JP2022103852A - 補助装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】切削ブレードを自動的に交換できる補助装置であって、ユーザーに既に納品した切削装置に後から装着することができる補助装置を提供する。
【解決手段】切削装置に連結される補助装置2は、複数の切削ブレード36を保管する切削ブレード保管手段4と、切削ブレード保管手段4から切削ブレード36を搬出および搬入する搬出入手段6と、搬出入手段6を切削ブレード保管手段4に対してY軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるY軸方向位置付け手段8と、搬出入手段6をZ軸方向に移動するZ軸移動手段10と、搬出入手段6をX軸方向に移動して切削装置の切削手段のスピンドルに装着された切削ブレード36に作用するX軸移動手段12とを少なくとも備える。
【選択図】図1
【解決手段】切削装置に連結される補助装置2は、複数の切削ブレード36を保管する切削ブレード保管手段4と、切削ブレード保管手段4から切削ブレード36を搬出および搬入する搬出入手段6と、搬出入手段6を切削ブレード保管手段4に対してY軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるY軸方向位置付け手段8と、搬出入手段6をZ軸方向に移動するZ軸移動手段10と、搬出入手段6をX軸方向に移動して切削装置の切削手段のスピンドルに装着された切削ブレード36に作用するX軸移動手段12とを少なくとも備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、切削装置に連結される補助装置に関する。
IC、LSI等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
切削装置は、ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを固定ナットで装着した切削手段と、チャックテーブルをX軸方向に加工送りするX軸送り手段と、切削手段をX軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りするY軸送り手段と、X軸方向およびY軸方向と直交するZ軸方向に切削手段を切り込み送りするZ軸送り手段とを備え、保持面はX軸方向およびY軸方向で規定されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる。
また、本出願人は、切削手段に装着された切削ブレードを自動的に交換できる自動交換装置を提案した(たとえば特許文献1参照)。
しかし、ユーザーに既に納品した切削装置に後から自動交換装置を装着することが困難であるという問題がある。
上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、切削ブレードを自動的に交換できる補助装置であって、ユーザーに既に納品した切削装置に後から装着することができる補助装置を提供することである。
本発明によれば、上記課題を解決する以下の補助装置が提供される。すなわち、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定ナットで装着した切削手段と、該チャックテーブルをX軸方向に加工送りするX軸送り手段と、該切削手段を該X軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りするY軸送り手段と、該X軸方向および該Y軸方向と直交するZ軸方向に該切削手段を切り込み送りするZ軸送り手段とを備え、該保持面は該X軸方向および該Y軸方向で規定された切削装置に連結される補助装置であって、複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段と、該切削ブレード保管手段から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段と、該搬出入手段を該切削ブレード保管手段に対してY軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるY軸方向位置付け手段と、該搬出入手段をZ軸方向に移動するZ軸移動手段と、該搬出入手段をX軸方向に移動して該切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するX軸移動手段と、を少なくとも備えた補助装置が提供される。
好ましくは、該切削ブレード保管手段は、Y軸方向に延びる回転軸を有する駆動歯車と、該駆動歯車とZ軸方向に離間しY軸方向に延びる回転軸を有する従動歯車と、該駆動歯車と該従動歯車とに巻き掛けられた無限軌道と、該無限軌道に所定の間隔で配設され切削ブレードの中央開口部に挿入され切削ブレードを支持するY軸方向に延びる支持軸と、を含む。
該駆動歯車と該従動歯車とのZ軸方向の間隔が調整できると共に該無限軌道の長さも調整できるのが好適である。
該搬出入手段は、Z軸方向に延びるZ回転軸と、該Z回転軸に放射状に連結され切削ブレードを吸引保持するブレード保持部と、該固定ナットを該スピンドルの先端に形成された雄ネジに螺着および螺脱する固定ナット保持部と、を少なくとも備え、該固定ナット保持部1個に対して該ブレード保持部を2個備えているのが好都合である。
該搬出入手段は枠体に配設され、該枠体は昇降テーブルに配設されたY軸方向に延びるガイドレールに摺動可能に支持され、該Y軸方向位置付け手段によって該切削ブレード保管手段に対してY軸方向の該作用位置と該退避位置とに位置付けられるのが望ましい。
該搬出入手段は、該枠体の内部に配設された第一の移動体に配設され、該第一の移動体は第二の移動体の下部に配設されたX軸方向に延びる第一のガイドレールに吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、該第二の移動体は該枠体の天井部に配設されたX軸方向に延びる第二のガイドレールに吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、該搬出入手段は該第一の移動体および該第二の移動体によってX軸方向に進出自在に構成されるのが好ましい。
該枠体の底部には切削ブレードをドレッシングするためのドレッシングボードを収容するドレッシングボード収容部が配設され、該第一の移動体には該ドレッシングボード収容部に収容されたドレッシングボードを保持する保持手段が配設されるのが好適である。
該枠体の底部には、該切削手段のスピンドルの先端に形成され切削ブレードの背部を支持するマウントフランジの外周端面を整えるための端面修正治具を収容する端面修正治具収容部が配設され、該第一の移動体に配設された該保持手段によって端面修正治具が保持されるのが好都合である。
該駆動歯車と該従動歯車とのZ軸方向の間隔が調整できると共に該無限軌道の長さも調整できるのが好適である。
該搬出入手段は、Z軸方向に延びるZ回転軸と、該Z回転軸に放射状に連結され切削ブレードを吸引保持するブレード保持部と、該固定ナットを該スピンドルの先端に形成された雄ネジに螺着および螺脱する固定ナット保持部と、を少なくとも備え、該固定ナット保持部1個に対して該ブレード保持部を2個備えているのが好都合である。
該搬出入手段は枠体に配設され、該枠体は昇降テーブルに配設されたY軸方向に延びるガイドレールに摺動可能に支持され、該Y軸方向位置付け手段によって該切削ブレード保管手段に対してY軸方向の該作用位置と該退避位置とに位置付けられるのが望ましい。
該搬出入手段は、該枠体の内部に配設された第一の移動体に配設され、該第一の移動体は第二の移動体の下部に配設されたX軸方向に延びる第一のガイドレールに吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、該第二の移動体は該枠体の天井部に配設されたX軸方向に延びる第二のガイドレールに吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、該搬出入手段は該第一の移動体および該第二の移動体によってX軸方向に進出自在に構成されるのが好ましい。
該枠体の底部には切削ブレードをドレッシングするためのドレッシングボードを収容するドレッシングボード収容部が配設され、該第一の移動体には該ドレッシングボード収容部に収容されたドレッシングボードを保持する保持手段が配設されるのが好適である。
該枠体の底部には、該切削手段のスピンドルの先端に形成され切削ブレードの背部を支持するマウントフランジの外周端面を整えるための端面修正治具を収容する端面修正治具収容部が配設され、該第一の移動体に配設された該保持手段によって端面修正治具が保持されるのが好都合である。
本発明の補助装置は、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定ナットで装着した切削手段と、該チャックテーブルをX軸方向に加工送りするX軸送り手段と、該切削手段を該X軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りするY軸送り手段と、該X軸方向および該Y軸方向と直交するZ軸方向に該切削手段を切り込み送りするZ軸送り手段とを備え、該保持面は該X軸方向および該Y軸方向で規定された切削装置に連結される補助装置であって、複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段と、該切削ブレード保管手段から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段と、該搬出入手段を該切削ブレード保管手段に対してY軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるY軸方向位置付け手段と、該搬出入手段をZ軸方向に移動するZ軸移動手段と、該搬出入手段をX軸方向に移動して該切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するX軸移動手段と、を少なくとも備えているので、ユーザーに既に納品した切削装置に後から装着することができる。
以下、本発明に従って構成された補助装置の好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図1を参照して説明すると、全体を符号2で示す補助装置は、複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段4と、切削ブレード保管手段4から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段6と、搬出入手段6を切削ブレード保管手段4に対してY軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるY軸方向位置付け手段8と、搬出入手段6をZ軸方向に移動するZ軸移動手段10と、搬出入手段6をX軸方向に移動して、切削装置の切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するX軸移動手段12と、を少なくとも備える。なお、X軸方向は図1に矢印Xで示す方向であり、Y軸方向は図1に矢印Yで示す方向であってX軸方向に直交する方向であり、Z軸方向は図1に矢印Zで示す方向であってX軸方向およびY軸方向に直交する上下方向である。また、X軸方向およびY軸方向が規定する平面は実質上水平である。
図2に示すとおり、切削ブレード保管手段4は、Y軸方向に延びる回転軸14を有する駆動歯車16と、駆動歯車16とZ軸方向に離間しY軸方向に延びる回転軸18を有する従動歯車20と、駆動歯車16と従動歯車20とに巻き掛けられた無限軌道22と、無限軌道22に所定の間隔で配設され切削ブレードの中央開口部に挿入され切削ブレードを支持するY軸方向に延びる支持軸24とを含む。
図1および図2を参照して説明すると、図示の実施形態の切削ブレード保管手段4は、ベース板26(図1参照。)と、ベース板26の上面から上方に延びる支持壁28と、支持壁28の片面に固定されたモータ30とを含む。図2に示すとおり、モータ30には、駆動歯車16の回転軸14が連結されており、モータ30は、Y軸方向を軸心として駆動歯車16を回転させるようになっている。
図2に示すとおり、従動歯車20は駆動歯車16の上方に配置され、従動歯車20の回転軸18は、Y軸方向を軸心として回転自在かつZ軸方向に昇降自在に支持壁28に支持されている。支持壁28には、従動歯車20をZ軸方向に昇降させる昇降手段(図示していない。)が設けられている。昇降手段は、従動歯車20の回転軸18に連結されZ軸方向に延びるボールねじと、このボールねじを回転させるモータとを有する構成でよい。
無限軌道22は、相互に連結された多数のリンク片(符号省略)から構成されており、駆動歯車16と従動歯車20とに巻き掛けられている。無限軌道22は、モータ30によって駆動歯車16が回転するのに応じて回転するようになっている。
図示の実施形態の切削ブレード保管手段4においては、昇降手段で従動歯車20のZ軸方向の位置を変えることにより、駆動歯車16と従動歯車20とのZ軸方向の間隔が調整できるようになっている。また、切削ブレード保管手段4においては、無限軌道22のリンク片の数量を適宜増減することにより、無限軌道22の長さも調整できるようになっている。
図2に示すとおり、支持軸24は、所定の間隔をおいて無限軌道22に複数配設されている。また、図2と共に図3を参照することによって理解されるとおり、支持軸24は、無限軌道22に連結された円柱状の基部32と、基部32の端面からY軸方向に延びる円柱状の軸部34とを有する。軸部34の直径は基部32の直径よりも小さい。
図3には、支持軸24に支持される切削ブレード36も示されている。切削ブレード36は、環状の基台38と、基台38の外周部に固定された環状の切り刃40とを有する。基台38は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。基台38の中央部には、円形の中央開口部38aが設けられている。切り刃40は、ダイヤモンド等の砥粒と、金属や樹脂等の結合材とから所定の厚み(たとえば10~30μm程度)に形成されており、基台38の外周縁から径方向外側に突出している。
支持軸24においては、切削ブレード36の中央開口部38aに軸部34が挿入され、複数(たとえば5個)の切削ブレード36を軸部34で支持するようになっている。図示の実施形態では、図2を参照することによって理解されるとおり、複数の支持軸24のうち半数の支持軸24に切削ブレード36が支持されている。また、図3に示すとおり、軸部34の先端側には、軸部34で支持した切削ブレード36の飛び出しを防止するための複数のボールプランジャー42が周方向に間隔をおいて装着されている。
図4に示すとおり、支持軸24の各基部32の内部には流路32aが形成されており、各流路32aの一端部に連通する複数の流路22aが無限軌道22に形成されている。各流路32aの他端部は、図2に示す如く、軸部34よりも径方向外側の基部32の端面において開口している。また、図2に示すとおり、支持壁28には、駆動歯車16の下方においてY軸方向に突出するエアーノズル44が設けられており、エアーノズル44は、高圧エアー供給手段(図示していない。)に接続されている。図示の実施形態では、無限軌道22の回転に伴う支持軸24の軌道において最下端に位置する支持軸24と、エアーノズル44の先端とが対面している。
そして、軸部34の先端側に位置する切削ブレード36が搬出された場合に、エアーノズル44から無限軌道22の流路22aを介して、最下端に位置する支持軸24の基部32の流路32aに高圧エアーを供給することにより、軸部34に残された切削ブレード36を軸部34の先端側に押し出すことができるようになっている。ただし、ボールプランジャー42の作用によって切削ブレード36が軸部34から落下することはない。
図5を参照して搬出入手段6について説明する。搬出入手段6は、Z軸方向に延びるZ回転軸46と、Z回転軸46に放射状に連結され切削ブレード36を吸引保持するブレード保持部48と、固定ナットを切削装置のスピンドルの先端に形成された雄ネジに螺着および螺脱する固定ナット保持部50とを少なくとも備える。
図5に示すとおり、図示の実施形態の搬出入手段6は更にケーシング52を備え、ケーシング52は、正六角形状の天板54と、天板54の周縁から垂下する矩形板状の6個の側壁56とを有する。天板54の上面からは上記Z回転軸46が突出している。ケーシング52の内部には、Z回転軸46に連結されたモータ(図示していない。)が収容されている。
図示の実施形態では、ケーシング52の6個の側壁56のうち、4個の側壁56にはブレード保持部48が装着され、2個の側壁56には固定ナット保持部50が装着されており、2個の固定ナット保持部50は対向する一対の側壁56に設けられている。このように搬出入手段6は、1個の固定ナット保持部50に対して2個のブレード保持部48を備えている。
ブレード保持部48は円筒状に形成されており、ブレード保持部48の端面58には、上記支持軸24の軸部34および切削装置のスピンドルの先端部を受け入れ可能な円形の中央開口部60と、中央開口部60の周囲に周方向に等間隔をおいて配置された複数個の吸引孔62とが設けられている。各吸引孔62は、吸引手段(図示していない。)に接続されている。
ブレード保持部48においては、切削ブレード保管手段4に保管されている切削ブレード36の基台38にブレード保持部48の端面58が接触する位置に位置づけられた状態において、吸引手段によって各吸引孔62に吸引力を生成することにより切削ブレード36を吸引保持するようになっている。
図5を参照して説明を続けると、固定ナット保持部50は、ケーシング52の側壁56に固定された円筒状のハウジング64と、ハウジング64の内部に回転自在に収容された環状の回転体66と、回転体66を回転させるモータ(図示していない。)とを含む。
回転体66には、切削装置のスピンドルの先端部を受け入れ可能な中央開口部68が形成されている。回転体66の端面66aには、複数個の吸引孔70と、複数個のピン72とが交互に周方向に間隔をおいて設けられている。各吸引孔70は、吸引手段(図示していない。)に接続されている。ピン72は、回転体66に内蔵されたバネ(図示していない。)によって回転体66の端面66aから突出する位置(図5に示す位置)に位置づけられていると共に、回転体66の内部に向かって押されると、バネが収縮して回転体66の内部に収容される。また、ピン72は、固定ナットに形成されたピン孔の位置に対応して配置されている。
固定ナット保持部50においては、吸引手段で各吸引孔70に吸引力を生成して固定ナットを吸引保持すると共に、固定ナットに形成されたピン孔にピン72を挿入した状態において、モータによって回転体66を回転させることにより、切削装置のスピンドルに切削ブレード36を固定するための固定ナットをスピンドルの先端に形成された雄ネジに螺着および螺脱することができるようになっている。
なお、固定ナットをスピンドルから螺脱する(取り外す)際に、固定ナット保持部50のピン72の位置と、固定ナットのピン孔の位置とがずれている場合でも、スピンドルに装着されている固定ナットの端面に回転体66の端面66aを位置づけて、ピン72を回転体66の内部に収容した後に、回転体66によってモータを回転させると、ピン72の位置がピン孔の位置に整合したときにバネによってピン72が押し出され、ピン孔にピン72が挿入される。
上記のとおりに構成され得る搬出入手段6は、図示の実施形態では図1に示すとおり、枠体74の内部に配設されている。枠体74は、昇降テーブル76にY軸方向に移動自在に支持され、昇降テーブル76は、ベース架台78にZ軸方向に昇降自在に支持されている。
図1と共に図6を参照して説明すると、枠体74は、矩形板状の底部80と、底部80の上面四隅から上方に延びる4個の支柱82と、各支柱82の上端に固定された板状の天井部84(図1参照。)とを含む。底部80の下面には、Y軸方向に延びる溝86aが形成された被ガイド部材86がX軸方向に間隔をおいて一対設けられている。
昇降テーブル76は、矩形板状の天板88と、天板88の下面四隅から下方に延びる4個の円柱状の脚部90とを含む。天板88の上面には、X軸方向に間隔をおいてY軸方向に延びる一対のガイドレール92が設けられており、一対のガイドレール92は、枠体74の一対の被ガイド部材86の溝86aに摺動自在に篏合している。
また、昇降テーブル76の天板88の上面には、Y軸方向位置付け手段8が設けられている。Y軸方向位置付け手段8は、一対のガイドレール92間においてY軸方向に延びるボールねじ94と、ボールねじ94を回転させるモータ96とを有する。ボールねじ94のナット部(図示していない。)は、枠体74の底部80の下面に固定されている。
Y軸方向位置付け手段8においては、ボールねじ94によりモータ96の回転運動を直線運動に変換して枠体74に伝達し、一対のガイドレール92に沿って枠体74をY軸方向に移動させる。このように、搬出入手段6が配設された枠体74は、昇降テーブル76に配設されたY軸方向に延びるガイドレール92に摺動可能に支持され、Y軸方向位置付け手段8によって切削ブレード保管手段4に対してY軸方向の作用位置と退避位置とに位置付けられるようになっている。
上記作用位置は、搬出入手段6のブレード保持部48が切削ブレード保管手段4に接近した位置であって、切削ブレード保管手段4に支持されている切削ブレード36をブレード保持部48によって吸引保持可能な位置である。また、上記退避位置は、上記作用位置よりも搬出入手段6のブレード保持部48が切削ブレード保管手段4から離間した位置である。
図6に示すとおり、ベース架台78は、フレーム98と、フレーム98の上部に固定された矩形状のベース板100とを含む。ベース板100の四隅には、昇降テーブル76の脚部90が摺動自在に挿入される4個の円形孔102が形成されている。また、ベース板100の中央部には雌ネジ104が形成されている。
図6を参照して説明を続けると、昇降テーブル76およびベース架台78には、Z軸移動手段10が連結されている。Z軸移動手段10は、Z軸方向に延びるボールねじ106と、ボールねじ106を回転させるモータ108と、モータ108の上端に固定された連結板110とを含む。ボールねじ106は、ベース板100の雌ネジ104に螺合している。連結板110は、昇降テーブル76の天板88の下面にボルト(図示していない。)等の適宜の連結手段によって固定されている。
Z軸移動手段10においては、ボールねじ106によりモータ108の回転運動を直線運動に変換し、ベース架台78に対して昇降テーブル76を昇降させることによって、搬出入手段6が配設された枠体74をZ軸方向に移動させる。
図7を参照して説明すると、搬出入手段6は、枠体74の内部に配設された第一の移動体112に配設され、第一の移動体112は第二の移動体114の下部に配設されたX軸方向に延びる第一のガイドレール116に吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、第二の移動体114は枠体74の天井部84に配設されたX軸方向に延びる第二のガイドレール118に吊り下げられた状態で摺動可能に支持されている。
第一の移動体112は、矩形板状の本体120を有する。本体120の中央部には、円形孔122が形成されている。円形孔122には、搬出入手段6のZ回転軸46が挿入され、Z回転軸46は本体120に回転不能に固定される。Z回転軸46に連結されている搬出入手段6のモータが駆動すると、第一の移動体112に対して搬出入手段6のケーシング52が回転し、ブレード保持部48および固定ナット保持部50が任意の向きに位置づけられる。
第一の移動体112の本体120の上面には、X軸方向に延びる溝124aが形成された被ガイド部材124がY軸方向に間隔をおいて一対設けられている共に、X軸方向に延びる貫通孔126aが形成されたブロック126が固定されている。
第二の移動体114は、矩形板状の本体128を有し、第一のガイドレール116は、本体128の下面にY軸方向に間隔をおいて一対設けられている。第一のガイドレール116は、第一の移動体112の一対の被ガイド部材124の溝124aに摺動自在に篏合しており、第一の移動体112は、第二の移動体114に配設された第一のガイドレール116に吊り下げられた状態で摺動可能に支持されている。
第二の移動体114の本体128の下方には、第二の移動体114に対して第一の移動体112をX軸方向に移動させる第一のX軸移動手段が設けられている。図示の実施形態の第一のX軸移動手段は、エアシリンダ130から構成されている。エアシリンダ130のシリンダチューブ130aは、本体128の下面に固定され、一対の第一のガイドレール116間においてX軸方向に延びている。エアシリンダ130のピストンロッド130bの先端は、第一の移動体112のブロック126の貫通孔126aに篏合して連結されている。
第一のX軸移動手段としてのエアシリンダ130は、ピストンロッド130bを進退させることによって、第二の移動体114に対して第一の移動体112を第一のガイドレール116に沿ってX軸方向に移動させる。
第二の移動体114の本体128の上面には、X軸方向に延びる溝132aが形成された被ガイド部材132がY軸方向に間隔をおいて一対設けられている共に、X軸方向に延びる雌ネジ134aが形成されたブロック134が固定されている。
第二のガイドレール118は、枠体74の天井部84の下面にY軸方向に間隔をおいて一対設けられている。第二のガイドレール118は、第二の移動体114の一対の被ガイド部材132の溝132aに摺動自在に篏合しており、第二の移動体114は、第二の移動体114に配設された第一のガイドレール116に吊り下げられた状態で摺動可能に支持されている。
枠体74の天井部84の下方には、天井部84に対して第二の移動体114をX軸方向に移動させる第二のX軸移動手段136が設けられている。図示の実施形態の第二のX軸移動手段136は、一対の第二のガイドレール118間においてX軸方向に延びるボールねじ138と、ボールねじ138を回転させるモータ140とを有する。ボールねじ138は、第二の移動体114のブロック134の雌ネジ134aに螺合しており、モータ140は天井部84の下面に固定されている。
第二のX軸移動手段136は、ボールねじ138によりモータ140の回転運動を直線運動に変換して第二の移動体114に伝達し、天井部84に対して第二の移動体114を第二のガイドレール118に沿ってX軸方向に移動させる。
図示の実施形態のX軸移動手段12は、第一のX軸移動手段としてのエアシリンダ130と、ボールねじ138およびモータ140を有する第二のX軸移動手段136と、を含む。図示の実施形態においては、第一のX軸移動手段としてのエアシリンダ130で第一の移動体112を移動させることにより、搬出入手段6を素早くX軸方向に前進させることができると共に、第二のX軸移動手段136で第二の移動体114を移動させることにより、搬出入手段6のX軸方向位置を容易に微調整することができるようになっている。このように、搬出入手段6は、第一の移動体112および第二の移動体114によってX軸方向に進出自在に構成されている。
なお、補助装置2は、上述の形態に限定されず、さらに図8および図9に示すような構成を備える形態であってもよい。図8および図9に示す形態においては、枠体74の底部80に切削ブレード36をドレッシングするためのドレッシングボード142を収容するドレッシングボード収容部144(図9参照。)が配設され、第一の移動体112には、ドレッシングボード収容部144に収容されたドレッシングボード142を保持する保持手段146(図8参照。)が配設されている。
ドレッシングボード142は、レジンボンド等の結合材を用いて、グリーンカーバイド、アランダム系の砥粒を矩形板状に形成したものでよい。ドレッシングボード142の一辺は、たとえば5cm程度である。図示の実施形態のドレッシングボード収容部144は、図9に示すとおり、矩形状のトレー148の上面のY軸方向両側端部に3個ずつ設けられた矩形状凹所から構成され、トレー148は、枠体74の底部80の上面に配置されている。
図8に示すとおり、図示の実施形態の保持手段146は、第一の移動体112のY軸方向両側端部に一対設けられている。保持手段146は、第一の移動体112の本体120のY軸方向端部に固定された固定片150と、固定片150の下面にZ軸方向に昇降自在に支持された昇降片152と、昇降片152を昇降させる昇降手段(図示していない。)と、昇降片152の下面に配置された複数の吸引パッド154とを含む。昇降手段は、たとえばエアシリンダ等の適宜のアクチュエータから構成され得る。各吸引パッド154は、吸引手段に接続されている。
保持手段146においては、昇降手段で昇降片152を下降させて、ドレッシングボード収容部144に収容されたドレッシングボード142に各吸引パッド154を接触させると共に、吸引手段で各吸引パッド154に吸引力を生成して、各吸引パッド154でドレッシングボード142を吸引保持するようになっている。
また、枠体74の底部80には、切削手段のスピンドルの先端に形成され切削ブレード36の背部を支持するマウントフランジの外周端面を整える端面修正治具156を収容する端面修正治具収容部158(図9参照。)が配設されている。端面修正治具156は、矩形状の基板160と、基板160の上面に固定された砥石162とを有する。図示の実施形態の端面修正治具収容部158は、図9に示すとおり、トレー148の上面のY軸方向両側端部に設けられた一対の矩形状凹所から構成されている。
端面修正治具収容部158に収容された端面修正治具156は、第一の移動体112に配設された保持手段146の吸引パッド154によって吸引保持されるようになっている。
次に、図10ないし図15を参照して、上述した補助装置2が連結される切削装置170について説明する。
図10に示すとおり、切削装置170は、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブル172と、チャックテーブル172に保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定ナットで装着した切削手段174と、チャックテーブル172をX軸方向に加工送りするX軸送り手段176と、切削手段174をX軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りするY軸送り手段178と、X軸方向およびY軸方向と直交するZ軸方向に切削手段174を切り込み送りするZ軸送り手段180とを備える。
図10および図11を参照して説明すると、切削装置170は、基台182(図10参照。)の上面にX軸方向に移動自在に設けられたX軸可動板184と、X軸可動板184の上面に固定された支柱186と、支柱186の上端に固定されたカバー板188とを備える。カバー板188には、円形開口188aが形成されている。チャックテーブル172は、支柱186の上端に回転自在に搭載され、カバー板188の円形開口188aを通って上方に延びている。チャックテーブル172は、支柱186に内蔵されたモータ(図示していない。)によってZ軸方向を軸心として回転される。
図11に示すとおり、チャックテーブル172の上端部分には、吸引手段(図示していない。)に接続された多孔質の円形状の吸着チャック190が配置されている。チャックテーブル172においては、吸引手段で吸着チャック190の上面に吸引力を生成することにより、吸着チャック190の上面に載せられた被加工物を吸引保持するようになっている。このようにチャックテーブル172においては、吸着チャック190の上面が被加工物を保持する保持面となっており、保持面はX軸方向およびY軸方向で規定されるXY平面上に位置づけられている。また、チャックテーブル172の周縁には、周方向に間隔をおいて複数のクランプ192が配置されている。
図11を参照して説明を続けると、カバー板188の上面には、Y軸方向に間隔をおいて一対の矩形状のサブテーブル194が配置されている。各サブテーブル194の上面には、吸引手段(図示していない。)に接続された複数の吸引孔196が形成されている。サブテーブル194においては、吸引手段で各吸引孔196に吸引力を生成することにより、第一の移動体112に配設された保持手段146の吸引パッド154によって吸引保持されて搬入されたドレッシングボード142または端面修正治具156を吸引保持するようになっている。
図11に示すとおり、X軸送り手段176は、X軸可動板184に連結されX軸方向に延びるボールねじ198と、ボールねじ198を回転させるモータ200とを有する。X軸送り手段176は、ボールねじ198によりモータ200の回転運動を直線運動に変換してX軸可動板184に伝達し、基台182の案内レール182aに沿ってX軸可動板184を移動させると共に、チャックテーブル172をX軸方向に加工送りする。
図10に示すとおり、切削装置170は、チャックテーブル172を跨って配置された門型のフレーム202を含む。フレーム202は、Y軸方向に間隔をおいて基台182の上面から上方に延びる一対の支柱204と、一対の支柱204の上端間に架け渡されY軸方向に延びる梁206とを有する。切削手段174は、梁206の片側の側面(図10において背面側の側面)にY軸方向に間隔をおいて一対設けられている。図示の実施形態の切削装置170においては、切削ブレード36が対面するように一対の切削手段174が設けられており、チャックテーブル172に保持された被加工物を一対の切削ブレード36によって同時に切削加工を施すことができるようになっている。なお、切削手段174は1個であってもよい。
図12に示すとおり、各切削手段174は、Y軸方向に移動自在に梁206の片側の側面に支持される矩形状のY軸可動部材208と、Y軸可動部材208にZ軸方向に昇降自在に支持された断面L字状のZ軸可動部材210と、Z軸可動部材210の下端に固定されたスピンドルハウジング212とを備える。
Y軸可動部材208の片側の側面(図12において手前側の側面)には、Z軸方向に間隔をおいてY軸方向に延びる一対の被案内溝208aが形成され、被案内溝208aは、梁206の片側の側面において上下方向に間隔をおいてY軸方向に延びる一対の案内レール(図示していない。)に摺動自在に連結される。
Y軸送り手段178は、梁206の片側の側面においてY軸方向に延びるボールねじ214と、ボールねじ214を回転させるモータ216とを有する。ボールねじ214はY軸可動部材208に連結されている。Y軸送り手段178は、ボールねじ214によりモータ216の回転運動を直線運動に変換してY軸可動部材208に伝達し、梁206の片側の側面に付設された案内レールに沿ってY軸可動部材208をY軸方向に割り出し送りする。
Y軸可動部材208の他側の側面(図12において背面側の側面)には、Y軸方向に間隔をおいてZ軸方向に延びる一対の案内レール(図示していない。)が形成されており、Z軸可動部材210は、Y軸可動部材208の一対の案内レールに摺動自在に連結される一対の被案内溝(図示していない。)を有する。
Z軸送り手段180は、Z軸可動部材210に連結されZ軸方向に延びるボールねじ(図示していない。)と、このボールねじを回転させるモータ218とを有する。Z軸送り手段180は、ボールねじによりモータ218の回転運動を直線運動に変換してZ軸可動部材210に伝達し、Y軸可動部材208の案内レールに沿ってZ軸可動部材210をZ軸方向に切り込み送りする。
図13を参照して説明すると、スピンドルハウジング212には、Y軸方向を軸心として回転自在に円柱状のスピンドル220が支持されていると共に、スピンドル220を回転させるモータ(図示していない。)が収容されている。スピンドル220の先端には、被加工物を切削する切削ブレード36が固定ナット222により着脱自在に固定されている。
スピンドルハウジング212の先端には、切削ブレード36を覆うブレードカバー224が装着されている。ブレードカバー224は、スピンドルハウジング212の先端に固定された第一のカバー部材224aと、第一のカバー部材224aの先端に移動自在に装着された第二のカバー部材224bとを有する。第二のカバー部材224bは、エアシリンダ等の適宜のアクチュエータ(図示していない。)によってX軸方向に移動されるようになっており、切削ブレード36の交換時には図13に示す開放位置に位置づけられ、切削加工時には図12に示す閉塞位置に位置づけられる。
図14に示すとおり、スピンドル220の先端側外周面には、径方向外側に突出する環状のマウントフランジ226が設けられている。マウントフランジ226の先端面の径方向内側部分には環状の凹所226aが形成されており、マウントフランジ226の先端面の外周側部分は、軸方向に突出した環状の受け部226bとなっている。また、マウントフランジ226よりも更に先端側のスピンドル220の外周面には、雄ネジ228が形成されている。
そして、切削ブレード36の中央開口部38aがスピンドル220の先端部に嵌合し、スピンドル220の雄ネジ228と固定ナット222とが螺着(締結)されることにより、マウントフランジ226の受け部226bと固定ナット222とに切削ブレード36が挟み込まれてスピンドル220の先端に着脱自在に固定される。また、ナット222の側面には、搬出入手段6の固定ナット保持部50のピン72が挿入される複数個のピン孔222aが周方向に等間隔をおいて形成されている。
図10に示すとおり、フレーム202の梁206の他側の側面(図10において手前側の側面)には、チャックテーブル172に保持された被加工物を撮像する一対の撮像手段230がY軸方向に移動自在に装着されていると共に、撮像手段230をY軸方向に移動させる一対の移動手段232が装着されている。移動手段232は、梁206の他側の側面においてY軸方向に延びるボールねじ234と、ボールねじ234を回転させるモータ236とを有する。ボールねじ234は撮像手段230に連結されている。そして、移動手段232は、モータ236の回転運動を直線運動に変換して撮像手段230に伝達し、梁206の他側の側面に付設された案内レール206aに沿って撮像手段230をY軸方向に移動させる。なお、撮像手段230は1個であってもよい。
切削装置170を用いて、ウエーハ等の被加工物に対して切削加工を施す際は、まず、チャックテーブル172に被加工物を吸着させる。次いで、X軸送り手段176でチャックテーブル172を撮像手段230の下方に移動させると共に、移動手段232で撮像手段230のY軸方向位置を調整する。次いで、撮像手段230で上方から被加工物を撮像して被加工物の切削領域を検出する。
次いで、撮像手段230で検出した被加工物の切削領域に基づいて、チャックテーブル172を回転させ、切削手段174の切削ブレード36に対する被加工物の切削領域の向きを調整する。次いで、X軸送り手段176でチャックテーブル172をX軸方向に移動させると共に、Y軸送り手段178でスピンドルハウジング212をY軸方向に移動させ、被加工物の切削領域の上方に一対の切削ブレード36を位置づける。
次いで、Z軸送り手段180でスピンドルハウジング212を下降させ、高速回転させた切削ブレード36の切り刃40を被加工物の切削領域に切り込ませると共に、切削ブレード36の切り刃40を切り込ませた部分に切削水を供給しながら、チャックテーブル172をX軸方向に加工送りすることによって、被加工物の切削領域に所定の切削加工を施す。Y軸送り手段178でスピンドルハウジング212をY軸方向に割り出し送りしながら、上記切削加工を適宜繰り返し、被加工物の切削領域のすべてに切削加工を施す。切削工程が終了した切削加工済みの被加工物は次工程に搬送される。
切削工程を繰り返し実施すると切削ブレード36は摩耗し、切削ブレード36の磨耗が所定量に達すると切削精度が維持されなくなるため、スピンドル220に装着されている切削ブレード36を新たな切削ブレード36に交換する必要がある。また、スピンドル220に装着されている切削ブレード36の摩耗が所定量に達していない場合でも、前に切削加工を施した被加工物の素材と異なる素材の被加工物に切削加工を施すときは、被加工物の素材に応じた切削ブレード36に交換する必要が生じることもある。
図示の実施形態では図15に示すとおり、切削装置170の切削ブレード36を自動的に交換できる補助装置2が切削装置170に連結されており、以下、補助装置2を用いて切削ブレード36を交換する方法について説明する。
図15に示すとおり、補助装置2は、切削装置170のX軸方向奥側に配置されており、ユーザーに既に納品した切削装置170に後から装着することができるようになっている。補助装置2を用いて、切削装置170に装着されている切削ブレード36を交換する際は、まず、切削ブレード保管手段4の無限軌道22を回転させ、切削装置170に搬入すべき新たな切削ブレード36を支持している支持軸24を所定位置(たとえば、支持軸24の軌道における最下端の位置)に位置づける。
次いで、図16に示すとおり、搬出入手段6のZ回転軸46に連結されているモータによりケーシング52を回転させることにより、ブレード保持部48が装着されているケーシング52の側壁56をX軸方向に沿わせ、ブレード保持部48を切削ブレード保管手段4に対面させる。また、X軸移動手段12およびZ軸移動手段10を作動させ、上記所定位置の支持軸24の軸部34をブレード保持部48の中央開口部60(図5参照。)に挿入することができるように、ブレード保持部48のX軸方向位置およびZ軸方向位置を調整する。
次いで、図17に示すとおり、Y軸方向位置付け手段8によって枠体74をY軸方向に移動させ、支持軸24に支持されている切削ブレード36をブレード保持部48によって保持可能な作用位置に搬出入手段6を位置づける。これによって、上記所定位置の支持軸24の軸部34をブレード保持部48の中央開口部60に挿入すると共に、軸部34の先端側に位置する切削ブレード36の端面にブレード保持部48の端面58を接触させる。次いで、ブレード保持部48の各吸引孔62に吸引力を生成し、軸部34の先端側に位置する切削ブレード36をブレード保持部48で吸引保持する。
次いで、Y軸方向位置付け手段8を作動させ、搬出入手段6を切削ブレード保管手段4からY軸方向に離間させて退避位置に位置づける。次いで、搬出入手段6のケーシング52を180°回転させ、切削ブレード36を吸引保持したブレード保持部48の反対側のブレード保持部48を切削ブレード保管手段4に対面させる。次いで、Y軸方向位置付け手段8を作動させ、反対側のブレード保持部48によって支持軸24の切削ブレード36を保持可能な作用位置に搬出入手段6を位置づける。次いで、反対側のブレード保持部48の各吸引孔62に吸引力を生成し、軸部34の先端側に位置する切削ブレード36をブレード保持部48によって吸引保持する。これによって、4個のブレード保持部48のうち対向する一対のブレード保持部48で、新たな切削ブレード36を吸引保持した状態となる。
次いで、図18に示すとおり、Y軸方向位置付け手段8によって枠体74をY軸方向に移動させると共に、Z軸移動手段10で昇降テーブル76をZ軸方向に移動させる。これによって、切削ブレード保管手段4から搬出入手段6を離間させて退避位置に位置づけると共に、切削装置170に対する搬出入手段6のY軸方向位置およびZ軸方向位置を調整する。位置調整後の搬出入手段6のY軸方向位置は、切削装置170の一対の切削手段174の間であり、位置調整後の搬出入手段6のZ軸方向位置は、チャックテーブル172の保持面よりも上方である。
次いで、図19に示すとおり、第一のX軸移動手段としてのエアシリンダ130によって第一の移動体112をX軸方向に移動させ、搬出入手段6を切削装置170の一対の切削手段174の間に向かって前進させる。次いで、図20に示すとおり、第二のX軸移動手段136によって第二の移動体114をX軸方向に移動させ、一対の切削手段174に対する搬出入手段6のX軸方向位置を調整する。具体的には、搬出入手段6の一対のブレード保持部48で吸引保持している新たな一対の切削ブレード36の中心のX軸方向位置と、一対の切削手段174に装着されている一対の切削ブレード36の中心のX軸方向位置とを整合させる。また、補助装置2のZ軸移動手段10または切削装置170のZ軸送り手段180を作動させ、ブレード保持部48の切削ブレード36の中心のZ軸方向位置と、切削手段174の切削ブレード36の中心のZ軸方向位置とを整合させる。
次いで、搬出入手段6のケーシング52を60°回転させ、一対の固定ナット保持部50を一対の切削手段174の切削ブレード36に対面させる。なお、第一・第二の移動体112、114を前進させる前に、ケーシング52を60°回転させておいてもよい。
次いで、一対の切削手段174のそれぞれのブレードカバー224の第二のカバー部材224bを開放位置(図13参照。)に位置づける。次いで、切削装置170のY軸送り手段178によって切削手段174をY軸方向に移動させ、スピンドル220に切削ブレード36を固定している固定ナット222を固定ナット保持部50の回転体66の端面66aに接触させる。そうすると、固定ナット保持部50のピン72が固定ナット222に押されて回転体66の内部に収容されると共に、スピンドル220の先端が回転体66の中央開口部68に収容される。
次いで、固定ナット保持部50のモータで回転体66を回転させると、各ピン72が固定ナット222のピン孔222aと合致したときに、各ピン72がピン孔222aに嵌合し、回転体66の回転運動が各ピン72を介して固定ナット222に伝達され、固定ナット222が緩む。これによって、切削手段174のスピンドル220の雄ネジ228から固定ナット222を螺脱する(取り外す)ことができる。また、固定ナット保持部50の各吸引孔70に吸引力を生成し、取り外した固定ナット222を固定ナット保持部50で吸引保持する。
次いで、Y軸送り手段178によって切削手段174を搬出入手段6から離間させると共に、搬出入手段6のケーシング52を60°回転させ、切削ブレード36を吸引保持していない空のブレード保持部48を切削手段174の切削ブレード36に対面させる。
次いで、Y軸送り手段178によって切削手段174を搬出入手段6に接近させ、切削手段174のスピンドル220をブレード保持部48の中央開口部60に挿入すると共に、切削手段174の切削ブレード36の端面に、空のブレード保持部48の端面58を接触させる。次いで、ブレード保持部48の各吸引孔62に吸引力を生成し、切削手段174の切削ブレード36をブレード保持部48で吸引保持する。
次いで、Y軸送り手段178によって切削手段174を搬出入手段6から離間させると共に、搬出入手段6のケーシング52を60°回転させ、新たな切削ブレード36を吸引保持しているブレード保持部48を切削手段174のスピンドル220に対面させる。
次いで、Y軸送り手段178によって切削手段174を搬出入手段6に接近させ、スピンドル220を新たな切削ブレード36の中央開口部38aに挿入して、スピンドル220のマウントフランジ226の受け部226bに切削ブレード36の端面を接触させる。次いで、ブレード保持部48の吸引力を解除し、ブレード保持部48からスピンドル220に新たな切削ブレード36を受け渡す。
次いで、Y軸送り手段178によって切削手段174を搬出入手段6から離間させると共に、搬出入手段6のケーシング52を60°回転させ、取り外した固定ナット222を吸引保持している固定ナット保持部50を切削手段174のスピンドル220に対面させる。
次いで、Y軸送り手段178によって切削手段174を搬出入手段6に接近させ、固定ナット保持部50で吸引保持した固定ナット222をスピンドル220の先端部に篏合させる。次いで、固定ナット222を取り外したときとは逆方向に固定ナット保持部50のモータを作動させて固定ナット222を回転させ、スピンドル220の雄ネジ228に固定ナット222を螺着(締結)させる。これによって、切削手段174に装着すべき新たな切削ブレード36をスピンドル220のマウントフランジ226の受け部226bと固定ナット222とで挟み込んでスピンドル220に固定することができる。次いで、固定ナット保持部50の吸引力を解除した後、切削手段174のブレードカバー224の第二のカバー部材224bを閉塞位置に位置づける。なお、上述したとおりの固定ナット222および切削ブレード36の取り外し、取り付けについては、一対の切削手段174に対して同時に行ってもよく、別々に行ってもよい。
次いで、第一・第二の移動体112、114を後退させると共に、搬出入手段6のケーシング52を60°回転させ、取り外した一対の切削ブレード36の一方を切削ブレード保管手段4に対面させる。また、切削ブレード保管手段4の無限軌道22を回転させ、切削ブレード36を支持していない空の支持軸24を所定位置(たとえば、支持軸24の軌道における最下端の位置)に位置づける。
次いで、X軸移動手段12およびZ軸移動手段10を作動させ、ブレード保持部48で吸引保持している一方の切削ブレード36の中央開口部38aに上記所定位置の支持軸24の軸部34を挿入することができるように、ブレード保持部48のX軸方向位置およびZ軸方向位置を調整する。
次いで、Y軸方向位置付け手段8によって枠体74をY軸方向に移動させ、ブレード保持部48で吸引保持している一方の切削ブレード36の中央開口部38aに上記所定位置の支持軸24の軸部34を挿入すると共に、一方の切削ブレード36の端面を支持軸24の基部32の端面に接触させる。次いで、ブレード保持部48の吸引力を解除し、取り外した一対の切削ブレード36の一方を支持軸24に受け渡す。
また、Y軸方向位置付け手段8によって搬出入手段6を切削ブレード保管手段4から離間させると共に、搬出入手段6のケーシング52を180°回転させ、取り外した一対の切削ブレード36の他方を吸引保持している反対側のブレード保持部48を切削ブレード保管手段4に対面させる。次いで、Y軸方向位置付け手段8によって枠体74をY軸方向に移動させ、反対側のブレード保持部48で吸引保持している他方の切削ブレード36の中央開口部38aに上記所定位置の支持軸24の軸部34を挿入すると共に、他方の切削ブレード36の端面を、支持軸24に支持されている切削ブレード36の端面に接触させる。次いで、ブレード保持部48の吸引力を解除し、取り外した一対の切削ブレード36の他方を支持軸24に受け渡す。
以上のとおりであり、図示の実施形態の補助装置2においては、ユーザーに既に納品した切削装置170に後から装着して、切削装置170の切削手段174に装着された切削ブレード36を交換することができるようになっている。
次に、図8および図9に示す構成を補助装置2が備える場合において、ドレッシングボード142または端面修正治具156を切削装置170に搬入する方法について説明する。
補助装置2を用いて、ドレッシングボード142を切削装置170に搬入する場合は、まず、保持手段146の昇降手段で一対の昇降片152を下降させ、ドレッシングボード収容部144に収容されたドレッシングボード142のうち、2枚のドレッシングボード142に各吸引パッド154を接触させる。次いで、吸引手段で各吸引パッド154に吸引力を生成し、各吸引パッド154でドレッシングボード142を吸引保持する。次いで、ドレッシングボード142を吸引保持した昇降片152を上昇させる。
次いで、Y軸方向位置付け手段8およびZ軸移動手段10によって、切削装置170に対する搬出入手段6のY軸方向位置およびZ軸方向位置を調整した後、図21に示すとおり、X軸移動手段12(第一のX軸移動手段としてのエアシリンダ130および第二のX軸移動手段136)で搬出入手段6を切削装置170に向かって前進させ、昇降片152で吸引保持したドレッシングボード142をサブテーブル194の上方に位置づける。
次いで、昇降片152を下降させ、ドレッシングボード142の下面をサブテーブル194の上面に接触させる。次いで、サブテーブル194の各吸引孔196に吸引力を生成し、ドレッシングボード142をサブテーブル194により吸引保持すると共に、保持手段146の吸引力を解除する。このように補助装置2においては、ユーザーに既に納品した切削装置170に後から装着して、ドレッシングボード142を切削装置170に搬入することができる。
そして、Y軸送り手段178によってスピンドルハウジング212をY軸方向に移動させて、切削手段174に装着されている切削ブレード36をドレッシングボード142の上方に位置づけた後、Z軸送り手段180によってスピンドルハウジング212を下降させ、高速回転させた切削ブレード36の切り刃40でドレッシングボード142を切削する。これによって、切削ブレード36の切り刃40を修正するドレッシング(目立て)を行うことができる。
また、補助装置2を用いて、端面修正治具156を切削装置170に搬入する場合は、まず、保持手段146の昇降手段で一対の昇降片152を下降させ、端面修正治具収容部158に収容された一対の端面修正治具156の基板160の上面に各吸引パッド154を接触させる。次いで、吸引手段で各吸引パッド154に吸引力を生成し、各吸引パッド154で端面修正治具156を吸引保持する。次いで、端面修正治具156を吸引保持した昇降片152を上昇させる。
次いで、Y軸方向位置付け手段8およびZ軸移動手段10によって、切削装置170に対する搬出入手段6のY軸方向位置およびZ軸方向位置を調整した後、図22に示すとおり、X軸移動手段12で搬出入手段6を切削装置170に向かって前進させ、昇降片152で吸引保持した端面修正治具156をサブテーブル194の上方に位置づける。
次いで、昇降片152を下降させ、端面修正治具156の基板160の下面をサブテーブル194の上面に接触させる。次いで、サブテーブル194の各吸引孔196に吸引力を生成し、端面修正治具156をサブテーブル194により吸引保持すると共に、保持手段146の吸引力を解除する。このように補助装置2においては、ユーザーに既に納品した切削装置170に後から装着して、端面修正治具156を切削装置170に搬入することができる。
そして、搬出入手段6のブレード保持部48および固定ナット保持部50により切削手段174のスピンドル220から固定ナット222および切削ブレード36を取り外した後、Z軸送り手段180を作動して、スピンドル220のマウントフランジ226の受け部226bを端面修正治具156の砥石162に対面させる。次いで、Y軸送り手段178によってスピンドルハウジング212をY軸方向に移動させて、回転させたスピンドル220のマウントフランジ226の受け部226bを端面修正治具156の砥石162に接触させる。これによって、砥石162によりマウントフランジ226の受け部226b(外周端面)を研削して平坦に整えることができる。
なお、図示の実施形態においては、切削装置170に一対の切削手段174が設けられていることに対応して、補助装置2の搬出入手段6が、4個のブレード保持部48と、2個の固定ナット保持部50とを備える例を説明したが、切削装置170に単一の切削手段174が設けられている場合、搬出入手段6は、2個のブレード保持部48と、1個の固定ナット保持部50とを備えていればよい。また、切削装置170に単一の切削手段174が設けられている場合には、ドレッシングボード142および端面修正治具156を保持する保持手段146は1個であってもよい。
2:補助装置
4:切削ブレード保管手段
6:搬出入手段
8:Y軸方向位置付け手段
10:Z軸移動手段
12:X軸移動手段
14:回転軸
16:駆動歯車
18:回転軸
20:従動歯車
22:無限軌道
24:支持軸
36:切削ブレード
38a:中央開口部
46:Z回転軸
48:ブレード保持部
50:固定ナット保持部
74:枠体
76:昇降テーブル
80:底部(枠体)
84:天井部(枠体)
92:ガイドレール(昇降テーブル)
112:第一の移動体
114:第二の移動体
116:第一のガイドレール
118:第二のガイドレール
142:ドレッシングボード
144:ドレッシングボード収容部
146:保持手段
156:端面修正治具
158:端面修正治具収容部
4:切削ブレード保管手段
6:搬出入手段
8:Y軸方向位置付け手段
10:Z軸移動手段
12:X軸移動手段
14:回転軸
16:駆動歯車
18:回転軸
20:従動歯車
22:無限軌道
24:支持軸
36:切削ブレード
38a:中央開口部
46:Z回転軸
48:ブレード保持部
50:固定ナット保持部
74:枠体
76:昇降テーブル
80:底部(枠体)
84:天井部(枠体)
92:ガイドレール(昇降テーブル)
112:第一の移動体
114:第二の移動体
116:第一のガイドレール
118:第二のガイドレール
142:ドレッシングボード
144:ドレッシングボード収容部
146:保持手段
156:端面修正治具
158:端面修正治具収容部
Claims (8)
- 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定ナットで装着した切削手段と、該チャックテーブルをX軸方向に加工送りするX軸送り手段と、該切削手段を該X軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りするY軸送り手段と、該X軸方向および該Y軸方向と直交するZ軸方向に該切削手段を切り込み送りするZ軸送り手段とを備え、該保持面は該X軸方向および該Y軸方向で規定された切削装置に連結される補助装置であって、
複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段と、該切削ブレード保管手段から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段と、該搬出入手段を該切削ブレード保管手段に対してY軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるY軸方向位置付け手段と、該搬出入手段をZ軸方向に移動するZ軸移動手段と、該搬出入手段をX軸方向に移動して該切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するX軸移動手段と、を少なくとも備えた補助装置。 - 該切削ブレード保管手段は、Y軸方向に延びる回転軸を有する駆動歯車と、該駆動歯車とZ軸方向に離間しY軸方向に延びる回転軸を有する従動歯車と、該駆動歯車と該従動歯車とに巻き掛けられた無限軌道と、該無限軌道に所定の間隔で配設され切削ブレードの中央開口部に挿入され切削ブレードを支持するY軸方向に延びる支持軸と、を含む請求項1記載の補助装置。
- 該駆動歯車と該従動歯車とのZ軸方向の間隔が調整できると共に該無限軌道の長さも調整できる請求項2記載の補助装置。
- 該搬出入手段は、Z軸方向に延びるZ回転軸と、該Z回転軸に放射状に連結され切削ブレードを吸引保持するブレード保持部と、該固定ナットを該スピンドルの先端に形成された雄ネジに螺着および螺脱する固定ナット保持部と、を少なくとも備え、
該固定ナット保持部1個に対して該ブレード保持部を2個備えている請求項1記載の補助装置。 - 該搬出入手段は枠体に配設され、該枠体は昇降テーブルに配設されたY軸方向に延びるガイドレールに摺動可能に支持され、該Y軸方向位置付け手段によって該切削ブレード保管手段に対してY軸方向の該作用位置と該退避位置とに位置付けられる請求項4記載の補助装置。
- 該搬出入手段は、該枠体の内部に配設された第一の移動体に配設され、該第一の移動体は第二の移動体の下部に配設されたX軸方向に延びる第一のガイドレールに吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、該第二の移動体は該枠体の天井部に配設されたX軸方向に延びる第二のガイドレールに吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、該搬出入手段は該第一の移動体および該第二の移動体によってX軸方向に進出自在に構成される請求項5記載の補助装置。
- 該枠体の底部には切削ブレードをドレッシングするためのドレッシングボードを収容するドレッシングボード収容部が配設され、該第一の移動体には該ドレッシングボード収容部に収容されたドレッシングボードを保持する保持手段が配設される請求項6記載の補助装置。
- 該枠体の底部には、該切削手段のスピンドルの先端に形成され切削ブレードの背部を支持するマウントフランジの外周端面を整えるための端面修正治具を収容する端面修正治具収容部が配設され、該第一の移動体に配設された該保持手段によって端面修正治具が保持される請求項7記載の補助装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20240015567A (ko) | 2022-07-27 | 2024-02-05 | 가부시기가이샤 디스코 | 자동 교환 장치 |
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