JPS60113237A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
- Publication number
- JPS60113237A JPS60113237A JP22174783A JP22174783A JPS60113237A JP S60113237 A JPS60113237 A JP S60113237A JP 22174783 A JP22174783 A JP 22174783A JP 22174783 A JP22174783 A JP 22174783A JP S60113237 A JPS60113237 A JP S60113237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- manufactured
- phosphoric acid
- resin composition
- copper foil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/085—Photosensitive compositions characterised by adhesion-promoting non-macromolecular additives
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
する感光性樹脂糺成物に関するものであり、特にプリン
ト配線基板の半田マスクとして被着形成される所謂ソル
ターレジストの如きカノ・−コート層に用いて好適な感
光性樹脂組成物に関するものである。
ト配線基板の半田マスクとして被着形成される所謂ソル
ターレジストの如きカノ・−コート層に用いて好適な感
光性樹脂組成物に関するものである。
一般にプリント配線基板においては、銅箔をパターンエ
ソチンクして形成される配線パターンの保護及び絶縁を
図り、また、半田テイツプの際の半田マスクとして作用
するソルグーレジスト等のカバーコート層がその表面に
被着形成されている。
ソチンクして形成される配線パターンの保護及び絶縁を
図り、また、半田テイツプの際の半田マスクとして作用
するソルグーレジスト等のカバーコート層がその表面に
被着形成されている。
そして、このカバーコート層にあっては、例えば接続用
ランド部等に半田が被着するように上記配線パターンの
所定の部分を露出させるための窓部を設ける必要があり
、このためパターン露光による現像が可能な感光性樹脂
組成物が広く用いられている。
ランド部等に半田が被着するように上記配線パターンの
所定の部分を露出させるための窓部を設ける必要があり
、このためパターン露光による現像が可能な感光性樹脂
組成物が広く用いられている。
ところが、上記感光性樹脂組成物は４１・ｊ箔との密着
性が悪いので、そのまま力ハーコート層に用いると簡単
に剥離してしまったり半田テイツプを施した後にカバー
コート層にふくれが生じる等の問題かある。
性が悪いので、そのまま力ハーコート層に用いると簡単
に剥離してしまったり半田テイツプを施した後にカバー
コート層にふくれが生じる等の問題かある。
そこで従来は、ベンゾトリアソール、ヘンズイミタノー
ル、ヘンズチアゾール等の感光性樹脂にリン酸化合物を
添加したり、ハルヒト−ル誘導体やヒタントイン誘導体
等の感光性樹脂に表面処理タルクを混入する等の方法に
より、ＩＬ銅箔との密着性を改善することが試みられて
いる。しかしなから、このような多官能成分が多い樹脂
に対しては、上記リン酸化合物や表面処理タルクを併用
しても光分な効果が得られず、そこでさらに多官能モノ
マーを減らして単官能上ツマ−を増やし樹脂中の多官能
成分を減少して密着性を確保するという試みもなされて
いるが、この場合には光硬化性すなわち光に対する感度
が低下したり得られる塗膜の強度や耐薬品性が低下する
等の欠点が生じてしまっている。
ル、ヘンズチアゾール等の感光性樹脂にリン酸化合物を
添加したり、ハルヒト−ル誘導体やヒタントイン誘導体
等の感光性樹脂に表面処理タルクを混入する等の方法に
より、ＩＬ銅箔との密着性を改善することが試みられて
いる。しかしなから、このような多官能成分が多い樹脂
に対しては、上記リン酸化合物や表面処理タルクを併用
しても光分な効果が得られず、そこでさらに多官能モノ
マーを減らして単官能上ツマ−を増やし樹脂中の多官能
成分を減少して密着性を確保するという試みもなされて
いるが、この場合には光硬化性すなわち光に対する感度
が低下したり得られる塗膜の強度や耐薬品性が低下する
等の欠点が生じてしまっている。
このためさらに従来は、あらかじめ上記釦１箔表面に対
してカップリンク剤処理を施したり、熱へ一キンクによ
りカバーフート層の応力の緩和を図る等の方法も考えら
れているが、この場合には工程の複雑化による生産性の
低下や銅箔の劣化、基板の熱による反り、ねじれ等カシ
問題となる。
してカップリンク剤処理を施したり、熱へ一キンクによ
りカバーフート層の応力の緩和を図る等の方法も考えら
れているが、この場合には工程の複雑化による生産性の
低下や銅箔の劣化、基板の熱による反り、ねじれ等カシ
問題となる。
そこで本発明は、光硬化性を低下することなく銅箔との
密着性を向上することが可能な感光性樹脂組成物を提供
することを目的とし、さらにプリント配線基板のカバー
コート層に適用してこのプリント配線基板の品質や生産
性を向上することが可能な感光性樹脂組成物を提供する
ことを目的とする。
密着性を向上することが可能な感光性樹脂組成物を提供
することを目的とし、さらにプリント配線基板のカバー
コート層に適用してこのプリント配線基板の品質や生産
性を向上することが可能な感光性樹脂組成物を提供する
ことを目的とする。
本発明者等は、上述の如き目的を達成せんもの性に優れ
た感光性樹脂にリン酸化合物と有機過酸化物を併用添加
することにより、この樹脂の光硬化性を損なうことなく
銅箔に対する密着性を向上することができることを見出
し本発明を完成したものであって、末端に二重結合を２
以１−有する第１の不飽和化合物と、末端に二重結合を
イ１する嬉２の不飽和化合物と、光重合増加剤と、リン
酸化合物と、有機過酸化物とを含有してなるものである
。
た感光性樹脂にリン酸化合物と有機過酸化物を併用添加
することにより、この樹脂の光硬化性を損なうことなく
銅箔に対する密着性を向上することができることを見出
し本発明を完成したものであって、末端に二重結合を２
以１−有する第１の不飽和化合物と、末端に二重結合を
イ１する嬉２の不飽和化合物と、光重合増加剤と、リン
酸化合物と、有機過酸化物とを含有してなるものである
。
上記末端に二重結合を２以上有する第１の不飽和化合物
としては、少なくとも分子の両末端にアクリロイル基や
メタクリロイル基等を有する化合物が挙げられ、例えば
、 （ｌｉ式 （式中、ｎは整数を表わし、またＲ１は−Ｈ１ＣＨｓ等
を表わし、Ｒ２は−Ｈ、ＣＨｓ 。
としては、少なくとも分子の両末端にアクリロイル基や
メタクリロイル基等を有する化合物が挙げられ、例えば
、 （ｌｉ式 （式中、ｎは整数を表わし、またＲ１は−Ｈ１ＣＨｓ等
を表わし、Ｒ２は−Ｈ、ＣＨｓ 。
−Ｂｒ、−Ｃｅ等を表わす。）
で示されるフェノールノボラックエポキシアクリレート
あるいはメタクリレート （２）式 （式中、ｎは整数を表わし、またＲ１は−Ｈ。
あるいはメタクリレート （２）式 （式中、ｎは整数を表わし、またＲ１は−Ｈ。
−ＣＨＪ等ヲ表ワシ、Ｒ２バーＨ、ＣＨ３。
−Ｂｒ、−Ｃ１等を表わす。）
で示されるビスフェノールＡ 型エポキシアクリレート
あるいはメタクリルレート （３１式 （式中、Ｒ＋は−Ｈ，−ＣＩＩ３等を表わし、Ｒ・３は
２価の炭化水素基を表わす。） で示される脂環型エポキシアクリレ−１・あるいはメタ
クリルート 等が挙げられる。この第１の不飽和化合物はヘースレソ
ンであり、本発明の感光性（ゐ１脂組成物が硬化した際
に骨格となる成分である。
あるいはメタクリルレート （３１式 （式中、Ｒ＋は−Ｈ，−ＣＩＩ３等を表わし、Ｒ・３は
２価の炭化水素基を表わす。） で示される脂環型エポキシアクリレ−１・あるいはメタ
クリルート 等が挙げられる。この第１の不飽和化合物はヘースレソ
ンであり、本発明の感光性（ゐ１脂組成物が硬化した際
に骨格となる成分である。
まｔ二、本発明による感光性樹脂組成物には、その粘性
や形成される塗膜の物性を調整するために、末端に二重
結合を有する第２の不飽和化合物が希釈モノマーとして
加えられる。この第２の不飽和化合物としては、多官能
アクリレ−１直あるいはメタクリレート）や２官能アク
リレ−１・（あるいはメタクリレート）、単官能アク’
ＩＩ／−ト（あるいはメタクリルート）等が挙げられる
が、目的に応じて・これらを単独あるいは２種以上混合
して使用することができる。
や形成される塗膜の物性を調整するために、末端に二重
結合を有する第２の不飽和化合物が希釈モノマーとして
加えられる。この第２の不飽和化合物としては、多官能
アクリレ−１直あるいはメタクリレート）や２官能アク
リレ−１・（あるいはメタクリレート）、単官能アク’
ＩＩ／−ト（あるいはメタクリルート）等が挙げられる
が、目的に応じて・これらを単独あるいは２種以上混合
して使用することができる。
そして、上記多官能アクリレート（あるいはメタクリル
−１〜）さしては、オリゴエステルアクリレート（例え
ば東亜合成社製、Ｍ８０６０．Ｍ３［＋３０．Ｍ７１０
０．Ｍ８１００）やトリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトール１ヘリアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールへキサアクリレート、テトラヒＩ
・ロフリルアクリレート等が挙げられる。また、上記２
官能アクリレート（あるいはメック１月／−１・）とし
ては、］、］３−ブクンンオールジアクリレート１，６
−ヘキサンシオールジアクリレート、ジエチレングリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルクリコールジアクリ
レート、ポリエチレンクリコールジアクリレート、ヒド
ロキシピバリン酸エステルネオペンチルクリコールシア
クリレート等が挙げられ、商品名ビスコ−１−＃、 ３
７０υ、＃７［１０（大阪有機社製）や商品名ＭＡＮＤ
Ａ（日本化薬社製）、商品名７ｏ＝ツクスＭ６１００
、 Ｍ６２００ 、 Ｍ６２５（１，Ｍ６３（ｌＩｌ、
Ｍ６５（１（１（東亜合成社製）等が市販されている。
−１〜）さしては、オリゴエステルアクリレート（例え
ば東亜合成社製、Ｍ８０６０．Ｍ３［＋３０．Ｍ７１０
０．Ｍ８１００）やトリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトール１ヘリアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールへキサアクリレート、テトラヒＩ
・ロフリルアクリレート等が挙げられる。また、上記２
官能アクリレート（あるいはメック１月／−１・）とし
ては、］、］３−ブクンンオールジアクリレート１，６
−ヘキサンシオールジアクリレート、ジエチレングリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルクリコールジアクリ
レート、ポリエチレンクリコールジアクリレート、ヒド
ロキシピバリン酸エステルネオペンチルクリコールシア
クリレート等が挙げられ、商品名ビスコ−１−＃、 ３
７０υ、＃７［１０（大阪有機社製）や商品名ＭＡＮＤ
Ａ（日本化薬社製）、商品名７ｏ＝ツクスＭ６１００
、 Ｍ６２００ 、 Ｍ６２５（１，Ｍ６３（ｌＩｌ、
Ｍ６５（１（１（東亜合成社製）等が市販されている。
さらに、−に記単官能アクリレート（あるいはメダクリ
レ−１・）としては、亭 ヒトロキエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタク
リレ−１〜、商品名１１０Ａ−ＭＰＥ（共栄社製）、商
品名アロエックスＭ５７００ （東亜合成社製）等が挙
げられる。
レ−１・）としては、亭 ヒトロキエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタク
リレ−１〜、商品名１１０Ａ−ＭＰＥ（共栄社製）、商
品名アロエックスＭ５７００ （東亜合成社製）等が挙
げられる。
上記第１の不飽和化合物及び第２の不飽和化合物の混合
針は適宜変更することが可能であるが、第１の不飽和化
合物は１０〜１００］ｔｎｔ部、嬉２の不飽和化合物は
３０〜２１０重量部の範囲であることが好ましい。
針は適宜変更することが可能であるが、第１の不飽和化
合物は１０〜１００］ｔｎｔ部、嬉２の不飽和化合物は
３０〜２１０重量部の範囲であることが好ましい。
さらｔこ、上記感光性樹脂組成物には、紫外線を照射し
たときに上記第１の不飽和化合物や第２の不飽和化合物
か光励起されて容易に光コ１（合反応を開始するように
光重合増加剤が添加される。この光重合増加剤としては
、一般に重合開始剤として使用されているものであれば
いかなるものであっても使用することができるが、例え
ば次式に示す化合物が挙げられる。
たときに上記第１の不飽和化合物や第２の不飽和化合物
か光励起されて容易に光コ１（合反応を開始するように
光重合増加剤が添加される。この光重合増加剤としては
、一般に重合開始剤として使用されているものであれば
いかなるものであっても使用することができるが、例え
ば次式に示す化合物が挙げられる。
ｉｌ
Ｈｊ
Ｈ
（ａ） Ｏ０
（９）Ｏ
Ｑｌ ０
０ＣＨ（ＣＨｓ）２
（Ｉｌｌ ０
０４ ０
（１勇 Ｏ
０４ ０ ０ＣｚＨｓ
ＯＣｚＨｉ
ｌ
θ呻 ０
１
上記光重合増加剤はｌ−１０重量部の割合で添加される
。添加量が１重箇′部未満では感光性樹脂組成物が光に
よって硬化しにくく、また添加量が１０重量部を越える
と感光性樹脂組成物の塗膜物性が低下してしまう。
。添加量が１重箇′部未満では感光性樹脂組成物が光に
よって硬化しにくく、また添加量が１０重量部を越える
と感光性樹脂組成物の塗膜物性が低下してしまう。
さらに、本発明において重要なこ吉は、上記感光性樹脂
組成物にはリン酸化合物と有機過酸化物が併用添加され
ていることである。上ＫＬ ’Ｊン酸化合物や有機過酸
化物の果す役割の詳細については不明であるが、これら
リン酸化合物と有機過酸化物を添加することにより上記
感光性樹脂組成物の光硬化性や得られる塗膜の銅箔に対
する密着性が大幅に改善されるので、上記リン酸化合物
や有機過酸化物が重合反応の促進や金属との′Ｉｉｔ和
力等の点で関与しているものと考えられる。
組成物にはリン酸化合物と有機過酸化物が併用添加され
ていることである。上ＫＬ ’Ｊン酸化合物や有機過酸
化物の果す役割の詳細については不明であるが、これら
リン酸化合物と有機過酸化物を添加することにより上記
感光性樹脂組成物の光硬化性や得られる塗膜の銅箔に対
する密着性が大幅に改善されるので、上記リン酸化合物
や有機過酸化物が重合反応の促進や金属との′Ｉｉｔ和
力等の点で関与しているものと考えられる。
ところで、上に’Ｊン酸化合物としては、第１表に示す
化合物が挙げられ、それぞれ給１表中右側に示す商品名
で市販されている。
化合物が挙げられ、それぞれ給１表中右側に示す商品名
で市販されている。
／′
／
、／′
／
７／
第１表
上記リン酸化合物は１〜ｌＯ重量部０）割合で添カロ（
ただし、式中）１．］−４及び１ｔはそれぞれ１価の炭
化水素基を表イつす。） で示されるバーオキシケタール、例えば商品名バー・＼
キサ３Ｍ（日本油脂社製）等 （３）式 ％式％ （たたし、式中１１は１価の炭化水素基を表わす。） で示されるハイドロバーオキサイｌ’、例えば商品名バ
′−ブチル１−■（日本油脂社製）、商品名バ′−クミ
ルＨ（日本油脂社製）等 （４）式 １七−〇−〇−ル （たたし、式中１１及び比はそれぞれ１価の炭化水素基
を表わす。） で示されるジアルキルパーオキサイド、例えば商品名バ
ーブチルＤ（日本油脂社製）、商品名バークミルＤ（日
本油脂社Ｍ）等 （５）式 Ｃ＞ ０ １１Ｌ −Ｃ−０−０−Ｃ−１（ （たた゛し、式中Ｒは１価の炭化水素基を表わす。） で示されるジアシルパーオキサイド、例えは商品名バー
ロイルＰ（日本油脂社製）、商品名ナイバ−Ｂ（日本油
脂社製）等 （６）式 ％式％ （ただし、式中Ｒ及びＩＬｆ才１価の炭化水素基を表わ
す。） で示されるパーオキシエステル、例えば商品名バーブチ
ルＩＢ（日本油脂社製）、商品名バーへキサ２５Ｚ（＝
ＥＩ本油脂社製）等 （７）式 ％式％ （１ （たたし、式中Ｒは１価の炭化水素基を表わす。） て示されるバーオキシジカーボ不−１・、例えば商品名
バーロイルＩＰＰ（日本油脂ｒ１−製）、商品名バーヘ
キサＡＣ８（日本油脂社製）等 等が挙げられる。この有機過酸化物も１〜１０重量部の
範囲で添加することが好ましい。上記有機過酸化物の添
加量か１重量部未満であると充分な効果が得られない。
ただし、式中）１．］−４及び１ｔはそれぞれ１価の炭
化水素基を表イつす。） で示されるバーオキシケタール、例えば商品名バー・＼
キサ３Ｍ（日本油脂社製）等 （３）式 ％式％ （たたし、式中１１は１価の炭化水素基を表わす。） で示されるハイドロバーオキサイｌ’、例えば商品名バ
′−ブチル１−■（日本油脂社製）、商品名バ′−クミ
ルＨ（日本油脂社製）等 （４）式 １七−〇−〇−ル （たたし、式中１１及び比はそれぞれ１価の炭化水素基
を表わす。） で示されるジアルキルパーオキサイド、例えば商品名バ
ーブチルＤ（日本油脂社製）、商品名バークミルＤ（日
本油脂社Ｍ）等 （５）式 Ｃ＞ ０ １１Ｌ −Ｃ−０−０−Ｃ−１（ （たた゛し、式中Ｒは１価の炭化水素基を表わす。） で示されるジアシルパーオキサイド、例えは商品名バー
ロイルＰ（日本油脂社製）、商品名ナイバ−Ｂ（日本油
脂社製）等 （６）式 ％式％ （ただし、式中Ｒ及びＩＬｆ才１価の炭化水素基を表わ
す。） で示されるパーオキシエステル、例えば商品名バーブチ
ルＩＢ（日本油脂社製）、商品名バーへキサ２５Ｚ（＝
ＥＩ本油脂社製）等 （７）式 ％式％ （１ （たたし、式中Ｒは１価の炭化水素基を表わす。） て示されるバーオキシジカーボ不−１・、例えば商品名
バーロイルＩＰＰ（日本油脂ｒ１−製）、商品名バーヘ
キサＡＣ８（日本油脂社製）等 等が挙げられる。この有機過酸化物も１〜１０重量部の
範囲で添加することが好ましい。上記有機過酸化物の添
加量か１重量部未満であると充分な効果が得られない。
また、添加量が１０重量部を越えると、ゲル化や気泡が
発生し、硬化が不光分なものとなって塗膜強度が低下し
たり、密着性が悪化する等の悪影響を及ぼず。
発生し、硬化が不光分なものとなって塗膜強度が低下し
たり、密着性が悪化する等の悪影響を及ぼず。
さらにまた、上記感光性樹脂組成物には、用途に応じて
無機フィラーやレー・リンク剤、着色料等を加えてもよ
い。
無機フィラーやレー・リンク剤、着色料等を加えてもよ
い。
以上述べたような組成を有する本発明の感光性樹脂組成
物は、銅箔に対する密着性が良好で、プリント配線基板
のカバーコート層として用いた場合に、常温での密着性
が良好であるのはもちろんのこと、半田ディツプ等の半
田処理後にもふくれや密着性の低下が生ずることはない
。
物は、銅箔に対する密着性が良好で、プリント配線基板
のカバーコート層として用いた場合に、常温での密着性
が良好であるのはもちろんのこと、半田ディツプ等の半
田処理後にもふくれや密着性の低下が生ずることはない
。
さらに、本発明による感光性樹脂組成物は光硬化性にお
いても優れ、例えば窒素雰囲気中で波長３５５＋１ｍの
紫外線を４０ｍＪ／−照射することにより１００μピツ
チの微細パターンをイＩＩることができた。
いても優れ、例えば窒素雰囲気中で波長３５５＋１ｍの
紫外線を４０ｍＪ／−照射することにより１００μピツ
チの微細パターンをイＩＩることができた。
このように、本発明によれば感光性イ６１脂組成物の光
硬化性や銅箔との密着性を大幅に改善することができ、
この感光性樹脂組成物をプリント配線基板のソルダーレ
ジストの如きカバーコート層に適用することによりこの
プリント配線基板の品質や生産性等を向上することが可
能とｔ゛っている。
硬化性や銅箔との密着性を大幅に改善することができ、
この感光性樹脂組成物をプリント配線基板のソルダーレ
ジストの如きカバーコート層に適用することによりこの
プリント配線基板の品質や生産性等を向上することが可
能とｔ゛っている。
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本
発明がこれら実施例に限定されるものでないことは言う
までもない。
発明がこれら実施例に限定されるものでないことは言う
までもない。
実施例１
甲−
フェノールボフックエポキシアクリレ−１２６重量部（
商品名 ＥＰＰＮアクリレート、１１本化某社製）多官
能アクリレート ２４重量部 （商品名 アロエックスＭ８０６０．東１ｆ’合成社製
）２′自能アクリレート ３０重量部 （商品名 ビスコート３７００．大阪有機社製）２丘能
アクリレート ２６重量部 （商品名 ＭＡＮＤＡ、日本油脂社製）ヘンジルメチル
ケタール ４重量部 （商品名 イルカキュア６５１．チハカイギー社製）リ
ン酸エステルメタクリレート ３重量部（商品名 ＰＭ
−２，日本化薬社製） メチルエチルケトンパーオキサイド ２重量部（商品名
バーメックＮ１日本油脂社製）タルク ３ｏ重量部 （商品名 ファインタルクＰ−３２日本タルク社製）レ
ヘリンク剤 １重量部 （商品名 フェレノールｌ−３．ヘンケル社製）レヘリ
ンク剤 ０．１重量部 （商品名 ＢＹＫＯ２０、ＢＹＫ社製）着色料 ０．１
重量部 （商品名 ヘリオゲンクリーン、ＢＡＳＦ社製）上記組
成物を光分攪拌した後、大理石製のロールを通して分散
を行ない感光性樹脂組成物を調製した。
商品名 ＥＰＰＮアクリレート、１１本化某社製）多官
能アクリレート ２４重量部 （商品名 アロエックスＭ８０６０．東１ｆ’合成社製
）２′自能アクリレート ３０重量部 （商品名 ビスコート３７００．大阪有機社製）２丘能
アクリレート ２６重量部 （商品名 ＭＡＮＤＡ、日本油脂社製）ヘンジルメチル
ケタール ４重量部 （商品名 イルカキュア６５１．チハカイギー社製）リ
ン酸エステルメタクリレート ３重量部（商品名 ＰＭ
−２，日本化薬社製） メチルエチルケトンパーオキサイド ２重量部（商品名
バーメックＮ１日本油脂社製）タルク ３ｏ重量部 （商品名 ファインタルクＰ−３２日本タルク社製）レ
ヘリンク剤 １重量部 （商品名 フェレノールｌ−３．ヘンケル社製）レヘリ
ンク剤 ０．１重量部 （商品名 ＢＹＫＯ２０、ＢＹＫ社製）着色料 ０．１
重量部 （商品名 ヘリオゲンクリーン、ＢＡＳＦ社製）上記組
成物を光分攪拌した後、大理石製のロールを通して分散
を行ない感光性樹脂組成物を調製した。
次に、得られた感光性樹脂組成物を、ローラコータ（サ
ーマトロニクス社製）を用いてエソチンク処理され銅箔
パターンが形成されるノＪラスエポキシ基板上に全面塗
布した。さらに、この基板を上面が不ノＪパターンが形
成さ′４したバイレックスカラスで覆われる窒素雰囲気
ボックス内に入れ、このボックス内の窒素濃度が９９φ
以にとなったことを確認して、超高圧水欽灯（ウシオ電
機社製）を点光源として用いて半行光による露光を行な
った。
ーマトロニクス社製）を用いてエソチンク処理され銅箔
パターンが形成されるノＪラスエポキシ基板上に全面塗
布した。さらに、この基板を上面が不ノＪパターンが形
成さ′４したバイレックスカラスで覆われる窒素雰囲気
ボックス内に入れ、このボックス内の窒素濃度が９９φ
以にとなったことを確認して、超高圧水欽灯（ウシオ電
機社製）を点光源として用いて半行光による露光を行な
った。
上記平行光を照射するたｙ）には、第１図に示すようｔ
ｊ゛平行光諒装置を用いた。この平行光源装置ｌＪは、
極間が極めて狭い点光源１て発生する光を楕円ミラー２
て集光し、第１の反射ミラー３によりインチクＩ／−タ
ーレンズ群４に２４いて光強度の分布を一様とした後、
第２０）反則ミラー５によりコリメータレンズ６に導い
て平行ｊｔを得るというものである。この平行光の平行
度は視角で±３°以内であることが望ましく、平行度か
悪いと位置すれや像の太りを生じて鞘厚の艮いパターン
の形成が困ｔ１＃なものとなってしまう。なお、上記露
光時の露光量は、２ ｍ Ｗ ／ ｏ’Ａの照度で２０
秒間の照射とした。
ｊ゛平行光諒装置を用いた。この平行光源装置ｌＪは、
極間が極めて狭い点光源１て発生する光を楕円ミラー２
て集光し、第１の反射ミラー３によりインチクＩ／−タ
ーレンズ群４に２４いて光強度の分布を一様とした後、
第２０）反則ミラー５によりコリメータレンズ６に導い
て平行ｊｔを得るというものである。この平行光の平行
度は視角で±３°以内であることが望ましく、平行度か
悪いと位置すれや像の太りを生じて鞘厚の艮いパターン
の形成が困ｔ１＃なものとなってしまう。なお、上記露
光時の露光量は、２ ｍ Ｗ ／ ｏ’Ａの照度で２０
秒間の照射とした。
続いて、超音波洗浄槽を用いて１分間現像を施し、さら
に水洗、乾燥した後、水銀メタ／）ラランブ（アイクラ
フィック社製）３灯を用いて１００Ｗ１０ｎの光量で紫
外線によるアフターキュアを行なった。なお、上記現像
時の現像液としては共栄社製ユニクリソＣ５０％水溶液
を５０℃に加温したものを用いた。
に水洗、乾燥した後、水銀メタ／）ラランブ（アイクラ
フィック社製）３灯を用いて１００Ｗ１０ｎの光量で紫
外線によるアフターキュアを行なった。なお、上記現像
時の現像液としては共栄社製ユニクリソＣ５０％水溶液
を５０℃に加温したものを用いた。
以上の工程を経て、上記ガラスエポキシ基板上に上記感
光性樹脂組成物からなるノノハーコ−１・層を形成した
。
光性樹脂組成物からなるノノハーコ−１・層を形成した
。
こυ〕カバーコート層に対してクロスカットピーステス
トを行なったところ、銅箔パターン上においてもガラス
エポキシ基板上においても上Ｒｔ Ｊツバ−コート層の
剥離は見られなかった。なお、上記クロスカッ１−ピー
ステストは、上記ノノハーコ−１・層を刃物を用いて銅
箔パターンあるいはカラスエポキシ基板に達するまてｌ
ｍＡ Ｘ ｌ ｈｔａ＋の基盤目状にクロスノノソ１
−シ、粘着テープをこすり付けた後、この粘着テープを
」二方にひき剥がし、上記クロスカットされたカバーコ
ート層切片１００個のうちイＩ】目固争１ ＋ａするか
によってその’２Ｆｉメ゛Ｎ（’１４ｇ、 ＋量定ずろ
ものである。
トを行なったところ、銅箔パターン上においてもガラス
エポキシ基板上においても上Ｒｔ Ｊツバ−コート層の
剥離は見られなかった。なお、上記クロスカッ１−ピー
ステストは、上記ノノハーコ−１・層を刃物を用いて銅
箔パターンあるいはカラスエポキシ基板に達するまてｌ
ｍＡ Ｘ ｌ ｈｔａ＋の基盤目状にクロスノノソ１
−シ、粘着テープをこすり付けた後、この粘着テープを
」二方にひき剥がし、上記クロスカットされたカバーコ
ート層切片１００個のうちイＩ】目固争１ ＋ａするか
によってその’２Ｆｉメ゛Ｎ（’１４ｇ、 ＋量定ずろ
ものである。
次に、上記基板上にイソブロヒ□＋１’Ｈ′１１’、１
ル希釈したフラックスを塗布し、２５（じＬ：（ｉ＋
゛４−目１ソ１〕−に］゛０秒間接触させて耐熱性’ｑ
’ ；Ｊ、、ｌ・、八３にころ、」ニ記カバーコート層
にふくれや亀裂Ｈ牛じちかった。さらにこの半田フロー
に接１ｌＩｌｌ！さ一１！１．：ｆ麦、再ひ」こｈ己り
ロスカッ［・ピーステストを”（ｊ／＋’−ｖた力）、
カバーコ−１・層の剥離は見られず、こυ〕ノノノ・−
コートｊ・−の密着性が低下していないことか確認され
た。
ル希釈したフラックスを塗布し、２５（じＬ：（ｉ＋
゛４−目１ソ１〕−に］゛０秒間接触させて耐熱性’ｑ
’ ；Ｊ、、ｌ・、八３にころ、」ニ記カバーコート層
にふくれや亀裂Ｈ牛じちかった。さらにこの半田フロー
に接１ｌＩｌｌ！さ一１！１．：ｆ麦、再ひ」こｈ己り
ロスカッ［・ピーステストを”（ｊ／＋’−ｖた力）、
カバーコ−１・層の剥離は見られず、こυ〕ノノノ・−
コートｊ・−の密着性が低下していないことか確認され
た。
実施ｐ２す２
先の実施し１］■の感光性４ＭＪ脂組成物０）ツら、リ
ン酸化合物であるリン酸エステルメタクリレート及び有
（Ｑ過酸化物であるジメチルケトノバーオキサイドの添
加量を変えて、実施例１と同様にカバーコート層を形成
した。
ン酸化合物であるリン酸エステルメタクリレート及び有
（Ｑ過酸化物であるジメチルケトノバーオキサイドの添
加量を変えて、実施例１と同様にカバーコート層を形成
した。
リン酸化合物の祭加蓄、有機過酸化物の添加量″及び得
られるカバーコート層の！１も一性庖第２表に示す。な
お、第２表中、常温ての蕾オイ１牛、耐μす（性及び半
Ｈ」フロー後の密着性は先の実姉１’）ＩＩ Ｉとト】
ロポの方法で判定し、カバーコ−１・層の剥離や熱によ
るふくれ、亀裂等が生じなかった場合を○、生じた場合
を×で評価Ｌ７た。また、半田フロー後の密着性におい
て、△は半田フローの熱によりふくれか生した部分以外
の部分ではカバーコート層の剥離が生じなかったこ“♂
を示す。
られるカバーコート層の！１も一性庖第２表に示す。な
お、第２表中、常温ての蕾オイ１牛、耐μす（性及び半
Ｈ」フロー後の密着性は先の実姉１’）ＩＩ Ｉとト】
ロポの方法で判定し、カバーコ−１・層の剥離や熱によ
るふくれ、亀裂等が生じなかった場合を○、生じた場合
を×で評価Ｌ７た。また、半田フロー後の密着性におい
て、△は半田フローの熱によりふくれか生した部分以外
の部分ではカバーコート層の剥離が生じなかったこ“♂
を示す。
第 ２ 表
この第２表より、カバーツー１〜層の密着性を向上する
ためには、リン酸化合物と有機過酸化物を併用添加する
必要があることか分かる。
ためには、リン酸化合物と有機過酸化物を併用添加する
必要があることか分かる。
第１図は感光性樹脂組成物の露光に用いられる平行光源
装置の一例を示す概略構成図である。 特許出願人 ノニー株式会社 代理人 弁理士 小 池 晃 同 １） 村 榮 −
装置の一例を示す概略構成図である。 特許出願人 ノニー株式会社 代理人 弁理士 小 池 晃 同 １） 村 榮 −
Claims (1)
- 末端に二重結合を２以上有する第１の不飽和化合物と、
末端に二重結合を有する第２の不飽和化合物と、光重合
増加剤と、リン酸化合物と、有機過酸化物とを含有して
なる感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22174783A JPS60113237A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22174783A JPS60113237A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60113237A true JPS60113237A (ja) | 1985-06-19 |
Family
ID=16771584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22174783A Pending JPS60113237A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60113237A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285352A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
| JPH05181281A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-07-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | フオトレジスト組成物及びエツチング方法 |
-
1983
- 1983-11-25 JP JP22174783A patent/JPS60113237A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285352A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
| JPH05181281A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-07-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | フオトレジスト組成物及びエツチング方法 |
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