JPS60131159A - 研削切断装置 - Google Patents
研削切断装置Info
- Publication number
- JPS60131159A JPS60131159A JP23618483A JP23618483A JPS60131159A JP S60131159 A JPS60131159 A JP S60131159A JP 23618483 A JP23618483 A JP 23618483A JP 23618483 A JP23618483 A JP 23618483A JP S60131159 A JPS60131159 A JP S60131159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- temperature
- testpiece
- board
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
- B24B27/0683—Accessories therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は研削切断装置に係シ、特に加工変質層の小さい
切断面を得るに好、適な研削切断装置に関す、るもので
ある。
切断面を得るに好、適な研削切断装置に関す、るもので
ある。
従来、切断、砥石を用いて被加工物を切断する場合に畔
、冷却液を切断点へ供給しているが、切断溝側面、と砥
石側面とが接、シ、ているために、冷却液が前記切断点
へ供給されにくく、したがって研削熱による切断点近傍
の温度上昇が太きい。
、冷却液を切断点へ供給しているが、切断溝側面、と砥
石側面とが接、シ、ているために、冷却液が前記切断点
へ供給されにくく、したがって研削熱による切断点近傍
の温度上昇が太きい。
第１図は、一般の硬脆材料の、圧縮応力と塑性歪との関
係を示す応力−歪線図、第２図は、切断点近傍の温度と
塑性歪の深さとの関係を示す切断点温度−塑性歪深さ線
図である。
係を示す応力−歪線図、第２図は、切断点近傍の温度と
塑性歪の深さとの関係を示す切断点温度−塑性歪深さ線
図である。
被加工物の温度１ｏが高くなると、第１図に示すように
、圧縮応力線の塑性歪軸に対する勾配、すなわち変形抵
抗が小さくなシ、また、切断点近傍の温度ｔ、が高くな
るほど、第２図に示すように、塑性歪の深さ、すなわち
加工変外層が大きくなる。
、圧縮応力線の塑性歪軸に対する勾配、すなわち変形抵
抗が小さくなシ、また、切断点近傍の温度ｔ、が高くな
るほど、第２図に示すように、塑性歪の深さ、すなわち
加工変外層が大きくなる。
切断砥石を用いた切断では、従来、前述したように、冷
却液の切断点への供給が不十分で、切断点近傍の温度上
昇が大きいので、加工変質層が大きくなるといケ欠点が
あった。
却液の切断点への供給が不十分で、切断点近傍の温度上
昇が大きいので、加工変質層が大きくなるといケ欠点が
あった。
たとえば、 ３ ｍｗ ×４Ｗ Ｘ長さ４５龍のアルミ
ナを、ｌ８００メタルボンドダイヤモンドの切断砥石に
よシ、厚さｔ５ｖＸ４１ｍＸ長さ４５ｍの切断試□ｓｂ
′ｒｙａｘｎ１１−１ｃｍｃｚ−；１．１．１−一・、
フ＋−ｘｔｎ、ｂｗＪ−＝＋＝ｗ、、−ｖ＋、ｍ、自−
−−−４００℃になり、加工変質層の大きさは約′５〜
５μｍであった。
ナを、ｌ８００メタルボンドダイヤモンドの切断砥石に
よシ、厚さｔ５ｖＸ４１ｍＸ長さ４５ｍの切断試□ｓｂ
′ｒｙａｘｎ１１−１ｃｍｃｚ−；１．１．１−一・、
フ＋−ｘｔｎ、ｂｗＪ−＝＋＝ｗ、、−ｖ＋、ｍ、自−
−−−４００℃になり、加工変質層の大きさは約′５〜
５μｍであった。
このように、切断試料の切断面の力り工変質層が太きい
と、その切断試料に”そり″（す々わち変形）が生じ、
これを磁気ヘッド基板として使用すると、磁気ヘッドの
性能を著しく劣化させるという問題点があった。
と、その切断試料に”そり″（す々わち変形）が生じ、
これを磁気ヘッド基板として使用すると、磁気ヘッドの
性能を著しく劣化させるという問題点があった。
本発明は、上記した従来技術の欠点全除去して、切断点
近傍の温度を低くすることにより、加工変質層の小きい
切断面を得ることができる研削切断装置の提供を、その
目的とするものである。
近傍の温度を低くすることにより、加工変質層の小きい
切断面を得ることができる研削切断装置の提供を、その
目的とするものである。
本発明に係る研削切断装置の構成は、回転する砥石軸に
取付けた切断砥石によって、往復動する試料台上に載置
固定された抜刀ロエ物全切断する研削切断装置において
、試料台に冷却管を埋設（〜、この冷却管へ冷媒を供給
する冷凍機を具備せしめるようにしたものである。
取付けた切断砥石によって、往復動する試料台上に載置
固定された抜刀ロエ物全切断する研削切断装置において
、試料台に冷却管を埋設（〜、この冷却管へ冷媒を供給
する冷凍機を具備せしめるようにしたものである。
さらに詳しくは、９冷式密閉型冷凍機を用い、冷却管を
加設した試料台の前記冷却管へ前記空冷式密閉型冷凍機
から冷媒を流すことにより、前記試料台および被加工物
を冷却し、切断点近傍に発生する研削熱を吸収して切断
面の加工変質層を小さくするようにしたものである。
加設した試料台の前記冷却管へ前記空冷式密閉型冷凍機
から冷媒を流すことにより、前記試料台および被加工物
を冷却し、切断点近傍に発生する研削熱を吸収して切断
面の加工変質層を小さくするようにしたものである。
以下、本発明を実施例によって説明する。
第３図は、本発明の一実施例に係る研削切断装置を示す
斜視図、第４図は、第３図における試料台の詳細を示す
断面図、第５図は、第４図に併る試料台の平面図である
。
斜視図、第４図は、第３図における試料台の詳細を示す
断面図、第５図は、第４図に併る試料台の平面図である
。
第３図において、１は、モータ（図示せず）によって回
転する砥石軸４に取付けられた切断砥石であり、前記砥
石軸４は、パルスモータ１２を具備したＺ軸部１１に回
転自在に、且つ上下動可能に支持されており、前記パル
スモータ１２を駆動することによシ砥石軸４ｆｒ：下降
させ、切断砥石１に切込みを与えることができる。５は
、Ｘテーブル６上に固定され、Ｘ方向に往復動する試料
台（詳細後述）で、この試料台５上に被刀Ｏ工物１４を
載置固定することができる。前記Ｘテーブル６は、油圧
シリンダ（図示せず）によって所定の移動速度でＸ方向
に往復動するようＫなっている。９は、その上にＺ軸部
１１を載置固定し、パルスモータ１Ｏヲ具備したＹテー
ブルであシ、前記パルスモータ１０を駆動することによ
りＹテーブル９をＹ方向に移動させて、切断砥石１によ
る切断位置の割出しを行なうことができる。７は、その
上にＸテーブル６、Ｙテーブル９を摺動可能に載置する
ベッドである。
転する砥石軸４に取付けられた切断砥石であり、前記砥
石軸４は、パルスモータ１２を具備したＺ軸部１１に回
転自在に、且つ上下動可能に支持されており、前記パル
スモータ１２を駆動することによシ砥石軸４ｆｒ：下降
させ、切断砥石１に切込みを与えることができる。５は
、Ｘテーブル６上に固定され、Ｘ方向に往復動する試料
台（詳細後述）で、この試料台５上に被刀Ｏ工物１４を
載置固定することができる。前記Ｘテーブル６は、油圧
シリンダ（図示せず）によって所定の移動速度でＸ方向
に往復動するようＫなっている。９は、その上にＺ軸部
１１を載置固定し、パルスモータ１Ｏヲ具備したＹテー
ブルであシ、前記パルスモータ１０を駆動することによ
りＹテーブル９をＹ方向に移動させて、切断砥石１によ
る切断位置の割出しを行なうことができる。７は、その
上にＸテーブル６、Ｙテーブル９を摺動可能に載置する
ベッドである。
試料台５を、第４，５図を使用してさらに詳細に説明す
ると、この試料台５には、冷却管に係るらせん状冷却管
１６が埋設されておシ、このらせん状冷却管１６の両端
は、冷凍機に係る空冷式密閉型冷凍機８に取付けられた
フレキシブル管１３に接続されている。また、試料台５
の上面には、被加工物１４を吸着するための空気孔２が
分布して穿設されてｂＢ、これらの空気孔２は、試料台
５の下面に取付けた真壁チャック１７と連通する吸気空
洞部５０に開孔している。そして、前記真空チャック１
７は、真空ポンプ１９に接続されている。なお、３は砥
石カバー、１５は、切断砥石１へ冷却液を供給するクー
ラントノズルである。
ると、この試料台５には、冷却管に係るらせん状冷却管
１６が埋設されておシ、このらせん状冷却管１６の両端
は、冷凍機に係る空冷式密閉型冷凍機８に取付けられた
フレキシブル管１３に接続されている。また、試料台５
の上面には、被加工物１４を吸着するための空気孔２が
分布して穿設されてｂＢ、これらの空気孔２は、試料台
５の下面に取付けた真壁チャック１７と連通する吸気空
洞部５０に開孔している。そして、前記真空チャック１
７は、真空ポンプ１９に接続されている。なお、３は砥
石カバー、１５は、切断砥石１へ冷却液を供給するクー
ラントノズルである。
このように構成した研削切断装置によって、被加工物１
４０寸法する動作を説明する。
４０寸法する動作を説明する。
制御装置１Ｂに、被加工物１４０寸法、切断試料の厚さ
、切断試料の枚数、砥石軸４の回転数。
、切断試料の枚数、砥石軸４の回転数。
試料台５の往復速度、切込み量（試料台５の１Ａ往復当
たυ）、試料台５の設定温度を、それぞれ設定する。
たυ）、試料台５の設定温度を、それぞれ設定する。
真壁ポンプ１９を駆動して、試料台５上に被加工物１４
ヲ吸着して固定する。
ヲ吸着して固定する。
ここで研削切断装置をＯＮにする′ｙ、窒冷式密閉型冷
凍機８が駆動され、冷媒がフレキシブル°管１３を通っ
て空冷式密閉型冷凍機８と試料台５のらせん状冷却管１
６との間を循環して試料台５を冷却する。試料台５の温
度が予め設定した温度になると、制御装置１日からの指
令によって、砥石軸４のモータ（図示せず）が回転し、
クーラントノズル１５から冷却液に係る切削油が流出し
、Ｙテーブル９のパルスモータ１０によって切断位置の
割出しが行なわれ、Ｚ軸部１１のパルスモータ１２によ
って切断砥石１に設定した切込み量が与えられ、前記油
圧シリンダによってＸテーブル６が設定した移動速度で
往復動を行ない、切断砥石１によって核力ロエ物１４の
切断が行なわれる。このとき、試料台５および被加工物
１４は、らせん状冷却管１６ｔ−流れる冷媒によって冷
却された状態で、切断が行なわれる。切断試料が設定枚
数たけ切断されると、研削切断装置がＯＦＦになυ、空
冷式密閉型冷凍機８．真空ポンプ１９も停止する。
凍機８が駆動され、冷媒がフレキシブル°管１３を通っ
て空冷式密閉型冷凍機８と試料台５のらせん状冷却管１
６との間を循環して試料台５を冷却する。試料台５の温
度が予め設定した温度になると、制御装置１日からの指
令によって、砥石軸４のモータ（図示せず）が回転し、
クーラントノズル１５から冷却液に係る切削油が流出し
、Ｙテーブル９のパルスモータ１０によって切断位置の
割出しが行なわれ、Ｚ軸部１１のパルスモータ１２によ
って切断砥石１に設定した切込み量が与えられ、前記油
圧シリンダによってＸテーブル６が設定した移動速度で
往復動を行ない、切断砥石１によって核力ロエ物１４の
切断が行なわれる。このとき、試料台５および被加工物
１４は、らせん状冷却管１６ｔ−流れる冷媒によって冷
却された状態で、切断が行なわれる。切断試料が設定枚
数たけ切断されると、研削切断装置がＯＦＦになυ、空
冷式密閉型冷凍機８．真空ポンプ１９も停止する。
具体例を説明する。
３ 龍Ｘ ４ ’１０１ Ｘ 長さ４５ｍのアルミナの
被加工物１４を、らせん状冷却管１６を埋設した試料台
５（試料台５の移動速度６００ ｍ ／ ｓｅｃ ）上
に載置固定し、空冷式密閉型冷凍機８を駆動して前記ら
せん状冷却管１６へ冷媒を供給しながら、１８００メタ
ルボンドダイヤモンドの切断砥石１（砥石周速４５００
ｍ１ｍｉｎ ）によって、切込み量００１ ｇ＊／１
ｐα８（たたし、１ ｐｔＬｒｔは試料台５の１／２往
復）で厚ざ１．５ｍ Ｘ ４ ｍ＋１１ Ｘ長さ４５ｍ
Ｍの切断試料に切断し１ヒところ、切断点近傍の温度は
約−１０℃で、加工変質層は０．７μｍであった。
被加工物１４を、らせん状冷却管１６を埋設した試料台
５（試料台５の移動速度６００ ｍ ／ ｓｅｃ ）上
に載置固定し、空冷式密閉型冷凍機８を駆動して前記ら
せん状冷却管１６へ冷媒を供給しながら、１８００メタ
ルボンドダイヤモンドの切断砥石１（砥石周速４５００
ｍ１ｍｉｎ ）によって、切込み量００１ ｇ＊／１
ｐα８（たたし、１ ｐｔＬｒｔは試料台５の１／２往
復）で厚ざ１．５ｍ Ｘ ４ ｍ＋１１ Ｘ長さ４５ｍ
Ｍの切断試料に切断し１ヒところ、切断点近傍の温度は
約−１０℃で、加工変質層は０．７μｍであった。
以上説明した実施例によれば、試料台５に、らせん状冷
却管１６を埋設し、このらせん状冷却管１６へ冷媒を流
して切断砥石１および被加工物１４ヲ冷却するようにし
たので、切断点近傍の温度が著しく低下し、これによっ
て加工変質層の小さい切断試料を得ることができ、甘た
切断砥石１の摩耗量も低減するという効果がある。
却管１６を埋設し、このらせん状冷却管１６へ冷媒を流
して切断砥石１および被加工物１４ヲ冷却するようにし
たので、切断点近傍の温度が著しく低下し、これによっ
て加工変質層の小さい切断試料を得ることができ、甘た
切断砥石１の摩耗量も低減するという効果がある。
切断試料の）１０工変質層が小〈なったので、変形量も
低減し、たとえば、これを磁気ヘッド基板に使用した磁
気５ツドの性能全向上させることができるようになった
。
低減し、たとえば、これを磁気ヘッド基板に使用した磁
気５ツドの性能全向上させることができるようになった
。
なお、本実施例においては、らせん状冷却管１６へ冷媒
を供給するのに空冷式密閉型冷凍機８を使用するように
したが、空冷式密閉型冷凍機８の代シに、たとえば水冷
式密閉型冷凍機などの冷凍機を使用するようにしてもよ
い。
を供給するのに空冷式密閉型冷凍機８を使用するように
したが、空冷式密閉型冷凍機８の代シに、たとえば水冷
式密閉型冷凍機などの冷凍機を使用するようにしてもよ
い。
以上詳細に説明したように本発明によれば、切断点近傍
の温度を低くすることにより、加工変質層の小さい切断
面を得ることができる研削切断装置を提供することがで
きる。
の温度を低くすることにより、加工変質層の小さい切断
面を得ることができる研削切断装置を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、一般の硬脆材料の、圧縮応力と塑性歪との関
係を示す応力−歪線図、第２図は、切断点近傍の温度と
塑性歪の深さとの関係を示す切断点温度−塑性歪深さ線
図、第３図は、本発明の一実施例に係る研削切断装置を
示す斜視図、第４図は、第３図における試料台の詳細を
示す断面図、第５図は、第４図に係る試料台の平面図で
ある。 １・・・切断砥石 ４・・・砥石軸 ５・・・試料台 ８・・・空冷式密閉型冷凍機 １４・・・被加工物切断
点近傍の温度上＋ＣＣ） 第３図 １ｔ） 范４図 −５図
係を示す応力−歪線図、第２図は、切断点近傍の温度と
塑性歪の深さとの関係を示す切断点温度−塑性歪深さ線
図、第３図は、本発明の一実施例に係る研削切断装置を
示す斜視図、第４図は、第３図における試料台の詳細を
示す断面図、第５図は、第４図に係る試料台の平面図で
ある。 １・・・切断砥石 ４・・・砥石軸 ５・・・試料台 ８・・・空冷式密閉型冷凍機 １４・・・被加工物切断
点近傍の温度上＋ＣＣ） 第３図 １ｔ） 范４図 −５図
Claims (1)
- １、 回転する砥石軸に取付けた切断砥石によって、往
復動する試料台上に載置固定された被加工物を切断する
研削切断装置にかいて、試料台に冷却管を埋設し、この
冷却管へ冷媒を供給する冷凍機を具備せしめるようにし
たことを特徴とする研削切断鋏装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23618483A JPS60131159A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 研削切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23618483A JPS60131159A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 研削切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131159A true JPS60131159A (ja) | 1985-07-12 |
Family
ID=16997015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23618483A Pending JPS60131159A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 研削切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60131159A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101811280A (zh) * | 2009-12-31 | 2010-08-25 | 上海爱普生磁性器件有限公司 | 圆管状磁体的切割设备及切割方法 |
| JP2016196060A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 津田駒工業株式会社 | 工作機械又は工作機械関連装置用の部品、及びその製造方法 |
| CN107813209A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-03-20 | 陈超 | 一种新型砂轮切割机 |
-
1983
- 1983-12-16 JP JP23618483A patent/JPS60131159A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101811280A (zh) * | 2009-12-31 | 2010-08-25 | 上海爱普生磁性器件有限公司 | 圆管状磁体的切割设备及切割方法 |
| JP2016196060A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 津田駒工業株式会社 | 工作機械又は工作機械関連装置用の部品、及びその製造方法 |
| CN107813209A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-03-20 | 陈超 | 一种新型砂轮切割机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4913517B2 (ja) | ウエーハの研削加工方法 | |
| CN108556163A (zh) | 一种硅晶棒防崩边切割装置 | |
| TWI457218B (zh) | 切割方法 | |
| JPS60131159A (ja) | 研削切断装置 | |
| US4127969A (en) | Method of making a semiconductor wafer | |
| JP2005028550A (ja) | 結晶方位を有するウエーハの研磨方法 | |
| JP2022103852A (ja) | 補助装置 | |
| TW200936341A (en) | Dicing device and dicing method | |
| JP2007281210A (ja) | 基板切断方法および基板切断装置 | |
| JP2008130808A (ja) | 研削加工方法 | |
| TWI633973B (zh) | 切削裝置 | |
| US6302775B1 (en) | Apparatus and method for cold cross-sectioning of soft materials | |
| CN1133525C (zh) | 稀土族合金的加工方法及应用该方法的稀土族磁石的制造方法 | |
| JP2008023690A (ja) | ウェーハ面取り砥石のツルーイング方法及びウェーハ面取り装置 | |
| KR20220000089A (ko) | 다중 블레이드 절단장치 | |
| CN209335350U (zh) | 多工位金刚石研磨设备 | |
| JP5270481B2 (ja) | 電極加工方法 | |
| JP2002224955A (ja) | 研削盤 | |
| JP5990040B2 (ja) | 切削装置 | |
| JP4106130B2 (ja) | 硬脆材料の切断方法及び内周刃切断装置 | |
| JP2016120544A (ja) | ワーク加工機 | |
| JP4650678B2 (ja) | 面取り用砥石のツルーイング方法 | |
| US20220072680A1 (en) | As-sliced wafer processing method | |
| JP2013035144A (ja) | サファイア単結晶インゴットのコアリング方法及び装置 | |
| CN212329413U (zh) | 一种刹车片冲孔装置 |