JPS60121340A - 能動型免震装置 - Google Patents
能動型免震装置Info
- Publication number
- JPS60121340A JPS60121340A JP22898583A JP22898583A JPS60121340A JP S60121340 A JPS60121340 A JP S60121340A JP 22898583 A JP22898583 A JP 22898583A JP 22898583 A JP22898583 A JP 22898583A JP S60121340 A JPS60121340 A JP S60121340A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- precision
- support base
- acceleration sensor
- precision apparatus
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、精密機器に加わる外部振動を速やかに減衰さ
せるために使用される能動型免震装置に関する。
せるために使用される能動型免震装置に関する。
−１−
（ロ）従来技術
一般に電子式天秤などの精密機器では外部から大きな振
動が加わると、故障を起しやすく、また、測定誤差を生
じるので、これを防止するため免震装置を設ける場合が
ある。従来のこの種の免震装置は、上記精密機器が載置
される支持台の水平方向と垂直方向とにそれぞれ空気ば
ねやコイルばねを取付け、支持台に加わる振動をこれら
のはねＫより吸収減衰するようにしている。ところが、
このような従来の装置では、支持台の振動が減衰し定常
状態になるまで時間がかかる。また、外部から加わる振
動成分が各ばねの共振周波数と一致したときには振動が
かえって増幅されてしまう等の不具合がある。
動が加わると、故障を起しやすく、また、測定誤差を生
じるので、これを防止するため免震装置を設ける場合が
ある。従来のこの種の免震装置は、上記精密機器が載置
される支持台の水平方向と垂直方向とにそれぞれ空気ば
ねやコイルばねを取付け、支持台に加わる振動をこれら
のはねＫより吸収減衰するようにしている。ところが、
このような従来の装置では、支持台の振動が減衰し定常
状態になるまで時間がかかる。また、外部から加わる振
動成分が各ばねの共振周波数と一致したときには振動が
かえって増幅されてしまう等の不具合がある。
（ハ） 目的
本発明は従来の上記受動型の免震装置のもつ問題点を解
消し精密機器の受ける外部からの振動を実時間で減衰さ
せて、精密機器の故障や測定誤差の発生等を未然に防止
するようにすることを目的とする。
消し精密機器の受ける外部からの振動を実時間で減衰さ
せて、精密機器の故障や測定誤差の発生等を未然に防止
するようにすることを目的とする。
に）構成
本発明はこのよう々目的を達成するため、従来のように
外部から受ける振動を吸収減衰させるのではなくて、も
っと積極的に、振動を相殺する方向に支持台が動くよう
にしたものである。すなわち、本発明の能動型免震装置
は、電子式天秤などの精密機器が載置される支持台にア
クチュエータを取付け、また、前記精密機器と支持台の
少なくとも一方に加速度センサを取付けるとともに、こ
の加速度センサから出力される加速度検知信号を入力し
てこの信号レベルを反転する反転回路さ、この反転回路
から出力される補正信号に基づき前記アクチュエータに
該アクチュエータを前記支持台と精密機器が受ける振動
を相殺させる方向に動作させる制御信号を出力する制御
部とを設けている。
外部から受ける振動を吸収減衰させるのではなくて、も
っと積極的に、振動を相殺する方向に支持台が動くよう
にしたものである。すなわち、本発明の能動型免震装置
は、電子式天秤などの精密機器が載置される支持台にア
クチュエータを取付け、また、前記精密機器と支持台の
少なくとも一方に加速度センサを取付けるとともに、こ
の加速度センサから出力される加速度検知信号を入力し
てこの信号レベルを反転する反転回路さ、この反転回路
から出力される補正信号に基づき前記アクチュエータに
該アクチュエータを前記支持台と精密機器が受ける振動
を相殺させる方向に動作させる制御信号を出力する制御
部とを設けている。
（ホ）実施例
以下、本発明を実施例について、図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
図はこの実施例の能動型免震装置の構成図である。同図
において符号１は能動型免震装置、２は電子式天秤など
の精密機器、４ばこの精密機器２が載置される支持台で
ある。支持台４の下部および側部にはそれぞれアクチュ
エータ６の各−端部が数句けられ、アクチュエータ６の
他端部（は壁面８等に固定される。このアクチュエータ
６は本例の場合、電気油圧式シリンダである。１ｏはこ
の電気油圧式シリンダ６に備えたサーボ弁、１２は電気
油圧式シリンダ６へ圧力媒体としての油を供給する油圧
ポンプである。一方、精密機器２には加速度センサ１４
か取付けられている。この加速度センサ１４は、増幅器
１６を介してこの加速度センサ１４から出力される加速
度検知信号を入力してこの信号レベルを反転する反転回
路１８にそれぞれ接続されている。２０は反転回路１８
から出力される補正信号に応答して前記油圧式シリンダ
６のサーボ弁１０にこの油圧式シリンダを支持台４と精
密機器２か受ける振動を相殺する方向に動作させる制御
信号を出力する制御部である。このようにこの能動型免
震装置１は双動形ザーボ機構を構成している。
において符号１は能動型免震装置、２は電子式天秤など
の精密機器、４ばこの精密機器２が載置される支持台で
ある。支持台４の下部および側部にはそれぞれアクチュ
エータ６の各−端部が数句けられ、アクチュエータ６の
他端部（は壁面８等に固定される。このアクチュエータ
６は本例の場合、電気油圧式シリンダである。１ｏはこ
の電気油圧式シリンダ６に備えたサーボ弁、１２は電気
油圧式シリンダ６へ圧力媒体としての油を供給する油圧
ポンプである。一方、精密機器２には加速度センサ１４
か取付けられている。この加速度センサ１４は、増幅器
１６を介してこの加速度センサ１４から出力される加速
度検知信号を入力してこの信号レベルを反転する反転回
路１８にそれぞれ接続されている。２０は反転回路１８
から出力される補正信号に応答して前記油圧式シリンダ
６のサーボ弁１０にこの油圧式シリンダを支持台４と精
密機器２か受ける振動を相殺する方向に動作させる制御
信号を出力する制御部である。このようにこの能動型免
震装置１は双動形ザーボ機構を構成している。
従って、外部より支持台４に振動が加わると、この振動
は精密機器２にも伝播し、精密機器２に振動力が加わる
。このときの加速度は加速度センサ１４に感知され、加
速度センサ１４からは加速度の大きさに比例した電圧値
をもつ加速度検知信号が出力される。この加速度検知信
号は増幅器１６で増幅された後、反転回路１８に送出さ
れる。
は精密機器２にも伝播し、精密機器２に振動力が加わる
。このときの加速度は加速度センサ１４に感知され、加
速度センサ１４からは加速度の大きさに比例した電圧値
をもつ加速度検知信号が出力される。この加速度検知信
号は増幅器１６で増幅された後、反転回路１８に送出さ
れる。
反転回路１８ではこの入力された加速度検知信号の信号
レベルを反転し補正信号として次段の制御回路２０に与
える。制御回路２０はこの入力された補正信号に基づく
制御信号を各電気油圧式シリンダ６のサーボ弁１０に出
力する。これにより、サーボ弁１０が調整されるので、
電気油圧式シリンダ６は外部から加えられる振動を相殺
する方向に動き、精密機器２の受ける振動が実時間で減
衰される。
レベルを反転し補正信号として次段の制御回路２０に与
える。制御回路２０はこの入力された補正信号に基づく
制御信号を各電気油圧式シリンダ６のサーボ弁１０に出
力する。これにより、サーボ弁１０が調整されるので、
電気油圧式シリンダ６は外部から加えられる振動を相殺
する方向に動き、精密機器２の受ける振動が実時間で減
衰される。
（へ）効果
以上のように本発明によれば、精密機器の受ける外部か
らの振動を実時間で、かつ、確実に減衰−５− できるので、精密機器の故障や測定誤差の発生が未然に
防止できるようになるという効果を奏する。
らの振動を実時間で、かつ、確実に減衰−５− できるので、精密機器の故障や測定誤差の発生が未然に
防止できるようになるという効果を奏する。
図面は本発明の一実施例の能動型免震装置の構成図であ
る。 １・・能動型免震装置、２・・精密機器、４・・支持台
、６・・アクチュエータ、１４・・加速度センサ、１８
・・反転回路、２０・・制御回路。 出 願 人 株式会社島津製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀
る。 １・・能動型免震装置、２・・精密機器、４・・支持台
、６・・アクチュエータ、１４・・加速度センサ、１８
・・反転回路、２０・・制御回路。 出 願 人 株式会社島津製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀
Claims (1)
- （１）電子式天秤などの精密機器が載置される支持台に
アクチュエータを取付け、また、前記精密機器と支持台
の少なくとも一方に加速度センサを取付けるとともに、
この加速度センサから出力される加速度検知信号を入力
してこの信号レベルを反転する反転回路と、この反転回
路から出力される補正信号に基づき前記アクチュエータ
に該アクチュエータを前記支持台と精密機器が受ける振
動を相殺させる方向に動作させる制御信号を出力する制
御部とを設けたことを特徴とする能動型免震装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22898583A JPS60121340A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | 能動型免震装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22898583A JPS60121340A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | 能動型免震装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60121340A true JPS60121340A (ja) | 1985-06-28 |
Family
ID=16884959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22898583A Pending JPS60121340A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | 能動型免震装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60121340A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6288015A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | アクテイブ防振制御方法 |
| JPS62114011A (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-25 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 防振制御方法 |
-
1983
- 1983-12-02 JP JP22898583A patent/JPS60121340A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6288015A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | アクテイブ防振制御方法 |
| JPS62114011A (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-25 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 防振制御方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5557906B2 (ja) | 能動的防振および制振システム | |
| JP6308999B2 (ja) | 能動的除振システム | |
| JP5107575B2 (ja) | 慣性基準質量を有する能動型防振用アクチュエータ構成 | |
| US6196514B1 (en) | Large airborne stabilization/vibration isolation system | |
| JP3825869B2 (ja) | 能動除振装置 | |
| US4643385A (en) | Anti-vibration system | |
| US5121898A (en) | Method of controlling positions and vibrations and active vibration control apparatus therefor | |
| US5327061A (en) | Force (torque) nulling inertially servoed structural interface | |
| JP2007522393A (ja) | 慣性基準質量としてペイロードを使用するアクティブ振動絶縁のためのアクチュエータ配置 | |
| JPH087633B2 (ja) | 能動防振装置 | |
| KR950033751A (ko) | 액티브 진동분리 시스템 | |
| JP2978162B1 (ja) | アクティブ除振装置 | |
| JPS60121340A (ja) | 能動型免震装置 | |
| JP3046696B2 (ja) | 鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置 | |
| JP2913064B2 (ja) | 能動制振台 | |
| JPH05263868A (ja) | 除振台の地動外乱制御方法 | |
| JP2008281048A (ja) | アクティブ除振装置 | |
| JP2005069303A (ja) | 空圧制御型除振装置 | |
| JPH0712175A (ja) | 精密防振装置 | |
| JP2003108236A (ja) | アクティブ除振方法 | |
| JP2000136844A (ja) | 変位発生形アクチュエータ能動振動絶縁装置 | |
| JPH04262222A (ja) | 微振動試験方法とその装置 | |
| JPH0915868A (ja) | 能動的除振装置 | |
| JP2006138769A (ja) | 地震予知方法、地震予知装置、および防振装置 | |
| JPS62155347A (ja) | アクテイブ防振支持装置 |