JP3029361U - 無塵環境用有害ガス検知器具 - Google Patents
無塵環境用有害ガス検知器具Info
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- JP3029361U JP3029361U JP1996003504U JP350496U JP3029361U JP 3029361 U JP3029361 U JP 3029361U JP 1996003504 U JP1996003504 U JP 1996003504U JP 350496 U JP350496 U JP 350496U JP 3029361 U JP3029361 U JP 3029361U
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 無塵環境中の有害ガス濃度の検知が簡便に行
える検知器具の提供。 【解決手段】 吸引ポンプ１の吸引側に連結して取付治
具によりほぼ垂直に取付けられた、内径３ｍｍ以上、検
知部の長さ２０ｍｍ以上の有害ガス検知管３と、ポンプ
吹出口に無塵環境を損なわない排気機構を接続した無塵
環境用有害ガス検知器具。
える検知器具の提供。 【解決手段】 吸引ポンプ１の吸引側に連結して取付治
具によりほぼ垂直に取付けられた、内径３ｍｍ以上、検
知部の長さ２０ｍｍ以上の有害ガス検知管３と、ポンプ
吹出口に無塵環境を損なわない排気機構を接続した無塵
環境用有害ガス検知器具。
Description
【０００１】
本考案は、半導体製造室（クリーンルーム）、クリーンベンチ内のような無塵 環境中の有害ガス濃度管理、並びに有害ガス除去用ケミカルフィルターの寿命を 簡便に管理する器具に関するものである。
【０００２】
〔図１〕
【０００３】 従来は、環境雰囲気中の有害ガス濃度を簡便に管理するには、図１に示す様に 検知管の両端を切断しガス採集器に取付け、ハンドルを一杯に引いて（１ストロ ーク１００ｍｌ程度）気体を吸引し、検知管粉の変色長さで濃度換算表により気 体中の汚染濃度を検知するか、またはガス拡散型検知管を利用し、測定しようと する被測定雰囲気内に長時間放置し、検知粉の変色した長さから、予め計算され 検知管に表示されている濃度目盛（ｐｐｍ）より濃度を読取り、気体中の汚染濃 度を検知する等の方法を行っていたが、いずれも検知感度が０．１ｐｐｍ以上で あった。
【０００４】 そのため、ィンピンジャーで雰囲気中のガス不純物を超純水に溶解させ、イオ ンクロマトグラフのような高価な測定機器で定量しなければならなかった。
【０００５】 半導体製造工程に要する清浄環境は、ＬＳＩの超高度化に伴い、環境中のガス 状不純物が半導体ウェーハ上に吸着汚染してこれらがデバイス製造に悪影響を及 ぼしたり、製造プロセスの制御性を害したりする事が明かになりつつある。
【０００６】 このような有害ガスは数ｐｐｂ〜数十ｐｐｂ程度でも著しい悪作用を及ぼす場 合があるので、クリーンルーム、クリーンベンチ内の有害ガス状不純物（酸性あ るいはアルカリ性）の濃度を簡便に測定すること、並びにそれによってこれら有 害ガスを除くためのケミカルフィルターの寿命を早期に認定することが、工程管 理上重要である。
【０００７】 しかし従来の検知管による方法では、サイズ等の問題で圧損が高く、感度を高 めるため、試料雰囲気を長時間作用させようとしても、市場にある小型吸引ポン プでは吸引できない等の問題があった。
【０００８】 本考案の課題は、簡便に日常管理に用いる事ができる無塵環境用有害ガス検知 器具を提供するものである。
【０００９】
本考案は、かかる課題を解決するものとして、本考案の無塵環境用有害ガス検 知器具においては、吸引ポンプと、その吸込側に連結して取付治具によりほぼ垂 直に取付けられた内径３ｍｍ以上、検知部の長さ２０ｍｍ以上の管状の有害ガス 検知管と、ポンプの吹出口に連結して出口側開口が下に向けられた微粒子除去フ ィルターとを一体に構成したものである。
【００１０】 上記微粒子除去フィルターは、検知管粉のごく微量の流出やポンプからの発塵 がクリーンルームやクリーンベンチの清浄度を乱さないためのものであるが、ポ ンプからの排気を清浄領域外へ放出するための、ポンプ出口に連結した尾状の可 撓排気管を該フィルターの代わりに使用する構造でもよい。
【００１１】 本考案に使用する有害ガスの検知管は、市販品のものと比較して管径は大きく ３ｍｍ以上に、検知粉の粒度は約１．５〜２倍程度粗いものとして、検知管の圧 損を小さくした改良品であって、検知感度を著しく高める効果が得られた。
【００１２】 本考案では、この改良型の有害ガス検知管を用いることによって、とくに機能 を発揮する。
【００１３】 本考案の検知管で、対象雰囲気中の有害ガスの平均不純物濃度を求める為には 、検知管を流れる雰囲気の容積を知る必要がある。そのためには、本考案の検知 器具では、連結管の間に流量調整バルブと流量計を設ける構造とすることが望ま しい。
【００１４】 流速を一定に調整しておくと、流れた試料雰囲気の容積はポンプ稼働時間で知 ることができる。従って、目的によっては本発明の器具にタイマーを付属させる ことが望ましい。
【００１５】
〔図２〕
【００１６】 図２に示す本考案に係わる無塵環境用有害ガス検知器具（以後、有害ガス検知 器具と称する）の一実施例に即して本考案を詳細に説明する。
【００１７】 この例では、有害ガス検知器具は小型箱形容器５中に納めた吸引ポンプ１と、 その吸込側に連結して取付けた検知管取付け治具２によりほぼ垂直に取付けられ た内径３ｍｍ以上、検知粉長さ２０ｍｍ以上の上述した改良型の管状の有害ガス 検知管３と、吸引ポンプの吹出口に連結して出口側開口が下に向けられた微粒子 除去フィルター４とが一体に構成されている。
【００１８】 有害ガスが数十ｐｐｂから数ｐｐｂの場合、検知管に雰囲気を流す時間は、１ ５分から５〜６時間位要するので、吸引ポンプとしては、機械的摺動部のないダ イアグラム型で、しかも十分な防音構造のものが望ましい。
【００１９】 系の最後には、ポアサイズ０．１〜０．２ミクロンの商品名ミリポアあるいは ニュークリポアのようなメンブランフィルターを用いると、実質的にクリーンル ームを汚さない。これらのフィルターはかなり圧損があるので、流速は一定にな りやすい。流速は粗いフィルターを選んで重ねることにより調整できる。
【００２０】 実際の使用に先立って、検知器の入口に一時的に流量計をつなぎ、流速を測定 しておけば、ポンプ稼働時間から試験した雰囲気の容積を知ることができ、検知 管の変色長さを計り、予め作成した検量線によって濃度を算出する。
【００２１】 〔図３〕
【００２２】 図３に示す該有害ガス検知器具は、小型箱形容器５中に納めた吸引ポンプ１と 、その吸込側に連結して取付けた検知管取付け治具２によりほぼ垂直に取付けら れた管状の有害ガス検知管３と、吸引ポンプの吹出口に連結した尾状の可撓排気 管６とが一体に構成されている。
【００２３】 この場合は、可撓排気管としてビニール管を用い、クリーンルーム内の測定に 用いて、ビニール管の末端を床のグレーティングの間に入れて排気し、クリーン ルーム清浄度に影響しない測定ができた。流速は検知器の入口に一時的に流量計 をつなぎ、ビニール管をピンチコックで絞って調整した。
【００２４】 〔図４〕
【００２５】 図４は、採取空気量の調整を行う部品を、器具自体に付属させたものである。
【００２６】 ここで使用した流量計８はフロート式流量計なので、圧力損失抵抗のない状態 で使う必要があるため、本有害ガス検知器具の空気取入口１１にガス流量計を配 した構造とした。
【００２７】 図４に示す該有害ガス検知器具の構造は小型箱形容器５上に流量計の一端は小 型箱形容器５の上部に設けた流量計・ガス検知管取付治具１０に接続、またこの 取付治具１０と検知管取付治具９との間には、有害ガス検知管３がほぼ垂直に取 付けられる構造とし、またガス検知管３と吸引ポンプ１の間に流量計調整バルブ ７を設けた。
【００２８】 吸引ポンプ１の吹出口は、図２に示した微粒子除去フィルター４の出口側が下 に向いて取付けられた構造とするか、または図３に示した吸引ポンプ１の吹出口 に尾状の可撓排気管６を設ける構造が必要である。
【００２９】 なお、本考案で使用する流量計８は、測定開始時に本検知器具に流入する空気 量を調整する時に使用するもので、流量調整後はこの流量計８は必要としないた め、本検知器具より取外せる構造になっている。
【００３０】
本考案はの無塵環境用有害ガス検知器具によって、クリーンルーム、クリーン ベンチ等の有害ガス不純物濃度並びに、ケミカルフィルター等の日常管理を簡便 に行うことができる。
【図１】従来用いられている環境雰囲気中の有害ガス濃
度測定器具の正面図である。
度測定器具の正面図である。
【図２】本考案のガス検知器具に微粒子除去フィルター
を付加した検知器具の正面図である。
を付加した検知器具の正面図である。
【図３】本考案のガス検知器具に尾状の可撓排気管を付
加した検知器具の正面図である。
加した検知器具の正面図である。
【図４】本考案のガス検知器具にガス流量計と流量調整
バルブを付加した検知器具の正面図である。
バルブを付加した検知器具の正面図である。
１´ 検知管 ２´ 検知管取付治具 ３´ ガス採取器本体部 ４´ ガス吸引用ハンドル １ 吸引ポンプ ２ 検知管取付治具 ３ ガス検知管 ４ 微粒子除去フィルター ５ 小型箱形容器 ６ 可撓排気管 ７ 流量調整バルブ ８ ガス流量計 ９ 検知管取付治具 １０ ガス流量計・ガス検知管取付治具 １１ 空気取入口
Claims (3)
- 【請求項１】 吸引ポンプ１と、その吸込側に連結して
取付治具２によりほぼ垂直に取付けられた内径３ｍｍ以
上、検知部の長さ２０ｍｍ以上の管状の有害ガス検知管
３と、ポンプの吹出口に連結して出口側開口が下に向け
られた微粒子除去フィルター４とが一体に構成された無
塵環境用有害ガス検知器具。 - 【請求項２】 吸引ポンプ１と、その吸込側に連結して
取付治具２によりほぼ垂直に取付けられた内径３ｍｍ以
上、検知部の長さ２０ｍｍ以上の管状の有害ガス検知管
３と、ポンプの吹出口に連結した尾状の可撓排気管６と
が一体に構成された無塵環境用有害ガス検知器具。 - 【請求項３】 連結管の間に流量調整バルブ７と流量計
８を設けた請求項１または請求項２の無塵環境用有害ガ
ス検知器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1996003504U JP3029361U (ja) | 1996-03-23 | 1996-03-23 | 無塵環境用有害ガス検知器具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1996003504U JP3029361U (ja) | 1996-03-23 | 1996-03-23 | 無塵環境用有害ガス検知器具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3029361U true JP3029361U (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=43164397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1996003504U Expired - Lifetime JP3029361U (ja) | 1996-03-23 | 1996-03-23 | 無塵環境用有害ガス検知器具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3029361U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023095262A (ja) * | 2021-12-24 | 2023-07-06 | 株式会社フクハラ | 圧縮空気用異物検知器 |
-
1996
- 1996-03-23 JP JP1996003504U patent/JP3029361U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023095262A (ja) * | 2021-12-24 | 2023-07-06 | 株式会社フクハラ | 圧縮空気用異物検知器 |
| JP7323216B2 (ja) | 2021-12-24 | 2023-08-08 | 株式会社フクハラ | 圧縮空気用異物検知器 |
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