JPH0961315A - 雰囲気中不純物の捕集方法および分析装置 - Google Patents
雰囲気中不純物の捕集方法および分析装置Info
- Publication number
- JPH0961315A JPH0961315A JP7216231A JP21623195A JPH0961315A JP H0961315 A JPH0961315 A JP H0961315A JP 7216231 A JP7216231 A JP 7216231A JP 21623195 A JP21623195 A JP 21623195A JP H0961315 A JPH0961315 A JP H0961315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atmosphere
- gas component
- liquid
- component
- impurities
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N1/2214—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling by sorption
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
- G01N33/0014—Sample conditioning by eliminating a gas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/24—Suction devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N1/2214—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling by sorption
- G01N2001/2217—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling by sorption using a liquid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/40—Concentrating samples
- G01N1/4055—Concentrating samples by solubility techniques
- G01N2001/4066—Concentrating samples by solubility techniques using difference of solubility between liquid and gas, e.g. bubbling, scrubbing or sparging
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Pathology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 雰囲気中不純物を形態別にリアルタイムで分
析する。 【解決手段】 吸引ポンプ５８は、雰囲気試料をガス成
分捕集部４５内に吸引して雰囲気試料中のガス成分を吸
収液４８aに捕集させた後にパーティクル成分を吸収液
５１,５３に捕集させる。送液ポンプ５９は、吸収液５
１,５３を測定待機用容器６０に送出して待機させる。
送液開閉バルブ６１dは、吸収液４８aの測定が終了する
と吸収液５１,５３を分析装置６２に送出して測定を行
わせる。送液ポンプ５６は、ガス成分捕集用吸収液容器
４８および１,２段目インピンジャ部５０,５２が空にな
ると新たに吸収液を供給する。こうして、ガス成分およ
びパーティクル成分別に捕集,濃縮,測定を平行して行う
ことによって、雰囲気中不純物の形態別分析をリアルタ
イムで自動的に行う。
析する。 【解決手段】 吸引ポンプ５８は、雰囲気試料をガス成
分捕集部４５内に吸引して雰囲気試料中のガス成分を吸
収液４８aに捕集させた後にパーティクル成分を吸収液
５１,５３に捕集させる。送液ポンプ５９は、吸収液５
１,５３を測定待機用容器６０に送出して待機させる。
送液開閉バルブ６１dは、吸収液４８aの測定が終了する
と吸収液５１,５３を分析装置６２に送出して測定を行
わせる。送液ポンプ５６は、ガス成分捕集用吸収液容器
４８および１,２段目インピンジャ部５０,５２が空にな
ると新たに吸収液を供給する。こうして、ガス成分およ
びパーティクル成分別に捕集,濃縮,測定を平行して行う
ことによって、雰囲気中不純物の形態別分析をリアルタ
イムで自動的に行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
内の雰囲気中不純物の捕集方法およびその雰囲気中不純
物の分析装置に関する。
内の雰囲気中不純物の捕集方法およびその雰囲気中不純
物の分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工場におけるクリーンルーム内で
は、ＨＦ,Ｈ2ＳＯ4,ＮＨ4ＯＨ等の種々の薬液が使用さ
れており、これらの薬液から発生するガスは種々の悪影
響を及ぼすことが知られている。例えば、ＨＦの場合に
はＨＥＰＡ(高効率粒子除去)フィルタのガラス繊維濾材
を溶解し、Ｂ(ボロン)汚染を発生させて半導体に特性不
良を及ぼす。また、ＮＨ3は微細加工を行うための化学
増幅型レジストヘ悪影響を及ぼす。また、これらの数種
のガス成分が複数存在する場合には、化学反応によって
パーティクルへと成長してダストの原因となる。
は、ＨＦ,Ｈ2ＳＯ4,ＮＨ4ＯＨ等の種々の薬液が使用さ
れており、これらの薬液から発生するガスは種々の悪影
響を及ぼすことが知られている。例えば、ＨＦの場合に
はＨＥＰＡ(高効率粒子除去)フィルタのガラス繊維濾材
を溶解し、Ｂ(ボロン)汚染を発生させて半導体に特性不
良を及ぼす。また、ＮＨ3は微細加工を行うための化学
増幅型レジストヘ悪影響を及ぼす。また、これらの数種
のガス成分が複数存在する場合には、化学反応によって
パーティクルへと成長してダストの原因となる。
【０００３】この雰囲気汚染への対策としてはフィルタ
が一般的に用いられている。尚、ガスとパーティクルと
では除去に使用されるフィルタが異なり、ガスの場合に
は活性炭やイオン交換樹脂を用いたケミカルフィルタを
用い、パーティクルの場合にはＨＥＰＡフィルタ等が用
いられる。
が一般的に用いられている。尚、ガスとパーティクルと
では除去に使用されるフィルタが異なり、ガスの場合に
は活性炭やイオン交換樹脂を用いたケミカルフィルタを
用い、パーティクルの場合にはＨＥＰＡフィルタ等が用
いられる。
【０００４】また、汚染源を正確に究明するためには、
雰囲気中不純物を正確に評価することが重要である。そ
のためには、雰囲気中不純物を、その形態(ガスやパー
ティクル等)別にリアルタイムで評価して迅速に工場の
雰囲気管理へフィードバックさせる必要がある。
雰囲気中不純物を正確に評価することが重要である。そ
のためには、雰囲気中不純物を、その形態(ガスやパー
ティクル等)別にリアルタイムで評価して迅速に工場の
雰囲気管理へフィードバックさせる必要がある。
【０００５】従来、ガス成分を捕集する場合には、図７
に示すような方法によって捕集している。この方法で
は、雰囲気試料吸収ポンプ１の動作によって雰囲気試料
取り込み口２から取り込まれた雰囲気中のパーティクル
が、パーティクル成分捕集用の濾紙３によって除去され
る。そうした後、１段目インピンジャ部４および２段目
インピンジャ部６によってガス成分捕集用吸収液５,７
中にバブリングされて、ガス成分が捕集されるのであ
る。
に示すような方法によって捕集している。この方法で
は、雰囲気試料吸収ポンプ１の動作によって雰囲気試料
取り込み口２から取り込まれた雰囲気中のパーティクル
が、パーティクル成分捕集用の濾紙３によって除去され
る。そうした後、１段目インピンジャ部４および２段目
インピンジャ部６によってガス成分捕集用吸収液５,７
中にバブリングされて、ガス成分が捕集されるのであ
る。
【０００６】一方、パーティクル成分を捕集する場合に
は、図８に示すように、雰囲気試料吸収ポンプ８の動作
によって、雰囲気試料取り込み口９から取り込んだ雰囲
気をパーティクル成分捕集用の濾紙１０を通過させてパ
ーティクルを捕集するのが一般的である。
は、図８に示すように、雰囲気試料吸収ポンプ８の動作
によって、雰囲気試料取り込み口９から取り込んだ雰囲
気をパーティクル成分捕集用の濾紙１０を通過させてパ
ーティクルを捕集するのが一般的である。
【０００７】また、雰囲気の分析装置として、図９及び
図１０に示すようなものがある(特開平５−３０２８７
２号公報)。この分析装置は次のようにして動作してク
リーンルーム内の雰囲気中不純物を分析する。すなわ
ち、ファン１１の動作によってクリーンルーム雰囲気を
冷却パイプ１２を有する冷却除湿器内に導いて水分を結
露させて結露水１３とし、この結露水１３をドレイン受
け１４で受けて分析装置１５に送出する。そして、コン
ピュータ１６の制御の下に分析装置１５によって結露水
１３に含まれる不純物を分析して分析結果をディスプレ
イ１７に表示する。尚、水分が除去された後の空気はフ
ィルタ１８を通過して排気される。
図１０に示すようなものがある(特開平５−３０２８７
２号公報)。この分析装置は次のようにして動作してク
リーンルーム内の雰囲気中不純物を分析する。すなわ
ち、ファン１１の動作によってクリーンルーム雰囲気を
冷却パイプ１２を有する冷却除湿器内に導いて水分を結
露させて結露水１３とし、この結露水１３をドレイン受
け１４で受けて分析装置１５に送出する。そして、コン
ピュータ１６の制御の下に分析装置１５によって結露水
１３に含まれる不純物を分析して分析結果をディスプレ
イ１７に表示する。尚、水分が除去された後の空気はフ
ィルタ１８を通過して排気される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示すようなガス成分捕集方法には、次のような問題があ
る。すなわち、捕集されたガス成分を分析する場合に
は、両インピンジャ部４,６内のガス成分捕集用吸収液
５,７を分析装置に導入すれば良い。ところが、パーテ
ィクルの除去に濾紙３を用いているために、パーティク
ルに非常に揮発性の高いパーティクル(例えば、ＮＨ4Ｎ
Ｏ3等)成分が含まれている場合には雰囲気の水分の影響
によってパーティクルがガス化する可能性があり、濾紙
３を通過してガス成分に混入することになる。したがっ
て、分析結果に誤差を生ずる可能性があり正確性に問題
がある。
示すようなガス成分捕集方法には、次のような問題があ
る。すなわち、捕集されたガス成分を分析する場合に
は、両インピンジャ部４,６内のガス成分捕集用吸収液
５,７を分析装置に導入すれば良い。ところが、パーテ
ィクルの除去に濾紙３を用いているために、パーティク
ルに非常に揮発性の高いパーティクル(例えば、ＮＨ4Ｎ
Ｏ3等)成分が含まれている場合には雰囲気の水分の影響
によってパーティクルがガス化する可能性があり、濾紙
３を通過してガス成分に混入することになる。したがっ
て、分析結果に誤差を生ずる可能性があり正確性に問題
がある。
【０００９】一方、図８に示すようなパーティクル成分
捕集方法には、次のような問題がある。すなわち、捕集
されたパーティクル成分を分析する場合には、濾紙１０
上に捕集されたパーティクル成分を酸で抽出し、その抽
出液を分析装置に導入しなければならない。したがっ
て、揮発性の高いパーティクル成分が含まれている場合
にはパーティクルがガス化して分析結果に誤差を生ずる
可能性がある。また、濾紙による抽出前処理に伴うブラ
ンク値の増加や抽出作業の非効率性によって、分析の自
動化が困難であるという問題もある。
捕集方法には、次のような問題がある。すなわち、捕集
されたパーティクル成分を分析する場合には、濾紙１０
上に捕集されたパーティクル成分を酸で抽出し、その抽
出液を分析装置に導入しなければならない。したがっ
て、揮発性の高いパーティクル成分が含まれている場合
にはパーティクルがガス化して分析結果に誤差を生ずる
可能性がある。また、濾紙による抽出前処理に伴うブラ
ンク値の増加や抽出作業の非効率性によって、分析の自
動化が困難であるという問題もある。
【００１０】そこで、濾紙を用いることなくインピンジ
ャのみによってクリーンルーム内の雰囲気中不純物をモ
ニタしようとすれば、図７に示す構成からパーティクル
成分捕集用の濾紙３を除去した装置によって一定時間ク
リーンルーム内雰囲気を捕集し、捕集用吸収液５,７を
回収して分析を行うことになる。ところが、現時点にお
いては、捕集用吸収液５,７の分析はマニュアルで行う
必要があり、効率が悪く、マニュアル作業に伴う汚染発
生による誤差の問題がある。したがって、高感度測定や
短時間測定が困難であり、クリーンルーム内雰囲気不純
物のモニタリングをリアルタイムで行うことは不可能で
ある。また、上記雰囲気不純物を形態別に分析すること
ができないという問題もある。
ャのみによってクリーンルーム内の雰囲気中不純物をモ
ニタしようとすれば、図７に示す構成からパーティクル
成分捕集用の濾紙３を除去した装置によって一定時間ク
リーンルーム内雰囲気を捕集し、捕集用吸収液５,７を
回収して分析を行うことになる。ところが、現時点にお
いては、捕集用吸収液５,７の分析はマニュアルで行う
必要があり、効率が悪く、マニュアル作業に伴う汚染発
生による誤差の問題がある。したがって、高感度測定や
短時間測定が困難であり、クリーンルーム内雰囲気不純
物のモニタリングをリアルタイムで行うことは不可能で
ある。また、上記雰囲気不純物を形態別に分析すること
ができないという問題もある。
【００１１】また、図９及び図１０に示すような雰囲気
の分析装置では、不純物の形態(ガスやパーティクル等)
を区別して分析できないという問題がある。また、ファ
ン１１,冷却パイプ１２,ドレイン受け１４およびフィル
タ１８を収納した冷却除湿器でなる不純物捕集部は洗浄
機能を有してはいない。したがって、分析毎の汚れが蓄
積されて大きな測定誤差を生ずる可能性があり、分析結
果の信頼性に欠けるという問題もある。
の分析装置では、不純物の形態(ガスやパーティクル等)
を区別して分析できないという問題がある。また、ファ
ン１１,冷却パイプ１２,ドレイン受け１４およびフィル
タ１８を収納した冷却除湿器でなる不純物捕集部は洗浄
機能を有してはいない。したがって、分析毎の汚れが蓄
積されて大きな測定誤差を生ずる可能性があり、分析結
果の信頼性に欠けるという問題もある。
【００１２】そこで、この発明の目的は、雰囲気中不純
物を形態別に捕集できる雰囲気中不純物の捕集方法、雰
囲気中不純物を自動的にリアルタイムで分析できる雰囲
気中不純物自動分析装置、および、雰囲気中不純物を形
態別にリアルタイムで分析可能な雰囲気中不純物の形態
別分析装置を提供することにある。
物を形態別に捕集できる雰囲気中不純物の捕集方法、雰
囲気中不純物を自動的にリアルタイムで分析できる雰囲
気中不純物自動分析装置、および、雰囲気中不純物を形
態別にリアルタイムで分析可能な雰囲気中不純物の形態
別分析装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明の雰囲気中不純物の捕集方法
は、雰囲気をガス成分透過膜チューブ内に導入して,雰
囲気中のガス成分を上記ガス成分透過膜チューブの外周
面に接触している第１の吸収液中に捕集し、上記ガス成
分透過膜チューブ内を通過してガス成分が捕集された後
の雰囲気をインピンジャに導入し,第２の吸収液中へバ
ブリングして雰囲気中のパーティクル成分を捕集して、
上記雰囲気中の不純物をガス成分とパーティクル成分と
に分けて捕集することを特徴としている。
に、請求項１に係る発明の雰囲気中不純物の捕集方法
は、雰囲気をガス成分透過膜チューブ内に導入して,雰
囲気中のガス成分を上記ガス成分透過膜チューブの外周
面に接触している第１の吸収液中に捕集し、上記ガス成
分透過膜チューブ内を通過してガス成分が捕集された後
の雰囲気をインピンジャに導入し,第２の吸収液中へバ
ブリングして雰囲気中のパーティクル成分を捕集して、
上記雰囲気中の不純物をガス成分とパーティクル成分と
に分けて捕集することを特徴としている。
【００１４】上記構成によれば、雰囲気をガス成分透過
膜チューブ内を通過させてインピンジャに導入するとい
う一つの動作で、雰囲気中のガス成分とパーティクル成
分とが別々の吸収液中に分離して捕集される。
膜チューブ内を通過させてインピンジャに導入するとい
う一つの動作で、雰囲気中のガス成分とパーティクル成
分とが別々の吸収液中に分離して捕集される。
【００１５】また、請求項２に係る発明の雰囲気中不純
物自動分析装置は、雰囲気中不純物の吸収液が注入され
たインピンジャと、上記インピンジャの内部ガスを吸引
して雰囲気を上記インピンジャ内に取り込んで上記吸収
液にバブリングさせて,雰囲気中不純物を上記吸収液に
捕集させる吸引ポンプと、上記雰囲気中不純物が捕集さ
れた後の吸収液を分析装置に送出する第１送液ポンプ
と、吸収液が送出された後の上記インピンジャに吸収液
供給タンク内の吸収液を供給する第２送液ポンプと、上
記吸引ポンプ・第１送液ポンプおよび第２送液ポンプの
動作を制御して,雰囲気中不純物の捕集と上記吸収液の
分析装置への送出と上記吸収液の供給を連続して繰り返
し行わせる制御手段を備えたことを特徴としている。
物自動分析装置は、雰囲気中不純物の吸収液が注入され
たインピンジャと、上記インピンジャの内部ガスを吸引
して雰囲気を上記インピンジャ内に取り込んで上記吸収
液にバブリングさせて,雰囲気中不純物を上記吸収液に
捕集させる吸引ポンプと、上記雰囲気中不純物が捕集さ
れた後の吸収液を分析装置に送出する第１送液ポンプ
と、吸収液が送出された後の上記インピンジャに吸収液
供給タンク内の吸収液を供給する第２送液ポンプと、上
記吸引ポンプ・第１送液ポンプおよび第２送液ポンプの
動作を制御して,雰囲気中不純物の捕集と上記吸収液の
分析装置への送出と上記吸収液の供給を連続して繰り返
し行わせる制御手段を備えたことを特徴としている。
【００１６】上記構成において、制御手段による制御の
下に、吸引ポンプが駆動されてインピンジャの内部ガス
が吸引されると、雰囲気が上記インピンジャ内に取り込
まれて吸収液中にバブリングされて、雰囲気中不純物が
上記吸収液に捕集される。そして、第１送液ポンプが駆
動されて上記不純物が捕集されている吸収液が分析装置
に送出される。そうすると、第２送液ポンプが駆動され
て、空になった上記インピンジャに新たな吸収液が供給
される。こうして、雰囲気中不純物の捕集→吸収液の分
析装置への送出→新たな吸収液の供給→雰囲気中不純物
の捕集→… が連続して繰り返して行われて、雰囲気中
不純物がリアルタイムで自動的に分析される。
下に、吸引ポンプが駆動されてインピンジャの内部ガス
が吸引されると、雰囲気が上記インピンジャ内に取り込
まれて吸収液中にバブリングされて、雰囲気中不純物が
上記吸収液に捕集される。そして、第１送液ポンプが駆
動されて上記不純物が捕集されている吸収液が分析装置
に送出される。そうすると、第２送液ポンプが駆動され
て、空になった上記インピンジャに新たな吸収液が供給
される。こうして、雰囲気中不純物の捕集→吸収液の分
析装置への送出→新たな吸収液の供給→雰囲気中不純物
の捕集→… が連続して繰り返して行われて、雰囲気中
不純物がリアルタイムで自動的に分析される。
【００１７】また、請求項３に係る発明の雰囲気中不純
物の形態別分析装置は、両端が塞がれた筒状のガス成分
吸収液容器と,両端を上記ガス成分吸収液容器の端面に
密着して上記ガス成分吸収液容器内に挿入されたガス成
分透過膜チューブと,このガス成分透過膜チューブの外
周面に接触して上記ガス成分吸収液容器内に満たされた
ガス成分吸収液で構成され,上記ガス成分吸収液容器の
両端面には上記ガス成分透過膜チューブ内に連通する雰
囲気の出入口を有するガス成分捕集部と、パーティクル
成分吸収液が注入されると共に,雰囲気取り込み口が上
記ガス成分捕集部の上記出入口の何れか一つに連通され
ているインピンジャと、上記インピンジャの内部ガスを
吸引して雰囲気を上記ガス成分透過膜チューブ内に取り
込んで,雰囲気中のガス成分を上記ガス成分吸収液に捕
集させた後,ガス成分捕集後の雰囲気を上記インピンジ
ャ内に取り込んで上記パーティクル成分吸収液中にバブ
リングさせて,雰囲気中のパーティクル成分を上記パー
ティクル成分吸収液に捕集させる吸引ポンプと、上記パ
ーティクル成分が捕集されているパーティクル成分吸収
液を測定待機用容器に送出して待機させる第１送液手段
と、上記パーティクル成分が待機している間に,上記ガ
ス成分が捕集されているガス成分吸収液を分析装置に送
出する第２送液手段と、上記ガス成分吸収液容器内およ
びインピンジャ内の吸収液が送出されると,吸収液供給
タンク内の吸収液を上記ガス成分吸収液容器およびイン
ピンジャに供給する第３送液手段と、上記分析装置によ
るガス成分吸収液の分析が終了すると,上記測定待機用
容器内で待機しているパーティクル成分吸収液を上記分
析装置に送出する第４送液手段と、上記吸引ポンプおよ
び第１〜第４送液手段の動作を制御して,ガス成分およ
びパーティクル成分別による雰囲気中不純物の捕集とパ
ーティクル成分吸収液の待機と各吸収液の上記分析装置
への送出と上記ガス成分吸収液容器およびインピンジャ
への吸収液の供給を連続して繰り返し行わせる制御手段
を備えたことを特徴としている。
物の形態別分析装置は、両端が塞がれた筒状のガス成分
吸収液容器と,両端を上記ガス成分吸収液容器の端面に
密着して上記ガス成分吸収液容器内に挿入されたガス成
分透過膜チューブと,このガス成分透過膜チューブの外
周面に接触して上記ガス成分吸収液容器内に満たされた
ガス成分吸収液で構成され,上記ガス成分吸収液容器の
両端面には上記ガス成分透過膜チューブ内に連通する雰
囲気の出入口を有するガス成分捕集部と、パーティクル
成分吸収液が注入されると共に,雰囲気取り込み口が上
記ガス成分捕集部の上記出入口の何れか一つに連通され
ているインピンジャと、上記インピンジャの内部ガスを
吸引して雰囲気を上記ガス成分透過膜チューブ内に取り
込んで,雰囲気中のガス成分を上記ガス成分吸収液に捕
集させた後,ガス成分捕集後の雰囲気を上記インピンジ
ャ内に取り込んで上記パーティクル成分吸収液中にバブ
リングさせて,雰囲気中のパーティクル成分を上記パー
ティクル成分吸収液に捕集させる吸引ポンプと、上記パ
ーティクル成分が捕集されているパーティクル成分吸収
液を測定待機用容器に送出して待機させる第１送液手段
と、上記パーティクル成分が待機している間に,上記ガ
ス成分が捕集されているガス成分吸収液を分析装置に送
出する第２送液手段と、上記ガス成分吸収液容器内およ
びインピンジャ内の吸収液が送出されると,吸収液供給
タンク内の吸収液を上記ガス成分吸収液容器およびイン
ピンジャに供給する第３送液手段と、上記分析装置によ
るガス成分吸収液の分析が終了すると,上記測定待機用
容器内で待機しているパーティクル成分吸収液を上記分
析装置に送出する第４送液手段と、上記吸引ポンプおよ
び第１〜第４送液手段の動作を制御して,ガス成分およ
びパーティクル成分別による雰囲気中不純物の捕集とパ
ーティクル成分吸収液の待機と各吸収液の上記分析装置
への送出と上記ガス成分吸収液容器およびインピンジャ
への吸収液の供給を連続して繰り返し行わせる制御手段
を備えたことを特徴としている。
【００１８】上記構成において、制御手段による制御の
下に、吸引ポンプが駆動されてインピンジャの内部ガス
が吸引されると、雰囲気が上記インピンジャに連通して
いるガス成分捕集部のガス成分透過膜チューブ内に取り
込まれて雰囲気中のガス成分がガス成分吸収液に捕集さ
れる。さらに、ガス成分が捕集された後の雰囲気が上記
インピンジャ内に取り込まれてパーティクル成分吸収液
中にバブリングされて雰囲気中のパーティクル成分が捕
集される。そして、第１送液手段が動作されて上記パー
ティクル成分が捕集されているパーティクル成分吸収液
が測定待機用容器に送出されて待機させられ、その間
に、第２送液手段が動作されて上記ガス成分が捕集され
ているガス成分吸収液が分析装置に送出される。そうす
ると、第３送液手段が動作されて、空になった上記ガス
成分吸収液容器およびインピンジャに新たな吸収液が供
給される。そして、上記分析装置によるガス成分吸収液
の分析が終了すると、第４送液手段が動作されて上記測
定待機用容器内で待機しているパーティクル成分吸収液
が上記分析装置に送出される。こうして、雰囲気中不純
物の形態別捕集→パーティクル成分吸収液の待機→ガス
成分吸収液の分析装置への送出 が連続して繰り返して行われて、雰囲気中不純物がリア
ルタイムで形態別に分析される。
下に、吸引ポンプが駆動されてインピンジャの内部ガス
が吸引されると、雰囲気が上記インピンジャに連通して
いるガス成分捕集部のガス成分透過膜チューブ内に取り
込まれて雰囲気中のガス成分がガス成分吸収液に捕集さ
れる。さらに、ガス成分が捕集された後の雰囲気が上記
インピンジャ内に取り込まれてパーティクル成分吸収液
中にバブリングされて雰囲気中のパーティクル成分が捕
集される。そして、第１送液手段が動作されて上記パー
ティクル成分が捕集されているパーティクル成分吸収液
が測定待機用容器に送出されて待機させられ、その間
に、第２送液手段が動作されて上記ガス成分が捕集され
ているガス成分吸収液が分析装置に送出される。そうす
ると、第３送液手段が動作されて、空になった上記ガス
成分吸収液容器およびインピンジャに新たな吸収液が供
給される。そして、上記分析装置によるガス成分吸収液
の分析が終了すると、第４送液手段が動作されて上記測
定待機用容器内で待機しているパーティクル成分吸収液
が上記分析装置に送出される。こうして、雰囲気中不純
物の形態別捕集→パーティクル成分吸収液の待機→ガス
成分吸収液の分析装置への送出 が連続して繰り返して行われて、雰囲気中不純物がリア
ルタイムで形態別に分析される。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態の雰囲
気中不純物の捕集装置における概略図である。
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態の雰囲
気中不純物の捕集装置における概略図である。
【００２０】以下、図１に従って雰囲気中不純物の捕集
方法について説明する。本実施の形態における雰囲気中
不純物の捕集装置は、大きく分けて、ガス成分捕集部２
１とパーティクル成分捕集部２２とから構成される。上
記ガス成分捕集部２１は、両端が塞がれた円筒状のガス
成分捕集用吸収液容器２５と、多孔質ポリテトラフルオ
ロエチレン等で形成されて両端をガス成分捕集用吸収液
容器２５の両端面に密着してガス成分捕集用吸収液容器
２５内に挿入された円筒状のガス成分透過膜チューブ２
４と、このガス成分透過膜チューブ２４の外周面に接触
してガス成分捕集用吸収液容器２５内に満たされたガス
成分捕集用吸収液２５aで構成される。そして、ガス成
分捕集用吸収液容器２５の両端面にはガス成分透過膜チ
ューブ２４内に連通する雰囲気試料取り込み管２３およ
びジョイントチューブ２６を接続する。また、上記パー
ティクル成分捕集部２２は、１段目パーティクル成分捕
集用吸収液２８が注入された１段目インピンジャ部２７
と、２段目パーティクル成分捕集用吸収液３０が注入さ
れた２段目インピンジャ部２９で構成される。
方法について説明する。本実施の形態における雰囲気中
不純物の捕集装置は、大きく分けて、ガス成分捕集部２
１とパーティクル成分捕集部２２とから構成される。上
記ガス成分捕集部２１は、両端が塞がれた円筒状のガス
成分捕集用吸収液容器２５と、多孔質ポリテトラフルオ
ロエチレン等で形成されて両端をガス成分捕集用吸収液
容器２５の両端面に密着してガス成分捕集用吸収液容器
２５内に挿入された円筒状のガス成分透過膜チューブ２
４と、このガス成分透過膜チューブ２４の外周面に接触
してガス成分捕集用吸収液容器２５内に満たされたガス
成分捕集用吸収液２５aで構成される。そして、ガス成
分捕集用吸収液容器２５の両端面にはガス成分透過膜チ
ューブ２４内に連通する雰囲気試料取り込み管２３およ
びジョイントチューブ２６を接続する。また、上記パー
ティクル成分捕集部２２は、１段目パーティクル成分捕
集用吸収液２８が注入された１段目インピンジャ部２７
と、２段目パーティクル成分捕集用吸収液３０が注入さ
れた２段目インピンジャ部２９で構成される。
【００２１】この雰囲気中不純物の捕集装置は次のよう
に動作する。先ず、雰囲気試料取り込み口２３から取り
込まれた雰囲気試料は、ガス成分捕集部２１のガス透過
膜チューブ２４の内側を通過する際に、雰囲気試料中の
ガス成分自身の半径方向への拡散によってガス透過膜チ
ューブ２４を透過してガス成分捕集用吸収液２５aに捕
集される。尚、このガス成分捕集用吸収液２５aとして
は純水を用いる。
に動作する。先ず、雰囲気試料取り込み口２３から取り
込まれた雰囲気試料は、ガス成分捕集部２１のガス透過
膜チューブ２４の内側を通過する際に、雰囲気試料中の
ガス成分自身の半径方向への拡散によってガス透過膜チ
ューブ２４を透過してガス成分捕集用吸収液２５aに捕
集される。尚、このガス成分捕集用吸収液２５aとして
は純水を用いる。
【００２２】こうして、ガス成分が除去された雰囲気試
料は、ジョイントチューブ２６を通ってパーティクル成
分捕集部２２へ導かれる。そして、１段目インピンジャ
部２７内の１段目パーティクル成分捕集吸収液２８中に
バブリングされた後、再度２段目インピンジャ部２９内
の２段目パーティクル成分捕集用吸収液３０中にバブリ
ングされる。こうして、雰囲気中のパーティクル成分を
１段目パーティクル成分捕集用吸収液２８および２段目
パーティクル成分捕集用吸収液３０中に捕集するのであ
る。
料は、ジョイントチューブ２６を通ってパーティクル成
分捕集部２２へ導かれる。そして、１段目インピンジャ
部２７内の１段目パーティクル成分捕集吸収液２８中に
バブリングされた後、再度２段目インピンジャ部２９内
の２段目パーティクル成分捕集用吸収液３０中にバブリ
ングされる。こうして、雰囲気中のパーティクル成分を
１段目パーティクル成分捕集用吸収液２８および２段目
パーティクル成分捕集用吸収液３０中に捕集するのであ
る。
【００２３】尚、上記１段目パーティクル成分捕集用吸
収液２８および２段目パーティクル成分捕集用吸収液３
０としては、酸成分およびアンモニア成分の分析時には
純水を用い、金属成分の分析時には薄い酸溶液を用い
る。また、上記１段目インピンジャ部２７と２段目イン
ピンジャ部２９との２つのインピンジャ部を用いるの
は、１段目インピンジャ部２７で捕集できなかったパー
ティクル成分を２段目インピンジャ部２９で捕集するた
めである。
収液２８および２段目パーティクル成分捕集用吸収液３
０としては、酸成分およびアンモニア成分の分析時には
純水を用い、金属成分の分析時には薄い酸溶液を用い
る。また、上記１段目インピンジャ部２７と２段目イン
ピンジャ部２９との２つのインピンジャ部を用いるの
は、１段目インピンジャ部２７で捕集できなかったパー
ティクル成分を２段目インピンジャ部２９で捕集するた
めである。
【００２４】以上のように、上記雰囲気中不純物の捕集
装置を用いた雰囲気中不純物の捕集方法によれば、先に
ガス成分をガス成分捕集用吸収液２５aに捕集した後に
パーティクル成分を１,２段目パーティクル成分捕集用
吸収液２８,３０に捕集することによって、雰囲気中不
純物をガス成分とパーティクル成分とに分けて同時に捕
集できる。また、その際に、瀘紙に因らずに雰囲気中不
純物をガス成分とパーティクル成分とに分離するので、
揮発性の高いパーティクル成分が含まれていても確実に
ガス成分とパーティクル成分とに分離できるのである。
装置を用いた雰囲気中不純物の捕集方法によれば、先に
ガス成分をガス成分捕集用吸収液２５aに捕集した後に
パーティクル成分を１,２段目パーティクル成分捕集用
吸収液２８,３０に捕集することによって、雰囲気中不
純物をガス成分とパーティクル成分とに分けて同時に捕
集できる。また、その際に、瀘紙に因らずに雰囲気中不
純物をガス成分とパーティクル成分とに分離するので、
揮発性の高いパーティクル成分が含まれていても確実に
ガス成分とパーティクル成分とに分離できるのである。
【００２５】表１に、上記雰囲気中不純物の捕集装置を
用いて捕集したクリーンルーム内雰囲気中不純物を、Ｉ
ＣＡ(イオンクロマトアナライザー)によって評価した結
果を示す。
用いて捕集したクリーンルーム内雰囲気中不純物を、Ｉ
ＣＡ(イオンクロマトアナライザー)によって評価した結
果を示す。
【表１】 表１において、捕集場所Ａにおいては、ＮＨ4 +のガス成
分が多く検出されていることが分かり、このガス成分を
除去するためのケミカルフィルタの取り付けおよびＮＨ
4 +のガス成分の汚染源の特定が必要であると言える。ま
た、捕集場所Ｂ,Ｃは同じ処理装置の周辺にて行ったも
のであり、処理エリアである装置前側(捕集場所Ｂ)に比
較してユーティリティーである装置後側(捕集場所Ｃ)か
らほとんどの不純物のパーティクル成分が多く検出され
ていることが分かる。この分析結果は、クリーンルーム
内の処理エリアとユーティリティーエリアとのクリーン
度の違いと一致しており、上記雰囲気中不純物の捕集装
置による捕集方法が優れていることが立証されている。
尚、捕集場所ＢではＦ-のガス成分が検出されており、
ＨＥＰＡフィルタのガラス繊維濾材からのＢ(ボロン)汚
染には注意が必要であると言える。
分が多く検出されていることが分かり、このガス成分を
除去するためのケミカルフィルタの取り付けおよびＮＨ
4 +のガス成分の汚染源の特定が必要であると言える。ま
た、捕集場所Ｂ,Ｃは同じ処理装置の周辺にて行ったも
のであり、処理エリアである装置前側(捕集場所Ｂ)に比
較してユーティリティーである装置後側(捕集場所Ｃ)か
らほとんどの不純物のパーティクル成分が多く検出され
ていることが分かる。この分析結果は、クリーンルーム
内の処理エリアとユーティリティーエリアとのクリーン
度の違いと一致しており、上記雰囲気中不純物の捕集装
置による捕集方法が優れていることが立証されている。
尚、捕集場所ＢではＦ-のガス成分が検出されており、
ＨＥＰＡフィルタのガラス繊維濾材からのＢ(ボロン)汚
染には注意が必要であると言える。
【００２６】また、捕集場所Ｄ,Ｅは、ケミカルフィル
タの評価を目的として捕集を行った場所であり、アンモ
ニア除去用のケミカルフィルタのＩＮ側(捕集場所Ｄ)と
ＯＵＴ側(捕集場所Ｅ)とを比較したものである。この比
較結果によれば、ケミカルフィルタのＩＮ側に比べて、
ＯＵＴ側ではＮＨ4 +のガス成分が約３０％程度しか減少
しておらず、本来このケミカルフィルタの性能ではＮＨ
4 +ガスを９０％以上除去できることから判断して、この
ケミカルフィルタは交換時期に達していると判断でき
る。
タの評価を目的として捕集を行った場所であり、アンモ
ニア除去用のケミカルフィルタのＩＮ側(捕集場所Ｄ)と
ＯＵＴ側(捕集場所Ｅ)とを比較したものである。この比
較結果によれば、ケミカルフィルタのＩＮ側に比べて、
ＯＵＴ側ではＮＨ4 +のガス成分が約３０％程度しか減少
しておらず、本来このケミカルフィルタの性能ではＮＨ
4 +ガスを９０％以上除去できることから判断して、この
ケミカルフィルタは交換時期に達していると判断でき
る。
【００２７】このように、上記雰囲気中不純物の捕集方
法を用いることによって、雰囲気中不純物の量を形態
(ガス,パーティクル)別に把握できる。したがって、適
切な雰囲気中不純物対策を迅速に行うことができ、非常
に有効である。
法を用いることによって、雰囲気中不純物の量を形態
(ガス,パーティクル)別に把握できる。したがって、適
切な雰囲気中不純物対策を迅速に行うことができ、非常
に有効である。
【００２８】次に、インピンジャを用いて雰囲気中の不
純物を自動的に分析できる雰囲気中不純物自動分析装置
について、図２に従って説明する。この雰囲気中不純物
自動分析装置は、図１におけるパーティクル成分捕集部
２２と同じ構成を有するインピンジャ部３１の１段目イ
ンピンジャ部３２及び２段目インピンジャ部３４の内部
ガスを雰囲気試料吸引ポンプ４０によって吸引し、両イ
ンピンジャ部３２,３４の捕集用吸収液３３,３５を捕集
用吸収液送液ポンプ４１によって測定待機用容器４２に
導入し、両インピンジャ部３２,３４には吸収液供給用
送液ポンプ３８によって吸収液供給タンク３７の捕集用
吸収液を供給するように構成している。
純物を自動的に分析できる雰囲気中不純物自動分析装置
について、図２に従って説明する。この雰囲気中不純物
自動分析装置は、図１におけるパーティクル成分捕集部
２２と同じ構成を有するインピンジャ部３１の１段目イ
ンピンジャ部３２及び２段目インピンジャ部３４の内部
ガスを雰囲気試料吸引ポンプ４０によって吸引し、両イ
ンピンジャ部３２,３４の捕集用吸収液３３,３５を捕集
用吸収液送液ポンプ４１によって測定待機用容器４２に
導入し、両インピンジャ部３２,３４には吸収液供給用
送液ポンプ３８によって吸収液供給タンク３７の捕集用
吸収液を供給するように構成している。
【００２９】上記構成の雰囲気中不純物自動分析装置
は、次のように動作して雰囲気中不純物リアルタイムモ
ニタを自動的に行う。すなわち、上記雰囲気試料吸引ポ
ンプ４０によって流量計３９を介して１段目インピンジ
ャ部３２と２段目インピンジャ部３４との内部ガスが吸
引されると、雰囲気試料がインピンジャ部３１に一定流
量で取り込まれる。こうして取り込まれた雰囲気試料
は、１段目インピンジャ部３２でバブリングされて、１
段目捕集用吸収液３３中に不純物が捕集される。そし
て、１段目インピンジャ部３２で捕集されなかった不純
物は、続いて２段目インピンジャ部３４で再度バブリン
グされて、２段目捕集用吸収液３５中に捕集される。
は、次のように動作して雰囲気中不純物リアルタイムモ
ニタを自動的に行う。すなわち、上記雰囲気試料吸引ポ
ンプ４０によって流量計３９を介して１段目インピンジ
ャ部３２と２段目インピンジャ部３４との内部ガスが吸
引されると、雰囲気試料がインピンジャ部３１に一定流
量で取り込まれる。こうして取り込まれた雰囲気試料
は、１段目インピンジャ部３２でバブリングされて、１
段目捕集用吸収液３３中に不純物が捕集される。そし
て、１段目インピンジャ部３２で捕集されなかった不純
物は、続いて２段目インピンジャ部３４で再度バブリン
グされて、２段目捕集用吸収液３５中に捕集される。
【００３０】尚、上記１段目捕集用吸収液３３および２
段目捕集用吸収液３５は、吸収液供給タンク３７から吸
収液供給用送液ポンプ３８によって送液開閉バルブ４３
aを介して供給され、その際の供給液量は液面センサ３
６によって所定量に調整される。
段目捕集用吸収液３５は、吸収液供給タンク３７から吸
収液供給用送液ポンプ３８によって送液開閉バルブ４３
aを介して供給され、その際の供給液量は液面センサ３
６によって所定量に調整される。
【００３１】上述のようにして雰囲気試料が所定時間吸
引されて捕集動作が終了すると、各インピンジャ部３
２,３４の捕集用吸収液３３,３５の液量が減少するため
に、吸収液供給用送液ポンプ３８および液面センサ３６
の動作によって、捕集用吸収液３３,３５が所定量(つま
り、捕集動作開始前の液量)になるまで供給される。そ
うした後、各捕集用吸収液３３,３５は、捕集用吸収液
送液ポンプ４１によって測定待機用容器４２に導入され
て両捕集用吸収液３３,３５が混合される。そして、送
液開閉バルブ４３dを開放して、例えば濃縮カラム法に
よる２流路同時測定用イオンクロマトアナライザー等の
分析装置(図示せず)に測定待機用容器４２内の捕集用吸
収液を送出して分析が行われる。このように、上記測定
待機用容器４２を設けることによって、２つのインピン
ジャ部３２,３４の夫々における捕集用吸収液３３,３５
を一度に測定することが可能となるのである。また、上
記分析装置として濃縮カラム法による分析装置を用いる
ことにより、捕集時間が短時間であるために捕集された
不純物が微量であっても正確な分析が可能となるのであ
る。
引されて捕集動作が終了すると、各インピンジャ部３
２,３４の捕集用吸収液３３,３５の液量が減少するため
に、吸収液供給用送液ポンプ３８および液面センサ３６
の動作によって、捕集用吸収液３３,３５が所定量(つま
り、捕集動作開始前の液量)になるまで供給される。そ
うした後、各捕集用吸収液３３,３５は、捕集用吸収液
送液ポンプ４１によって測定待機用容器４２に導入され
て両捕集用吸収液３３,３５が混合される。そして、送
液開閉バルブ４３dを開放して、例えば濃縮カラム法に
よる２流路同時測定用イオンクロマトアナライザー等の
分析装置(図示せず)に測定待機用容器４２内の捕集用吸
収液を送出して分析が行われる。このように、上記測定
待機用容器４２を設けることによって、２つのインピン
ジャ部３２,３４の夫々における捕集用吸収液３３,３５
を一度に測定することが可能となるのである。また、上
記分析装置として濃縮カラム法による分析装置を用いる
ことにより、捕集時間が短時間であるために捕集された
不純物が微量であっても正確な分析が可能となるのであ
る。
【００３２】以上の操作を繰り返すことによって、自動
での雰囲気中不純物リアルタイムモニタが行われる。そ
の際に、上記送液開閉バルブ４３b,４３cを開放して両
捕集用吸収液３３,３５を測定待機用容器４２に送出
し、次に送液開閉バルブ４３aを開放して両インピンジ
ャ３２,３４に新たな捕集用吸収液を供給するようにし
ている。したがって、１段目インピンジャ部３２および
２段目インピンジャ部３４内の各捕集用吸収液３３,３
５は不純物の分析毎に入れ換えられて、１段目インピン
ジャ部３２および２段目インピンジャ部３４内が洗浄さ
れるのである。すなわち、本雰囲気中不純物自動分析装
置は洗浄機能を有しており、この洗浄機能は毎捕集時に
おける送液開閉バルブ４３a〜４３cの開閉タイミングに
よって得られるのである。
での雰囲気中不純物リアルタイムモニタが行われる。そ
の際に、上記送液開閉バルブ４３b,４３cを開放して両
捕集用吸収液３３,３５を測定待機用容器４２に送出
し、次に送液開閉バルブ４３aを開放して両インピンジ
ャ３２,３４に新たな捕集用吸収液を供給するようにし
ている。したがって、１段目インピンジャ部３２および
２段目インピンジャ部３４内の各捕集用吸収液３３,３
５は不純物の分析毎に入れ換えられて、１段目インピン
ジャ部３２および２段目インピンジャ部３４内が洗浄さ
れるのである。すなわち、本雰囲気中不純物自動分析装
置は洗浄機能を有しており、この洗浄機能は毎捕集時に
おける送液開閉バルブ４３a〜４３cの開閉タイミングに
よって得られるのである。
【００３３】上述のように本実施の形態における雰囲気
中不純物自動分析装置は、インピンジャを具備し、雰囲
気試料吸引ポンプ４０の駆動によって雰囲気試料を１,
２段目インピンジャ部３２,３４内に吸引して不純物を
両捕集用吸収液３３,３５に捕集する。そして、捕集用
吸収液送液ポンプ４１の駆動によって両捕集用吸収液３
３,３５を測定待機用容器４２に導入して混合し、分析
装置に送出して濃縮・測定するようにしている。
中不純物自動分析装置は、インピンジャを具備し、雰囲
気試料吸引ポンプ４０の駆動によって雰囲気試料を１,
２段目インピンジャ部３２,３４内に吸引して不純物を
両捕集用吸収液３３,３５に捕集する。そして、捕集用
吸収液送液ポンプ４１の駆動によって両捕集用吸収液３
３,３５を測定待機用容器４２に導入して混合し、分析
装置に送出して濃縮・測定するようにしている。
【００３４】したがって、本雰囲気中不純物自動分析装
置によれば、不純物の捕集および測定を自動的に行うこ
とができ、雰囲気中不純物の自動モニタリングを行うこ
とができるのである。また、毎捕集時における送液開閉
バルブ４３a〜４３cの開閉タイミングによって１段目イ
ンピンジャ部３２および２段目インピンジャ部３４内の
各捕集用吸収液３３,３５が入れ換えられて、両インピ
ンジャ部３２,３４が洗浄される。すなわち、本雰囲気
中不純物自動分析装置は洗浄機能を有するのである。
置によれば、不純物の捕集および測定を自動的に行うこ
とができ、雰囲気中不純物の自動モニタリングを行うこ
とができるのである。また、毎捕集時における送液開閉
バルブ４３a〜４３cの開閉タイミングによって１段目イ
ンピンジャ部３２および２段目インピンジャ部３４内の
各捕集用吸収液３３,３５が入れ換えられて、両インピ
ンジャ部３２,３４が洗浄される。すなわち、本雰囲気
中不純物自動分析装置は洗浄機能を有するのである。
【００３５】尚、本実施の形態における１,２段目イン
ピンジャ部３２,３４は、捕集用吸収液３３,３５の量を
少なくし、且つ、バブリングによって生じる気泡と捕集
用吸収液３３,３５との接触時間を長くするために、従
来のインピンジャよりも細長い形状を有している。
ピンジャ部３２,３４は、捕集用吸収液３３,３５の量を
少なくし、且つ、バブリングによって生じる気泡と捕集
用吸収液３３,３５との接触時間を長くするために、従
来のインピンジャよりも細長い形状を有している。
【００３６】次に、図１に示す雰囲気中不純物の捕集装
置を具備して雰囲気中不純物を形態別に自動的に分析で
きる雰囲気中不純物の形態別分析装置について、図３に
従って説明する。この雰囲気中不純物の形態別分析装置
は、図２に示す雰囲気中不純物自動分析装置と同じ構成
を有する分析装置の雰囲気試料取り込み口に、図１に示
す雰囲気中不純物の捕集装置におけるガス成分捕集部２
１と同じ構成を有するガス成分捕集部４５のジョイント
チューブ４９を接続した概略構成を有している。そし
て、ガス成分捕集部４５のガス成分捕集用吸収液容器４
８の上部と上記分析装置の送液開閉バルブ６１aとを送
液管で接続し、ガス成分捕集部４５のガス成分捕集用吸
収液容器４８の底と上記分析装置のパーティクル成分捕
集用吸収液送液ポンプ５９の下流側とを送液開閉バルブ
６１e〜６１gが介設された２又の送液管で接続して構成
されている。この雰囲気中不純物の形態別分析装置は、
以下のように動作して雰囲気中不純物の形態別自動モニ
タリングをリアルタイムで行う。
置を具備して雰囲気中不純物を形態別に自動的に分析で
きる雰囲気中不純物の形態別分析装置について、図３に
従って説明する。この雰囲気中不純物の形態別分析装置
は、図２に示す雰囲気中不純物自動分析装置と同じ構成
を有する分析装置の雰囲気試料取り込み口に、図１に示
す雰囲気中不純物の捕集装置におけるガス成分捕集部２
１と同じ構成を有するガス成分捕集部４５のジョイント
チューブ４９を接続した概略構成を有している。そし
て、ガス成分捕集部４５のガス成分捕集用吸収液容器４
８の上部と上記分析装置の送液開閉バルブ６１aとを送
液管で接続し、ガス成分捕集部４５のガス成分捕集用吸
収液容器４８の底と上記分析装置のパーティクル成分捕
集用吸収液送液ポンプ５９の下流側とを送液開閉バルブ
６１e〜６１gが介設された２又の送液管で接続して構成
されている。この雰囲気中不純物の形態別分析装置は、
以下のように動作して雰囲気中不純物の形態別自動モニ
タリングをリアルタイムで行う。
【００３７】先ず、雰囲気試料吸引ポンプ５８が駆動さ
れて、ガス成分捕集部４５のガス成分透過膜チューブ４
７内に所定流量の雰囲気試料が取り込まれる。そして、
取り込まれた雰囲気試料がガス成分捕集部４５を通過す
る際に、雰囲気試料のガス成分のみがガス成分透過膜チ
ューブ４７の外側へ取り出されて、ガス成分捕集用吸収
液４８a中に捕集される。こうして、ガス成分のみが捕
集された後の雰囲気試料が、ジョイントチューブ４９を
介してパーティクル成分捕集部４６へと導かれる。
れて、ガス成分捕集部４５のガス成分透過膜チューブ４
７内に所定流量の雰囲気試料が取り込まれる。そして、
取り込まれた雰囲気試料がガス成分捕集部４５を通過す
る際に、雰囲気試料のガス成分のみがガス成分透過膜チ
ューブ４７の外側へ取り出されて、ガス成分捕集用吸収
液４８a中に捕集される。こうして、ガス成分のみが捕
集された後の雰囲気試料が、ジョイントチューブ４９を
介してパーティクル成分捕集部４６へと導かれる。
【００３８】上記ガス成分が除去された雰囲気試料は、
パーティクル成分捕集部４６における１段目インピンジ
ャー部５０でバブリングされて、１段目パーティクル成
分捕集用吸収液５１中にパーティクル成分が捕集され
る。さらに、１段目インピンジャ部５０で捕集されなか
ったパーティクル成分は、次の２段目インピンジャ部５
２で再度バブリングされて、２段目パーティクル成分捕
集用吸収液５３に捕集される。尚、上記ガス成分捕集用
吸収液４８aおよび両パーティクル成分捕集用吸収液５
１,５３は、吸収液供給用送液ポンプ５６によって、吸
収液供給タンク５５から送液開閉バルブ６１aを介して
測定毎に所定量だけ供給される。
パーティクル成分捕集部４６における１段目インピンジ
ャー部５０でバブリングされて、１段目パーティクル成
分捕集用吸収液５１中にパーティクル成分が捕集され
る。さらに、１段目インピンジャ部５０で捕集されなか
ったパーティクル成分は、次の２段目インピンジャ部５
２で再度バブリングされて、２段目パーティクル成分捕
集用吸収液５３に捕集される。尚、上記ガス成分捕集用
吸収液４８aおよび両パーティクル成分捕集用吸収液５
１,５３は、吸収液供給用送液ポンプ５６によって、吸
収液供給タンク５５から送液開閉バルブ６１aを介して
測定毎に所定量だけ供給される。
【００３９】上述のようにして所定時間だけ雰囲気試料
が吸引されて各成分の捕集が完了すると、先ず、ガス成
分捕集用吸収液４８aが、送液開閉バルブ６１f,６１gの
開放によって、例えば濃縮カラム法による２流路同時測
定用イオンクロマトアナライザー等の分析装置６２に導
入されて、濃縮された後に測定が行われる。一方、上記
両パーティクル成分捕集用吸収液５１,５３は、送液開
閉バルブ６１b,６１c,６１eが開放されると、パーティ
クル成分捕集用吸収液送液ポンプ５９によって、測定時
間待ちのために、パーティクル成分測定待機用容器６０
に一時的に導入される。そして、上述のようにしてガス
成分捕集用吸収液４８aに関する測定が終了した後に、
分析装置６２に導入されて濃縮・測定される。以上の操
作を繰り返すことによって、雰囲気中不純物をガス成分
およびパーティクル成分の形態別にモニタリングする雰
囲気中不純物の形態別自動モニタリングをリアルタイム
で行うのである。
が吸引されて各成分の捕集が完了すると、先ず、ガス成
分捕集用吸収液４８aが、送液開閉バルブ６１f,６１gの
開放によって、例えば濃縮カラム法による２流路同時測
定用イオンクロマトアナライザー等の分析装置６２に導
入されて、濃縮された後に測定が行われる。一方、上記
両パーティクル成分捕集用吸収液５１,５３は、送液開
閉バルブ６１b,６１c,６１eが開放されると、パーティ
クル成分捕集用吸収液送液ポンプ５９によって、測定時
間待ちのために、パーティクル成分測定待機用容器６０
に一時的に導入される。そして、上述のようにしてガス
成分捕集用吸収液４８aに関する測定が終了した後に、
分析装置６２に導入されて濃縮・測定される。以上の操
作を繰り返すことによって、雰囲気中不純物をガス成分
およびパーティクル成分の形態別にモニタリングする雰
囲気中不純物の形態別自動モニタリングをリアルタイム
で行うのである。
【００４０】図４は、雰囲気中Ｃl-ガス成分に関するリ
アルタイムモニタ例を示す。図４において、雰囲気中Ｃ
l-ガス検出量が測定回数２３回付近で急激に増加してお
り、何らかの汚染が発生したことが分かる。したがっ
て、測定回数２３回目に相当する時期に処理した装置が
汚染源と推測できるのである。すなわち、本雰囲気中不
純物の形態別分析装置は、汚染源のリアルタイムな究明
に非常に有効であると言える。
アルタイムモニタ例を示す。図４において、雰囲気中Ｃ
l-ガス検出量が測定回数２３回付近で急激に増加してお
り、何らかの汚染が発生したことが分かる。したがっ
て、測定回数２３回目に相当する時期に処理した装置が
汚染源と推測できるのである。すなわち、本雰囲気中不
純物の形態別分析装置は、汚染源のリアルタイムな究明
に非常に有効であると言える。
【００４１】ここで、本雰囲気中不純物の形態別分析装
置は、制御用コンピュータ等の制御の下に、図５に示す
タイムテーブルに従って動作して雰囲気中不純物の形態
別自動モニタリングを行う。図５に示すタイムテーブル
は、ガス成分およびパーティクル成分別の捕集,待機,濃
縮および測定について１回目(Ｒun１)から３回目(Ｒun
３)までを示したものであり、４回目移行もこのタイム
テーブルが繰り返されて行われる。尚、図中の各記号は
次のことを表す。 ガス成分のタイムテーブル ｔg１…ガス成分捕集部４５での捕集 ｔg２…分析装置６２によるガス成分捕集用吸収液４８a
の濃縮 ｔg３…分析装置６２による測定 パーティクル成分のタイムテーブル ｔp１…パーティクル成分捕集部４６での捕集 ｔp２…測定装置６２によるパーティクル成分捕集用吸
収液５１,５３の濃縮 ｔp３…分析装置６２による測定 ｔp４…測定待機 である。
置は、制御用コンピュータ等の制御の下に、図５に示す
タイムテーブルに従って動作して雰囲気中不純物の形態
別自動モニタリングを行う。図５に示すタイムテーブル
は、ガス成分およびパーティクル成分別の捕集,待機,濃
縮および測定について１回目(Ｒun１)から３回目(Ｒun
３)までを示したものであり、４回目移行もこのタイム
テーブルが繰り返されて行われる。尚、図中の各記号は
次のことを表す。 ガス成分のタイムテーブル ｔg１…ガス成分捕集部４５での捕集 ｔg２…分析装置６２によるガス成分捕集用吸収液４８a
の濃縮 ｔg３…分析装置６２による測定 パーティクル成分のタイムテーブル ｔp１…パーティクル成分捕集部４６での捕集 ｔp２…測定装置６２によるパーティクル成分捕集用吸
収液５１,５３の濃縮 ｔp３…分析装置６２による測定 ｔp４…測定待機 である。
【００４２】上記タイムテーブルにおける時点Ａで、１
回目のガス成分の捕集(ｔg１-１)と１回目のパーティク
ル成分の捕集(ｔp１-１)とが同時に開始される。時点Ｂ
で、１回目のガス成分捕集用吸収液４８aの濃縮(ｔg２-
１)および１回目のパーティクル成分捕集用吸収液５１,
５３のパーティクル成分測定待機用容器６０への移し替
え(ｔp４-１)とが同時に行われる。尚、その際に、空の
ガス成分捕集用吸収液容器４８と１,２段目インピンジ
ャ部５０,５２とに新たに吸収液が供給されて、２回目
のガス成分の捕集(ｔg１-２)と２回目のパーティクル成
分の捕集(ｔp１-２)も同時に開始される。時点Ｃで、１
回目のガス成分捕集用吸収液４８aの測定(ｔg３-１)お
よび１回目のパーティクル成分捕集用吸収液５１,５３
の濃縮(ｔp２-１)が同時に行われる。時点Ｄで、１回目
のパーティクル成分捕集用吸収液５１,５３の測定（ｔp
３-１)が行われる。尚、その際に、２回目のガス成分捕
集用吸収液４８aの濃縮(ｔg２-２)および２回目のパー
ティクル成分捕集用吸収液５１,５３のパーティクル成
分測定待機用容器６０への移し替え(ｔp４−２)も同時
に行われる。さらに、３回目のガス成分の捕集(ｔg１−
３)と３回目のパーティクル成分の捕集(ｔp１-３)も同
時に開始される。こうして、上記時点Ａ〜時点Ｅで、１
回目の雰囲気中不純物の捕集・測定が行われるのであ
る。
回目のガス成分の捕集(ｔg１-１)と１回目のパーティク
ル成分の捕集(ｔp１-１)とが同時に開始される。時点Ｂ
で、１回目のガス成分捕集用吸収液４８aの濃縮(ｔg２-
１)および１回目のパーティクル成分捕集用吸収液５１,
５３のパーティクル成分測定待機用容器６０への移し替
え(ｔp４-１)とが同時に行われる。尚、その際に、空の
ガス成分捕集用吸収液容器４８と１,２段目インピンジ
ャ部５０,５２とに新たに吸収液が供給されて、２回目
のガス成分の捕集(ｔg１-２)と２回目のパーティクル成
分の捕集(ｔp１-２)も同時に開始される。時点Ｃで、１
回目のガス成分捕集用吸収液４８aの測定(ｔg３-１)お
よび１回目のパーティクル成分捕集用吸収液５１,５３
の濃縮(ｔp２-１)が同時に行われる。時点Ｄで、１回目
のパーティクル成分捕集用吸収液５１,５３の測定（ｔp
３-１)が行われる。尚、その際に、２回目のガス成分捕
集用吸収液４８aの濃縮(ｔg２-２)および２回目のパー
ティクル成分捕集用吸収液５１,５３のパーティクル成
分測定待機用容器６０への移し替え(ｔp４−２)も同時
に行われる。さらに、３回目のガス成分の捕集(ｔg１−
３)と３回目のパーティクル成分の捕集(ｔp１-３)も同
時に開始される。こうして、上記時点Ａ〜時点Ｅで、１
回目の雰囲気中不純物の捕集・測定が行われるのであ
る。
【００４３】時点Ｅで、２回目のガス成分捕集用吸収液
４８aの測定(ｔg３-２)および２回目のパーティクル成
分捕集用吸収液５１,５３の濃縮(ｔp２-２)が同時に行
われる。時点Ｆで、２回目のパーティクル成分捕集用吸
収液５１,５３の測定（ｔp３-２)が行われる。尚、その
際に、３回目のガス成分捕集用吸収液４８aの濃縮(ｔg
２-３)および３回目のパーティクル成分捕集用吸収液５
１,５３のパーティクル成分測定待機用容器６０への移
し替え(ｔp４-３)が同時に行われる。こうして、上記時
点Ｂ〜時点Ｇで、２回目の雰囲気中不純物の捕集・測定
が行われるのである。時点Ｇで、３回目のガス成分捕集
用吸収液４８aの測定(ｔg３-３)および３回目のパーテ
ィクル成分捕集用吸収液５１,５３の濃縮(ｔp２-３)が
同時に行われる。時点Ｈで、３回目のパーティクル成分
捕集用吸収液５１,５３の測定（ｔp３-３)が行われる。
こうして、上記時点Ｄで開始された３回目の雰囲気中不
純物の捕集・測定が終了する。
４８aの測定(ｔg３-２)および２回目のパーティクル成
分捕集用吸収液５１,５３の濃縮(ｔp２-２)が同時に行
われる。時点Ｆで、２回目のパーティクル成分捕集用吸
収液５１,５３の測定（ｔp３-２)が行われる。尚、その
際に、３回目のガス成分捕集用吸収液４８aの濃縮(ｔg
２-３)および３回目のパーティクル成分捕集用吸収液５
１,５３のパーティクル成分測定待機用容器６０への移
し替え(ｔp４-３)が同時に行われる。こうして、上記時
点Ｂ〜時点Ｇで、２回目の雰囲気中不純物の捕集・測定
が行われるのである。時点Ｇで、３回目のガス成分捕集
用吸収液４８aの測定(ｔg３-３)および３回目のパーテ
ィクル成分捕集用吸収液５１,５３の濃縮(ｔp２-３)が
同時に行われる。時点Ｈで、３回目のパーティクル成分
捕集用吸収液５１,５３の測定（ｔp３-３)が行われる。
こうして、上記時点Ｄで開始された３回目の雰囲気中不
純物の捕集・測定が終了する。
【００４４】すなわち、上記タイムテーブルでは、ガス
成分あるいはパーティクル成分の雰囲気捕集を最短４０
分で行い、他の濃縮,測定および待機を最短２０分で行
うことによって、ガス成分あるいはパーティクル成分の
雰囲気捕集から濃縮・測定までを最短４０分ずつタイミ
ングをずらして平行して行うことができるのである。そ
の結果、上記雰囲気捕集は４０分毎に行われ、ガス成分
の測定結果は捕集終了４０分後に得られる一方、パーテ
ィクル成分の測定結果は捕集終了６０分後に得られる。
成分あるいはパーティクル成分の雰囲気捕集を最短４０
分で行い、他の濃縮,測定および待機を最短２０分で行
うことによって、ガス成分あるいはパーティクル成分の
雰囲気捕集から濃縮・測定までを最短４０分ずつタイミ
ングをずらして平行して行うことができるのである。そ
の結果、上記雰囲気捕集は４０分毎に行われ、ガス成分
の測定結果は捕集終了４０分後に得られる一方、パーテ
ィクル成分の測定結果は捕集終了６０分後に得られる。
【００４５】尚、上記送液開閉バルブ６１f,６１gの動
作と送液開閉バルブ６１b,６１c,６１eの動作およびパ
ーティクル成分捕集用吸収液送液ポンプ５９の駆動とに
よって、ガス成分捕集用吸収液４８aおよびパーティク
ル成分捕集用吸収液５１,５３を分析装置６２あるいは
パーティクル成分測定待機用容器６０に送出した後に、
送液開閉バルブ６１aの動作と吸収液供給用送液ポンプ
５６の駆動によってガス成分捕集用吸収液４８aおよび
パーティクル成分捕集用吸収液５１,５３を供給する。
こうして、ガス成分捕集用吸収液容器４８および１,２
段目インピンジャ部５０,５２内における吸収液交換が
行われる。この場合に、上記吸収液交換に必要な時間は
数十秒である。したがって、上述の如く最短の測定時間
は４０分であることと考え合わせると、この吸収液交換
に要するロスタイムは測定結果へ大きな影響を及ぼさな
いと言える。
作と送液開閉バルブ６１b,６１c,６１eの動作およびパ
ーティクル成分捕集用吸収液送液ポンプ５９の駆動とに
よって、ガス成分捕集用吸収液４８aおよびパーティク
ル成分捕集用吸収液５１,５３を分析装置６２あるいは
パーティクル成分測定待機用容器６０に送出した後に、
送液開閉バルブ６１aの動作と吸収液供給用送液ポンプ
５６の駆動によってガス成分捕集用吸収液４８aおよび
パーティクル成分捕集用吸収液５１,５３を供給する。
こうして、ガス成分捕集用吸収液容器４８および１,２
段目インピンジャ部５０,５２内における吸収液交換が
行われる。この場合に、上記吸収液交換に必要な時間は
数十秒である。したがって、上述の如く最短の測定時間
は４０分であることと考え合わせると、この吸収液交換
に要するロスタイムは測定結果へ大きな影響を及ぼさな
いと言える。
【００４６】また、上述の如く、毎測定時における送液
開閉バルブ６１a〜６１gの開閉タイミングによってガス
成分捕集用吸収液容器４８,１段目インピンジャ部５０
および２段目インピンジャ部５２内の各捕集用吸収液４
８a,５１,５３が入れ換えられて、ガス成分捕集用吸収
液容器４８および両インピンジャ部５０,５２が洗浄さ
れる。即ち、本雰囲気中不純物自動分析装置は洗浄機能
を有するのである。
開閉バルブ６１a〜６１gの開閉タイミングによってガス
成分捕集用吸収液容器４８,１段目インピンジャ部５０
および２段目インピンジャ部５２内の各捕集用吸収液４
８a,５１,５３が入れ換えられて、ガス成分捕集用吸収
液容器４８および両インピンジャ部５０,５２が洗浄さ
れる。即ち、本雰囲気中不純物自動分析装置は洗浄機能
を有するのである。
【００４７】このように、本雰囲気中不純物の形態別分
析装置は、図１に示す雰囲気中不純物の捕集装置を具備
し、雰囲気試料吸引ポンプ５８によって雰囲気試料をガ
ス成分捕集部４５内に吸引することによって雰囲気試料
中のガス成分をガス成分捕集用吸収液４８aに捕集させ
た後、パーティクル成分捕集部４６内でパーティクル成
分をパーティクル成分捕集用吸収液５１,５３に捕集さ
せる。そして、上記パーティクル成分捕集用吸収液送液
ポンプ５９の駆動によってパーティクル成分捕集用吸収
液５１,５３をパーティクル成分測定待機用容器６０に
待機させ、その間にガス成分捕集用吸収液４８aを分析
装置６２に送出して濃縮・測定する。こうして空になっ
たガス成分捕集用吸収液容器４８と１,２段目インピン
ジャ部５０,５２とに、吸収液供給用送液ポンプ５６の
駆動によって、新たに吸収液を供給して、次の雰囲気試
料の吸入を開始する。そして、その間に、上記ガス成分
捕集用吸収液４８aの測定が終了すると、パーティクル
成分測定待機用容器６０内で待機しているパーティクル
成分捕集用吸収液５１,５３を分析装置６２に送出して
濃縮・測定するようにしている。
析装置は、図１に示す雰囲気中不純物の捕集装置を具備
し、雰囲気試料吸引ポンプ５８によって雰囲気試料をガ
ス成分捕集部４５内に吸引することによって雰囲気試料
中のガス成分をガス成分捕集用吸収液４８aに捕集させ
た後、パーティクル成分捕集部４６内でパーティクル成
分をパーティクル成分捕集用吸収液５１,５３に捕集さ
せる。そして、上記パーティクル成分捕集用吸収液送液
ポンプ５９の駆動によってパーティクル成分捕集用吸収
液５１,５３をパーティクル成分測定待機用容器６０に
待機させ、その間にガス成分捕集用吸収液４８aを分析
装置６２に送出して濃縮・測定する。こうして空になっ
たガス成分捕集用吸収液容器４８と１,２段目インピン
ジャ部５０,５２とに、吸収液供給用送液ポンプ５６の
駆動によって、新たに吸収液を供給して、次の雰囲気試
料の吸入を開始する。そして、その間に、上記ガス成分
捕集用吸収液４８aの測定が終了すると、パーティクル
成分測定待機用容器６０内で待機しているパーティクル
成分捕集用吸収液５１,５３を分析装置６２に送出して
濃縮・測定するようにしている。
【００４８】したがって、本雰囲気中不純物の形態別分
析装置によれば、図５に示すタイムテーブルに従って、
ガス成分およびパーティクル成分別に、捕集,濃縮,測定
をタイミングをずらして平行して行うことができ、雰囲
気中不純物の形態別自動モニタリングをリアルタイムで
繰り返して行うことができるのである。
析装置によれば、図５に示すタイムテーブルに従って、
ガス成分およびパーティクル成分別に、捕集,濃縮,測定
をタイミングをずらして平行して行うことができ、雰囲
気中不純物の形態別自動モニタリングをリアルタイムで
繰り返して行うことができるのである。
【００４９】一般に、インピンジャを用いた雰囲気中不
純物の捕集方法は、感度が悪いために捕集時間(雰囲気
試料吸引時間)を長くする必要があると言われている。
ところが、本雰囲気中不純物の形態別分析装置における
１,２段目インピンジャ部５０,５２は、パーティクル成
分捕集用吸収液５１,５３との接触時間を長くするため
に従来のインピンジャよりも細長い形状を有しており、
特に捕集時間を長くする必要はない。さらに、上記分析
装置６２として、濃縮カラム法による分析装置を用いる
ことによって、短時間の捕集でも微量の測定が可能とな
る。
純物の捕集方法は、感度が悪いために捕集時間(雰囲気
試料吸引時間)を長くする必要があると言われている。
ところが、本雰囲気中不純物の形態別分析装置における
１,２段目インピンジャ部５０,５２は、パーティクル成
分捕集用吸収液５１,５３との接触時間を長くするため
に従来のインピンジャよりも細長い形状を有しており、
特に捕集時間を長くする必要はない。さらに、上記分析
装置６２として、濃縮カラム法による分析装置を用いる
ことによって、短時間の捕集でも微量の測定が可能とな
る。
【００５０】尚、上記各吸収液４８a,５１,５３の内容
は本実施の形態に限定されるものではない。また、分析
装置６２は、ガス成分とパーティクル成分とで異なる分
析装置を用いても差し支えない。例えば、上記雰囲気中
不純物の形態別分析装置においては、酸成分およびアン
モニア成分以外のＦe,Ｃr,Ｎi等の金属不純物の測定を
行う場合には、パーティクル成分捕集用吸収液５１,５
３に薄い酸溶液を用い、パーティクル成分測定待機用容
器６０に導入された捕集後のパーティクル成分捕集用吸
収液５１,５３をＩＣＰ−ＡＥＳ(誘導結合プラズマ発光
分光分析装置),ＩＣＰ−ＭＳ(誘導結合プラズマ質量分
析装置)あるいはＦＬ−ＡＡＳ(フレームレス原子吸光分
析装置)等へ導入して測定すればよい。
は本実施の形態に限定されるものではない。また、分析
装置６２は、ガス成分とパーティクル成分とで異なる分
析装置を用いても差し支えない。例えば、上記雰囲気中
不純物の形態別分析装置においては、酸成分およびアン
モニア成分以外のＦe,Ｃr,Ｎi等の金属不純物の測定を
行う場合には、パーティクル成分捕集用吸収液５１,５
３に薄い酸溶液を用い、パーティクル成分測定待機用容
器６０に導入された捕集後のパーティクル成分捕集用吸
収液５１,５３をＩＣＰ−ＡＥＳ(誘導結合プラズマ発光
分光分析装置),ＩＣＰ−ＭＳ(誘導結合プラズマ質量分
析装置)あるいはＦＬ−ＡＡＳ(フレームレス原子吸光分
析装置)等へ導入して測定すればよい。
【００５１】次に、図３に示す雰囲気中不純物の形態別
分析装置を使用したクリーンルーム内雰囲気不純物のモ
ニタリング装置について説明する。図６は、クリーンル
ーム内雰囲気不純物のモニタリング装置の概要図であ
る。このクリーンルーム内雰囲気不純物のモニタリング
装置は、生産処理装置６５に取り付けられたＨＥＰＡフ
ィルタユニット６６の交換時期を正確に把握するために
用いられるものである。
分析装置を使用したクリーンルーム内雰囲気不純物のモ
ニタリング装置について説明する。図６は、クリーンル
ーム内雰囲気不純物のモニタリング装置の概要図であ
る。このクリーンルーム内雰囲気不純物のモニタリング
装置は、生産処理装置６５に取り付けられたＨＥＰＡフ
ィルタユニット６６の交換時期を正確に把握するために
用いられるものである。
【００５２】本体６９内には、図３に示す雰囲気中不純
物の形態別分析装置と同一の雰囲気中不純物の形態別分
析装置(図示せず)が収納されている。そして、この雰囲
気中不純物の形態別分析装置の雰囲気試料吸引ポンプ,
吸収液供給用送液ポンプ,パーティクル成分捕集用吸収
液送液ポンプおよび各送液開閉バルブの操作が、制御用
コンピュータ７３によって図５のタイムテーブルに従っ
て行われて、クリーンルーム内雰囲気不純物のモニタリ
ングが連続して自動的に行われる。また、本クリーンル
ーム内雰囲気不純物のモニタリング装置には、不純物の
分析結果を表示するディスプレイ７０および上記分析結
果に応じて雰囲気汚染を警告する汚染発生警告ランプ７
２を設けている。
物の形態別分析装置と同一の雰囲気中不純物の形態別分
析装置(図示せず)が収納されている。そして、この雰囲
気中不純物の形態別分析装置の雰囲気試料吸引ポンプ,
吸収液供給用送液ポンプ,パーティクル成分捕集用吸収
液送液ポンプおよび各送液開閉バルブの操作が、制御用
コンピュータ７３によって図５のタイムテーブルに従っ
て行われて、クリーンルーム内雰囲気不純物のモニタリ
ングが連続して自動的に行われる。また、本クリーンル
ーム内雰囲気不純物のモニタリング装置には、不純物の
分析結果を表示するディスプレイ７０および上記分析結
果に応じて雰囲気汚染を警告する汚染発生警告ランプ７
２を設けている。
【００５３】上記構成のクリーンルーム内雰囲気不純物
のモニタリング装置は、制御用コンピュータ７３の制御
の下に、以下のように動作する。生産処理装置６５のＨ
ＥＰＡフィルタユニット６６を通過した後の雰囲気を、
雰囲気試料取り込み管６８から本体６９内の上記雰囲気
中不純物の形態別分析装置に吸引する。そして、図５に
示すタイムテーブルに従って雰囲気中不純物の形態別の
分析が行われ、分析結果がディスプレイ７０に表示され
て雰囲気中不純物の状態が常時確認される。また、制御
用コンピュータ７３のメモリに登録された各不純物の基
準値を不純物濃度が越えた場合には、汚染発生警告ラン
プ７２が点灯されて、周辺の作業者へＨＥＰＡフィルタ
ユニット６６の交換時期が告知される。尚、通常は、上
記クリーンルーム内の床はグレーチングであるために凹
凸が激しくなっている。そこで、移動用車輪７１の径を
大きくして、床の凹凸を容易に乗り越えることができる
ようになっている。また、何らかの事故によって不純物
捕集用吸収液等が漏れ出した場合は、捕集・分析を自動
的に停止させる機能や漏れ出した吸収液等を受ける液漏
れ防止用トレー７４を有している。
のモニタリング装置は、制御用コンピュータ７３の制御
の下に、以下のように動作する。生産処理装置６５のＨ
ＥＰＡフィルタユニット６６を通過した後の雰囲気を、
雰囲気試料取り込み管６８から本体６９内の上記雰囲気
中不純物の形態別分析装置に吸引する。そして、図５に
示すタイムテーブルに従って雰囲気中不純物の形態別の
分析が行われ、分析結果がディスプレイ７０に表示され
て雰囲気中不純物の状態が常時確認される。また、制御
用コンピュータ７３のメモリに登録された各不純物の基
準値を不純物濃度が越えた場合には、汚染発生警告ラン
プ７２が点灯されて、周辺の作業者へＨＥＰＡフィルタ
ユニット６６の交換時期が告知される。尚、通常は、上
記クリーンルーム内の床はグレーチングであるために凹
凸が激しくなっている。そこで、移動用車輪７１の径を
大きくして、床の凹凸を容易に乗り越えることができる
ようになっている。また、何らかの事故によって不純物
捕集用吸収液等が漏れ出した場合は、捕集・分析を自動
的に停止させる機能や漏れ出した吸収液等を受ける液漏
れ防止用トレー７４を有している。
【００５４】上記クリーンルーム内雰囲気不純物のモニ
タリング装置においては、本体６９内に図３に示す雰囲
気中不純物の形態別分析装置と同一の雰囲気中不純物の
形態別分析装置を収納している。しかしながら、特に形
態別の分析を必要としなければ、図２に示す雰囲気中不
純物自動分析装置と同一の雰囲気中不純物自動分析装置
を収納しても構わない。
タリング装置においては、本体６９内に図３に示す雰囲
気中不純物の形態別分析装置と同一の雰囲気中不純物の
形態別分析装置を収納している。しかしながら、特に形
態別の分析を必要としなければ、図２に示す雰囲気中不
純物自動分析装置と同一の雰囲気中不純物自動分析装置
を収納しても構わない。
【００５５】
【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１に係
る発明の雰囲気中不純物の捕集方法では、雰囲気をガス
成分透過膜チューブ内に導入して外周面に接触している
第１の吸収液中に雰囲気中のガス成分を捕集し、ガス成
分が捕集された後の雰囲気をインピンジャに導入して第
２の吸収液中に雰囲気中のパーティクル成分を捕集する
ので、雰囲気をガス成分透過膜チューブ内を通過させて
インピンジャに導入するという一つの動作で、雰囲気中
のガス成分とパーティクル成分とを分離して形態別に捕
集できる。
る発明の雰囲気中不純物の捕集方法では、雰囲気をガス
成分透過膜チューブ内に導入して外周面に接触している
第１の吸収液中に雰囲気中のガス成分を捕集し、ガス成
分が捕集された後の雰囲気をインピンジャに導入して第
２の吸収液中に雰囲気中のパーティクル成分を捕集する
ので、雰囲気をガス成分透過膜チューブ内を通過させて
インピンジャに導入するという一つの動作で、雰囲気中
のガス成分とパーティクル成分とを分離して形態別に捕
集できる。
【００５６】また、請求項２に係る発明の雰囲気中不純
物自動分析装置は、制御手段による制御の下に、吸引ポ
ンプによるインピンジャの内部ガス吸引によって雰囲気
を上記インピンジャ内に取り込んで吸収液にバブリング
させ、不純物が捕集された後の上記吸収液を第１送液ポ
ンプによって分析装置に送出し、空になった上記インピ
ンジャに第２送液ポンプによって吸収液供給タンクの吸
収液を供給するので、雰囲気中不純物の捕集,上記吸収
液の分析装置への送液および上記インピンジャへの新た
な吸収液の供給を連続して繰り返し行うことができる。
したがって、この発明によれば、雰囲気中不純物を自動
的にリアルタイムで分析することができる。
物自動分析装置は、制御手段による制御の下に、吸引ポ
ンプによるインピンジャの内部ガス吸引によって雰囲気
を上記インピンジャ内に取り込んで吸収液にバブリング
させ、不純物が捕集された後の上記吸収液を第１送液ポ
ンプによって分析装置に送出し、空になった上記インピ
ンジャに第２送液ポンプによって吸収液供給タンクの吸
収液を供給するので、雰囲気中不純物の捕集,上記吸収
液の分析装置への送液および上記インピンジャへの新た
な吸収液の供給を連続して繰り返し行うことができる。
したがって、この発明によれば、雰囲気中不純物を自動
的にリアルタイムで分析することができる。
【００５７】また、請求項３に係る発明の雰囲気中不純
物の形態別分析装置は、制御手段による制御の下に、吸
引ポンプによるインピンジャの内部ガスの吸引によって
上記インピンジャに連通するガス成分捕集部内に雰囲気
を取り込んで、ガス成分透過膜チューブを介して雰囲気
中のガス成分をガス成分吸収液に捕集し、ガス成分捕集
後の雰囲気を上記インピンジャ内に取り込んで雰囲気中
のパーティクル成分をパーティクル成分吸収液中に捕集
し、第１送液手段によって上記パーティクル成分吸収液
を測定待機用容器に送出して待機させ、その間に上記ガ
ス成分吸収液を第２送液手段によって分析装置に送出
し、上記ガス成分吸収液容器およびインピンジャに第３
送液手段によって吸収液を供給し、上記ガス成分吸収液
の分析が終了した分析装置に第４送液手段によって上記
待機中のパーティクル成分吸収液を送出するので、雰囲
気中ガス成分の捕集、雰囲気中パーティクル成分の捕
集、パーティクル成分吸収液の待機、ガス成分吸収液の
分析装置への送出、上記ガス成分吸収液容器およびイン
ピンジャへの新たな吸収液の供給、および、パーティク
ル成分吸収液の分析装置への送出を連続して繰り返し行
うことができる。したがって、この発明によれば、雰囲
気中不純物を形態別に自動的にリアルタイムで分析する
ことができる。
物の形態別分析装置は、制御手段による制御の下に、吸
引ポンプによるインピンジャの内部ガスの吸引によって
上記インピンジャに連通するガス成分捕集部内に雰囲気
を取り込んで、ガス成分透過膜チューブを介して雰囲気
中のガス成分をガス成分吸収液に捕集し、ガス成分捕集
後の雰囲気を上記インピンジャ内に取り込んで雰囲気中
のパーティクル成分をパーティクル成分吸収液中に捕集
し、第１送液手段によって上記パーティクル成分吸収液
を測定待機用容器に送出して待機させ、その間に上記ガ
ス成分吸収液を第２送液手段によって分析装置に送出
し、上記ガス成分吸収液容器およびインピンジャに第３
送液手段によって吸収液を供給し、上記ガス成分吸収液
の分析が終了した分析装置に第４送液手段によって上記
待機中のパーティクル成分吸収液を送出するので、雰囲
気中ガス成分の捕集、雰囲気中パーティクル成分の捕
集、パーティクル成分吸収液の待機、ガス成分吸収液の
分析装置への送出、上記ガス成分吸収液容器およびイン
ピンジャへの新たな吸収液の供給、および、パーティク
ル成分吸収液の分析装置への送出を連続して繰り返し行
うことができる。したがって、この発明によれば、雰囲
気中不純物を形態別に自動的にリアルタイムで分析する
ことができる。
【図１】この発明の雰囲気中不純物の捕集方法を実現す
る雰囲気中不純物の捕集装置における概略図である。
る雰囲気中不純物の捕集装置における概略図である。
【図２】この発明の雰囲気中不純物自動分析装置の概略
図である。
図である。
【図３】この発明の雰囲気中不純物の形態別分析装置の
概略図である。
概略図である。
【図４】図３に示す雰囲気中不純物の形態別分析装置に
よる雰囲気中Ｃl-ガス成分のリアルタイムモニタ例を示
す図である。
よる雰囲気中Ｃl-ガス成分のリアルタイムモニタ例を示
す図である。
【図５】図３に示す雰囲気中不純物の形態別分析装置に
よる雰囲気中不純物の形態別自動モニタリングのタイム
テーブルを示す図である。
よる雰囲気中不純物の形態別自動モニタリングのタイム
テーブルを示す図である。
【図６】クリーンルーム内雰囲気不純物のモニタリング
装置の外観図である。
装置の外観図である。
【図７】従来のガス成分の捕集方法の説明図である。
【図８】従来のパーティクル成分の捕集方法の説明図で
ある。
ある。
【図９】従来の雰囲気の分析装置における冷却除湿器の
外観図である。
外観図である。
【図１０】図９に示す冷却除湿器を含む雰囲気の分析装
置の全体図である。
置の全体図である。
２１,４５…ガス成分捕集部、 ２２,４６…パー
ティクル成分捕集部、２４,４７…ガス成分透過膜チュ
ーブ、２５,４８…ガス成分捕集用吸収液容器、２５a,
４８a…ガス成分捕集用吸収液、２７,３２,５０…１段
目インピンジャ部、２８,５１…１段目パーティクル成
分捕集用吸収液、２９,３４,５２…２段目インピンジャ
部、３０,５３…２段目パーティクル成分捕集用吸収
液、３１…インピンジャ部、 ３３…１段目
捕集用吸収液、３５…２段目捕集用吸収液、 ３
７,５５…吸収液供給タンク、３８,５６…吸収液供給用
送液ポンプ、４０,５８…雰囲気試料吸引ポンプ、４１
…捕集用吸収液送液ポンプ、 ４２…測定待機用容
器、４３,６１…送液開閉バルブ、５９…パーティクル
成分捕集用吸収液送液ポンプ、６０…パーティクル成分
測定待機用容器、６２…分析装置、
６８…雰囲気試料取り込み管、６９…本体、
７０…ディスプレイ、７２…汚染発生警告
ランプ、 ７３…制御用コンピュータ。
ティクル成分捕集部、２４,４７…ガス成分透過膜チュ
ーブ、２５,４８…ガス成分捕集用吸収液容器、２５a,
４８a…ガス成分捕集用吸収液、２７,３２,５０…１段
目インピンジャ部、２８,５１…１段目パーティクル成
分捕集用吸収液、２９,３４,５２…２段目インピンジャ
部、３０,５３…２段目パーティクル成分捕集用吸収
液、３１…インピンジャ部、 ３３…１段目
捕集用吸収液、３５…２段目捕集用吸収液、 ３
７,５５…吸収液供給タンク、３８,５６…吸収液供給用
送液ポンプ、４０,５８…雰囲気試料吸引ポンプ、４１
…捕集用吸収液送液ポンプ、 ４２…測定待機用容
器、４３,６１…送液開閉バルブ、５９…パーティクル
成分捕集用吸収液送液ポンプ、６０…パーティクル成分
測定待機用容器、６２…分析装置、
６８…雰囲気試料取り込み管、６９…本体、
７０…ディスプレイ、７２…汚染発生警告
ランプ、 ７３…制御用コンピュータ。
Claims (3)
- 【請求項１】 雰囲気をガス成分透過膜チューブ内に導
入して、雰囲気中のガス成分を上記ガス成分透過膜チュ
ーブの外周面に接触している第１の吸収液中に捕集し、 上記ガス成分透過膜チューブ内を通過してガス成分が捕
集された後の雰囲気をインピンジャに導入し、第２の吸
収液中へバブリングして雰囲気中のパーティクル成分を
捕集して、 上記雰囲気中の不純物をガス成分とパーティクル成分と
に分けて捕集することを特徴とする雰囲気中不純物の捕
集方法。 - 【請求項２】 雰囲気中不純物の吸収液が注入されたイ
ンピンジャと、 上記インピンジャの内部ガスを吸引して雰囲気を上記イ
ンピンジャ内に取り込んで上記吸収液にバブリングさせ
て、雰囲気中不純物を上記吸収液に捕集させる吸引ポン
プと、 上記雰囲気中不純物が捕集された後の吸収液を分析装置
に送出する第１送液ポンプと、 吸収液が送出された後の上記インピンジャに、吸収液供
給タンク内の吸収液を供給する第２送液ポンプと、 上記吸引ポンプ,第１送液ポンプおよび第２送液ポンプ
の動作を制御して、雰囲気中不純物の捕集と上記吸収液
の分析装置への送出と上記吸収液の供給を連続して繰り
返し行わせる制御手段を備えたことを特徴とする雰囲気
中不純物自動分析装置。 - 【請求項３】 両端が塞がれた筒状のガス成分吸収液容
器と、両端を上記ガス成分吸収液容器の端面に密着して
上記ガス成分吸収液容器内に挿入されたガス成分透過膜
チューブと、このガス成分透過膜チューブの外周面に接
触して上記ガス成分吸収液容器内に満たされたガス成分
吸収液で構成され、上記ガス成分吸収液容器の両端面に
は上記ガス成分透過膜チューブ内に連通する雰囲気の出
入口を有するガス成分捕集部と、 パーティクル成分吸収液が注入されると共に、雰囲気取
り込み口が上記ガス成分捕集部の上記出入口の何れか一
つに連通されているインピンジャと、 上記インピンジャの内部ガスを吸引して雰囲気を上記ガ
ス成分透過膜チューブ内に取り込んで、雰囲気中のガス
成分を上記ガス成分吸収液に捕集させた後、ガス成分捕
集後の雰囲気を上記インピンジャ内に取り込んで上記パ
ーティクル成分吸収液中にバブリングさせて、雰囲気中
のパーティクル成分を上記パーティクル成分吸収液に捕
集させる吸引ポンプと、 上記パーティクル成分が捕集されているパーティクル成
分吸収液を測定待機用容器に送出して待機させる第１送
液手段と、 上記パーティクル成分が待機している間に、上記ガス成
分が捕集されているガス成分吸収液を分析装置に送出す
る第２送液手段と、 上記ガス成分吸収液容器内およびインピンジャ内の吸収
液が送出されると、吸収液供給タンク内の吸収液を上記
ガス成分吸収液容器およびインピンジャに供給する第３
送液手段と、 上記分析装置によるガス成分吸収液の分析が終了する
と、上記測定待機用容器内で待機しているパーティクル
成分吸収液を上記分析装置に送出する第４送液手段と、 上記吸引ポンプおよび第１〜第４送液手段の動作を制御
して、ガス成分およびパーティクル成分別による雰囲気
中不純物の捕集とパーティクル成分吸収液の待機と各吸
収液の上記分析装置への送出と上記ガス成分吸収液容器
およびインピンジャへの吸収液の供給を連続して繰り返
し行わせる制御手段を備えたことを特徴とする雰囲気中
不純物の形態別分析装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216231A JPH0961315A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 雰囲気中不純物の捕集方法および分析装置 |
| US08/678,695 US5725634A (en) | 1995-08-24 | 1996-07-11 | Method for collecting impurities in the atmosphere by state and apparatus for analyzing the same in real time |
| GB9617657A GB2304891B (en) | 1995-08-24 | 1996-08-23 | Method and apparatus for separating impurities from an atmosphere for real time analysis |
| GB9801749A GB2320088B (en) | 1995-08-24 | 1996-08-23 | Apparatus for automatically analysing impurities in an atmosphere |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216231A JPH0961315A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 雰囲気中不純物の捕集方法および分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961315A true JPH0961315A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16685338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7216231A Pending JPH0961315A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 雰囲気中不純物の捕集方法および分析装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5725634A (ja) |
| JP (1) | JPH0961315A (ja) |
| GB (1) | GB2304891B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020143926A (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | 清水建設株式会社 | 医薬品の飛散状態のモニタリングシステム及び医薬品の飛散状態のモニタリング方法 |
| KR20220003947A (ko) * | 2020-07-02 | 2022-01-11 | 주식회사 엘지화학 | 가스 포집 장치 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100217499B1 (ko) * | 1996-12-24 | 1999-09-01 | 윤종용 | 반도체설비 환경분석용 이온크로마토그래피 시스템 |
| KR100265284B1 (ko) * | 1997-05-28 | 2000-09-15 | 윤종용 | 반도체장치 제조용 청정실의 대기중의 수용성 오염물질 분석방법 및 분석장치 |
| KR100257902B1 (ko) * | 1998-03-27 | 2000-06-01 | 윤종용 | 청정실내의환경분석용시스템및환경분석방법 |
| FR2812395B1 (fr) * | 2000-07-31 | 2003-01-10 | Bp Chemicals Snc | Procede et dispositif pour l'analyse d'emission atmospheriques |
| US7092077B2 (en) * | 2001-09-24 | 2006-08-15 | Entegris, Inc. | System and method for monitoring contamination |
| US20040023419A1 (en) * | 2001-09-24 | 2004-02-05 | Extraction Systems, Inc | System and method for monitoring contamination |
| WO2003095983A1 (de) * | 2002-05-10 | 2003-11-20 | Abb Patent Gmbh | Verfahren und einrichtung zur nahme von raumluftproben |
| US20040002126A1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-01 | Michel Houde | Method, device and system for detecting the presence of microorganisms |
| US6890372B2 (en) * | 2003-08-27 | 2005-05-10 | Dionex Corporation | Denuder assembly for collection and removal of soluble atmospheric gases |
| US7513940B2 (en) * | 2005-04-07 | 2009-04-07 | Rural Technologies, Inc. | Air sampling apparatus and method |
| CN103033600A (zh) * | 2012-12-12 | 2013-04-10 | 武汉钢铁(集团)公司 | 一种氨逃逸测定方法和装置 |
| TWM462363U (zh) * | 2013-04-26 | 2013-09-21 | Atlas Technology Corp | 氣體可溶性成分吸收採樣器 |
| CN104677699B (zh) * | 2015-03-06 | 2018-01-09 | 安徽农业大学 | 便携式大气采样装置 |
| CN106644899B (zh) * | 2017-02-15 | 2023-08-18 | 杭州师范大学 | 实时雾霾颗粒物细胞毒性检测装置及检测方法 |
| US20190310202A1 (en) * | 2018-04-09 | 2019-10-10 | Wisys Technology Foundation, Inc. | Real-Time Silica Discriminating Respirable Aerosol Monitor |
| WO2021041420A1 (en) * | 2019-08-26 | 2021-03-04 | Particle Measuring Systems, Inc | Triggered sampling systems and methods |
| EP3933024B1 (en) * | 2020-07-02 | 2022-10-26 | LG Chem, Ltd. | Gas collection device |
| CN112945692A (zh) * | 2021-02-05 | 2021-06-11 | 成都理工大学 | 一种环境水中痕量重金属的鼓泡分离在线富集系统 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3545931A (en) * | 1968-08-28 | 1970-12-08 | Monsanto Co | Ammonia analysis system |
| DE1925582C3 (de) * | 1969-05-20 | 1974-07-04 | Linde Ag, 6200 Wiesbaden | Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von Stoffgemischen mittels Diffusion |
| GB1380572A (en) * | 1971-02-18 | 1975-01-15 | Ass Elect Ind | Separators |
| US3751879A (en) * | 1971-04-26 | 1973-08-14 | Instrumentation Specialties Co | Apparatus for reducing the dissolved gas concentration in a liquid |
| US3911080A (en) * | 1971-09-10 | 1975-10-07 | Wright H Dudley | Air pollution control |
| US3926561A (en) * | 1974-05-13 | 1975-12-16 | Meloy Lab | Gas analysis employing semi-permeable membrane |
| JPS537578A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-24 | Oval Eng Co Ltd | Apparatus and method for treating gases |
| HU177965B (en) * | 1976-12-23 | 1982-02-28 | Hiradastechnikai Gepgyar | Method and apparatus for detecting total organic material content lf gases by means of flame ionization detector |
| US4750918A (en) * | 1985-05-28 | 1988-06-14 | The Trustees Of The Stevens Institute Of Technology | Selective-permeation gas-separation process and apparatus |
| US4772295A (en) * | 1986-05-27 | 1988-09-20 | Nippon Kokan Kabushiki Kaisha | Method for recovering hydrocarbon vapor |
| US4942135A (en) * | 1986-08-04 | 1990-07-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for preconcentrating a sample for subsequent analysis |
| US4915838A (en) * | 1988-03-29 | 1990-04-10 | Honeywell Inc. | Membrane dehumidification |
| US5078759A (en) * | 1990-10-15 | 1992-01-07 | Kira Alan K | Apparatus and method for precipitating particles from a gaseous stream |
| US5143527A (en) * | 1991-04-24 | 1992-09-01 | Tian Song Guo | Waste gas-purifying device |
| US5236474A (en) * | 1991-09-13 | 1993-08-17 | Bend Research, Inc. | Membrane-based removal of condensable vapors |
| DE4213051A1 (de) * | 1992-04-21 | 1993-10-28 | Siemens Ag | Verfahren und Anordnung zum Messen der Konzentration eines Nachweisgases in einem ein Störgas enthaltenden Meßgas |
| JP3376600B2 (ja) * | 1992-04-28 | 2003-02-10 | 富士通株式会社 | 雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置 |
| US5281254A (en) * | 1992-05-22 | 1994-01-25 | United Technologies Corporation | Continuous carbon dioxide and water removal system |
| GB9301377D0 (en) * | 1993-01-25 | 1993-03-17 | Winton Eurotech Limited | Method and apparatus for monitoring air quality |
| US5395426A (en) * | 1993-07-08 | 1995-03-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Interior | Device for the removal and concentration of organic compounds from the atmosphere |
| CA2120682C (en) * | 1994-04-06 | 1999-02-23 | Sabatino Nacson | Improved apparatus for rapid and specific detection of organic vapours |
| US5490884A (en) * | 1994-09-09 | 1996-02-13 | Tastemaker | Method and system for extracting a solute from a fluid using dense gas and a porous membrane |
-
1995
- 1995-08-24 JP JP7216231A patent/JPH0961315A/ja active Pending
-
1996
- 1996-07-11 US US08/678,695 patent/US5725634A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-23 GB GB9617657A patent/GB2304891B/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020143926A (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | 清水建設株式会社 | 医薬品の飛散状態のモニタリングシステム及び医薬品の飛散状態のモニタリング方法 |
| KR20220003947A (ko) * | 2020-07-02 | 2022-01-11 | 주식회사 엘지화학 | 가스 포집 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB9617657D0 (en) | 1996-10-02 |
| GB2304891A (en) | 1997-03-26 |
| GB2304891B (en) | 1998-09-16 |
| US5725634A (en) | 1998-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0961315A (ja) | 雰囲気中不純物の捕集方法および分析装置 | |
| RU2242738C1 (ru) | Пробоотборник воздуха | |
| JP5762273B2 (ja) | ミスト含有ガス分析装置 | |
| CN114270165A (zh) | 触发式采样系统和方法 | |
| US6470760B2 (en) | Method and apparatus for automatically analyzing trace substance | |
| CN109946123A (zh) | 一种大气气溶胶在线捕集及化学成分检测的方法与装置 | |
| US4479379A (en) | Method and apparatus for continuous analysis of a gas and particulate stream | |
| US6497136B2 (en) | Trace-level gas analysis apparatus and method | |
| US5861316A (en) | Continuous emission monitoring system | |
| US20070107495A1 (en) | Particle adsorption chamber, sampling apparatus having a particle adsorption chamber, and sampling method using the same | |
| WO2013094628A1 (ja) | ミスト含有ガス分析装置 | |
| KR102005674B1 (ko) | 공기 중 바이러스 및 곰팡이 측정 방법 | |
| KR101027645B1 (ko) | 샘플링 포트 클리닝 수단을 구비한 가스 모니터링 시스템 | |
| EP3372984B1 (en) | Gas-borne fine particle measuring instrument and clean environmental device | |
| US3960523A (en) | Effluent gas monitor | |
| JPH10332552A (ja) | 半導体装置製造用清浄室の大気中の水溶性汚染物質分析方法及び分析装置 | |
| JP2009079980A (ja) | 大気中汚染物質捕集装置及び方法 | |
| JP4693268B2 (ja) | 試料水の水質評価方法 | |
| JP3545161B2 (ja) | エアロゾル中化学成分の捕集抽出装置 | |
| KR101547167B1 (ko) | 가스 시료의 메탈에 대한 온라인 모니터링 시스템 | |
| GB2320088A (en) | Collection and analysis of contaminants in an atmosphere | |
| JP6814074B2 (ja) | 洗浄液の汚染監視方法、洗浄液の汚染監視システム及び洗浄液精製装置 | |
| JPH10104133A (ja) | ガス試料採取装置 | |
| JP3843568B2 (ja) | 気体中の微量成分の捕集装置 | |
| JP2003014713A (ja) | ガス成分自動分析装置 |