JPS60121165A - 荷搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えばカルテなどの搬送用と、して病院内に
配設したり、或いは部品の搬送用として工場内に配設し
、且つ一定経路上を走行自在な自走車を有する荷搬送設
備に関するものである。

従来例の構成とその問題点 最近では、被搬送物として例えばウェハーなどのように
ゴミやホコリをきらうものがある。この場合に配設する
工場（室）内をクリーン化しているのであるが、それで
も自走車の車輪が案内用レールに接触転動する際に生じ
る粉塵などが被搬送物に悪影響を及ぼすことになる。こ
のような問題点を解決するために、従来、ダクトを採用
した荷搬送設備が提供されている。すなわち、ダクト内
にレール装置を配設し、このレール装置に案内される自
走車の上面から突設した連結部を、ダクトの天板に形成
したスリットに通し、そして連結部の外端に荷支持部を
設けると共に、ダクト内に連通し且つ吸引ダクトなどを
有する吸引装置を設けてスリットに吸引力を作用させる
構成が提供されている。このようなダクト形式によると
、自走車の走行中において、車輪などの接触転勤により
発生した粉塵は吸引装置によってダクト外に吸引除去さ
れることになり、またスリット部にもダクト内への吸引
力が作用することから、該ダクト内から粉塵が外部（ク
リーン室）に出る恐れはない。

しかし、このような従来形式においても種々な問題点が
ある。すなわち、上面が回数のＣ字形のレール装置とダ
クトとを別々に製作し、これらを一定経路の全長に亘っ
て配設しなければならないことと、ダクトに対するレー
ル装置の固定具が必要なことなどにより、設備全体が高
価になる。またレール装置を内蔵することによってダク
トが大型化し、クリーン室内における設備占有空間が大
となっていた。

発明の目的 本発明は、上記従来の問題点を解決し得る荷搬送設備を
提供することを目的とする。

発明の構成 上記目的を達成するため本発明における荷搬送設備は、
箱形ダクトの両側板内面にレール部を突出形成し、これ
らレール部に支持案内されて箱形ダクト内で走行自在な
自走車を設け、この自走車の上面から、前記箱形ダクト
の天板に形成したスリットを通る連結部を突設すると共
に、この連結部の外端に荷支持部を設け、前記天板の内
面に給電レールを配設すると共に、この給電レールに摺
接自在な集ｍ子を自走車の上部に設け、前記箱形ダクト
の底板に多数の吸引孔を形成すると共に、この底板の外
側に吸引ダクトを配設して構成している。

実施例と作用 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。（
１）は箱形ダクトで、底板（ＩＡ）と、左右一対の側板
（ＩＢ）と、天板（１ｃ）とにより構成され、天板（Ｉ
Ｃ）の巾方向中央部に長さ方向全長に亘ってのスリット
（２）を形成すると共に、底板（ＩＡ）に多数の吸引孔
（３）を形成している。また両側板（ｘＢ）ｏ内面で上
下方向中間部位置には板条状のレール部（４）が一体に
突出形成しである。（５）は両レール部（４）に支持案
内されて箱形ダクト（１）内で走行自在な自走車で、本
体（６）と、この本体（６）の両側において夫々前後一
対取付けられ且つレール部（４）の上面（４ａ）に支持
案内される走行車＠（７）と、これら走行車！　（７）
とは位置をずらせて同様に同数取付けられ且つレール部
（４）の下面（４ｂ）に接当自在な浮上り防止車輪（８
）と、レール部（４）の内側面（４ｃ）に接当自在な横
振れ防止車輪（９）と、前記本体（６）に内蔵した密閉
式のＤＣモータαＱと、このＤＣモータＯＩの出力軸０
］）と少なくとも左右一対の走行車輪（７）とを連動す
る巻掛は伝動機構（２）と、前記本体（６）の上面−側
に形成した集電ゴミ受皿０３と、この集電ゴミ受皿０葎
内に配設したローラ式集電子αａとから構成される。前
記本体（６）の上面中央部からは前記スリット（２）を
通る連結部［相］が突設され、この連結部０θの上端（
外端）には−荷支持部０呻が設けられる。この荷支持部
００として実施例ではウェハーキャリア０力を載置自在
な受け台形式を示しているが、これは収納ボックス形式
であってもよい。前記天板（ＩＣ）の−細工ｍｌにはダ
クト全長に亘って給電レール（へ）が配設され、この給
電レールＨに対して前記ローラ式集電子０◆が摺接転動
自在となる。前記箱形ダクト（１）における底板（ＩＡ
）の外側（下面側）には吸引ダクト０１１が配設され、
この吸引ダクト０時には吸引管（ホ）が連通している。

前記本体（６）の下面には可動側信号授受器Ｑυが取付
けられ、これに対向する固定側信号授受器（イ）が、箱
形ダクト（１）の長さ方向適所において底板（ＩＡ）の
上面に数句けである。前記天板（１ｃ）の上面はスリッ
ト（２）側が上位のテーパ面（ａ）に形成してあり、こ
のテーパ面（ａ）により上部からのエアーを流れ易くし
、クリーンルーム内の気流の流れをスムーズにしている
。前記箱形ダクト（１）の長さ方向適所において、天板
（ＩＣ）の−側上面から側板（ＩＢ）の−側外面に亘り
且つ底板（ＩＡ）の下面一部に至る範囲に電線カバー骨
が配設され、この電線カバーに）と前記吸引ダクト０り
とを連通して、電線ｐＪを該吸引ダクト０呻内に配線し
得るように構成しである。

以下に上記実施例における作用を説明する。自走車（５
）は、ＤＣモータ０（）の回転力を走行車輪（７）に伝
えることによって、前記箱形ダクト（１）内において一
定経路や１上を往復走行する。その際に、スリット（２
）を通る連結部（至）を介して荷支持部０Φが一体移動
を行ない、以ってウェハーキャリア０７１を搬送し得る
。また自走車（５）　ａｔには、給電レール（至）に摺
接転動するローラ式集電子α榎を介して給電される。

そして自走車（５）の走行開始、走行停止などの制御は
、両信号授受器Ｑυ（２）間における信号授受によって
行なわれる。前記箱形ダクト（１）側には、スリット（
２）から箱形ダクト（１）内、吸引孔（３）、吸引ダク
トα場内、吸引管（ホ）へと流れる気流が発生しており
、したがってレール部（４）近辺などで発生した粉塵は
スリット（２）から外部（クリーンルーム）に漏出する
ことなく、吸引管（ホ）を通して吸引除去される。

また給電部で発生した集電ゴミは集電ゴミ受皿α葎で受
止められ、そしてメンチステーションで掃除される。

このように本実施例によれば、ローラ式集電子σ◆を使
用することによって極力集電ゴミがでないようにでき、
また発生した集電ゴミは集電ゴミ受皿（１′４で受けて
メンテステーシランで掃除することによってバキューム
コンテナ（清掃車）を不要にでき、そして走行用に密閉
式のＤＣモータαＱを使用することにより、定期的にメ
ンチステーションでブラシ粉を取り除くことができ、さ
らに電線カバー０１と吸引ダクト（ＩＩとを併用するこ
とによりコストダウンをはかることができ、また合計１
２個の車輪（７）　（８）　（９）を使用することによ
り、停止精度を上げて自動移載を容易にできるなどの効
果を有する。

発明の効果 本発明構成の荷搬送設備によると、次のような効果を期
待できる。すなわち、レール部を有する箱形ダクトを使
用することにより、従来側々に製作し配設していたレー
ル装置とダクトとを一体化して兼用でき、製作費や工事
費などを含む全体の設備費を安価にできる。またレール
装置を省略した形式となることから箱形ダクトは小型化
でき、クリーン室内における設備占有空間が小となって
、スペース的に配設を容易に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は一部切欠き側
面図、第２図は横断平面図、第８図、第４図は夫々縦断
面図である。 （１）・・・箱形ダクト、（ＩＡ）−・・底板、（ＩＢ
＞・・側板、（ＩＣ）・・・天板、（２）・・・スリッ
ト、（３）・・・吸引孔、（４）・・・し−ル部、（５
）・・・自走車、（６）・・・本体、（７）・・・走行
車輪、（８）・・・浮上り防止車輪、（９）・・・横振
れ防止車輪、αＱ・・・ＤＣモータ、０；）・・・集電
ゴミ受皿、Ｃｌ４１・・・ローラ式集電子、θト・・連
結部、α→・・・荷支持部、０１９・・・給電レール、
０場・・・吸引ダクト、すρ・・・可動側信号授受器、
に）・・・固定側信号授受器、に）・・・電線カバー代
理人　森本義弘 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、箱形ダクトの両側板内面にレール部を突出形成し、
   これらレール部に支持案内されて箱形ダクト内で走行自
   在な自走車を設け、この自走車の上面から、前記箱形ダ
   クトの天板に形成したスリットを通る連結部を突設する
   と共に、この連結部の外端に荷支持部を設け、前記天板
   の内面に給電レールを配設すると共に、この給電レール
   に摺接自在な集電子を自走車の上部に設け、前記箱形ダ
   クトの底板に多数の吸引孔を形成すると共に、この底板
   の外側に吸引ダクトを配設したことを特徴とする荷搬送
   設備。