JPS60118481A - 吸着検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はチップ型電子部品を吸着し移載、実装する場合
に正常な姿勢で吸着しているか否かを検出する装置に関
するものである。

従来例の構成とその問題点 従来のチップ型電子部品をノズルに、乙真空吸着した場
合の検出方法は、第１図にその具体構成を２べ一５゛ 示すように、真空発生器につながる管１を２つに分岐し
、管２、及び３にて空気式ブリッジ回路を構成し、一方
をノズル４、一方を絞り弁６を通じて大気に開放する。

ノズル４にチップ型電子部品６が吸着されると、管２側
の真空度が高くなり、管２と３の間に設けられているマ
グネットのフロート７が管２の方に吸上げられる。この
とき、このフロートの近傍に設けられているリードスイ
ッチ８と９のＯＮ、ＯＦＦの状態が入れ替りへチップ型
電子部品６が正常に吸着されているという出力を発生す
る０１ｏ、１１は、管路の空気流量を調整するオリフィ
スである。

しかしながら上記のような構成では、第２図〜第４図に
示すように、チップ型電子部品により検出が不可能な場
合が発生する。第２図は角型のチップ型電子部品σを吸
着した例であり、伜）は正常な姿勢でノズル４に吸着さ
れている。（ｂ）はチップ型電子部品６′が横向きに吸
着された状態で、ノズル４と、チップ型電子部品６′の
間にはすきま１２ができる。第３図は円筒型のチップ型
電子部品６″３ページ をノズル４に吸着した例であり、（Ｃ）は正常吸着の状
態で、ノズル４とチップ型電子部品６″との間にすきま
１２′ができる。（ｄ）はチップ型電子部品６″が立て
に吸着された状態ですきまは発生しない。（８）は斜め
に吸着された状態ですきま１２′ができる。

第４図に第２図の（ａ）　、　（ｂ）、第３図（０）　
ｊ　（（１）　、　＜６）Ｌ７）各々の状態での真空度
を示す。に軸が真空度を示す。

真空度１３の部分が第２図の（ａ）、真空度１４が第２
図の（′ｂ）、真空度１６が第３図の（Ｃ）、真空度１
６が同（ｄ）、真空度１７が同（８）の状態である。

前記、従来例においては、真空度が一定のレベルに達し
たか否のみを判断しているので、このような様々の状態
を判断できないという欠点を有していた。

発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み、ノズルとチップ型電子部品の
形状と、また吸着された姿勢により発生するすきまと真
空度の関係をめ、正常、異常の吸着状態を判定する検出
方法を提供するものである。

発明の構成 本発明は真空度に比例した出力電圧を発生する圧力セン
サーと、この出力電圧を増幅するアンプと、所艷の真空
度に対応する電圧と、出力電圧の大小を比較する複数の
コンパレータから構成されており、様々な形状のチップ
型電子部品の吸着の有無や姿勢の状態を判断することが
できるという特有の効果を有する。

実施例の説明 以下本発明の一実施例について説明する。第５図は本発
明の実施例における構成図であり、管１８は真空発生器
（図示せず）とノズル４につながっている。圧力センサ
ー１９は、絶対真空を封入したチェンバ２ｏが設けられ
たピエゾ抵抗形圧力センサーで真空度に正比例したリニ
ア出力電圧が得られる。２１はアンプで出力電圧を増幅
する。

２２．２３．２４は各々コンパレータで、アンプ２１よ
りの電圧と、あらかじめ第４図に示した各状態での真空
度に対応した電圧、例えば、真空度１３と１４のしきい
値に対応する電圧Ｅ１、真空度６ベー５゛ １６と１６のしきい値に対応する電圧Ｅ２、真空度１７
と１８のしきい値に対応する電圧Ｅ３との比較を行うも
のであり、どのコンパレータの出力がＯＮになっている
かにより、チップ型電子部品６の吸着状態の判断が可能
となる。２５は空気流量調整用オリフィス、２６．２７
．２８ｉｄコンパレータの設定電圧値調整用のボリュウ
ムである。

第６図は本実施例の概略図であり、ブロック２９にノズ
ル４、圧力センサー１９、及び管１８さらにノズル４か
ら流入するゴミを除去するフィルタ３０を組み込んでい
る。第６図のアンプ２１とコンパレータ２２，２３．２
４及びボリューム２６．２７．２８が第６図基板３１に
組み込まれている。

発明の効果 以上のように本発明は、真空度に比例した出力電圧を発
生する圧力センサーと、真空度に対応して設定された電
圧と、圧力センサーの出力電圧を比較するコンパレータ
を複数個設けることにより、種々の形状のチップ型電子
部品の吸着の有無、姿６ページ 勢の状態を判断することができ、チップ型電子部品の移
載装置や実装機に適用することによシその実用的効果は
大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の検出装置の構成図、第２図ａ。 ｂは角型のチップ型電子部品の吸着状態を示す図、第２
図０．ｄ、ｅは円筒型のチップ型電子部品の吸着状態を
示す図、第３図は各チップ型電子部品の吸着状態と真空
度との関係図、第４図は本発明の一実施例の構成図、第
６図は同実施例の概略見取図である。 ４・・・・・・ノズル、６′・・・・・・角型のチップ
型電子部品、６′・・・・・・円筒型のチップ型電子部
品、１３，１４゜１５．１６．１７・・・・・・真空度
、１９・・・・・・圧力センサー、２２，２３，２４・
・・・・・コンパレータ。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 １０　２ 第２図 第２因 （Ｃ）　（６（〕　（ｅ−） 第３図 α　ｂ　ｃｃｔｅ 第４図 ？５ ？８ 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空度に比例した出力電圧を発生する圧力センサーと、
   この出力電圧を増幅するアンプと、所定の真空度に対応
   する電圧と、前記出力電圧との電圧値の大小を比較する
   複数のコンパレータとを備え、真空発生器とこの真空発
   器に接続されたノズルとの間に前記圧力センサーを設け
   、前記ノズルの先端のチップ型電子部品の吸着状態を判
   別する吸着検出装置。