力をＤ／Ｃ変換することにより速度指令信号を
作り、前記速度指令信号にもとづいて駆動される位置決
め制御装置。 - （２） 目標位置の約１／２の距離まで加速指令領域と
し、残りの距離を減速領域となるように前記演算部の定
数を設定することからなる特許請求の範囲第１項記載の
位置決め制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24021283A JPS60132209A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24021283A JPS60132209A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 位置決め制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132209A true JPS60132209A (ja) | 1985-07-15 |
Family
ID=17056116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24021283A Pending JPS60132209A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132209A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63159911A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-02 | Hitachi Ltd | サーボ制御回路 |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP24021283A patent/JPS60132209A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63159911A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-02 | Hitachi Ltd | サーボ制御回路 |
| JP2648141B2 (ja) * | 1986-12-24 | 1997-08-27 | 株式会社日立製作所 | サーボ制御回路 |
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