JPS60117807A - 表面波フィルタの帯域調整方法 - Google Patents
表面波フィルタの帯域調整方法Info
- Publication number
- JPS60117807A JPS60117807A JP22323483A JP22323483A JPS60117807A JP S60117807 A JPS60117807 A JP S60117807A JP 22323483 A JP22323483 A JP 22323483A JP 22323483 A JP22323483 A JP 22323483A JP S60117807 A JPS60117807 A JP S60117807A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- comb
- pole
- trap
- photomask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
- H03H3/10—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves for obtaining desired frequency or temperature coefficient
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
いる、くシ形電極を有する表面波フィルタの帯域調整方
法匠関する。
法匠関する。
（従来例の構成とその問題点）
従来、この種の表面波フィルタは、一度エッチングによ
シくシ形電極を作成すると、そのままス −クライブし
てチップとし、組立てていた。その為くし形電極の線幅
（第１図のａ）が太くても細くても完成品と入っていた
為、第２図の如く、トラップｄの周波数が、実線すと破
線Ｃに示される通りいろいろとばらつく傾向があった。
シくシ形電極を作成すると、そのままス −クライブし
てチップとし、組立てていた。その為くし形電極の線幅
（第１図のａ）が太くても細くても完成品と入っていた
為、第２図の如く、トラップｄの周波数が、実線すと破
線Ｃに示される通りいろいろとばらつく傾向があった。
通常トラップの極の周波数はある周波数と決められてい
る為、極の周波数がばらつくと減衰量が不足し、映像機
器の場合隣接チャンネルの妨害という問題が発生してい
た。
る為、極の周波数がばらつくと減衰量が不足し、映像機
器の場合隣接チャンネルの妨害という問題が発生してい
た。
（発明の目的）
本発明は、前記のトラップの極の周波数のばらつきを極
力抑え、トラップ周波数の減衰量をより大きくすること
を可能にする表面波フィルタの帯域調整方法を提供する
ことを目的とする。
力抑え、トラップ周波数の減衰量をより大きくすること
を可能にする表面波フィルタの帯域調整方法を提供する
ことを目的とする。
（発明の構成）
上記目的を達成するために本発明は、ウェハ完成後、ク
シ形電極を除去又は付加することにより帯域調整を行う
ことを特徴としたものである。
シ形電極を除去又は付加することにより帯域調整を行う
ことを特徴としたものである。
（実施例の説明）
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
先ず、圧電基板１上にＡｔ （アルミ）を蒸着し、ふ
任意のフォトマスクを使ってくし形電極をエッチングに
よって作成し、第３図に示すチップを完成させる。この
後、ウェハチェッカーで、入力９゜１０、出力１１．１
２の・ぐラドに信号入出力端子を当てて周波数特性をチ
ェックする。このとき、トラップ極ｄ（第２図）の周波
数を調べ、規定の周波数より帯域内によっている場合（
破線Ｃ）は、第４図のフォトマスクを使用し、第３図の
くし形電極５，６をエツチングで除去する。こうすると
極の周波数は帯域外へ広がシ、規定の周波数にトラップ
の極がくる。
よって作成し、第３図に示すチップを完成させる。この
後、ウェハチェッカーで、入力９゜１０、出力１１．１
２の・ぐラドに信号入出力端子を当てて周波数特性をチ
ェックする。このとき、トラップ極ｄ（第２図）の周波
数を調べ、規定の周波数より帯域内によっている場合（
破線Ｃ）は、第４図のフォトマスクを使用し、第３図の
くし形電極５，６をエツチングで除去する。こうすると
極の周波数は帯域外へ広がシ、規定の周波数にトラップ
の極がくる。
又、逆に第２図の実線すの如き波形であれば第４図のフ
ォトマスクを使ってリフトオフ法によシくし形電極３，
４をパッド電極９に接続する。
ォトマスクを使ってリフトオフ法によシくし形電極３，
４をパッド電極９に接続する。
すなわち、ウェハ全面にレジストを塗布し乾燥後・第４
図のフォトマスクを使って露光、現像。
図のフォトマスクを使って露光、現像。
リンスして第３図の１３で示す窓をあける、この上にア
ルミを蒸着した後、レジストハクリ液に浸し窓１３につ
いたアルミ以外をレジストとともに除去することに−よ
り行う。こうするとトラップ極は帯域内によってくる為
、目的の周波数にトラップ極をもってくることができる
。
ルミを蒸着した後、レジストハクリ液に浸し窓１３につ
いたアルミ以外をレジストとともに除去することに−よ
り行う。こうするとトラップ極は帯域内によってくる為
、目的の周波数にトラップ極をもってくることができる
。
（発明の効果） ′
以上のように、本発明によればトラップ極周波数を微調
できる為、従来トララフ０減衰量子足で除去されていた
不良品が再生されることになり、完成品歩留シの向上に
寄与すること犬である。
できる為、従来トララフ０減衰量子足で除去されていた
不良品が再生されることになり、完成品歩留シの向上に
寄与すること犬である。
第１図はくし形電極の説明図、第２図は周波数特性のバ
ラツキについての説明図、第３図は本発明の一実施例に
ついて説明するために示したチップの平面図、第４図は
本発明の一実施例に用いるくし形電極エツチング用のフ
ォトマスクの一例を示す図、である。 １・・・圧電基板、２・・・くし形電極、３〜６・微調
用くし形電極、７・・・フォトマスク、８・・・窓、９
゜１０・・入力側パッド電極、１１．１２・・・出力側
パッド電極、ａ・・・くし形電極の幅、ｂ、ｃ・・・周
波数特性、ｄ・・トラップ極。 第１図 第３図 第４図
ラツキについての説明図、第３図は本発明の一実施例に
ついて説明するために示したチップの平面図、第４図は
本発明の一実施例に用いるくし形電極エツチング用のフ
ォトマスクの一例を示す図、である。 １・・・圧電基板、２・・・くし形電極、３〜６・微調
用くし形電極、７・・・フォトマスク、８・・・窓、９
゜１０・・入力側パッド電極、１１．１２・・・出力側
パッド電極、ａ・・・くし形電極の幅、ｂ、ｃ・・・周
波数特性、ｄ・・トラップ極。 第１図 第３図 第４図
Claims (1)
- ウェハ完成後、くシ形電極を除去又は付加することによ
多帯域調整を行うことを特徴とするくし形電極を有する
表面波フィルタの帯域調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22323483A JPS60117807A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 表面波フィルタの帯域調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22323483A JPS60117807A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 表面波フィルタの帯域調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60117807A true JPS60117807A (ja) | 1985-06-25 |
Family
ID=16794897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22323483A Pending JPS60117807A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 表面波フィルタの帯域調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60117807A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5090269A (ja) * | 1973-12-11 | 1975-07-19 | ||
| JPS5168558A (en) * | 1974-11-02 | 1976-06-14 | Bayer Ag | Kuroruantorakinon moshikuha puromuantorakinon no seizohoho |
| JPS5258340A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-13 | Toko Inc | Surface acoustic wave device |
-
1983
- 1983-11-29 JP JP22323483A patent/JPS60117807A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5090269A (ja) * | 1973-12-11 | 1975-07-19 | ||
| JPS5168558A (en) * | 1974-11-02 | 1976-06-14 | Bayer Ag | Kuroruantorakinon moshikuha puromuantorakinon no seizohoho |
| JPS5258340A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-13 | Toko Inc | Surface acoustic wave device |
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